一种全自动晶圆包装系统的制作方法

1.本发明涉及生产包装设备技术领域，尤其涉及一种全自动晶圆包装系统。


背景技术：

2.目前，晶圆片包装都是采用自动化设备来进行的。晶圆片包装工艺为：将加工好的晶圆片放入晶圆盒中；完成后盖上晶圆盒；在晶圆盒表面贴上标签；将贴标完成后的晶圆盒套入铝箔袋中；再将干燥剂包推入铝箔袋中；然后将铝箔袋抽真空；铝箔袋抽真空完成后封口；在铝箔袋表面再贴上标签；最后用纸质包装盒将抽真空后的铝箔袋打包，铝箔袋中套入晶圆盒后，带内空间较小，干燥剂包在推入铝箔袋前需要进行整形，以便于进入。
3.现有的晶圆包装系统所采用的干燥剂包整形装置是在承载盘底部中间设置凹槽(如图1所示)，顶部夹紧装置(如图2所示)在气缸的推动下下移，夹紧装置中间的顶板将干燥剂包中间向下顶入承载盘底部中间的凹槽，类似于冲压成型，此时干燥剂包两侧的侧边向中间翘起，同时夹紧装置两侧的卡钳向下伸入到干燥剂包翘起部分的一侧，卡钳在另一气缸的驱动下向中间的干燥剂包翘起部分进行多次反复地夹紧和松开，让整形后的干燥剂包不易散开，整形完成后卡钳夹紧干燥剂包在气缸的推动下向上升起，移走承载盘，夹紧装置一侧的推动气缸推动送料座到干燥剂包底部，夹紧装置下移，松开卡钳，再退回到顶部，此时干燥剂包放置在送料座上，然后推动气缸推动送料座靠近铝箔袋封口处，位于送料座一侧的推料板将干燥剂包推入铝箔袋中，这一过程中，夹紧装置两侧的卡钳只夹紧干燥剂包翘起部分的两侧，而干燥剂包翘起部分的中间并没有被夹紧，在推料板将干燥剂包推入铝箔袋的过程中，干燥剂包单侧受到挤压力，使干燥剂包翘起部分的中间向外膨出，造成干燥剂包散开，干燥剂包散开后，干燥剂包一部分突出到抽真空封口处，造成封口不到位，空气进入铝箔袋，影响内部晶圆片的存储，而且，干燥剂包中间部分与翘起部分之间的折弯处(如图3所示)的干燥剂颗粒被挤压在一起，从而具有一定的向外的回弹力，在撤去外部对干燥剂包翘起部分的作用力后，在推料板将干燥剂包推入铝箔袋的过程中，干燥剂包单侧受到挤压力，折弯处的回弹力使干燥剂包翘起部分往外翻，使干燥剂包翘起部分往外倾倒，从而使得干燥剂包散开，干燥剂包散开后，干燥剂包一部分突出到抽真空封口处，造成封口不到位，空气进入铝箔袋，影响内部晶圆片的存储。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明目的在于提供一种全自动晶圆包装系统，解决了现有技术中存在的问题，该装置解决了整形后干燥剂包在未进入铝箔袋就散开和干燥剂包回弹进入铝箔袋封口处的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种全自动晶圆包装系统，包括晶圆装盒装置，晶圆装盒装置一端固定连接有晶圆盒加盖装置，晶圆盒加盖装置另一侧固定连
接有晶圆盒贴标装置，晶圆盒贴标装置另一侧固定连接有铝箔袋上料装置，铝箔袋上料装置另一侧固定连接有铝箔袋开袋定型装置，铝箔袋开袋定型装置另一侧固定连接有干燥剂整形推送装置，干燥剂整形推送装置一侧固定连接有抽真空封口装置，干燥剂整形推送装置另一侧固定连接有装箱打包装置，干燥剂整形推送装置包括装置底座，装置底座顶面一侧固定连接有横移轨道，横移轨道顶面滑动连接有横移块，横移块顶面固定连接有长连接块，长连接块远离横移块的一端固定连接有短连接块，短连接块顶面固定连接有整形平台，整形平台顶部设有升降架，升降架两侧固定连接有升降气缸，升降架底面固定连接有夹持气缸，夹持气缸底面两侧固定连接有气缸连接板，气缸连接板底面固定连接有夹板连接板，夹板连接板底面固定连接有夹板。
8.优选地，夹板之间设有定位板，定位板前后两端通过定位板连接块固定连接在升降架两侧面，整形平台远离横移轨道的一侧设有推料机构。
9.优选地，整形平台中间固定连接有中间板，中间板两侧对称设置有侧面翻板，中间板底部设有升降拉板，升降拉板底面固定连接有拉板升降气缸，侧面翻板与升降拉板通过翻转轴铰接在一起，侧面翻板底面设有齿条，齿条靠近翻转轴的一端啮合有带轴承齿轮，带轴承齿轮中间固定连接有齿轮轴，齿轮轴两端固定连接在整形平台两侧壁，侧面翻板远离翻转轴的一端固定连接有弹性件，弹性件另一端固定连接有固定座，固定座固定连接在整形平台侧壁。
10.优选地，侧面翻板固定连接有弹性件的一端底部设有支撑块，支撑块顶面与侧面翻板底面处于同一水平面。
11.优选地，升降拉板中间为升降拉板主体，升降拉板主体四个角上为翻转臂，分别位于升降拉板主体两端的翻转臂之间具有空隙。
12.优选地，中间板与侧面翻板之间设有顶出块，顶出块穿过升降拉板的底部固定连接有顶出气缸。
13.优选地，定位板形状为菜刀形状，其刀柄处开设有后调整孔，刀刃处开设有前调整孔，底部固定连接有挤压填充部，挤压填充部为弹性易形变的材料制成。
14.优选地，夹板靠近定位板的一侧底部设有夹板斜面。
15.优选地，夹板靠近定位板的一侧设有若干竖直长槽,竖直长槽的排列方式为沿着远离横移轨道的方向由疏到密排列。
16.优选地，推料机构包括送料座，送料座顶面固定连接有放置平板，放置平板中间设有吸附盘，吸附盘一侧设有推料导向侧板，送料座上侧设有推料块，推料块靠近顶部的一侧固定连接有推料杆，推料杆另一端固定连接有推料气缸，推料气缸顶部固定连接有测距导向座，测距导向座中间滑动连接有移动导向杆，移动导向杆一端与推料块固定连接，测距导向座底面固定连接有推料长连接块，推料长连接块远离推料块的一端底面固定连接有推料移动块，推料移动块底面滑动连接有推料移动导轨。
17.(三)有益效果
18.与现有技术相比，本发明具有以下几点有益效果：
19.1.本发明提供一种全自动晶圆包装系统，该装置中顶出气缸向上顶出，带动顶出块向上顶出，将干燥剂包固定部左右两边顶空，使干燥剂包内部干燥剂向顶出块两边分开，然后顶出气缸向下退回，带动顶出块向下退回，此时干燥剂包固定部左右两边形成没有干
燥剂的条状空隙，然后拉板升降气缸拉动升降拉板向下移动，带动侧面翻板以翻转轴为轴翻转，这样干燥剂包两侧翻转时所成型的翻转部不会进入过多干燥剂，那么翻转部处不会产生回弹力，干燥剂包翻转起来的部分不易向外倾倒。
20.2.本发明提供一种全自动晶圆包装系统，该装置通过在夹板靠近定位板的一侧底部设置夹板斜面，夹持气缸回缩带动两侧的夹板向中间定位板方向夹紧，夹板底部的夹板斜面能够使干燥剂包被夹板挤压时形成倾斜部，在倾斜部和挤压竖直部之间形成挤压弯曲部，挤压弯曲部的角度为钝角，挤压弯曲部内部干燥剂被挤压压缩，内部形成回弹力，在失去定位板支撑的情况下使挤压竖直部受回弹力的作用下向中间倾倒，形成类似于三角形的形状，使干燥剂包不易散开，增加干燥剂包的稳定性。
21.3.本发明提供一种全自动晶圆包装系统，该装置中夹板靠近定位板的一侧设有若干竖直长槽，竖直长槽的排列方式为沿着远离横移轨道的方向由疏到密排列，夹板侧面挤压干燥剂包挤压竖直部时，干燥剂包挤压竖直部的一部分进入竖直长槽中，形成竖直条状凸起的侧面凸条，侧面凸条能够起到加强干燥剂包挤压竖直部的结构的作用；形成的侧面凸条的排列方式也为沿着远离横移轨道的方向由疏到密排列，在推料机构将整形好的干燥剂包推向包装袋时，侧面凸条排列较为稀疏的一侧先进入包装袋，当其顶到内部晶圆盒时，由于干燥剂包的侧面凸条排列密集处的强度大于侧面凸条排列稀疏处，导致干燥剂包先进入包装袋的一端先散开，那么先散开去会充斥在包装袋内部空间，减少干燥剂包堆积挤压后产生的向外的回弹力，使干燥剂包后进入包装袋的部分后散开，使干燥剂包在未进入包装袋前不散开，能够使干燥剂包充分利用到包装袋内部空间，使干燥剂包不容易被内部挤压产生的回弹力顶出到包装袋封口处，防止空气进入铝箔袋，影响内部晶圆片的存储。
22.4.本发明提供一种全自动晶圆包装系统，该装置中定位板底部固定连接有挤压填充部，挤压填充部为弹性易形变的材料制成，挤压填充部能够在定位板向下挤压的过程中被挤压变形，从而充斥在整形后干燥剂包中间所形成的成型空间中，在定位板向上撤去时，整形后干燥剂包倾斜部、挤压弯曲部和挤压竖直部都倒向中间，形成类似于三角形的形状，使干燥剂包不易散开，增加干燥剂包的稳定性。
附图说明
23.图1为本发明背景技术中承载盘的结构示意图。
24.图2为本发明背景技术中顶部夹紧装置的结构示意图。
25.图3为本发明背景技术中干燥剂包的结构示意图。
26.图4为本发明整体的结构示意图。
27.图5为本发明干燥剂整形推送装置的结构示意图。
28.图6为本发明整形平台截面的结构示意图。
29.图7为本发明整形平台俯视图的结构示意图。
30.图8为本发明升降拉板的结构示意图。
31.图9为本发明定位板的结构示意图。
32.图10为本发明图5中a处局部放大图的结构示意图。
33.图11为本发明干燥剂包中间有定位板时的结构示意图。
34.图12为本发明干燥剂包中间无定位板时的结构示意图。
35.图13为本发明推料机构的结构示意图。
36.图中：1-承载盘、2-凹槽、3-顶部夹紧装置、4-顶板、5-卡钳、6-中间部分、7-翘起部分、8-折弯处、9-装置底座、10-横移轨道、11-横移块、12-长连接块、13-短连接块、14-整形平台、15-升降架、16-升降气缸、17-夹持气缸、18-气缸连接板、19-夹板连接板、20-夹板、21-定位板、22-定位板连接块、23-中间板、24-侧面翻板、25-升降拉板、26-翻转轴、27-齿轮轴、28-带轴承齿轮、29-齿条、30-弹性件、31-固定座、32-支撑块、33-拉板升降气缸、34-顶出块、35-顶出气缸、36-升降拉板主体、37-翻转臂、38-挤压填充部、39-前调整孔、40-后调整孔、41-夹板斜面、42-竖直长槽、43-固定部、44-翻转部、45-倾斜部、46-挤压弯曲部、47-挤压竖直部、48-成型空间、49-侧面凸条、50-推料机构、51-送料座、52-放置平板、53-吸附盘、54-推料块、55-推料杆、56-推料气缸、57-测距导向座、58-移动导向杆、59-推料导向侧板、60-推料长连接块、61-推料移动块、62-推料移动导轨、63-晶圆装盒装置、64-晶圆盒加盖装置、65-晶圆盒贴标装置、66-铝箔袋上料装置、67-铝箔袋开袋定型装置、68-干燥剂整形推送装置、69-抽真空封口装置、70-装箱打包装置。
具体实施方式
37.下面将结合本发明实施例中的附图4-13对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
38.本发明提供一种技术方案：一种全自动晶圆包装系统，包括晶圆装盒装置63，晶圆装盒装置63一端固定连接有晶圆盒加盖装置64，晶圆盒加盖装置64另一侧固定连接有晶圆盒贴标装置65，晶圆盒贴标装置65另一侧固定连接有铝箔袋上料装置66，铝箔袋上料装置66另一侧固定连接有铝箔袋开袋定型装置67，铝箔袋开袋定型装置67另一侧固定连接有干燥剂整形推送装置68，干燥剂整形推送装置68一侧固定连接有抽真空封口装置69，干燥剂整形推送装置68另一侧固定连接有装箱打包装置70，干燥剂整形推送装置68包括装置底座9，装置底座9顶面一侧固定连接有横移轨道10，横移轨道10顶面滑动连接有横移块11，横移块11顶面固定连接有长连接块12，长连接块12远离横移块11的一端固定连接有短连接块13，短连接块13顶面固定连接有整形平台14，使用时，横移块11在横移轨道10上横向移动，带动长连接块12横向移动，带动短连接块13横向移动，带动整形平台14横向移动；整形平台14顶部设有升降架15，升降架15两侧固定连接有升降气缸16，升降架15底面固定连接有夹持气缸17，夹持气缸17底面两侧固定连接有气缸连接板18，气缸连接板18底面固定连接有夹板连接板19，夹板连接板19底面固定连接有夹板20，夹板20之间设有定位板21，定位板21前后两端通过定位板连接块22固定连接在升降架15两侧面，使用时，升降气缸16上下伸缩，带动升降架15上下移动，带动夹持气缸17上下移动，带动夹板20和定位板21上下移动，夹持气缸17伸缩带动夹板20向中间定位板21方向夹紧和松开；整形平台14远离横移轨道10的一侧设有推料机构50，推料机构50将整形完成的干燥剂包推入包装袋中。
39.整形平台14中间固定连接有中间板23，中间板23两侧对称设置有侧面翻板24，中间板23底部设有升降拉板25，升降拉板25底面固定连接有拉板升降气缸33，侧面翻板24与升降拉板25通过翻转轴26铰接在一起，侧面翻板24底面设有齿条29，齿条29靠近翻转轴26
的一端啮合有带轴承齿轮28，带轴承齿轮28中间固定连接有齿轮轴27，齿轮轴27两端固定连接在整形平台14两侧壁，侧面翻板24远离翻转轴26的一端固定连接有弹性件30，弹性件30为弹簧或弹性橡胶绳，弹性件30另一端固定连接有固定座31，固定座31固定连接在整形平台14侧壁，侧面翻板24固定连接有弹性件30的一端底部设有支撑块32，支撑块32顶面与侧面翻板24底面处于同一水平面，升降拉板25中间为升降拉板主体36，升降拉板主体36四个角上为翻转臂37，分别位于升降拉板主体36两端的翻转臂37之间具有空隙，中间板23与侧面翻板24之间设有顶出块34，顶出块34穿过升降拉板25的底部固定连接有顶出气缸35，使用时，顶出气缸35向上顶出，带动顶出块34向上顶出，将干燥剂包固定部43左右两边顶空，使干燥剂包内部干燥剂向顶出块34两边分开，然后顶出气缸35向下退回，带动顶出块34向下退回，此时干燥剂包固定部43左右两边形成没有干燥剂的条状空隙，然后拉板升降气缸33拉动升降拉板25向下移动，带动侧面翻板24以翻转轴26为轴翻转，侧面翻板24在翻转时，其底部齿条29带动带轴承齿轮28转动，到整个侧面翻板24被下拉至低于或等于中间板23的顶面高度，完成干燥剂包整形过程中的侧面翻转；侧面翻板24一端的弹性件30能够在侧面翻板24翻转远离固定座31时产生一个弹性拉力，使侧面翻板24底部齿条29与带轴承齿轮28始终保持啮合状态，而不会倒向中间板23一侧。
40.定位板21形状为菜刀形状，底部固定连接有挤压填充部38，挤压填充部38为弹性易形变的材料制成，挤压填充部38能够在定位板21向下挤压的过程中被挤压变形，从而充斥在如图10中所示的整形后干燥剂包中间所形成的成型空间48中，在定位板21向上撤去时，整形后干燥剂包倾斜部45、挤压弯曲部46和挤压竖直部47都倒向中间，如图11中所示，这样能够保证干燥剂包的稳定性。
41.夹板20靠近定位板21的一侧底部设有夹板斜面41，夹板20靠近定位板21的一侧设有若干竖直长槽42，竖直长槽42的排列方式为沿着远离横移轨道10的方向由疏到密排列，夹板斜面41能够使干燥剂包被夹板20挤压时形成倾斜部45，在倾斜部45和挤压竖直部47之间形成挤压弯曲部46，挤压弯曲部46的角度为钝角，挤压弯曲部46内部干燥剂被挤压压缩，内部形成回弹力，在失去定位板21支撑的情况下使挤压竖直部47受回弹力的作用下向中间倾倒，形成类似于三角形的形状，增加干燥剂包的稳定性；夹板20侧面挤压干燥剂包挤压竖直部47时，干燥剂包挤压竖直部47的一部分进入竖直长槽42中，形成竖直条状凸起的侧面凸条49，侧面凸条49能够起到加强干燥剂包挤压竖直部47的结构的作用；形成的侧面凸条49的排列方式也为沿着远离横移轨道10的方向由疏到密排列，在推料机构50将整形好的干燥剂包推向包装袋时，侧面凸条49排列较为稀疏的一侧先进入包装袋，当其顶到内部晶圆盒时，由于干燥剂包的侧面凸条49排列密集处的强度大于侧面凸条49排列稀疏处，导致干燥剂包先进入包装袋的一端先散开，那么先散开去会充斥在包装袋内部空间，减少干燥剂包堆积挤压后产生的向外的回弹力，使干燥剂包后进入包装袋的部分后散开，使干燥剂包在未进入包装袋前不散开，能够使干燥剂包充分利用到包装袋内部空间，使干燥剂包不容易被内部挤压产生的回弹力顶出到包装袋封口处。
42.推料机构50包括送料座51，送料座51顶面固定连接有放置平板52，放置平板52中间设有吸附盘53，吸附盘53一侧设有推料导向侧板59，送料座51上侧设有推料块54，推料块54靠近顶部的一侧固定连接有推料杆55，推料杆55另一端固定连接有推料气缸56，推料气缸56顶部固定连接有测距导向座57，测距导向座57中间滑动连接有移动导向杆58，移动导
向杆58一端与推料块54固定连接，测距导向座57底面固定连接有推料长连接块60，推料长连接块60远离推料块54的一端底面固定连接有推料移动块61，推料移动块61底面滑动连接有推料移动导轨62，使用时，推料移动块61在推料移动导轨62上移动，带动推料长连接块60移动，带动测距导向座57移动，带动送料座51移动，带动放置平板52移动，带动整形后的干燥剂包移动，当送料座51靠近包装袋袋口时，推料气缸56推动推料杆55移动，带动推料块54移动，将干燥剂包从放置平板52向包装袋推进。
43.工作原理：(晶圆装盒装置63、晶圆盒加盖装置64、晶圆盒贴标装置65、铝箔袋上料装置66、铝箔袋开袋定型装置67抽真空封口装置69以及装箱打包装置70这些都是采用常规结构的现有技术)工作时，晶圆装盒装置63将晶圆片放入晶圆盒中，然后晶圆盒进入晶圆盒加盖装置64，给晶圆盒盖上盖子，然后晶圆盒进入晶圆盒贴标装置65，在晶圆盒上贴上标签，同时，铝箔袋上料装置66将单个铝箔袋上料至铝箔袋开袋定型装置67，铝箔袋开袋定型装置67将铝箔袋拉开后固定袋口张开形状，然后晶圆盒贴标装置65将晶圆盒送入铝箔袋内，然后铝箔袋开袋定型装置67将装有晶圆盒的铝箔袋送入抽真空封口装置69中，此时，抽真空封口装置69一侧的干燥剂整形推送装置68先动作，将干燥剂包整形后推送进入铝箔袋中，然后抽真空封口装置69对铝箔袋进行抽真空后封口，最后，抽真空封口装置69将封口后的铝箔袋送入装箱打包装置70中用纸箱打包，完成整个晶圆自动化包装过程；
44.其中，干燥剂包整形时，横移块11在横移轨道10上横向移动，带动长连接块12横向移动，带动短连接块13横向移动，带动整形平台14横向移动，整形平台14上面平铺放置的干燥剂包移动到定位板21的下方，此时，顶出气缸35向上顶出，带动顶出块34向上顶出，将干燥剂包固定部43左右两边顶空，使干燥剂包内部干燥剂向顶出块34两边分开，然后顶出气缸35向下退回，带动顶出块34向下退回，此时干燥剂包固定部43左右两边形成没有干燥剂的条状空隙，然后拉板升降气缸33拉动升降拉板25向下移动，带动侧面翻板24以翻转轴26为轴翻转；
45.同时，升降气缸16向下回缩，带动升降架15向下移动，带动夹持气缸17向下移动，带动夹板20和定位板21向下移动，定位板21伸入到挤压竖直部47之间，夹板20伸入到挤压竖直部47外侧，并且夹板20向下移动的速度与侧面翻板24翻转后被向下拉入的速度相同，保证两者不干涉；
46.当定位板21底部的挤压填充部38碰到干燥剂包固定部43后继续下移时，挤压填充部38在定位板21向下挤压的过程中被挤压变形，从而充斥在如图10中所示的整形后干燥剂包中间所形成的成型空间48中；
47.然后，夹持气缸17回缩带动两侧的夹板20向中间定位板21方向夹紧，夹板20底部的夹板斜面41能够使干燥剂包被夹板20挤压时形成倾斜部45，在倾斜部45和挤压竖直部47之间形成挤压弯曲部46，挤压弯曲部46的角度为钝角，挤压弯曲部46内部干燥剂被挤压压缩，内部形成回弹力，夹板20侧面挤压干燥剂包挤压竖直部47时，干燥剂包挤压竖直部47的一部分进入竖直长槽42中，形成竖直条状凸起的侧面凸条49，侧面凸条49能够起到加强干燥剂包挤压竖直部47的结构的作用；
48.接着，夹板20和定位板21将干燥剂包整形完夹紧后，升降气缸16向上伸出，带动升降架15向上移动，带动夹持气缸17向上移动，带动夹板20和定位板21夹着干燥剂包向上移动；
49.然后，推料移动块61在推料移动导轨62上移动，带动推料长连接块60移动，带动测距导向座57移动，带动送料座51移动，带动放置平板52移动到干燥剂包底部，升降气缸16向下回缩，将干燥剂包放置于放置平板52上，吸附盘53将干燥剂包底部吸附，推料移动块61继续带动带动整形后的干燥剂包移动，当送料座51靠近包装袋袋口时，推料气缸56推动推料杆55移动，带动推料块54移动，将干燥剂包从放置平板52向包装袋推进，完成干燥剂包的整形和推送工作。
50.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种全自动晶圆包装系统，包括晶圆装盒装置(63)，所述晶圆装盒装置(63)一端固定连接有晶圆盒加盖装置(64)，所述晶圆盒加盖装置(64)另一侧固定连接有晶圆盒贴标装置(65)，所述晶圆盒贴标装置(65)另一侧固定连接有铝箔袋上料装置(66)，所述铝箔袋上料装置(66)另一侧固定连接有铝箔袋开袋定型装置(67)，所述铝箔袋开袋定型装置(67)另一侧固定连接有干燥剂整形推送装置(68)，所述干燥剂整形推送装置(68)一侧固定连接有抽真空封口装置(69)，所述干燥剂整形推送装置(68)另一侧固定连接有装箱打包装置(70)，其特征在于：所述干燥剂整形推送装置(68)包括装置底座(9)，所述装置底座(9)顶面一侧固定连接有横移轨道(10)，所述横移轨道(10)顶面滑动连接有横移块(11)，所述横移块(11)顶面固定连接有长连接块(12)，所述长连接块(12)远离横移块(11)的一端固定连接有短连接块(13)，所述短连接块(13)顶面固定连接有整形平台(14)，所述整形平台(14)顶部设有升降架(15)，所述升降架(15)两侧固定连接有升降气缸(16)，所述升降架(15)底面固定连接有夹持气缸(17)，所述夹持气缸(17)底面两侧固定连接有气缸连接板(18)，所述气缸连接板(18)底面固定连接有夹板连接板(19)，所述夹板连接板(19)底面固定连接有夹板(20)。2.根据权利要求1所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述夹板(20)之间设有定位板(21)，所述定位板(21)前后两端通过定位板连接块(22)固定连接在升降架(15)两侧面，所述整形平台(14)远离横移轨道(10)的一侧设有推料机构(50)。3.根据权利要求2所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述整形平台(14)中间固定连接有中间板(23)，所述中间板(23)两侧对称设置有侧面翻板(24)，所述中间板(23)底部设有升降拉板(25)，所述升降拉板(25)底面固定连接有拉板升降气缸(33)，所述侧面翻板(24)与升降拉板(25)通过翻转轴(26)铰接在一起，所述侧面翻板(24)底面设有齿条(29)，所述齿条(29)靠近翻转轴(26)的一端啮合有带轴承齿轮(28)，所述带轴承齿轮(28)中间固定连接有齿轮轴(27)，所述齿轮轴(27)两端固定连接在整形平台(14)两侧壁，所述侧面翻板(24)远离翻转轴(26)的一端固定连接有弹性件(30)，所述弹性件(30)另一端固定连接有固定座(31)，所述固定座(31)固定连接在整形平台(14)侧壁。4.根据权利要求3所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述侧面翻板(24)固定连接有弹性件(30)的一端底部设有支撑块(32)，所述支撑块(32)顶面与侧面翻板(24)底面处于同一水平面。5.根据权利要求4所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述升降拉板(25)中间为升降拉板主体(36)，所述升降拉板主体(36)四个角上为翻转臂(37)，分别位于所述升降拉板主体(36)两端的翻转臂(37)之间具有空隙。6.根据权利要求3所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述中间板(23)与侧面翻板(24)之间设有顶出块(34)，所述顶出块(34)穿过升降拉板(25)的底部固定连接有顶出气缸(35)。7.根据权利要求2所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述定位板(21)形状为菜刀形状，底部固定连接有挤压填充部(38)，所述挤压填充部(38)为弹性易形变的材料制成。8.根据权利要求7所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述夹板(20)靠近定位板(21)的一侧底部设有夹板斜面(41)。9.根据权利要求8所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述夹板(20)靠近定位板
(21)的一侧设有若干竖直长槽(42)，所述竖直长槽(42)的排列方式为沿着远离横移轨道(10)的方向由疏到密排列。10.根据权利要求2所述全自动晶圆包装系统，其特征在于：所述推料机构(50)包括送料座(51)，所述送料座(51)顶面固定连接有放置平板(52)，所述放置平板(52)中间设有吸附盘(53)，所述吸附盘(53)一侧设有推料导向侧板(59)，所述送料座(51)上侧设有推料块(54)，所述推料块(54)靠近顶部的一侧固定连接有推料杆(55)，所述推料杆(55)另一端固定连接有推料气缸(56)，所述推料气缸(56)顶部固定连接有测距导向座(57)，所述测距导向座(57)中间滑动连接有移动导向杆(58)，所述移动导向杆(58)一端与推料块(54)固定连接，所述测距导向座(57)底面固定连接有推料长连接块(60)，所述推料长连接块(60)远离推料块(54)的一端底面固定连接有推料移动块(61)，所述推料移动块(61)底面滑动连接有推料移动导轨(62)。

技术总结
本发明涉及生产包装设备技术领域，尤其涉及一种全自动晶圆包装系统，包括晶圆装盒装置，晶圆装盒装置一端固定连接有晶圆盒加盖装置，晶圆盒加盖装置另一侧固定连接有晶圆盒贴标装置，晶圆盒贴标装置另一侧固定连接有铝箔袋上料装置，铝箔袋上料装置另一侧固定连接有铝箔袋开袋定型装置，铝箔袋开袋定型装置另一侧固定连接有干燥剂整形推送装置，干燥剂整形推送装置一侧固定连接有抽真空封口装置，干燥剂整形推送装置另一侧固定连接有装箱打包装置，解决了包装过程中整形后干燥剂包在未进入铝箔袋就散开和干燥剂包回弹进入铝箔袋封口处的问题。处的问题。处的问题。


技术研发人员：苏文华 蔡艳坤
受保护的技术使用者：浙江达仕科技有限公司
技术研发日：2023.04.21
技术公布日：2023/8/1