一种氮化镓单晶的生长装置的制作方法

1.本实用新型属于氮化镓单晶技术领域，具体涉及一种氮化镓单晶的生长装置。


背景技术：

2.氮化镓是一种新型的半导体材料，可在某些激光器的作用下发出紫光，因其具有导热效果好、耐高电压等等特性，而被广泛应用于光电设备当中，在加工过程中多以钠熔融法实现氮化镓单晶的生长，其步骤简单、制备物饱和度强，是现今生产该物品的不二之选。
3.中国专利：一种用于氮化镓单晶生长的反应装置(申请号202122740180.5)，公开了一种用于氮化镓单晶生长的反应装置，包括反应炉体，所述反应炉体内设有用于氮化镓单晶生长的反应腔，所述反应腔内设有隔板并通过隔板分割为第一反应空间和第二反应空间，所述第一反应空间用于溶解氮化镓形成离子化中间复合物，所述第二反应空间内设有籽晶用于生成氮化镓单晶，所述隔板用于将离子化中间复合物从第一反应空间转移至第二反应空间，所述炉体内还设有温控系统和加压系统。本实用新型提供的用于氮化镓单晶生长的反应装置，通过控制第一反应空间和第二反应空间为不同的温度，及隔板控制氮化镓单晶生长过程中的传质流量和方向，实现氮化镓单晶的平衡型生长，有效降低位错密度，提高产率，大大提高晶体的品质。该申请虽然解决了氮化镓单晶材料制造中生长重复性差、生长存在强烈的各向异性，生长速率很慢等技术问题，但是该申请在氮化镓原料溶解过程中，没有对氮化镓原料进行搅拌，导致溶液中氮原子的分散较为不均，同时氮化镓原料的放置需打开整个设备壳体，不便且繁琐，存在洒落的风险。


技术实现要素：

4.为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种氮化镓单晶的生长装置。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种氮化镓单晶的生长装置，包括：处理单元以及设置在处理单元表面的调整单元，所述处理单元侧面还活动连接有箱门；
6.所述处理单元，包括箱体以及开设箱体内部的放置腔和处理腔，所述处理腔内部还设置有移动板和进料槽，所述处理腔内部还设置有拨动杆，所述拨动杆表面还固定有清理板，所述移动板表面还开设有穿透孔；
7.所述调整单元，包括固定在所述处理单元表面的固定板和滑轮，所述固定板侧面还设置有转动轴，所述转动轴表面还缠绕有连接绳，所述连接绳能够穿设在箱体表面，且所述连接绳另一端固定杆在所述移动板表面。
8.本实用新型一个较佳实施例中，所述放置腔内部还设置有驱动设备，所述驱动设备的输出端通过轴承穿设在所述处理腔中，且所述拨动杆固定在所述驱动设备的输出端。
9.本实用新型一个较佳实施例中，所述拨动杆和所述清理板有若干个，且呈环形均匀排布在所述驱动设备的输出端，若干个所述拨动杆和所述清理板有若干组，且对称排布在所述处理腔中。
10.本实用新型一个较佳实施例中，所述箱体表面设置有固定件，所述进料槽能够通过所述固定件固定在所述处理单元表面，且所述进料槽表面开设有若干个与所述固定件相对应的固定孔。
11.本实用新型一个较佳实施例中，所述处理单元表面还开设有与所述进料槽相对应的斜槽，且箱体表面还开设有与所述固定件相对应的通孔。
12.本实用新型一个较佳实施例中，所述转动轴的一端能够与外部驱动件相连接。
13.本实用新型一个较佳实施例中，所述处理腔内壁固定有限位块，所述移动板表面开设有与所述限位块相对应的限位槽，所述移动板能够通过所述限位块活动连接在所述处理腔内部。
14.本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：
15.1、该氮化镓单晶的生长装置，通过拨动杆和清理板，能够方便工作人员对处理腔中的氮化镓原料进行搅拌，从而避免溶液中的氮原子的分散不均匀，并且通过调整单元和移动板，能够调整上下两处反应空间的大小，方便工作人员使用。
16.2、该氮化镓单晶的生长装置，通过设置进料槽，能够方便工作人员向处理腔中添加氮化镓原料，不用打开整个设备的壳体，使得整体操作更加便捷，同时配合固定件和固定孔，能够避免进料槽出现掉落等问题，提高了装置的实用性。
附图说明
17.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
18.图1为本实用新型的立体结构示意图；
19.图2为本实用新型的剖视结构示意图；
20.图3为本实用新型中进料槽的结构示意图；
21.图中：1、处理单元；110、放置腔；111、驱动设备；120、处理腔；121、限位块；130、移动板；131、穿透孔；140、进料槽；141、固定孔；150、拨动杆；151、清理板；160、固定件；2、调整单元；210、固定板；220、转动轴；230、滑轮；240、连接绳；3、箱门。
具体实施方式
22.现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
23.一种氮化镓单晶的生长装置，包括：处理单元1以及设置在处理单元1表面的调整单元2，处理单元1侧面还活动连接有箱门3；该氮化镓单晶的生长装置，通过拨动杆150和清理板151，能够方便工作人员对处理腔120中的氮化镓原料进行搅拌，从而避免溶液中的氮原子的分散不均匀，并且通过调整单元2和移动板130，能够调整上下两处反应空间的大小，方便工作人员使用。
24.处理单元1，包括箱体以及开设箱体内部的放置腔110和处理腔120，处理腔120内部还设置有移动板130和进料槽140，处理腔120内部还设置有拨动杆150，拨动杆150表面还固定有清理板151，移动板130表面还开设有穿透孔131；该氮化镓单晶的生长装置，通过设
置进料槽140，能够方便工作人员向处理腔120中添加氮化镓原料，不用打开整个设备的壳体，使得整体操作更加便捷，同时配合固定件160和固定孔141，能够避免进料槽140出现掉落等问题，提高了装置的实用性。
25.调整单元2，包括固定在处理单元1表面的固定板210和滑轮230，固定板210侧面还设置有转动轴220，转动轴220表面还缠绕有连接绳240，连接绳240能够穿设在箱体表面，且连接绳240另一端固定杆在移动板130表面。
26.放置腔110内部还设置有驱动设备111，驱动设备111的输出端通过轴承穿设在处理腔120中，且拨动杆150固定在驱动设备111的输出端。
27.拨动杆150和清理板151有若干个，且呈环形均匀排布在驱动设备111的输出端，若干个拨动杆150和清理板151有若干组，且对称排布在处理腔120中。
28.箱体表面设置有固定件160，进料槽140能够通过固定件160固定在处理单元1表面，且进料槽140表面开设有若干个与固定件160相对应的固定孔141。
29.处理单元1表面还开设有与进料槽140相对应的斜槽，且箱体表面还开设有与固定件160相对应的通孔。
30.转动轴220的一端能够与外部驱动件相连接。
31.处理腔120内壁固定有限位块121，移动板130表面开设有与限位块121相对应的限位槽，移动板130能够通过限位块121活动连接在处理腔120内部。
32.本实用新型的工作原理为：
33.首先将该装置放置在合适的位置，随后将进料槽140调整至指定位置，并通过固定件160将进料槽140进行固定，随后工作人员将氮化镓原料通过进料槽140放入处理腔120，然后工作人员通过控制驱动设备111，带动拨动杆150和清理板151，对处理腔120中的氮化镓原料进行搅拌。
34.然后工作人员，通过控制转动轴220转动，从而带动连接绳240移动，带动移动板130上下移动，方便工作人员调整移动板130的位置，进而调整上下两个反应空间的大小。
35.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
36.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”“一些实施例”“实施例”“示例”“具体示例”或“一些示例”等的描述，是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。
37.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

技术特征：
1.一种氮化镓单晶的生长装置，包括：处理单元以及设置在处理单元表面的调整单元，其特征在于，所述处理单元侧面还活动连接有箱门；所述处理单元，包括箱体以及开设箱体内部的放置腔和处理腔，所述处理腔内部还设置有移动板和进料槽，所述处理腔内部还设置有拨动杆，所述拨动杆表面还固定有清理板，所述移动板表面还开设有穿透孔；所述调整单元，包括固定在所述处理单元表面的固定板和滑轮，所述固定板侧面还设置有转动轴，所述转动轴表面还缠绕有连接绳，所述连接绳能够穿设在箱体表面，且所述连接绳另一端固定杆在所述移动板表面。2.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶的生长装置，其特征在于：所述放置腔内部还设置有驱动设备，所述驱动设备的输出端通过轴承穿设在所述处理腔中，且所述拨动杆固定在所述驱动设备的输出端。3.根据权利要求2所述的一种氮化镓单晶的生长装置，其特征在于：所述拨动杆和所述清理板有若干个，且呈环形均匀排布在所述驱动设备的输出端，若干个所述拨动杆和所述清理板有若干组，且对称排布在所述处理腔中。4.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶的生长装置，其特征在于：所述箱体表面设置有固定件，所述进料槽能够通过所述固定件固定在所述处理单元表面，且所述进料槽表面开设有若干个与所述固定件相对应的固定孔。5.根据权利要求4所述的一种氮化镓单晶的生长装置，其特征在于：所述处理单元表面还开设有与所述进料槽相对应的斜槽，且箱体表面还开设有与所述固定件相对应的通孔。6.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶的生长装置，其特征在于：所述转动轴的一端能够与外部驱动件相连接。7.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶的生长装置，其特征在于：所述处理腔内壁固定有限位块，所述移动板表面开设有与所述限位块相对应的限位槽，所述移动板能够通过所述限位块活动连接在所述处理腔内部。

技术总结
本实用公开了一种氮化镓单晶的生长装置，包括：处理单元以及设置在处理单元表面的调整单元，所述处理单元侧面还活动连接有箱门；所述处理单元，包括箱体以及开设箱体内部的放置腔和处理腔，所述处理腔内部还设置有移动板和进料槽，所述处理腔内部还设置有拨动杆，所述拨动杆表面还固定有清理板，所述移动板表面还开设有穿透孔。其有益效果是，该氮化镓单晶的生长装置，通过拨动杆和清理板，能够方便工作人员对处理腔中的氮化镓原料进行搅拌，从而避免溶液中的氮原子的分散不均匀，并且通过调整单元和移动板，能够调整上下两处反应空间的大小，方便工作人员使用。方便工作人员使用。方便工作人员使用。


技术研发人员：张雷 王国栋
受保护的技术使用者：中芯研（江苏）半导体有限公司
技术研发日：2022.12.28
技术公布日：2023/7/28