荷电粒子检测器的制作方法

1.本发明涉及荷电粒子检测器。


背景技术：

2.在具备微通道板的荷电粒子检测器中，追求该微通道板的输出线性的提高。微通道板的输出线性与微通道板的电阻值成反比例。因此，虽然微通道板必须低电阻化，但是通过低电阻化实现的输出线性的改善已临近界限。
3.为了从其它的观点谋求输出线性的改善，研究了在微通道板组合网状阳极和多倍增极(multi-dynode)的三极管构造。作为具有三极管构造的现有的荷电粒子检测器，例如有日本特开昭57-196466号公报中记载的电子倍增装置。该现有的电子倍增装置包括进行2次电子放射的至少一个微通道板。微通道板具有输入面和输出面，与输出面平行地配置有倍增极和栅格状的阳极。


技术实现要素：

4.在上述日本特开昭57-196466号公报的图4中，在绝缘基板上配置有多个独立的元件的多倍增极与栅格状的阳极一起与微通道板的输出面平行地配置。但是，在这样的结构中，构成多倍增极的绝缘基板的元件间区域(绝缘区域)的带电成为问题。认为在绝缘区域产生带电时，来自多倍增极的检测信号的取得变得不稳定。
5.本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供能够稳定地取得来自多倍增极的检测信号的荷电粒子检测器。
6.本发明的一个方面的荷电粒子检测器包括：微通道板，其具有输入荷电粒子的输入面、维持荷电粒子相对于输入面的位置信息并且进行基于荷电粒子的输入的电子倍增的倍增部和输出由倍增部倍增的电子的输出面；多倍增极，其具有将从输出面输出的电子倍增的多个倍增极和位于倍增极间的绝缘区域；和阳极，其具有配置在输出面与多倍增极之间的空间区域、收集由倍增极倍增的电子的收集部和使从输出面输出的电子穿过至多倍增极侧的开口部，在从来自输出面的电子的输出方向看时，绝缘区域的全体与收集部重叠。
7.在该荷电粒子检测器中，从由微通道板的输出面输出的电子的输出方向看，多倍增极的绝缘区域的全体与阳极的收集部重叠。因此，能够抑制来自输出面的电子向绝缘区域入射，能够防止在绝缘区域产生带电。由此，能够抑制电容耦合引起的倍增极间的串扰的产生。因此，在该荷电粒子检测器中，能够稳定地取得来自多倍增极的检测信号。
8.阳极也可以与输出面与多倍增极的中间位置相比配置得更靠近多倍增极侧。在这种情况下，能够利用阳极高效地收集在多倍增极的各倍增极倍增的电子。因此，能够提高实质上的电子倍增率，能够提高荷电粒子检测器的动态范围。
9.阳极也可以进一步具有架设于开口部的辅助收集部。在这种情况下，能够利用阳极更高效地收集在多倍增极的各倍增极倍增的电子。
10.辅助收集部的宽度也可以小于收集部的宽度。在这种情况下，能够维持电子从阳
极到多倍增极的穿透性，并同时利用阳极高效地收集在多倍增极的各倍增极倍增的电子。
11.倍增极也可以由绝缘基板和设置在绝缘基板上的电极层和倍增层构成，倍增层的宽度小于电极层的宽度。在这种情况下，能够通过倍增层远离绝缘基板来防止倍增极间的电容耦合。因此，能够更可靠地抑制倍增极间的串扰的产生。
12.在令从输出面输出的电子的扩散角为θ，令倍增极的高度为h，令绝缘区域的宽度为d，令阳极至倍增极的底面的距离为y时，收集部的宽度w也可以满足w＝2(y-h)tanθ+d。通过满足这样的条件，能够更可靠地抑制以扩散角θ从输出面输出的电子向绝缘区域入射。
13.荷电粒子检测器也可以具有对阳极和多倍增极进行定位的定位机构，定位机构包括微通道板侧的第一端部电极和多倍增极侧的第二端部电极，阳极和多倍增极以被第一端部电极和第二端部电极夹持的状态被螺栓固定。通过这样的定位机构，能够简便地定位阳极和多倍增极。其结果是，能够使多倍增极的绝缘区域与阳极的收集部的配置关系高精度地与设计一致。
附图说明
14.图1是表示本发明的一个实施方式的荷电粒子检测器的结构例的示意的截面图。图2表示多倍增极的一个例子的俯视图。图3是表示多倍增极中包含的倍增极的层结构的示意的截面图。图4是表示阳极的一个例子的俯视图。图5是表示多倍增极的绝缘区域与阳极的收集部的配置关系的示意的截面图。图6的(a)～(c)是表示多倍增极的变形例的俯视图。图7的(a)～(c)是表示阳极的变形例的俯视图。图8是表示具有辅助收集部的阳极的一个例子的俯视图。图9是表示具有辅助收集部的阳极的另一个例子的俯视图。图10是表示含阳极和多倍增极的定位机构的荷电粒子检测器的结构例的、示意的部分截面图。
具体实施方式
15.以下，参照附图，详细说明本发明的一个方面的荷电粒子检测器的优选实施方式。
16.图1是表示本发明的一个实施方式的荷电粒子检测器的结构例的示意的截面图。此处的荷电粒子中包含电子或离子等。图1所示的荷电粒子检测器1例如作为x射线光电子能谱分析法(xps:x-ray photoelectron spectroscopy)中使用的多倍增极型的电子检测器构成。
17.x射线光电子能谱分析法是测定由于射向试料的单色x射线的照射而发射的电子(光电子)的动能，获得关于在试料的极表面存在的元素的种类、存在量、化学结合状态等的认识的方法。光电子的飞行轨道在达到电子检测器的路径中，被电场偏转，按每规定能量输入电子检测器的不同位置。在这种情况下，由于电子检测的位置信息与光电子的能量相关联，所以要求电子检测器的高的位置检测性能。
18.如图1所示，荷电粒子检测器1包括微通道板2、多倍增极3和阳极4。在本实施方式中，微通道板2、多倍增极3和阳极4均为圆盘形。荷电粒子检测器1与未图示的外部电源和分
压电路(bleeder circuit)连接。通过分压电路，对微通道板2、多倍增极3和阳极4，以规定的电位梯度施加电压。所施加的电压在阳极4最高，然后依次为多倍增极3、微通道板2的输出面2b。
19.微通道板2具有输入电子(荷电粒子)的输入面2a，维持电子相对于输入面2a的位置信息并且进行基于电子的输入的电子倍增(二次电子倍增)的一对倍增部5a、5b，以及输出由倍增部5a、5b倍增的电子的输出面2b。倍增部5a、5b分别是具有相互独立的多个微通道构造的二次电子倍增部。在倍增部5a、5b二维排列有多个微通道构造。
20.倍增部5a、5b的各通道具有10μm左右的内径，相对于输入面2a的法线方向(电子的输入方向)倾斜10
°
左右。在倍增部5a与倍增部5b，各通道的倾斜方向逆转。在倍增部5a、5b，相对于输入面2a侧，输出面2b侧成为高电位。对应于电子在输入面2a的到达产生的电子由倍增部5a、5b倍增，该倍增的电子从输出面2b输出。
21.多倍增极3是将从微通道板2输出的电子倍增的电极。在多倍增极3的各通道(各倍增极12)，与电子倍增时倍增的电子的量相应地产生电流。通过将该电流值作为来自各通道的检测信号取出，能够取得电子检测的位置信息。
22.如图1所示，多倍增极3在微通道板2的输出面2b侧与输出面2b平行地配置。多倍增极3具有绝缘基板11和设置在绝缘基板11上的多个倍增极12。绝缘基板11例如由陶瓷基板，玻璃环氧基板等构成，具有电绝缘性。
23.倍增极12是将从输出面2b输出的电子倍增的部分。在本实施方式中，倍增极12如图2所示那样，以条纹状的分割图案配置在绝缘基板11上。倍增极12的分割图案例如能够通过蚀刻形成。各倍增极12在多倍增极3的俯视中沿一个方向以规定的宽度延伸。各倍增极12经由引线14(参照图1)与上述的分压电路和输出耦合电路连接。
24.相邻的倍增极12、12以规定的间隔隔开。相邻的倍增极12、12间的区域是不配置倍增极12的死空间，成为绝缘基板11露出而形成的绝缘区域13。在图2的例子中，倍增极12以条纹状的分割图案配置在绝缘基板11上。因此，绝缘区域13的配置图案成为条纹状的图案。
25.如图3所示，倍增极12由电极层15和倍增层16构成。电极层15例如是铜箔电极，叠层于绝缘基板11上。在电极层15的表面也可以实施金闪镀处理。倍增层16例如由mgo、mgf2、al2o3等二次电子发射材料构成，叠层于电极层15上。倍增的电子的发射引起的倍增层16的电子缺乏，通过来自作为基底的电极层15的电子供给中和。
26.电极层15的厚度t1大于倍增层16的厚度t2。电极层15的宽度f1和倍增层16的宽度f2均大幅大于倍增极12、12间的绝缘区域13的宽度d。在本实施方式中，倍增层16的宽度f2小于电极层15的宽度f1。由此，在从厚度方向看倍增极12时，电极层15的宽度方向的两个边缘部成为从倍增层16露出的状态。
27.阳极4是具有对由多倍增极3的各倍增极12放大后的电子进行收集，防止其返回多倍增极3侧的功能的电极。阳极4为所谓的网型阳极。如图4所示，阳极4具有收集由倍增极12倍增的电子的收集部21和使从输出面2b输出的电子穿过至倍增极12侧的开口部22。如图1所示，阳极4配置在输出面2b与多倍增极3之间的空间区域。在图1的例子中，阳极4在与输出面2b与多倍增极3的中间位置c相比成为多倍增极3侧的位置，与输出面2b和多倍增极3平行地配置。
28.收集部21以与多倍增极3的倍增极12的分割图案(即，绝缘区域13的配置图案)对
应的图案配置。在图4的例子中，收集部21的配置图案与倍增极12的条纹状的分割图案对应，为条纹状的图案。收集部21的宽度w为绝缘区域13的宽度d(参照图3)以上。
29.阳极4以使得收集部21的宽度方向的中心与绝缘区域13的宽度方向的中心一致的方式，配置在输出面2b与多倍增极3之间的空间区域。由此，在从来自输出面2b的电子e1的输出方向z(参照图1)看时，为绝缘区域13的全体与收集部21重叠的状态。通过绝缘区域13的全体与收集部21重叠，能够抑制来自输出面2b的电子e1向绝缘区域13入射。
30.在输出面2b与多倍增极3之间的空间区域未配置阳极4的情况下，可能产生从倍增极12的二次电子面(倍增层16的表面)发射的电子返回多倍增极3侧的情况。在这种情况下，返回多倍增极3侧后的电子再次向二次电子面入射而被吸收。被二次电子面吸收的电子不作为来自倍增极12的检测信号被取出，因此认为在倍增极12不发挥二次电子发射材料具有的本来的电子倍增能，荷电粒子检测器1的动态范围的提高变得困难。
31.与此相对，在荷电粒子检测器1中，在输出面2b与多倍增极3之间的空间区域配置有阳极4。通过阳极4的配置，如图1所示那样，从倍增极12的二次电子面发射的电子e2被收集部21收集，能够抑制其向多倍增极3侧的返回。因此，能够提高倍增极12的实质上的电子倍增率，能够提高荷电粒子检测器1的动态范围。
32.从阳极4输出的检测信号理论上等于来自多倍增极3的各倍增极12的检测信号的总和(不过，来自阳极4的检测信号的极性相对于来自各倍增极12的检测信号的极性逆转)。因此，从阳极4输出的检测信号能够用于各倍增极12的电子的计数错误(漏数)的检测。通过计数错误的检测，能够保证x射线光电子能谱分析法的测定精度。
33.收集部21的宽度w也可以通过电子e1的输出方向z的阳极4与多倍增极3之间的距离来调节。从微通道板2的输出面2b输出的电子e1以一定的扩散角向多倍增极3侧行进。因此，也可以阳极4的位置越接近微通道板2，令阳极4的收集部21的宽度w越小。
34.不过，当阳极4过度接近微通道板2时，存在来自输出面2b的电子e1直接被阳极4收集而不到达多倍增极3的问题。在本实施方式中，考虑到这一点，阳极4相比输出面2b与多倍增极3的中间位置c更靠近多倍增极3侧地配置。因此，优选收集部21的宽度w大于绝缘区域13的宽度d。
35.关于绝缘区域13与收集部21的配置关系，在荷电粒子检测器1中，如图5所示那样，在令从输出面2b输出的电子e1的扩散角为θ，令倍增极12的高度(电极层15的厚度t1与倍增层的厚度t2的合计)为h，令绝缘区域13的宽度为d，令阳极4(的底面)至倍增极12的底面的距离为y时，收集部21的宽度w满足w＝2(y-h)tanθ+d。
36.在图5中，当令收集部21从来自输出面2b的电子的输出方向z看时与倍增极12重叠的部分的宽度为ω时，该宽度ω成为ω＝(y-h)tanθ。收集部21的宽度w成为w＝2ω+d，因此能够导出上述式。通过满足这样的配置关系，针对从输出面2b输出的电子的扩散角θ，能够更可靠地抑制电子向绝缘区域13入射。
37.开口部22是使从输出面2b输出的电子穿过至多倍增极3侧的部分。如图4所示，开口部22的配置图案为与倍增极12的配置图案对应的条纹状的图案。基于开口部22的阳极4的开口率，例如根据倍增极12的宽度(此处为电极层15的宽度f1)适当地宜设定。阳极4的开口率例如以倍增极12的宽度越大就越大的方式设定。在倍增极12的宽度为1.0mm的情况下，阳极4的开口率例如设定为80％左右。在倍增极12的宽度为2.0mm的情况下，阳极4的开口率
例如设定为90％左右。
38.如以上说明的那样，在荷电粒子检测器1中，从由微通道板2的输出面2b输出的电子的输出方向z看，多倍增极3的绝缘区域13的全体与阳极4的收集部21重叠。因此，能够抑制来自输出面2b的电子向绝缘区域13入射，能够防止在绝缘区域13产生带电。由此，能够抑制电容耦合引起的倍增极12、12间的串扰的产生。此外，通过防止绝缘区域13的带电，不仅能够抑制倍增极12、12间的串扰的产生，而且还能够获得防止入射电子的轨道发生变化的效果和防止放电引起的伪信号的产生的效果。因此，在荷电粒子检测器1中，能够稳定地取得来自多倍增极3的检测信号。在将荷电粒子检测器1应用于x射线光电子能谱分析法中的电子检测器的情况下，能够作为电子检测器发挥高的位置检测性能。
39.在荷电粒子检测器1中，阳极4与输出面2b与多倍增极3的中间位置c相比更靠近多倍增极3侧而配置。由此，能够利用阳极4高效地收集由多倍增极3的各倍增极12倍增的电子。因此，能够提高实质上的电子倍增率，能够提高荷电粒子检测器1的动态范围。
40.在荷电粒子检测器1中，倍增极12由绝缘基板11以及设置在绝缘基板11上的电极层15和倍增层16构成。此外，倍增层16的宽度f2小于电极层15的宽度f1。根据这样的结构，能够通过倍增层16远离绝缘基板11，防止倍增极12、12间的电容耦合。因此，能够更加可靠地抑制倍增极12、12间的串扰的产生。
41.在荷电粒子检测器1中，在令从输出面2b输出的电子的扩散角为θ，令倍增极12的高度为h，令绝缘区域13的宽度为d，令阳极4至倍增极12的底面的距离为y时，收集部21的宽度w满足w＝2(y-h)tanθ+d。通过满足这样的条件，能够更可靠地抑制以扩散角θ从输出面2b输出的电子向绝缘区域13入射。
42.本发明并不限定于上述实施方式。例如在上述实施方式中，以使得收集部21的宽度方向的中心与绝缘区域13的宽度方向的中心一致的方式定位阳极4和多倍增极3，不过只要在从来自输出面2b的电子的输出方向看时，是绝缘区域13的全体与收集部21重叠的状态，收集部21的宽度方向的中心与绝缘区域13的宽度方向的中心就不一定要一致。
43.在上述实施方式中，多倍增极3中的各倍增极12的高度一定(参照图1)。不过也可以高度按每个倍增极12不同。例如在x射线光电子能谱分析法中，以使得电子检测器中的电子的检测位置按每规定能量变化的方式控制光电子的飞行轨道。二次电子发射材料的二次电子发射比与一次电子的能量相应地变化，因此在作为电子检测器的荷电粒子检测器1中，能够在微通道板2，产生与被输入至输入面2a的电子的能量相应的增益的面内分布。
44.另一方面，在像在微通道板2的输出面2b至多倍增极3之间飞行的电子那样，向二次电子发射材料入射的一次电子的能量相同的情况下，已知对增益有贡献的二次电子发射材料的特性是材料固有的，因此对应于二次电子发射材料的厚度，表观二次电子发射比变化。因此，通过使高度(厚度)按每个倍增极12不同，能够在多倍增极3侧修正微通道板2的增益的面内分布。
45.在上述实施方式中，倍增极12以条纹状的分割图案配置在绝缘基板11上，倍增极12的分割图案能够运用各种各样的变形。倍增极12的分割图案例如也可以如图6的(a)所示那样，为以多倍增极3的外部为原点的圆弧形的图案。在x射线光电子能谱分析法中，光电子到达作为电子检测器的荷电粒子检测器1时的能量分布成为图6的(a)那样的以外部为原点的圆弧形的分布。因此，能够通过使倍增极12的分割图案与光电子的能量分布一致，高精度
地取得电子检测的位置信息。
46.倍增极12的分割图案既可以为图6的(b)所示那样，以多倍增极3的中心为原点的同心圆状的图案，也可以为图6的(c)所示那样，绕多倍增极3的中心分割(此处分割为4份)的扇形的图案。
47.阳极4的收集部21的配置图案也能够随图6的(a)～图6的(c)的变形而变形。相对于图6的(a)所示的倍增极12的分割图案，收集部21的配置图案能够与图6的(a)的绝缘区域13对应，如图7的(a)所示那样，采取以多倍增极3的外部为原点的圆弧形的图案。相对于图6的(b)所示的倍增极12的分割图案，收集部21的配置图案能够与图6的(b)的绝缘区域13对应，如图7的(b)所示那样，采取以多倍增极3的中心为原点的同心圆状的图案。相对于图6的(c)所示的倍增极12的分割图案，收集部21的配置图案能够与图6的(c)的绝缘区域13对应，如图7的(c)所示那样，采取通过多倍增极3的中心的十字形的图案。
48.阳极4也可以进一步具有架设于开口部22的辅助收集部25。辅助收集部25例如能够通过蚀刻与收集部21一体地形成。图8表示在具有图4所示的条纹状的图案的收集部21应用辅助收集部25的阳极4的一个例子。在图8的例子中，在与呈条纹状配置的收集部21正交的方向上等间隔地配置有辅助收集部25。在阳极4设置辅助收集部25的情况下，能够利用阳极4更高效地收集由多倍增极3的各倍增极12倍增的电子。
49.在阳极4设置辅助收集部25的情况下，辅助收集部25的宽度wa也可以小于收集部21的宽度w。由此，能够维持从阳极4到多倍增极3的电子的穿透性，并同时利用阳极4高效地收集由多倍增极3的各倍增极12倍增的电子。
50.辅助收集部25的形状(平面形状)并不限定于直线状或曲线状，例如也可以采用图9所示那样的蜂窝形状。图9表示在具有图7的(c)所示的十字状的图案的收集部21应用蜂窝形状的辅助收集部25的阳极4的一个例子。利用这样的形状，也能够与图8的情况一样地，维持电子从阳极4到多倍增极3的穿透性，并同时利用阳极4高效地收集由多倍增极3的各倍增极12倍增的电子。此外，通过令辅助收集部25为蜂窝形状，即使在使辅助收集部25的宽度wa比收集部21的宽度w窄的情况下，也能够充分确保辅助收集部25的强度。
51.荷电粒子检测器1也可以具有对阳极4与多倍增极3进行定位的定位机构31。图10是表示含阳极和多倍增极的定位机构的荷电粒子检测器的结构例的示意的部分截面图。如图10所示，定位机构31包括微通道板2侧的第一端部电极32a和多倍增极3侧的第二端部电极32b。而且，阳极4和多倍增极3以被第一端部电极32a和第二端部电极32b夹持的状态被螺栓固定。
52.更具体而言，在图10的例子中，在组装微通道板2、多倍增极3和阳极4时，使用微通道板的里(in)侧电极33和外(out)侧电极34、多个绝缘间隔件35、以及基板电极40。里侧电极33和外侧电极34以构成环形，夹持微通道板2的方式配置。
53.绝缘间隔件35构成环形，在外侧电极34与阳极4之间，阳极4与多倍增极3之间和多倍增极3与基板电极40之间分别配置。基板电极40构成圆盘形，配置在多倍增极3与基板电极40之间的绝缘间隔件35的外侧。里侧电极33相当于第一端部电极32a，基板电极40相当于第二端部电极32b。
54.在里侧电极33、外侧电极34、绝缘间隔件35、多倍增极3、阳极4各自的边缘部，设置有能够插通固定螺栓s1的插通孔36和能够插通定位螺栓s2的插通孔37。在基板电极40的边
缘部，设置有固定螺栓s1进行螺合的螺栓孔38和定位螺栓s2进行螺合的螺栓孔39。在进行这些部件的组装的情况下，首先，在基板电极40的螺栓孔39螺合定位螺栓s2。通过将定位螺栓s2作为支柱，将定位螺栓s2穿透插通孔37，将里侧电极33、外侧电极34、阳极4、多倍增极3重叠在基板电极40上。
55.多倍增极3和阳极4的插通孔37(插通孔37a)的孔径小于里侧电极33和外侧电极34的插通孔37(插通孔37b)的孔径。因此，相对于里侧电极33和外侧电极34通过定位螺栓s2定位，阳极4和多倍增极3是通过定位螺栓s2高精度地定位。
56.接着，在里侧电极33与外侧电极34之间配置微通道板2。此外，在外侧电极34与阳极4之间、阳极4与多倍增极3之间和多倍增极3与基板电极40之间分别配置绝缘间隔件35。之后，从里侧电极33侧向各部件的插通孔36分别插通固定螺栓s1，将固定螺栓s1的前端与基板电极40的螺栓孔38螺合。由此，以高精度地定位了多倍增极3和阳极4的状态完成各部件的组装。组装之后，也可以取下定位螺栓s2。
57.根据以上那样的定位机构31，能够简便地定位阳极4与多倍增极3。其结果是，能够将多倍增极3的绝缘区域13与阳极4的收集部21的配置关系高精度地与设计一致。
58.在上述实施方式中，作为荷电粒子检测器1例示了电子检测器，而本发明的荷电粒子检测器例如也能够应用于离子检测器等其它用途。在将荷电粒子检测器用作离子检测器的情况下，输入检测器的是离子(荷电粒子)。所输入的离子在微通道板转换为二次电子，作为结果输出的是电子。

技术特征：
1.一种荷电粒子检测器，其特征在于，包括：微通道板，其具有输入荷电粒子的输入面、维持所述荷电粒子相对于所述输入面的位置信息并且进行基于所述荷电粒子的输入的电子倍增的倍增部和输出由所述倍增部倍增的电子的输出面；多倍增极，其具有将从所述输出面输出的所述电子倍增的多个倍增极和位于所述倍增极间的绝缘区域；和阳极，其具有配置在所述输出面与所述多倍增极之间的空间区域、收集由所述倍增极倍增的电子的收集部和使从所述输出面输出的电子穿过至所述多倍增极侧的开口部，在从来自所述输出面的所述电子的输出方向看时，所述绝缘区域的全体与所述收集部重叠。2.如权利要求1所述的荷电粒子检测器，其特征在于：所述阳极所述输出面与所述多倍增极的中间位置相比配置得更靠近所述多倍增极侧。3.如权利要求1或2所述的荷电粒子检测器，其特征在于：所述阳极还包括架设于所述开口部的辅助收集部。4.如权利要求3所述的荷电粒子检测器，其特征在于：所述辅助收集部的宽度小于所述收集部的宽度。5.如权利要求1～4中的任一项所述的荷电粒子检测器，其特征在于：所述倍增极由绝缘基板、设置在所述绝缘基板上的电极层和倍增层构成，所述倍增层的宽度小于所述电极层的宽度。6.如权利要求1～5中的任一项所述的荷电粒子检测器，其特征在于：在令从所述输出面输出的电子的扩散角为θ，令所述倍增极的高度为h，令所述绝缘区域的宽度为d，令所述阳极至所述倍增极的底面的距离为y时，所述收集部的宽度w满足w＝2(y-h)tanθ+d。7.如权利要求1～6中的任一项所述的荷电粒子检测器，其特征在于：具有对所述阳极与所述多倍增极进行定位的定位机构，所述定位机构包含所述微通道板侧的第一端部电极和所述多倍增极侧的第二端部电极，所述阳极和所述多倍增极以被所述第一端部电极和所述第二端部电极夹持的状态被螺栓固定。

技术总结
本发明提供荷电粒子检测器，荷电粒子检测器(1)包括：微通道板(2)，其具有输入电子(荷电粒子)的输入面(2a)、维持电子的位置信息并且进行电子倍增的倍增部(5A、5B)和输出倍增部(5A、5B)的倍增电子的输出面(2b)；多倍增极(3)，其具有将从输出面(2b)输出的电子倍增的多个倍增极(12)和位于倍增极(12、12)间的绝缘区域(13)；和阳极(4)，其具有配置在输出面(2b)与多倍增极(3)之间的空间区域、收集倍增极(12)的倍增电子的收集部(21)和使从输出面(2b)输出的电子穿过至倍增极(12)侧的开口部(22)，在从来自输出面(2b)的电子的输出方向看时，绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。


技术研发人员：林雅宏
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2023.01.19
技术公布日：2023/8/1