支撑装置及收纳装置的制作方法

1.本技术涉及半导体运输包装技术领域，尤其是涉及一种支撑装置及收纳装置。


背景技术：

2.晶片是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光以及切片后，形成硅晶片，也就是晶片。
3.国内晶片生产线以8英寸和12英寸为主。晶片的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片晶片或同时加工多片晶片。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，晶片加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶片加工时，空气中的颗粒数对晶片加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
4.在大尺寸晶片进行加工过程中，随着晶片表面精细化加工，对晶片表面的洁净度的要求提高。对于大尺寸的晶片使用fosb进行厂外的周转，在运输周转过程中，需要保证容器内部晶片的安全，防止其在运输中发生破损，同时防止晶片在内部发生旋转磨损，产生颗粒影响。
5.现有技术中，晶片容器中使用的支撑件，用于在盖体与主体结合时，支撑所有晶片。支撑件整体上呈对称结构，当安装到盖体后，盖体上的安装结构会对支撑件的中间部位进行挤压，导致支撑件变形严重。难以对容器内部的全部晶片进行支撑与缓冲，导致少数晶片可能出现晃动幅度较大的情况，而在运输过程中受损。


技术实现要素：

6.有鉴于此，本技术提供一种支撑装置及收纳装置，目的在于，解决以上技术问题。
7.第一方面，本技术提供一种支撑装置，所述支撑装置包括：
8.第一支撑部，所述第一支撑部用于为片体提供支撑；
9.第一固定机构和第二固定机构，所述第一固定机构和所述第二固定机构连接于所述第一支撑部的彼此相对的两侧；
10.所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置中包括和所述第二固定机构的与所述第一支撑部的连接位置不同的位置。
11.优选地，所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置的数量为多个，所述第一支撑部具有延伸方向，所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置和所述第二固定机构的与所述第一支撑部的连接位置沿着所述延伸方向交错设置。
12.优选地，所述第二固定机构的与所述第一支撑部的连接位置的数量为多个。
13.优选地，所述第一固定机构和所述第二固定机构均包括固定构件，所述固定构件用于与所述第一支撑部连接；
14.所述支撑装置还包括与所述第一支撑部间隔设置的第二支撑部和第三支撑部，所
述第二支撑部与所述第一固定机构的固定构件连接，所述第三支撑部与所述第二固定机构的固定构件连接。
15.优选地，所述第一固定机构的固定构件和所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置一一对应，所述第二固定机构的固定构件和所述第二固定机构的与所述第二支撑部的连接位置一一对应。
16.优选地，所述第一支撑部、所述第二支撑部以及所述第三支撑部均具有延伸方向，所述第二支撑部的在所述延伸方向上的两端分别与所述第一支撑部的在所述延伸方向上的两端连接，所述第三支撑部的在延伸方向上的两端分别与所述第一支撑部的在所述延伸方向上的两端连接。
17.优选地，所述支撑装置还包括第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件和所述第二限位构件分别位于所述第一支撑部的彼此相对的两侧；
18.所述第一限位构件和所述第二限位构件被配置为与所述第一支撑部共同支撑所述片体，所述第一限位构件和所述第二限位构件还被配置为阻止所述片体翻转；
19.所述第一限位构件与所述第一固定机构的固定构件一一对应地连接，所述第二限位构件与所述第二固定机构的固定构件一一对应地连接。
20.优选地，所述支撑装置还包括第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件和所述第二限位构件分别位于所述第一支撑部的彼此相对的两侧；
21.所述第一限位构件和所述第二限位构件被配置为与所述第一支撑部共同支撑所述片体，所述第一限位构件和所述第二限位构件还被配置为阻止所述片体翻转。
22.优选地，所述第一支撑部具有延伸方向，多个所述第一限位构件和多个所述第二限位构件沿着所述延伸方向交错设置。
23.优选地，每一所述第一限位构件和每一所述第二限位构件均包括限位主体、引导部和设置于所述限位主体的凹陷部；
24.所述凹陷部用于容纳所述片体的边缘的部分，所述引导部设置于所述凹陷部的开口处，以用于将所述片体向所述凹陷部内引导。
25.优选地，每一所述第一限位构件和每一所述第二限位构件均包括柔性件，所述柔性件设置于所述凹陷部内，所述柔性件用于支撑所述片体。
26.优选地，所述引导部包括设置于所述凹陷部的开口处的引导面，所述第一支撑部具有延伸方向，在所述第一支撑部被布置为水平的情况下，所述引导面与水平面所成的角度的范围为10
°
至30
°
。
27.优选地，所述支撑装置包括设置于所述第一支撑部的多个支撑组件，所述多个支撑组件用于支撑所述片体，
28.其中，所述第一支撑部具有延伸方向，在所述延伸方向上，所述多个支撑组件与所述第一限位构件和所述第二限位构件交替地对应。
29.优选地，所述支撑装置包括设置于所述第一支撑部的多个支撑组件，所述多个支撑组件可拆卸地设置于所述第一支撑部，所述支撑组件用于支撑所述片体。
30.优选地，所述支撑装置还包括架构件，所述架构件与所述多个支撑组件连接；
31.其中，所述架构件包括用于与所述第一支撑部连接的第一配合部，所述第一支撑部包括用于与所述第一配合部连接的第二配合部，所述第一配合部与所述第二配合部被配
置为能够彼此连接，以使得所述架构件与所述第一支撑部可拆卸连接。
32.第二方面，本技术提供一种收纳装置，所述收纳装置包括如上所述的支撑装置。
33.根据本技术提供的支撑装置，在第一支撑部支撑片体，例如晶片时，由于第一固定机构的与第一支撑部的连接位置中包括和第二固定机构的与第一支撑部的连接位置不同的位置，第一固定机构能够以不同于第二固定机构的方式来分散由第一支撑部传递而来的力。从而，相对于现有技术中呈对称结构设置的支撑件而言，根据本技术提供的支撑装置不会因为对称结构而使得第一支撑部出现明显的薄弱位置，反而因为不对称的设置而使得第一支撑部上的受力更为分散，这进而使得第一支撑部的形变量减小。由此，根据本技术提供的支撑装置，能够确保稳定地支撑全部晶片，避免晶片出现晃动而导致晶片受损。
34.为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
35.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
36.图1示出了根据本技术第一方面提供的支撑装置的俯视图的示意图；
37.图2示出了根据本技术第一方面提供的支撑装置的轴测图的示意图；
38.图3示出了根据本技术第一方面提供的支撑装置的局部放大图的示意图；
39.图4示出了根据本技术第一方面提供的支撑装置的侧视图的示意图；
40.图5示出了根据本技术第一方面提供的支撑装置的主视图的示意图；
41.图6示出了根据本技术第二方面提供的收纳装置的主体的结构的示意图；
42.图7示出了根据本技术第二方面提供的收纳装置的主体的正视图的示意图；
43.图8示出了根据本技术第二方面提供的收纳装置的盖体的仰视图的示意图。
44.附图标记：
45.1-容器主体；11-开口缘部；111-缘部阶梯部；112-缘部凹槽；113-定位件；12-弯曲部；13-侧边支撑件；14-抓取部；141-抓取器；142-固定器；143-限定凸起；15-定位体；16-把手；161-把手固定件；17-底部支撑件；2-盖体；21-闩锁部；22-盖体主板；221-支撑装置固定件；222-支撑装置定位件；223-凹部支撑体；
46.3-支撑装置；31-架体；311-限位构件；3111-引导面；3112-凹陷部；3113-垫片；312-第一支撑部；313-固定构件；32-架构件；321-第一配合部；322-保持构件；331-第二支撑部；332-第三支撑部。
具体实施方式
47.下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
48.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
49.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
50.另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
51.根据本技术的第一方面提供一种支撑装置3，以下将结合图1至图5具体描述支撑装置3的结构和工作原理。
52.在实施例中，支撑装置3包括第一支撑部312、第一固定机构和第二固定机构。其中，第一支撑部312用于为片体提供支撑。第一固定机构和第二固定机构分别连接于第一支撑部312的彼此相对的两侧。第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置中包括和第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置不同的位置。
53.如此，在第一支撑部312支撑片体，例如晶片时，由于第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置中包括和第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置不同的位置，第一固定机构能够以不同于第二固定机构的方式来分散由第一支撑部312传递而来的力。从而，相对于现有技术中呈对称结构设置的支撑件而言，根据本技术实施例提供的支撑装置3不会因为对称结构而使得第一支撑部312出现明显的薄弱位置，反而因为不对称的设置而使得第一支撑部312上的受力更为分散，这进而使得第一支撑部312的形变量减小。由此，根据本技术实施例提供的支撑装置3，能够确保稳定地支撑全部晶片，避免晶片出现晃动而导致晶片受损。
54.在实施例中，第一支撑部312可以包括条状结构，该条状结构具有延伸方向。如果像现有技术当中的设置那样设置支撑件，则需要将对称连接在条状结构的两侧的固定部件沿着条状结构的延伸方向来设置，这可能使得支撑件呈现“鱼骨状”，从而会在第一支撑部312的在延伸方向上相邻的两组固定部件之间的部分产生上述薄弱位置，这样的薄弱位置可能会导致第一支撑部312在受力时在该薄弱位置处发生较大的弯曲。
55.在实施例中，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置的数量可以为多个，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置和第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置沿着延伸方向交错设置。
56.也就是说，沿着第一支撑部312的延伸方向(这里可以参考图1中的竖直方向)第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置所包括的每两个相邻的位置之间的空位的相对侧设置有第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置。因为这种交错设置，由晶片施加到第一支撑部312的力被更为有效地分散到第一固定机构和第二固定机构，从而更为有效地使得第一支撑部312的形变量减小。
57.作为示例，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置可以为两个，对应地，第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置可以为一个，这些连接位置可以按照如上描述的设置方式交错设置。在该示例中，第一固定机构和第二固定机构可以具有相对来说更大的尺寸，从而有利于降低支撑装置3的加工难度。
58.作为另一示例，第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置的数量可以为多个，这也就是说，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置可以多于两个。如图1所示，在本示例中，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置可以例如为13个，第二固定机构的与第一支撑部312的连接位置的数量可以例如为12个。不限于此的是，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置的数量还可以为3、4、5、
……
、12，甚至14、15乃至更多。在本示例中，由于连接位置的数量更多，第一支撑部312的形变量能够被特别有效地减小。
59.在实施例中，第一固定机构和第二固定机构可以均包括固定构件313，固定构件313用于与第一支撑部312连接。在实施例中，固定构件313的数量可以与如上的连接位置的数量对应，也就是说，第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置的数量可以为第一固定机构的固定构件313的数量，第二固定机构的与所述第一支撑部312的连接位置的数量可以为第二固定机构的固定构件313的数量。
60.换句话说，在实施例中，作为示例，第一固定机构的固定构件313可以和第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置一一对应，第二固定机构的固定构件313可以和第二固定机构的与第二支撑部331的连接位置一一对应。在该示例中，固定构件313可以为横向布置的条状结构，优选地，固定构件313沿着垂直于延伸方向的方向延伸(也就是图1中的水平方向)。在另一些示例中，固定构件313可以沿着与图1中水平方向相倾斜的方向延伸。
61.进一步地，在实施例中，支撑装置3还可以包括与第一支撑部312间隔设置的第二支撑部331和第三支撑部332，第二支撑部331与第一固定机构的固定构件313连接，第三支撑部332与第二固定机构的固定构件313连接。如此，经由第一固定机构和第二固定机构的连接，第二支撑部331和第三支撑部332能够分担由第一支撑部312承受的晶片施加的力，从而使得支撑装置3能够给予晶片更为稳定的支撑。
62.在实施例中，第二支撑部331和第三支撑部332二者也可以包括条状结构，第二支撑部331的条状结构可以设置于第一支撑部312的第一固定机构的所在侧，第三支撑部332的条状结构可以设置于第一支撑部312的第二固定机构的所在侧。换句话说，第二支撑部331、第一支撑部312和第三支撑部332三者沿着垂直于延伸方向的方向依次间隔设置。
63.作为示例，第二支撑部331、第一支撑部312和第三支撑部332三者所分别包括的条状结构具有相同的长度。参见图1，进一步地，第二支撑部331的在延伸方向上的两端可以分别与第一支撑部312的在延伸方向上的两端连接(例如通过条形的连接部连接)，第三支撑部332的在延伸方向上的两端可以分别与第一支撑部312的在延伸方向上的两端连接(例如通过条形的连接部连接)。
64.由此，第二支撑部331、第一支撑部312和第三支撑部332与前面提到的条形的连接部可以共同形成矩形形状的框架，这里可以将该框架定义为架体31。因此，连接成架体31的第二支撑部331、第一支撑部312和第三支撑部332能够对晶片提供更为稳定的支撑。进一步优选地是，架体31可以为一体成型结构，各个固定构件313也可以与架体31一体成型，这有利于提高支撑装置3的整体性，从而有利于提高对晶片支撑的稳定性。
65.为了使得描述清楚，还需要说明的是，第一支撑部312、第二支撑部331和第三支撑部332三者的延伸方向为上述架体31的长边的延伸方向，第一支撑部312、第二支撑部331和第三支撑部332三者的排列方向为上述架体31的宽边的延伸方向，也就是条形的连接部的延伸方向。
66.在图中未示出的示例中，固定构件313可以具有其他形式。例如，第一固定构件313的数量可以不与第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置一一对应。在这一示例中，每个固定构件313可以具有多个凸出部，全部固定构件313所包括的全部凸出部可以与第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置一一对应。因此，该示例中，允许设置具有更大占地面积的固定构件313，这有利于提高支撑装置3的刚性。
67.进一步地，在实施例中，支撑装置3还可以包括第一限位构件和限位构件(在随后的描述中，会将两者统称为限位构件311)，第一限位构件和限位构件可以分别位于第一支撑部312的彼此相对的两侧。结合图1，即第一限位构件与第一固定机构均位于第一支撑部312的左侧，限位构件与第二固定机构均位于第一支撑部312的右侧。在实施例中，第一限位构件和限位构件可以被配置为与第一支撑部312共同支撑晶片，第一限位构件和限位构件还可以被配置为阻止晶片翻转，从而能够避免晶片因翻转而出现晃动和摩擦，以提高对晶片支撑的稳定性。
68.在实施例中，第一限位构件可以与第一固定机构的固定构件313一一对应地连接，限位构件可以与第二固定机构的固定构件313一一对应地连接。如图1所示，在第一固定机构的固定构件313与第一固定机构的与第一支撑部312的连接位置一一对应，第二固定机构的固定构件313与第二固定机构的与所述第一支撑部312的连接位置一一对应的情况下，第一限位构件可以直接设置于与其对应的固定构件313，限位构件可以直接设置于与其对应的固定构件313。由此，能够节约第一限位构件和限位构件的布置空间，同时降低支撑装置3在整体上的加工难度，优选地，第一限位构件可以和与其对应的固定构件313一体成型，限位构件也可以和与其对应的固定构件313一体成型。
69.由此，在前面示例的基础上，多个第一限位构件(与第一固定机构的固定构件313数量相等)和多个限位构件(与第二固定机构的固定构件313数量相等)是沿着延伸方向交错设置。由于第一限位构件和限位构件均对各自对应的晶片进行支撑，这种交错设置的方式能够进一步分散晶片施加的力，从而提高对晶片支撑的稳定性。换句话说，在该示例中，每一固定构件313和与该固定构件313对应连接的限位构件311共同对应一张晶片，即共同支撑这张晶片。固定构件313既起到了分散由第一支撑部312传递而来的力的作用，又起到直接支撑晶片以分散晶片施加的力的作用，因此，固定构件313具有较高的利用率。
70.在另一些示例中，多个第一限位构件和多个限位构件可以不依托于固定构件313而沿着延伸方向交错设置。例如每个限位构件311可以不依托于固定构件313，而是独立地连接到第一支撑部312。在这一示例中，固定构件313起到的是分散由第一支撑部312传递而来的力的作用，可以允许降低固定构件313的刚度要求。
71.进一步地，如图3所示，在实施例中，每一第一限位构件和每一限位构件均可以包括限位主体、引导部和设置于限位主体的凹陷部3112。其中，限位主体可以例如为长方体状的结构，凹陷部3112可以从而长方体状结构的顶面开设，并从延伸到长方体状结构的一侧面并开放。
72.在实施例中，凹陷部3112可以用于容纳晶片的边缘的部分，从而能够起到夹持晶片的边缘的部分的作用，以此能够避免晶片出现翻转。引导部可以设置于凹陷部3112的开口处，以用于将片体向凹陷部3112内引导，从而在限位构件311与晶片接触时，能够借由引导部确保支撑装置3和晶片快速到位，也能够防止晶片错位而导致晶片出现损伤的情况出现。
73.在实施例中，每一第一限位构件和每一限位构件均还可以包括柔性件，柔性件可以设置于凹陷部3112内，柔性件用于支撑晶片，从而能够起到对晶片的缓冲作用，增加对晶片支撑的稳定性。在实施例中，柔性件例如可以为垫片3113，垫片3113可以例如由橡胶制成。
74.作为示例，在实施例中，引导部可以包括设置于凹陷部3112的开口处的引导面3111，在第一支撑部312被布置为水平的情况下，也就是整个架体31被布置为水平的情况下，引导面3111与水平面所成的角度的范围可以为10
°
至30
°
，具体可以例如为15
°
、20
°
、25
°
以及在该范围内的任一角度。即引导面3111形成为实质上的斜面，能够对晶片的边缘进行有效地引导。
75.在此基础上，结合图1至图5，支撑装置3还可以包括设置于第一支撑部312的多个支撑组件，多个支撑组件可以用于支撑晶片。其中，尤其参见图1，在延伸方向上，多个支撑组件与第一限位构件和限位构件交替地对应，也就是说，每一支撑组件、每一限位构件311和与该限位构件311对应连接的固定构件313共同对应一张晶片。
76.在实施例中，每一支撑组件可以包括两个分别位于第一支撑部312的左右两侧的保持构件322。如图5所示，保持构件322包括与第一支撑部312连接的延伸部和与延伸部的末端连接的高于限位构件311的托举部，延伸部和托举部可以一体成型。在实施例中，托举部也可以形成有用于容纳晶片的边缘的部分的凹部，凹部的开口外侧可以设置有用于将晶片导向凹部的导向面，导向面可以例如呈逐渐向凹部收口的“v”形。此外，在实施例中，延伸部可以被配置为具有弹性，即在托举部支撑晶片后，延伸部会向下运动，带动托举部向着架体31所在侧运动。在此基础上，延伸部可以被进一步配置为当承受的力为晶片的重力后，使得晶片恰好由对应的限位构件311支撑，从而能够防止晶片在支撑过程中旋转。
77.在实施例中，上述多个支撑组件可以可拆卸地设置于第一支撑部312，由此，在维护支撑装置3时，可以将多个支撑组件从第一支撑部312上拆卸下来，这允许将多个支撑组件和架体31分开来清洗，更有利于提高支撑装置3的洁净程度，从而降低支撑装置3对晶片支撑时带来的磨损。
78.作为示例，支撑装置3还可以包括架构件32，架构件32可以与多个支撑组件连接。具体来说，架构件32可以包括与第一支撑部312相同的长度的条状结构，其中，架构件32可以包括用于与第一支撑部312连接的第一配合部321，第一支撑部312可以包括用于与第一配合部321连接的第二配合部，第一配合部321与第二配合部被配置为能够彼此连接，以使得架构件32与第一支撑部312可拆卸连接。作为示例，优选地，第一配合部321可以为沿着第一支撑部312的延伸方向延伸的凸条，第二配合部可以为沿着第一支撑部312的延伸方向延伸的槽，通过将凸条嵌入到槽内，以将架构件32和第一支撑部312连接。
79.然而不限于此的是，第一配合部可以为如上的槽，第二配合部可以为如上的凸条。在另一些示例中，第一配合部和第二配合部并不限于槽和凸条的形式，还可以是其他类型
的凸出部和凹部。
80.根据本技术实施例的第二方面提供一种收纳装置，收纳装置包括如上的支撑装置，也包括如上的有益效果，在此不再赘述。
81.如图6至8所示，本技术的收纳装置形成为实质上的半导体收纳容器，还包括容器主体1和盖体2。容器主体1为具有开口的开放性容器主体，容器主体1可以包括下部、四个侧部与开口部。其中，开口部可以与下部彼此相对，侧部可以将开口部与下部相互连接。
82.在实施例中，开口部可以包括开口缘部11，开口缘部11可以位于开口部与侧部的交界处。开口缘部11的每个侧边上可以具有左右两个缘部凹槽112，缘部凹槽112可以用于配合后面要提到的盖体结构中的闩锁结构，从而利用这种配合将盖体与主体密封结合。此外，开口缘部11的内侧还设置有缘部阶梯部111，缘部阶梯部111用于与盖体2抵接，从而对盖体2限位。
83.在实施例中，缘部凹槽112的左右两侧可以安装有彼此相对的定位件113，定位件113可以用于定位盖体与开口部结合时，固定盖体的安装位置，盖体2的底部包括对应的开口位置设置的定位部件。
84.在实施例中，容器主体1的左右两侧的外部位置处可以安装有把手固定件161。把手固定件161上可以固定有把手16，把手16用于对容器主体1进行搬运时使用。容器主体1的下侧边还可以包括多个定位体15，下侧边左右两侧还均设置有弯曲部12，弯曲部12可以与容器主体1的下侧边一体成型。在实施中，弯曲部12可以与定位体15相互结合，将容器主体1固定、水平地放置在工作台上。其中，定位体15与工作台上的结构结合，从而避免在放置容器主体1的工作过程中，发生晃动，导致晶圆与容器发生摩擦。
85.进一步地，在容器主体1的左右内侧部可以分别安装有侧边支撑件13。侧边支撑件上具有多个弯曲凹槽部，左右两边的凹槽部可以相互对应，用于放置需要搬运的晶圆，晶圆的边缘位置可以与凹槽部相互接触。在容器主体1底部的内侧部上可以安装有底部支撑件17。底部支撑件上可以设置有与侧边支撑件13上凹槽部相互对应的底部支撑件17的凹槽，底部支撑件17与侧边支撑件13凹槽共同支撑晶圆。底部支撑件17与晶圆的边缘接触，从而减少晶圆与容器内部的接触。
86.容器主体1的上侧部外表面上可以包括限定凸起143，在限定凸起143上安装有抓取部14，抓取部14可以包括抓取器141和固定器142，使用固定器142可以将抓取器141固定在限定凸起143的内部。
87.盖体2可以包括盖体主板22和闩锁部21，在盖体主板22的内表面的中央位置可以设置有凹陷部位。其中，凹陷部位的内部上可以安装有若干个悬空的支撑装置固定件221，支撑装置的基部可以插入到支撑装置固定件221与凹陷部的内表面之间。
88.在实施例中，凹陷部的侧表面上可以设置有两个相对的支撑装置定位件222，从而将支撑装置固定在凹陷部的位置，防止支撑装置在凹陷部上下震动，对晶圆造成摩擦。进一步地，凹陷部的中央位置可以均匀安装有凹部支撑体223，用于对支撑装置进行支撑，当晶圆与支撑装置进行接触后，将支撑装置抵接到凹部支撑体223上时，减小支撑件的上、下弹性变化，避免晶圆的磨损加大。
89.以上仅为本技术的优选实施例，并非因此限制本技术的保护范围，凡是在本技术的创新构思下，利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其
他相关的技术领域均包括在本技术的保护范围内。

技术特征：
1.一种支撑装置，其特征在于，所述支撑装置包括：第一支撑部，所述第一支撑部用于为片体提供支撑；第一固定机构和第二固定机构，所述第一固定机构和所述第二固定机构连接于所述第一支撑部的彼此相对的两侧；所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置中包括和所述第二固定机构的与所述第一支撑部的连接位置不同的位置。2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置的数量为多个，所述第一支撑部具有延伸方向，所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置和所述第二固定机构的与所述第一支撑部的连接位置沿着所述延伸方向交错设置。3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第二固定机构的与所述第一支撑部的连接位置的数量为多个。4.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第一固定机构和所述第二固定机构均包括固定构件，所述固定构件用于与所述第一支撑部连接；所述支撑装置还包括与所述第一支撑部间隔设置的第二支撑部和第三支撑部，所述第二支撑部与所述第一固定机构的固定构件连接，所述第三支撑部与所述第二固定机构的固定构件连接。5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述第一固定机构的固定构件和所述第一固定机构的与所述第一支撑部的连接位置一一对应，所述第二固定机构的固定构件和所述第二固定机构的与所述第二支撑部的连接位置一一对应。6.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部、所述第二支撑部以及所述第三支撑部均具有延伸方向，所述第二支撑部的在所述延伸方向上的两端分别与所述第一支撑部的在所述延伸方向上的两端连接，所述第三支撑部的在延伸方向上的两端分别与所述第一支撑部的在所述延伸方向上的两端连接。7.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置还包括第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件和所述第二限位构件分别位于所述第一支撑部的彼此相对的两侧；所述第一限位构件和所述第二限位构件被配置为与所述第一支撑部共同支撑所述片体，所述第一限位构件和所述第二限位构件还被配置为阻止所述片体翻转；所述第一限位构件与所述第一固定机构的固定构件一一对应地连接，所述第二限位构件与所述第二固定机构的固定构件一一对应地连接。8.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置还包括第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件和所述第二限位构件分别位于所述第一支撑部的彼此相对的两侧；所述第一限位构件和所述第二限位构件被配置为与所述第一支撑部共同支撑所述片体，所述第一限位构件和所述第二限位构件还被配置为阻止所述片体翻转。9.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部具有延伸方向，多个所述第一限位构件和多个所述第二限位构件沿着所述延伸方向交错设置。
10.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，每一所述第一限位构件和每一所述第二限位构件均包括限位主体、引导部和设置于所述限位主体的凹陷部；所述凹陷部用于容纳所述片体的边缘的部分，所述引导部设置于所述凹陷部的开口处，以用于将所述片体向所述凹陷部内引导。11.根据权利要求10所述的支撑装置，其特征在于，每一所述第一限位构件和每一所述第二限位构件均包括柔性件，所述柔性件设置于所述凹陷部内，所述柔性件用于支撑所述片体。12.根据权利要求10所述的支撑装置，其特征在于，所述引导部包括设置于所述凹陷部的开口处的引导面，所述第一支撑部具有延伸方向，在所述第一支撑部被布置为水平的情况下，所述引导面与水平面所成的角度的范围为10
°
至30
°
。13.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置包括设置于所述第一支撑部的多个支撑组件，所述多个支撑组件用于支撑所述片体，其中，所述第一支撑部具有延伸方向，在所述延伸方向上，所述多个支撑组件与所述第一限位构件和所述第二限位构件交替地对应。14.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置包括设置于所述第一支撑部的多个支撑组件，所述多个支撑组件可拆卸地设置于所述第一支撑部，所述支撑组件用于支撑所述片体。15.根据权利要求14所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置还包括架构件，所述架构件与所述多个支撑组件连接；其中，所述架构件包括用于与所述第一支撑部连接的第一配合部，所述第一支撑部包括用于与所述第一配合部连接的第二配合部，所述第一配合部与所述第二配合部被配置为能够彼此连接，以使得所述架构件与所述第一支撑部可拆卸连接。16.一种收纳装置，其特征在于，所述收纳装置包括如权利要求1至15中任一项所述的支撑装置。

技术总结
本申请提供了一种支撑装置及收纳装置，涉及半导体运输包装技术领域，包括：第一支撑部，第一支撑部用于为片体提供支撑；第一固定机构和第二固定机构，第一固定机构和第二固定机构连接于第一支撑部的彼此相对的两侧；第一固定机构的与第一支撑部的连接位置中包括和第二固定机构的与第一支撑部的连接位置不同的位置。根据本申请提供的支撑装置，在第一支撑部支撑片体时，第一固定机构能够以不同于第二固定机构的方式来分散由第一支撑部传递而来的力。支撑装置反而因为不对称的设置而使得第一支撑部上的受力更为分散，这进而使得第一支撑部的形变量减小。根据本申请提供的支撑装置，能够确保稳定地支撑全部晶片，避免晶片出现晃动而导致晶片受损。动而导致晶片受损。动而导致晶片受损。


技术研发人员：刘春峰 刘国华 黄秋凯
受保护的技术使用者：荣耀电子材料（重庆）有限公司
技术研发日：2023.06.09
技术公布日：2023/8/1