一种便于定位调整的硅片吸盘结构的制作方法

1.本技术涉及太阳能硅片制造领域，尤其是涉及一种便于定位调整的硅片吸盘结构。


背景技术：

2.在太阳能硅片的生产加工过程中，会涉及到pecvd镀膜工段，pecvd镀膜工段对太阳能硅片电池有着较大的影响，经过pecvd镀膜工段处理后太阳能硅片电池的太阳能转化率有所提高改善。
3.在pecvd镀膜工序加工过程中，需要用到石墨舟。石墨舟作为硅片加工载体可把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于其石墨舟中对转运的硅片进行高温烧结成型。具体工作原理如下：将未镀膜的硅片通过硅片批量吸取装置放在石墨舟片的卡点上，每个石墨舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在pecvd真空镀膜设备的墙体内，采用pecvd工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，通过硅片批量吸取装置将硅片从石墨舟上卸取下来。
4.目前，现有的石墨舟硅片批量吸取装置中包括硅片吸盘和吸盘紧固基座，正常来说根据每个石墨舟片上可放固定数量硅片的不同，连接于吸盘紧固基座的硅片吸盘数量在16-32片。在石墨舟硅片批量吸取装置生产过程中，生产方发现由于吸盘紧固基座加工精度和应力影响，无法保证运行后每一片吸盘紧固基座上的硅片吸盘与吸盘紧固基座垂直度，垂直度的偏差会导致硅片吸取质量的下降，破片概率的提升，进而会影响整体太阳能硅片电池的生产加工。为了保证硅片吸盘与吸盘紧固基座垂直度，通过生企业需要定期对硅片批量吸取装置进行垂直度的检修。而目前，对于硅片批量吸取装置垂直度的检修方法还是以人工掰动硅片吸盘片为主，存在校准精度低且费时费力的问题。


技术实现要素：

5.为了解决上述技术存在校准精度低且费时费力的问题，本技术提供了一种便于定位调整的硅片吸盘结构。
6.本技术提供的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种便于定位调整的硅片吸盘结构，包括吸盘底座和吸盘片体，所述吸盘片体设置于吸盘底座；所述吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道a；所述吸盘底座顶部开设有与气道a连通的气道b；所述吸盘底座底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座的安装孔；所述吸盘底座底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的定位孔组；单个所述定位孔组中至少包含有两个定位孔；定位孔组中的两个定位孔分别位于吸盘底座底面宽度方向的周侧；所述定位孔不与气道a相连通；单个所述定位孔设置有用于校准硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的调位螺栓。
8.本技术可通过内六角扳手调整调位螺栓，进而可较为快速校准调整硅片吸盘整体
与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率，提升整体的硅片电池的生产效率。
9.优选的，所述吸盘片体一体加工形成于吸盘底座，所述吸盘片体和所述吸盘底座均为铝合金材质或者工程塑料材质。
10.通过采用上述技术方案，可保证吸盘底座和吸盘底座的机械强度，进而保证整体硅片批量吸取装置的机械强度，且所制备的硅片批量吸取装置成本相对较低。
11.通过采用上述技术方案，进一步保证整体硅片批量吸取装置的机械强度，同时进一步降低硅片批量吸取装置的总质量，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
12.优选的，所述吸盘底座开设有至少两个贯穿吸盘底座长度方向侧面的通孔a，所述通孔a可降低吸盘底座的整体质量。
13.通过采用上述技术方案，可降低吸盘底座的整体质量，节约资源同时降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
14.优选的，所述调位螺栓和吸盘紧固基座之间垫衬有钢质垫片。
15.通过采用上述技术方案，避免调位螺栓的锥头端对吸盘紧固基座上的接触面造成挤压变形，可提升整体校准精度，提升硅片批量吸取装置的使用寿命。
16.优选的，所述吸盘片体沿吸盘片体纵轴方向开设有至少三条吸嘴容纳槽；所述吸盘片体连接有吸嘴组件；单个所述吸嘴组件位于单个所述吸嘴容纳槽中；单个所述吸嘴组件与单个所述气道b相连通。
17.通过采用上述技术方案，可保证所制备的硅片批量吸取装置硅片吸取质量。
18.优选的，所述吸嘴组件包括陶瓷吸嘴、吸管，所述吸管一端可拆卸且密封连通于陶瓷吸嘴，所述吸管的另一端可拆卸且密封连通于吸盘底座顶部且与气道b相连通；所述吸盘片体形成有用于安装陶瓷吸嘴的吸嘴安装槽；所述吸嘴安装槽与吸嘴容纳槽相连通；所述陶瓷吸嘴周侧铰接有至少三根平衡弹簧；单个所述平衡弹簧一端铰接于陶瓷吸嘴周侧，且平衡弹簧的另一端铰接于吸盘片体的吸嘴安装槽周侧形成的铰接孔。
19.通过采用上述技术方案，可保证所制备的硅片批量吸取装置硅片吸取质量。
20.优选的，所述吸盘片体贯穿上下表面开设有多个通孔b；所述通孔b可降低吸盘片体的整体质量。
21.通过采用上述技术方案，可降低吸盘片体的整体质量，节约资源同时降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
22.优选的，所述吸管包括吸管主体和两个吸管接头，两个所述吸管接头分别连接于吸管主体的两端；所述吸管主体一端的吸管接头螺纹密封连接于陶瓷吸嘴，所述吸管主体另一端的吸管接头螺纹密封连接于吸盘底座；所述吸管与气道a、气道b均相连通。
23.通过采用上述技术方案，可保证所制备的硅片批量吸取装置硅片吸取质量。
24.综上所述，本技术具有以下优点：
25.1、本技术可通过调位螺栓较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率。
26.2、本技术所制备的硅片批量吸取装置整体质量较轻，节约资源同时降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，不但所使用的机器人成本降低，且提升整体操作精度提升，有利于降低生产能耗，提升硅片电池的质量。
附图说明
27.图1是本技术中实施例1中便于定位调整的硅片吸盘整体结构展示图。
28.图2是本技术中实施例1中便于定位调整的硅片吸盘整体结构示意图。
29.图3是本技术中实施例1中便于定位调整的硅片吸盘结构的主视图。
30.图4是本技术中实施例2中便于定位调整的硅片吸盘结构的侧视图。
31.图中，1、吸盘底座；10、吸盘紧固基座；11、气道a；12、气道b；13、安装孔；14、定位孔组；140、定位孔；141、调位螺栓；142、钢质垫片；15、通孔a；2、吸盘片体；20、通孔b；21、吸嘴容纳槽；22、吸嘴组件；221、陶瓷吸嘴；222、吸管；2221、吸管主体；2222、吸管接头；223、平衡弹簧；23、吸嘴安装槽；230、铰接孔；3、锥台面。
具体实施方式
32.以下结合附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
实施例
33.参照图1，为本技术公开的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，包括吸盘底座1和吸盘片体2，吸盘片体2一体加工形成于于吸盘底座1，吸盘片体2和吸盘底座1均为铝合金材质或者模具钢材质，优选铝合金材质。
34.参照图1和图2，吸盘底座1开设有两个贯穿吸盘底座1长度方向侧面且相互间隔的通孔a15，通孔a15可降低吸盘底座1的整体质量，节约资源同时降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
35.参照图1和图2，吸盘底座1内部沿自身长度方向加工形成有气道a11，气道a11贯穿吸盘底座1宽度方向的两侧面。吸盘底座1顶部垂直开设有三个与气道a11均连通的气道b12，且三个气道b12之间相互间隔。吸盘底座1底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座10的安装孔13。吸盘底座1底部开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座10垂直度的定位孔组14，两排定位孔组14分别位于吸盘底座1底部长度方向的两侧。
36.参照图1和图2，吸盘片体2贯穿上下表面开设有多个通孔b20，通孔b20可降低吸盘片体2的整体质量，节约资源同时降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
37.参照图2和图3，单个定位孔组14中包含有两个定位孔140，定位孔140不与气道a11相连通且定位孔组14中的两个定位孔140分别位于吸盘底座1底面宽度方向的周侧。单个定位孔140螺纹连接有调位螺栓141，通过内六角扳手可调整调位螺栓141的锥头端伸出定位孔140的距离，进而可较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座10垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率，提升整体的硅片电池的生产效率。
38.参照图2和图3，为了避免调位螺栓的锥头端对吸盘紧固基座010上的接触面造成挤压变形，提升整体校准精度，提升硅片批量吸取装置的使用寿命，调位螺栓141和吸盘紧
固基座10之间垫衬有钢质垫片142，钢质垫片142的底面与吸盘底座1的底面平齐，且钢质垫片142位于定位孔140形成的沉孔内。
39.参照图3，吸盘片体2沿吸盘片体2纵轴方向开设有三条吸嘴容纳槽21。其中一条吸嘴容纳槽21位于吸盘片体2的中部，另外两条吸嘴容纳槽21分别位于吸盘片体2的两侧。吸盘片体2连接有三个吸嘴组件22，单个吸嘴组件22位于单个吸嘴容纳槽21中。单个吸嘴组件22与单个气道b12相连通，用于吸取硅片。
40.参照图3，吸嘴组件22包括陶瓷吸嘴221、吸管222和用于将陶瓷吸嘴221固定连接于吸盘片体2上的平衡弹簧223，平衡弹簧223上下表面高度低于吸盘片体2上下表面的高度，即保证平衡弹簧223不与吸取的硅片接触，保证吸取硅片的质量。
41.参照图2和图3，吸管222包括吸管主体2221和两个吸管接头2222，两个吸管接头2222分别连接于吸管主体2221的两端。吸管主体2221一端的吸管接头2222螺纹密封连接于陶瓷吸嘴221，吸管主体2221另一端的吸管接头2222螺纹密封连接于吸盘底座1，且吸管222与气道a11、气道b12均相连通，实现了吸管222一端螺纹可拆卸且密封连通于陶瓷吸嘴221，吸管222的另一端螺纹拆卸且密封连通于吸盘底座1顶部且与气道b12相连通。
42.参照图2和图3，吸盘片体2通过机加工形成有用于安装陶瓷吸嘴221的吸嘴安装槽23，且吸嘴安装槽23与吸嘴容纳槽21相连通。陶瓷吸嘴221周侧铰接有四根平衡弹簧223，四根平衡弹簧223均布于陶瓷吸嘴221周侧形成“x”型。单个平衡弹簧223一端铰接于陶瓷吸嘴221周侧，且平衡弹簧223的另一端铰接于吸盘片体2的吸嘴安装槽23周侧形成的铰接孔230。
43.本具体实施方式的实施例均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。

技术特征：
1.一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：包括吸盘底座（1）和吸盘片体（2），所述吸盘片体（2）设置于吸盘底座（1）；所述吸盘底座（1）内部沿自身长度方向形成有气道a（11）；所述吸盘底座（1）顶部开设有与气道a（11）连通的气道b（12）；所述吸盘底座（1）底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座（10）的安装孔（13）；所述吸盘底座（1）底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座（10）垂直度的定位孔组（14）；单个所述定位孔组（14）中至少包含有两个定位孔（140）；定位孔组（14）中的两个定位孔（140）分别位于吸盘底座（1）底面宽度方向的周侧；所述定位孔（140）不与气道a（11）相连通；单个所述定位孔（140）设置有用于校准硅片吸盘整体与吸盘紧固基座（10）垂直度的调位螺栓（141）。2.根据权利要求1所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述吸盘片体（2）一体加工形成于吸盘底座（1），所述吸盘片体（2）和所述吸盘底座（1）均为铝合金材质或者工程塑料材质。3.根据权利要求1所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述吸盘底座（1）开设有至少两个贯穿吸盘底座（1）长度方向侧面的通孔a(15)，所述通孔a(15)可降低吸盘底座（1）的整体质量。4.根据权利要求1所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述调位螺栓（141）和吸盘紧固基座（10）之间垫衬有钢质垫片（142）。5.根据权利要求4所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述吸盘片体（2）沿吸盘片体（2）纵轴方向开设有至少三条吸嘴容纳槽(21)；所述吸盘片体（2）连接有吸嘴组件(22)；单个所述吸嘴组件(22)位于单个所述吸嘴容纳槽(21)中；单个所述吸嘴组件(22)与单个所述气道b（12）相连通。6.根据权利要求5所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述吸嘴组件(22)包括陶瓷吸嘴（221）、吸管（222），所述吸管（222）一端可拆卸且密封连通于陶瓷吸嘴（221），所述吸管（222）的另一端可拆卸且密封连通于吸盘底座（1）顶部且与气道b（12）相连通；所述吸盘片体（2）形成有用于安装陶瓷吸嘴（221）的吸嘴安装槽（23）；所述吸嘴安装槽（23）与吸嘴容纳槽(21)相连通；所述陶瓷吸嘴（221）周侧铰接有至少三根平衡弹簧(223)；单个所述平衡弹簧(223)一端铰接于陶瓷吸嘴（221）周侧，且平衡弹簧(223)的另一端铰接于吸盘片体（2）的吸嘴安装槽（23）周侧形成的铰接孔（230）。7.根据权利要求5所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述吸盘片体（2）贯穿上下表面开设有多个通孔b（20）；所述通孔b（20）可降低吸盘片体（2）的整体质量。8.根据权利要求6所述的一种便于定位调整的硅片吸盘结构，其特征在于：所述吸管（222）包括吸管主体（2221）和两个吸管接头（2222），两个所述吸管接头（2222）分别连接于吸管主体（2221）的两端；所述吸管主体（2221）一端的吸管接头（2222）螺纹密封连接于陶瓷吸嘴（221），所述吸管主体（2221）另一端的吸管接头（2222）螺纹密封连接于吸盘底座（1）；所述吸管（222）与气道a（11）、气道b（12）均相连通。

技术总结
本申请涉及太阳能硅片制造领域，尤其是一种便于定位调整的硅片吸盘结构。便于定位调整的硅片吸盘结构，包括吸盘底座和设置于吸盘底座的吸盘片体，吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道A；吸盘底座顶部开设有与气道A连通的气道B；吸盘底座底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座的安装孔；吸盘底座底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的定位孔组；单个定位孔组中至少包含有两个定位孔；定位孔组中的两个定位孔分别位于吸盘底座底面宽度方向的周侧；单个定位孔设置有调位螺栓。本申请可通过调位螺栓较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率。降低破片概率。降低破片概率。


技术研发人员：孔剑雷 吕群锋 施鲁鸣 胡丹辉
受保护的技术使用者：嘉兴市耐思威精密机械有限公司
技术研发日：2023.04.10
技术公布日：2023/7/28