一种LDI光刻胶生产用反应釜的制作方法

一种ldi光刻胶生产用反应釜
技术领域
1.本实用新型属于ldi光刻胶生产技术领域，具体涉及一种ldi光刻胶生产用反应釜。


背景技术：

2.光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像，光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类，在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶，如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。
3.现有的反应釜在加工的过程中需要对自身抽取空气从而保证内部真空，同时在工作的过程中需要对反应釜的内部加注氮气，从而保证稳定性，但是现有装置在操作的过程不能让加料和加气快速进行，需要安装多个装置和步骤，使得在操作的过程中会耗费大量的时间的问题，为此我们提出一种ldi光刻胶生产用反应釜。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种ldi光刻胶生产用反应釜，以解决上述背景技术中提出现有的反应釜在加工的过程中需要对自身抽取空气从而保证内部真空，同时在工作的过程中需要对反应釜的内部加注氮气，从而保证稳定性，但是现有装置在操作的过程不能让加料和加气快速进行，需要安装多个装置和步骤，使得在操作的过程中会耗费大量的时间的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种ldi光刻胶生产用反应釜，包括固定板，所述固定板的外壁固定安装有反应釜，所述反应釜的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的一侧固定安装有法兰，所述旋转电机的另一侧外壁固定安装有投料管，所述投料管的顶部固定安装有输送管，所述输送管的顶部设置有快速切换机构，所述反应釜的底部固定安装有负压管道，所述负压管道的顶部设置有负压检测机构，通过设置负压机构，使得在工作的过程中能将反应釜内部的空气抽出，之后通过快速切换机构，使得在工作的过程中能将材料和充气能快速的进行切换，从而便于工作和使用。
6.优选的，所述负压检测机构包括连接管，所述连接管的顶部活动安装有控制阀，所述连接管的一侧固定安装有氮气检测仪，通过设置连接管可以检测抽出空气浓度，从而便于识别和使用。
7.优选的，所述顶部套筒的两侧内部均开设有安装口，所述安装口的内部和旋转套的外壁固定连接，通过设置安装口可以将旋转套固定安装在需要工作的位置。
8.优选的，所述底部套筒的内部开设有固定口，所述底部套筒的顶部开设有内环槽，
所述固定口的底部和输送管的顶部固定连接，所述内环槽的内部和旋转盘的底部活动卡接，通过设置固定口，使得在工作的过程中固定口的内部能和输送管的顶部固定安装，同时再利用内环槽可以将旋转盘固定安装在需要工作的位置。
9.优选的，所述活动进料管和活动输送管的内部固定安装有挡板，所述活动进料管的底部活动套接有旋转套，所述旋转套的顶部固定安装有闭合板，所述闭合板的顶部和挡板的底部相互贴合，所述旋转套的一侧内部开设有流动口，通过设置流动口，工作的过程中将活动进料管的外壁握住，进行转动，转动时活动进料管底部固定安装的挡板会与闭合板的顶部贴合，届时流动口会被打开，随后将其反向转动时，闭合板会运动到挡板的相对的一面，从而起到闭合的作用，使得工作的过程中能自由的进行开合，闭合。
10.优选的，所述快速切换机构包括底部套筒，所述底部套筒的顶部活动卡接有旋转盘，所述旋转盘的顶部活动套接有顶部套筒，所述顶部套筒的一侧活动安装有活动输送管，所述顶部套筒的另一侧活动安装有活动进料管，所述顶部套筒的内部活动套接有旋转轴套，所述旋转轴套的一侧内部开设有半圆口，所述旋转轴套的另一侧固定安装有阻挡板，所述旋转轴套的底部和旋转盘的外壁固定连接，通过设置阻挡板使得在工作的过程中顶部套筒可以自由的旋转，从而便于随意的切换输料和充气。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、通过设计的旋转盘和顶部套筒，把旋转盘的外壁进行转动，而转动的过程中使得旋转轴套的整体会在顶部套筒的内部旋转，而阻挡板的外壁会沿着顶部套筒的内部进行转动，而转动的过程中使得阻挡板的外壁可以和活动进料管的出口相互贴合，这时半圆口的位于活动输送管出口的底部，当阻挡板贴合的过程中使得活动进料管的出口被密封住，当反应釜产生负压的过程中使得活动输送管内部的也会产生负压，负压产生时活动输送管会将氮气从半圆口的内部输送进入反应釜的内部，之后再将其反向转动，使得活动进料管的出口被打开，再打开的过程中能将材料输送进入反应釜的内部，从而便于快速切换，使得工作效率可以被提高。
13.2、通过设计的连接管，的内部会不断将反应釜的内部的空气从负压管道的内部抽出，在抽出的过程中将活动输送管内部连接的氮气，使得工作的过程中氮气可以有效的吸收进入反应釜的内部，之后通过氮气检测仪可以对反应釜那内部的氮气进行检测，当检测到合适的浓度时，把控制阀反向旋转，从而可以把连接管的内部关闭，使得在工作的过程中便于吸收空气，同时还能进行输送氮气，从而使得工作效率可以被提高。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图；
15.图2为本实用新型的底部套筒内部整体结构示意图；
16.图3为本实用新型的旋转盘内部整体结构示意图
17.图4为本实用新型的活动进料管内部整体结构示意图。
18.图中：1、固定板；2、反应釜；3、旋转电机；4、投料管；5、输送管；6、底部套筒；7、旋转盘；8、顶部套筒；9、活动进料管；10、活动输送管；11、负压管道；12、连接管；13、控制阀；14、氮气检测仪；15、固定口；16、内环槽；18、旋转轴套；19、半圆口；20、阻挡板；21、挡板；22、旋转套；23、流动口；24、闭合板；25、法兰。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种ldi光刻胶生产用反应釜，包括固定板1，固定板1的外壁固定安装有反应釜2，反应釜2的顶部固定安装有旋转电机3，旋转电机3的一侧固定安装有法兰25，旋转电机3的另一侧外壁固定安装有投料管4，投料管4的顶部固定安装有输送管5，输送管5的顶部设置有快速切换机构，反应釜2的底部固定安装有负压管道11，负压管道11的顶部设置有负压检测机构，快速切换机构包括底部套筒6，底部套筒6的顶部活动卡接有旋转盘7，旋转盘7的顶部活动套接有顶部套筒8，顶部套筒8的一侧活动安装有活动输送管10，顶部套筒8的另一侧活动安装有活动进料管9，顶部套筒8的内部活动套接有旋转轴套18，旋转轴套18的一侧内部开设有半圆口19，旋转轴套18的另一侧固定安装有阻挡板20，旋转轴套18的底部和旋转盘7的外壁固定连接。
21.本实施方案中，当在工作的过程中需要进行加料和充气时，首先将反应釜2的内部的空气向外部抽取，而抽出的过程中使得反应釜2的内部会产生负压，此刻将活动输送管10和氮气输送机构相互卡接，而卡接的过程使得顶部套筒8的内部能进行连通，之后再将活动进料管9的内部和吸料机构相互卡接，抽气的过程中把旋转盘7的外壁进行转动，而转动的过程中使得旋转轴套18的整体会在顶部套筒8的内部旋转，而阻挡板20的外壁会沿着顶部套筒8的内部进行转动，而转动的过程中使得阻挡板20的外壁可以和活动进料管9的出口相互贴合，这时半圆口19的位于活动输送管10出口的底部，当阻挡板20贴合的过程中使得活动进料管9的出口被密封住，当反应釜2产生负压的过程中使得活动输送管10内部的也会产生负压，负压产生时活动输送管10会将氮气从半圆口19的内部输送进入反应釜2的内部，当输送到合适量时，在将旋转盘7反向转动，而转动的过程中使得阻挡板20的外壁会顺着顶部套筒8的内部进行反向转动，而转动的过程中使得活动进料管9出口被打开，而阻挡板20的外壁可以把活动输送管10出口贴合住，避免氮气继续输送，届时再将活动进料管9的外壁和真空吸料装置相互连接，在连接的过程中使得材料可以被吸收进入反应釜2的内部，从而便于使用和搅拌。
22.具体的，负压检测机构包括连接管12，连接管12的顶部活动安装有控制阀13，连接管12的一侧固定安装有氮气检测仪14。
23.本实施方案中，当在工作的过程中需要将反应釜2内部的气压被抽出时，只需要将连接管12的外壁和负压机构相互连接，而连接的过程中使得连接管12的内部会不断将反应釜2的内部的空气从负压管道11的内部抽出，在抽出的过程中将活动输送管10内部连接的氮气，使得工作的过程中氮气可以有效的吸收进入反应釜2的内部，之后通过氮气检测仪14可以对反应釜2那内部的氮气进行检测，当检测到合适的浓度时，把控制阀13反向旋转，从而可以把连接管12的内部关闭，使得再工作的过程能快速的抽出空气，同时还可以对反应釜2的内部加注氮气，从而使得工作效率可以被提高。
24.工作原理，当在工作的过程中需要对其进行工作时，只需要将连接管12的外壁和负压机构相互连接，而连接的过程中使得之后把控制阀13打开，使得反应釜2内部的空气被
抽出，而抽出的过程中在将旋转盘7进行旋转，使得活动输送管10的内部能和氮气输送机构相互连接，连接时氮气可以进入反应釜2的内部，利用氮气检测仪14可以对其检测，当检测到合适的位置时再把控制阀13反向转动，使得连接管12的内部被密封住，这时反应釜2的内部会填充氮气，之后再将旋转盘7反向转动，使得活动进料管9能将材料输送进入反应釜2的内部，从而便于加工和使用。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种ldi光刻胶生产用反应釜，包括固定板(1)，所述固定板(1)的外壁固定安装有反应釜(2)，所述反应釜(2)的顶部固定安装有旋转电机(3)，所述旋转电机(3)的一侧固定安装有法兰(25)，所述旋转电机(3)的另一侧外壁固定安装有投料管(4)，其特征在于：所述投料管(4)的顶部固定安装有输送管(5)，所述输送管(5)的顶部设置有快速切换机构，所述反应釜(2)的底部固定安装有负压管道(11)，所述负压管道(11)的顶部设置有负压检测机构。2.根据权利要求1所述的一种ldi光刻胶生产用反应釜，其特征在于：所述快速切换机构包括底部套筒(6)，所述底部套筒(6)的顶部活动卡接有旋转盘(7)，所述旋转盘(7)的顶部活动套接有顶部套筒(8)，所述顶部套筒(8)的一侧活动安装有活动输送管(10)，所述顶部套筒(8)的另一侧活动安装有活动进料管(9)，所述顶部套筒(8)的内部活动套接有旋转轴套(18)，所述旋转轴套(18)的一侧内部开设有半圆口(19)，所述旋转轴套(18)的另一侧固定安装有阻挡板(20)，所述旋转轴套(18)的底部和旋转盘(7)的外壁固定连接。3.根据权利要求1所述的一种ldi光刻胶生产用反应釜，其特征在于：所述负压检测机构包括连接管(12)，所述连接管(12)的顶部活动安装有控制阀(13)，所述连接管(12)的一侧固定安装有氮气检测仪(14)。4.根据权利要求2所述的一种ldi光刻胶生产用反应釜，其特征在于：所述活动进料管(9)和活动输送管(10)的内部固定安装有挡板(21)，所述活动进料管(9)的底部活动套接有旋转套(22)，所述旋转套(22)的顶部固定安装有闭合板(24)，所述闭合板(24)的顶部和挡板(21)的底部相互贴合，所述旋转套(22)的一侧内部开设有流动口(23)。5.根据权利要求2所述的一种ldi光刻胶生产用反应釜，其特征在于：所述顶部套筒(8)的两侧内部均开设有安装口，所述安装口的内部和旋转套(22)的外壁固定连接。6.根据权利要求2所述的一种ldi光刻胶生产用反应釜，其特征在于：所述底部套筒(6)的内部开设有固定口(15)，所述底部套筒(6)的顶部开设有内环槽(16)，所述固定口(15)的底部和输送管(5)的顶部固定连接，所述内环槽(16)的内部和旋转盘(7)的底部活动卡接。

技术总结
本实用新型公开了一种LDI光刻胶生产用反应釜，包括固定板，所述固定板的外壁固定安装有反应釜，所述反应釜的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的一侧固定安装有法兰，所述旋转电机的另一侧外壁固定安装有投料管；通过设计的连接管，的内部会不断将反应釜的内部的空气从负压管道的内部抽出，在抽出的过程中将活动输送管内部连接的氮气，使得工作的过程中氮气可以有效的吸收进入反应釜的内部，之后通过氮气检测仪可以对反应釜那内部的氮气进行检测，当检测到合适的浓度时，把控制阀反向旋转，从而可以把连接管的内部关闭，使得在工作的过程中便于吸收空气，同时还能进行输送氮气，从而使得工作效率可以被提高。从而使得工作效率可以被提高。从而使得工作效率可以被提高。


技术研发人员：罗启祥 高梁
受保护的技术使用者：深圳市百利合新材料发展有限公司
技术研发日：2022.06.30
技术公布日：2023/7/28