一种管式PECVD输送装置及输送方法与流程

一种管式pecvd输送装置及输送方法
技术领域
1.本发明涉及电池片输送装置领域，具体为一种管式pecvd输送装置及输送方法。


背景技术：

2.太阳能电池硅片在制造过程中需要进行一系列加工工序，包括清洗、镀膜等，在各个工序中，需要对硅片在石墨舟和输送线之间转移。现有的装置中，每条输送线只设置一条变截距机构，当对应的变截距机构需要对进行转移硅片时，对应的输送线只能暂停流片，导致效率低下。
3.鉴于此，有必要提供一种pecvd输送装置及输送方法。


技术实现要素：

4.本发明提供的一种pecvd输送装置及输送方法，有效的解决了现有装置换料效率低的问题。
5.本发明所采用的技术方案是一种管式pecvd输送装置，包括进料输送线和出料输送线，还包括用于对进料输送线供料的供料机构以及用于对出料输送线进行接料的接料机构，所述供料机构包括可交替供料的上供料组件以及位于上供料组件下方的下供料组件，所述接料机构包括可交替接料的上接料组件以及位于上接料组件下方的下接料组件，所述上供料组件、上接料组件、下供料组件和下接料组件结构相同。
6.进一步的是：所述进料输送线和出料输送线结构相同，所述进料输送线包括至少两段对接的输送组件，所述输送组件包括底座、对称设置的两条一号皮带、设置在底座上的主动驱动件、设置在底座上的从动驱动件、设置在底座上的张紧组件，所述主动驱动件包括设置在底座上的一号座、设置在一号座上的主动轴、设置在一号座上的一号电机、设置在主动轴中段的一号带轮、设置在一号电机上的主动带轮、设置在主动轴两端的二号带轮、绕设在一号带轮和主动带轮上的二号皮带，所述从动驱动件包括设置在底座上的二号座、设置在二号座上的从动轴、设置在从动轴两端的从动带轮，所述张紧组件包括设置在底座上的一号直线导轨、滑动设置在一号直线导轨上的滑座、设置在底座上用于驱动滑座沿一号直线导轨移动的一号丝杆、设置在滑座上的用于对一号皮带进行张紧的张紧轮。
7.进一步的是：所述进料输送线还包括用于对一号皮带上的硅片进行对中的导正组件，所述导正组件包括设置在底座下方的固定座、设置在固定座上的四号直线导轨、两个对称设置且与四号直线导轨滑动连接的侧对齐结构件、设置在固定座下方的四号主动轮和四号从动轮、绕设在四号主动轮和四号从动轮上的四号皮带、设置在固定座下方驱动四号主动轮转动的四号电机，两个所述侧对齐结构件分别设置在四号皮带的两侧。
8.进一步的是：所述侧对齐结构件包括与四号直线导轨滑动连接的滑动块、用于连接滑动块与四号皮带的连接块、设置在滑动块上端的连接块上的连接板、沿z轴方向设置在连接块上的若干导轮。
9.进一步的是：所述上供料组件包括沿z方向设置的一号直线模组、固定设置在一号
直线模组输出端的一号安装板、水平设置在一号安装板上端面的二号直线导轨、水平设置在一号安装板下端面的三号直线导轨、两个对称设置且与三号直线导轨滑动连接的对中板、若干层级设置在对中板相对一侧的搭接柱、固定设置在一号安装板上用于驱动对中板沿三号直线导轨移动的一号驱动件、两个对称设置且与二号直线导轨滑动连接的外板以及固定设置在一号安装板上端用于驱动外板沿二号直线导轨运动的二号驱动件，所述外板设置有用于供对中板避位的避位孔。
10.进一步的是：所述外板相对一侧竖向设置有橡胶条。
11.一种输送方法，包括管式pecvd输送装置，当上供料组件对进料输送线进行供料时，机械手将下一批硅片转移至下供料组件中，当上供料组件供料完毕后，下供料组件接着对进料输送线进行供料，此时机械手对上供料组件提供硅片，当下供料组件供料完毕后，上供料组件接着对进料输送线进行供料。当上接料组件对接料输送线进行接料时，机械手接收下接料组件中的硅片，当上接料组件接料完毕后，下接料组件接替上接料组件对出料输送线进行接料，同时机械手将上接料组件中的硅片进行转移，当下接料组件完成接料后，上接料组件又接替下接料组件进行接料。
12.发明的有益效果：通过上接料组件和下接料组件交替对出料输送线进行接料，上供料组件和下供料组件交替对进料输送线进行供料，能够保证进料和出料的连续性，有效的提高工作效率。
附图说明
13.图1为本技术的实施例所提供的管式pecvd输送装置的整体示意图。
14.图2为本技术的实施例所提供的管式pecvd输送装置的进料输送线的示意图。
15.图3为本技术的实施例所提供的管式pecvd输送装置的进料输送线的输送组件的示意图。
16.图4为本技术的实施例所提供的管式pecvd输送装置的进料输送线的导正组件的示意图。
17.图5为本技术的实施例所提供的管式pecvd输送装置的上供料组件的示意图。
18.图中标记为：1、进料输送线；2、出料输送线；3、上供料组件；4、下供料组件；5、上接料组件；6、下接料组件；101、底座；102、一号皮带；103、一号座；104、主动轴；105、一号电机；106、一号带轮；107、主动带轮；108、二号带轮；109、二号皮带；110、二号座；112、从动带轮；113、一号直线导轨；114、滑座；115、一号丝杆；116、张紧轮；10、输送组件；12、导正组件；121、固定座；122、四号直线导轨；123、侧对齐结构件；124、四号主动轮；125、四号从动轮；126、四号皮带；127、四号电机；1231、滑动块；1232、连接块；1233、连接板；1234、导轮；301、一号直线模组；302、一号安装板；303、二号直线导轨；304、三号直线导轨；305、对中板；306、搭接柱；307、一号驱动件；308、外板；309、二号驱动件；310、橡胶条；001、硅片。
具体实施方式
19.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
20.如图1所示，本技术的实施例所提供的一种管式pecvd输送装置，包括进料输送线1
和出料输送线2，还包括用于对进料输送线1供料的供料机构以及用于对出料输送线2进行接料的接料机构，所述供料机构包括可交替供料的上供料组件3以及位于上供料组件下方的下供料组件4，所述接料机构包括可交替接料的上接料组件5以及位于上接料组件5下方的下接料组件6，所述上供料组件3、上接料组件5、下供料组件4和下接料组件6结构相同。
21.需说明的是，通过外部的机械手对硅片001进行接驳或转运。
22.实际使用时，当上供料组件3对进料输送线1进行供料时，机械手将下一批硅片001转移至下供料组件4中，当上供料组件3供料完毕后，下供料组件4接着对进料输送线1进行供料，此时机械手对上供料组件3提供硅片001，当下供料组件4供料完毕后，上供料组件3接着对进料输送线1进行供料。当上接料组件5对接料输送线进行接料时，机械手接收下接料组件6中的硅片001，当上接料组件5接料完毕后，下接料组件6接替上接料组件5对出料输送线2进行接料，同时机械手将上接料组件5中的硅片001进行转移，当下接料组件6完成接料后，上接料组件5又接替下接料组件6进行接料。
23.上述设计中，通过上接料组件5和下接料组件6交替对出料输送线2进行接料，上供料组件3和下供料组件4交替对进料输送线1进行供料，能够保证进料和出料的连续性，有效的提高工作效率。
24.具体地：如图1、图2和图3所示，所述进料输送线1和出料输送线2结构相同，所述进料输送线1包括至少两段对接的输送组件10，所述输送组件10包括底座101、对称设置的两条一号皮带102、设置在底座101上的主动驱动件、设置在底座101上的从动驱动件、设置在底座101上的张紧组件，所述主动驱动件包括设置在底座101上的一号座103、设置在一号座103上的主动轴104、设置在一号座103上的一号电机105、设置在主动轴104中段的一号带轮106、设置在一号电机105上的主动带轮107、设置在主动轴104两端的二号带轮108、绕设在一号带轮106和主动带轮107上的二号皮带109，所述从动驱动件包括设置在底座101上的二号座110、设置在二号座110上的从动轴、设置在从动轴两端的从动带轮112，所述张紧组件包括设置在底座101上的一号直线导轨113、滑动设置在一号直线导轨113上的滑座114、设置在底座101上用于驱动滑座114沿一号直线导轨113移动的一号丝杆115、设置在滑座114上的用于对一号皮带102进行张紧的张紧轮116。
25.实际使用时，一号丝杆115驱动滑座114沿一号直线导轨113移动，使得张紧轮116对皮带进行张紧，随后一号电机105驱动主动带轮107转动，通过二号皮带109带动一号带轮106和主动轴104同步转动，通过一号皮带102带动从动带轮112转动，使得一号皮带102对硅片001进行输送。
26.上述设计中，进料输送线1和出料输送线2的结构设计能够便于对硅片001进行稳定输送。
27.具体地：如图2和图4所示，所述进料输送线1还包括用于对一号皮带102上的硅片001进行对中的导正组件12，所述导正组件12包括设置在底座101下方的固定座121、设置在固定座121上的四号直线导轨122、两个对称设置且与四号直线导轨122滑动连接的侧对齐结构件123、设置在固定座121下方的四号主动轮124和四号从动轮125、绕设在四号主动轮124和四号从动轮125上的四号皮带126、设置在固定座121下方驱动四号主动轮124转动的四号电机127，两个所述侧对齐结构件123分别设置在四号皮带126的两侧。
28.实际使用时，当硅片001在一号皮带102线上输送时，通过导正组件12对出现偏差
的硅片001进行导正，导正原理为：四号电机127驱动四号皮带126转动，使得四号皮带126带动两个侧对齐结构件123相对运动，对硅片001的两侧接触从而使得硅片001对中。
29.上述设计中，导正组件12的结构设计能够有效的对硅片001进行对正，便于硅片001在输送时的稳定。
30.具体地：如图4所示。所述侧对齐结构件123包括与四号直线导轨122滑动连接的滑动块1231、用于连接滑动块1231与四号皮带126的连接块1232、设置在滑动块1231上端的连接块1232上的连接板1233、沿z轴方向设置在连接块1232上的若干导轮1234。
31.实际使用时，通过侧对齐结构件123对一号皮带102线上的硅片001进行导向，具体动作为：硅片001的两侧与连接块1232上的导轮1234进行接触，并与导轮1234滚动连接。
32.上述设计中，侧对齐结构件123的设计能够有效的对硅片001起到导向作用。
33.具体地：如图5所示，所述上供料组件3包括沿z方向设置的一号直线模组301、固定设置在一号直线模组301输出端的一号安装板302、水平设置在一号安装板302上端面的二号直线导轨303、水平设置在一号安装板302下端面的三号直线导轨304、两个对称设置且与三号直线导轨304滑动连接的对中板305、若干层级设置在对中板305相对一侧的搭接柱306、固定设置在一号安装板302上用于驱动对中板305沿三号直线导轨304移动的一号驱动件307、两个对称设置且与二号直线导轨303滑动连接的外板308以及固定设置在一号安装板302上端用于驱动外板308沿二号直线导轨303运动的二号驱动件309，所述外板308设置有用于供对中板305避位的避位孔。
34.实际使用时，一号直线模组301驱动一号安装板302升降，使得放置在搭接柱306上的硅片001便于输送至进料输送线1中。当需要机械臂将硅片001转移至上供料组件3时，一号驱动件307驱动对中板305沿三号直线导轨304运动，使得两个对中板305的间距与硅片001大小适应。当硅片001放置在搭接柱306上后，二号驱动件309驱动外板308相对运动，对搭接柱306上的硅片001进行整齐。
35.上述设计中，便于放置硅片001以及对硅片001进行整齐。
36.具体地：如图5所示，所述外板308相对一侧竖向设置有橡胶条310。
37.实际使用时，通过橡胶条310与硅片001接触从而对硅片001进行整齐。
38.上述设计中，橡胶条310的设计能够有效的放置对硅片001损伤。
39.一种输送方法，包括管式pecvd输送装置，当上供料组件3对进料输送线1进行供料时，机械手将下一批硅片001转移至下供料组件4中，当上供料组件3供料完毕后，下供料组件4接着对进料输送线1进行供料，此时机械手对上供料组件3提供硅片001，当下供料组件4供料完毕后，上供料组件3接着对进料输送线1进行供料。当上接料组件5对接料输送线进行接料时，机械手接收下接料组件6中的硅片001，当上接料组件5接料完毕后，下接料组件6接替上接料组件5对出料输送线2进行接料，同时机械手将上接料组件5中的硅片001进行转移，当下接料组件6完成接料后，上接料组件5又接替下接料组件6进行接料。
40.进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种管式pecvd输送装置，包括进料输送线(1)和出料输送线(2)，其特征在于：还包括用于对进料输送线(1)供料的供料机构以及用于对出料输送线(2)进行接料的接料机构，所述供料机构包括可交替供料的上供料组件(3)以及位于上供料组件下方的下供料组件(4)，所述接料机构包括可交替接料的上接料组件(5)以及位于上接料组件(5)下方的下接料组件(6)，所述上供料组件(3)、上接料组件(5)、下供料组件(4)和下接料组件(6)结构相同。2.根据权利要求1所述的管式pecvd输送装置，其特征在于：所述进料输送线(1)和出料输送线(2)结构相同，所述进料输送线(1)包括至少两段对接的输送组件(10)，所述输送组件(10)包括底座(101)、对称设置的两条一号皮带(102)、设置在底座(101)上的主动驱动件、设置在底座(101)上的从动驱动件、设置在底座(101)上的张紧组件，所述主动驱动件包括设置在底座(101)上的一号座(103)、设置在一号座(103)上的主动轴(104)、设置在一号座(103)上的一号电机(105)、设置在主动轴(104)中段的一号带轮(106)、设置在一号电机(105)上的主动带轮(107)、设置在主动轴(104)两端的二号带轮(108)、绕设在一号带轮(106)和主动带轮(107)上的二号皮带(109)，所述从动驱动件包括设置在底座(101)上的二号座(110)、设置在二号座(110)上的从动轴、设置在从动轴两端的从动带轮(112)，所述张紧组件包括设置在底座(101)上的一号直线导轨(113)、滑动设置在一号直线导轨(113)上的滑座(114)、设置在底座(101)上用于驱动滑座(114)沿一号直线导轨(113)移动的一号丝杆(115)、设置在滑座(114)上的用于对一号皮带(102)进行张紧的张紧轮(116)。3.根据权利要求2所述的管式pecvd输送装置，其特征在于：所述进料输送线(1)还包括用于对一号皮带(102)上的硅片(001)进行对中的导正组件(12)，所述导正组件(12)包括设置在底座(101)下方的固定座(121)、设置在固定座(121)上的四号直线导轨(122)、两个对称设置且与四号直线导轨(122)滑动连接的侧对齐结构件(123)、设置在固定座(121)下方的四号主动轮(124)和四号从动轮(125)、绕设在四号主动轮(124)和四号从动轮(125)上的四号皮带(126)、设置在固定座(121)下方驱动四号主动轮(124)转动的四号电机(127)，两个所述侧对齐结构件(123)分别设置在四号皮带(126)的两侧。4.根据权利要求3所述的管式pecvd输送装置，其特征在于：所述侧对齐结构件(123)包括与四号直线导轨(122)滑动连接的滑动块(1231)、用于连接滑动块(1231)与四号皮带(126)的连接块(1232)、设置在滑动块(1231)上端的连接块(1232)上的连接板(1233)、沿z轴方向设置在连接块(1232)上的若干导轮(1234)。5.根据权利要求4所述的管式pecvd输送装置，其特征在于：所述上供料组件(3)包括沿z方向设置的一号直线模组(301)、固定设置在一号直线模组(301)输出端的一号安装板(302)、水平设置在一号安装板(302)上端面的二号直线导轨(303)、水平设置在一号安装板(302)下端面的三号直线导轨(304)、两个对称设置且与三号直线导轨(304)滑动连接的对中板(305)、若干层级设置在对中板(305)相对一侧的搭接柱(306)、固定设置在一号安装板(302)上用于驱动对中板(305)沿三号直线导轨(304)移动的一号驱动件(307)、两个对称设置且与二号直线导轨(303)滑动连接的外板(308)以及固定设置在一号安装板(302)上端用于驱动外板(308)沿二号直线导轨(303)运动的二号驱动件(309)，所述外板(308)设置有用于供对中板(305)避位的避位孔。6.根据权利要求5所述的管式pecvd输送装置，其特征在于：所述外板(308)相对一侧竖
向设置有橡胶条(310)。7.一种输送方法，包括权利要求6所述的管式pecvd输送装置，其特征在于：当上供料组件(3)对进料输送线(1)进行供料时，机械手将下一批硅片(001)转移至下供料组件(4)中，当上供料组件(3)供料完毕后，下供料组价接着对进料输送线(1)进行供料，此时机械手对上供料组件(3)提供硅片(001)，当下供料组件(4)供料完毕后，上供料组件(3)接着对进料输送线(1)进行供料，当上接料组件(5)对接料输送线进行接料时，机械手接收下接料组件(6)中的硅片(001)，当上接料组件(5)接料完毕后，下接料组件(6)接替上接料组件(5)对出料输送线(2)进行接料，同时机械手将上接料组件(5)中的硅片(001)进行转移，当下接料组件(6)完成接料后，上接料组件(5)又接替下接料组件(6)进行接料。

技术总结
本发明公开了一种管式PECVD输送装置及输送方法，包括进料输送线和出料输送线，还包括用于对进料输送线供料的供料机构以及用于对出料输送线进行接料的接料机构，所述供料机构包括可交替供料的上供料组件和下供料组件，所述接料机构包括可交替接料的下供料组件和上供料组件，所述上供料组件、上接料组、下供料组件和下接料组件结构相同。优点：通过上接料组件和下接料组件交替对出料输送线进行接料，上供料组件和下供料组件交替对进料输送线进行供料，能够保证进料和出料的连续性，有效的提高工作效率。高工作效率。高工作效率。


技术研发人员：沈威
受保护的技术使用者：苏州诚拓智能装备有限公司
技术研发日：2023.06.30
技术公布日：2023/8/1