一种半导体器件用高低温测试探针台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件测试设备技术领域，尤其涉及一种半导体器件用高低温测试探针台。


背景技术：

2.半导体器件通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波，三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管(又称晶体三极管)。
3.申请号为202010003786.8公开了一种真空高低温半导体器件测试探针台，其背景技术中提出的问题为；现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低，并且探针在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断，但是其存在以下不足；
4.其通过夹持块对探针进行夹持固定，从而达到便于安装探针的目的，且其在对探针进行缓冲从而对晶圆进行保护时，又使探针沿夹持块移动，导致探针安装的稳定性受到影响，存在一定的不足，为解决上述问题，提出一种半导体器件用高低温测试探针台。


技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种半导体器件用高低温测试探针台，包括防护箱和工作台本体，所述工作台本体的底部与所述防护箱的底部内壁固定连接，工作台本体的顶部中心处设置有放置台，工作台本体的顶部且位于放置台的两侧设置有以工作台本体的中心点呈镜像对称的电动滑轨，电动滑轨的滑动端均固定设有安装板，安装板的正面均设置有延伸至安装板顶部的调节组件，调节组件靠近放置台的一侧均设置有缓冲组件，缓冲组件靠近放置台的一侧均设置有夹板，防护箱的外侧两侧均设置有延伸至缓冲组件内的辅助组件；
6.所述缓冲组件包括第一限位杆、密封槽、第二限位杆、弹簧和密封块，密封槽开设在第一限位杆靠近放置台的一侧，密封块固定套设在第二限位杆的侧壁，密封块和第二限位杆的侧壁均套设在密封槽内，第二限位杆与夹板相互靠近的一侧固定连接，弹簧固定设在密封槽的左侧内壁，且弹簧位于第二限位杆远离夹板的一侧，密封槽的内壁和密封块的侧壁相适配。
7.优选的，所述辅助组件包括压缩机、电动阀门、第一导管和第二导管，压缩机固定设在防护箱的外侧一侧，第一导管的进气端与压缩机的排气端连接，第一导管的排气端与第二导管的进气端连接，第二导管的排气端延伸至密封槽内，且位于密封块远离夹板的一侧，电动阀门设置在第二导管的外壁。
8.优选的，所述第二导管采用高压软管设计，所述压缩机和电动阀门均通过导线与控制器连接。
9.优选的，所述调节组件包括驱动电机、第一滑槽、螺纹杆和限位板，第一滑槽开设
在安装板的顶部，第一滑槽的内部放置有以第一滑槽的中心点呈镜像对称的第一滑块，限位板设有两个，两个限位板的底部分别与第一滑块的顶部固定连接，两个限位板靠近放置台的一侧分别与第一限位杆远离放置台的一侧固定连接，驱动电机的输出轴与螺纹杆的一端固定连接，螺纹杆的另一端延伸至第一滑槽内，螺纹杆位于第一滑槽内的一端侧壁与第一滑块螺纹连接。
10.优选的，所述螺纹杆呈双向螺杆设计，螺纹杆的侧壁两端分别与第一滑槽的背面内壁和正面内壁转动连接，所述安装板的正面固定设有安装驱动电机的安装座，驱动电机通过导线与控制器连接。
11.优选的，两个所述限位板相互远离的一侧均设置有限位组件，限位组件包括连接板和第二滑槽，第二滑槽在夹板的正面，第二滑槽的内部均放置有滑块，连接板的两端分别与限位板的正面和滑块远离滑槽的一侧固定连接。
12.优选的，所述安装板的顶部且位于夹板的底部开设有安装槽，安装槽的内部设置有矩形阵列排布的滚珠，滚珠的顶部与夹板的底部贴合。
13.优选的，两个所述夹板相互靠近的一侧均开设有限位槽，所述电动滑轨通过导线与控制器连接。
14.与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
15.1、该装置通过调节组件控制夹板对探针进行夹持，并通过缓冲组件和辅助组件对夹板在与夹持方向垂直的方向进行缓冲，从而对夹板和探针一同起缓冲组件，在保证探针夹持稳定性的同时保证探针的缓冲效果，便于实际使用。
16.2、该装置通过辅助组件和缓冲组件协同对探针进行缓冲，保证缓冲的效果，从而有效避免探针损坏半导体器件晶圆的问题，保证测试的效果。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种半导体器件用高低温测试探针台的整体结构示意图。
18.图2为本实用新型提出的一种半导体器件用高低温测试探针台的辅助组件结构示意图。
19.图3为本实用新型提出的一种半导体器件用高低温测试探针台的调节组件结构示意图。
20.图4为本实用新型提出的一种半导体器件用高低温测试探针台的缓冲组件结构示意图。
21.图5为本实用新型提出的一种半导体器件用高低温测试探针台的防护箱背视结构示意图。
22.附图标记；1、防护箱；2、工作台本体；3、电动滑轨；4、辅助组件；401、压缩机；402、第一导管；403、电动阀门；404、第二导管；5、缓冲组件；501、第一限位杆；502、弹簧；503、密封槽；504、第二限位杆；505、密封块；6、限位组件；601、连接板；602、第二滑槽；7、夹板；8、放置台；9、调节组件；901、驱动电机；902、螺纹杆；903、第一滑槽；904、限位板；10、安装板。
具体实施方式
23.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
24.如图1、2和5所示，本实用新型提出的一种半导体器件用高低温测试探针台，包括防护箱1和工作台本体2，工作台本体2的底部与防护箱1的底部内壁固定连接，工作台本体2的顶部中心处设置有放置台8，工作台本体2的顶部且位于放置台8的两侧设置有以工作台本体2的中心点呈镜像对称的电动滑轨3，电动滑轨3的滑动端均固定设有安装板10，安装板10的正面均设置有延伸至安装板10顶部的调节组件9，调节组件9靠近放置台8的一侧均设置有缓冲组件5，缓冲组件5靠近放置台8的一侧均设置有夹板7，防护箱1的外侧两侧均设置有延伸至缓冲组件5内的辅助组件4。
25.进一步的，两个夹板7相互靠近的一侧均开设有限位槽，便于对探针进行夹持安装，电动滑轨3通过导线与控制器连接。
26.在具体实施时，先通过调节组件9安装探针，探针安装完成后，将要测试的半导体器件放置在放置台8内，放置完成后，通过控制器启动电动电动滑轨3，电动滑轨3的滑动端带动限位板904移动，从而带动夹板7和探针移动，使探针靠近半导体器件进行测试，在探针与半导体器件接触时，通过控制器打开电动阀门403，使第一导管402内高压气体缓慢泄掉，在探针与半导体器件接触的过程中，探针和夹板7通过第一限位杆501和密封块505沿密封槽503的内壁移动，并且在弹簧502的弹性作用下，使探针与半导体器件的晶圆缓慢接触，避免损坏晶圆，通过调节组件9控制夹板7对探针进行夹持，并通过缓冲组件5和辅助组件4对夹板7在与夹持方向垂直的方向进行缓冲，从而对夹板7和探针一同起缓冲组件5，在保证探针夹持稳定性的同时保证探针的缓冲效果，便于实际使用。
27.如图2和4所示，缓冲组件5包括第一限位杆501、密封槽503、第二限位杆504、弹簧502和密封块505，密封槽503开设在第一限位杆501靠近放置台8的一侧，密封块505固定套设在第二限位杆504的侧壁，密封块505和第二限位杆504的侧壁均套设在密封槽503内，第二限位杆504与夹板7相互靠近的一侧固定连接，弹簧502固定设在密封槽503的左侧内壁，且弹簧502位于第二限位杆504远离夹板7的一侧，密封槽503的内壁和密封块505的侧壁相适配。
28.如图2和5所示，辅助组件4包括压缩机401、电动阀门403、第一导管402和第二导管404，压缩机401固定设在防护箱1的外侧一侧，第一导管402的进气端与压缩机401的排气端连接，第一导管402的排气端与第二导管404的进气端连接，第二导管404的排气端延伸至密封槽503内，且位于密封块505远离夹板7的一侧，电动阀门403设置在第二导管404的外壁。
29.在具体实施时，在探针与半导体器件接触时，通过控制器打开电动阀门403，使第一导管402内的高压气体缓慢泄掉，从而便于对探针进行缓冲，且当对探针进行夹持时，通过压缩机401产生高压气体，并沿压缩机401的排气端排至第一导管402，并经第一导管402排至第二导管404内，经第二导管404排至密封槽503内，从而使密封块505与第一限位杆501抵紧，便于夹持。
30.进一步的，第二导管404采用高压软管设计，并预留有探针随电动滑轨3移动的长
度，保证正常使用，压缩机401和电动阀门403均通过导线与控制器连接。
31.如图3所示，调节组件9包括驱动电机901、第一滑槽903、螺纹杆902和限位板904，第一滑槽903开设在安装板10的顶部，第一滑槽903的内部放置有以第一滑槽903的中心点呈镜像对称的第一滑块，限位板904设有两个，两个限位板904的底部分别与第一滑块的顶部固定连接，两个限位板904靠近放置台8的一侧分别与第一限位杆501远离放置台8的一侧固定连接，驱动电机901的输出轴与螺纹杆902的一端固定连接，螺纹杆902的另一端延伸至第一滑槽903内，螺纹杆902位于第一滑槽903内的一端侧壁与第一滑块螺纹连接。
32.在具体实施时，通过控制器启动驱动电机901，驱动电机901的输出轴带动螺纹杆902转动，螺纹杆902带动第一滑块移动，第一滑块带动限位板904移动，限位板904带动第一限位板904和第二限位杆504移动，从而带动夹板7移动，进而对探针的侧壁进行夹持固定。
33.进一步的，螺纹杆902呈双向螺杆设计，便于带动夹板7相互移动，螺纹杆902的侧壁两端分别与第一滑槽903的背面内壁和正面内壁转动连接，保证螺纹杆902转动的稳定性，安装板10的正面固定设有安装驱动电机901的安装座，驱动电机901通过导线与控制器连接。
34.如图3所示，两个限位板904相互远离的一侧均设置有限位组件6，限位组件6包括连接板601和第二滑槽602，第二滑槽602在夹板7的正面，第二滑槽602的内部均放置有滑块，连接板601的两端分别与限位板904的正面和滑块远离滑槽的一侧固定连接。
35.在具体实施时，通过连接板601对夹板7和限位板904进行限位，提高夹板7安装探针的稳定性，当夹板7在缓冲组件5和辅助组件4的作用下移动缓冲时，第二滑块沿第二滑槽602移动，从而不影响正常使用。
36.如图3所示，安装板10的顶部且位于夹板7的底部开设有安装槽，安装槽的内部设置有矩形阵列排布的滚珠，滚珠的顶部与夹板7的底部贴合，通过滚珠便于夹板7移动，方便实际使用。
37.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改。

技术特征：
1.一种半导体器件用高低温测试探针台，包括防护箱(1)和工作台本体(2)，其特征在于，所述工作台本体(2)的底部与所述防护箱(1)的底部内壁固定连接，工作台本体(2)的顶部中心处设置有放置台(8)，工作台本体(2)的顶部且位于放置台(8)的两侧设置有以工作台本体(2)的中心点呈镜像对称的电动滑轨(3)，电动滑轨(3)的滑动端均固定设有安装板(10)，安装板(10)的正面均设置有延伸至安装板(10)顶部的调节组件(9)，调节组件(9)靠近放置台(8)的一侧均设置有缓冲组件(5)，缓冲组件(5)靠近放置台(8)的一侧均设置有夹板(7)，防护箱(1)的外侧两侧均设置有延伸至缓冲组件(5)内的辅助组件(4)；所述缓冲组件(5)包括第一限位杆(501)、密封槽(503)、第二限位杆(504)、弹簧(502)和密封块(505)，密封槽(503)开设在第一限位杆(501)靠近放置台(8)的一侧，密封块(505)固定套设在第二限位杆(504)的侧壁，密封块(505)和第二限位杆(504)的侧壁均套设在密封槽(503)内，第二限位杆(504)与夹板(7)相互靠近的一侧固定连接，弹簧(502)固定设在密封槽(503)的左侧内壁，且弹簧(502)位于第二限位杆(504)远离夹板(7)的一侧，密封槽(503)的内壁和密封块(505)的侧壁相适配。2.根据权利要求1所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，所述辅助组件(4)包括压缩机(401)、电动阀门(403)、第一导管(402)和第二导管(404)，压缩机(401)固定设在防护箱(1)的外侧一侧，第一导管(402)的进气端与压缩机(401)的排气端连接，第一导管(402)的排气端与第二导管(404)的进气端连接，第二导管(404)的排气端延伸至密封槽(503)内，且位于密封块(505)远离夹板(7)的一侧，电动阀门(403)设置在第二导管(404)的外壁。3.根据权利要求2所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，所述第二导管(404)采用高压软管设计，所述压缩机(401)和电动阀门(403)均通过导线与控制器连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，所述调节组件(9)包括驱动电机(901)、第一滑槽(903)、螺纹杆(902)和限位板(904)，第一滑槽(903)开设在安装板(10)的顶部，第一滑槽(903)的内部放置有以第一滑槽(903)的中心点呈镜像对称的第一滑块，限位板(904)设有两个，两个限位板(904)的底部分别与第一滑块的顶部固定连接，两个限位板(904)靠近放置台(8)的一侧分别与第一限位杆(501)远离放置台(8)的一侧固定连接，驱动电机(901)的输出轴与螺纹杆(902)的一端固定连接，螺纹杆(902)的另一端延伸至第一滑槽(903)内，螺纹杆(902)位于第一滑槽(903)内的一端侧壁与第一滑块螺纹连接。5.根据权利要求4所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，所述螺纹杆(902)呈双向螺杆设计，螺纹杆(902)的侧壁两端分别与第一滑槽(903)的背面内壁和正面内壁转动连接，所述安装板(10)的正面固定设有安装驱动电机(901)的安装座，驱动电机(901)通过导线与控制器连接。6.根据权利要求4所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，两个所述限位板(904)相互远离的一侧均设置有限位组件(6)，限位组件(6)包括连接板(601)和第二滑槽(602)，第二滑槽(602)在夹板(7)的正面，第二滑槽(602)的内部均放置有滑块，连接板(601)的两端分别与限位板(904)的正面和滑块远离滑槽的一侧固定连接。7.根据权利要求1所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，所述安装
板(10)的顶部且位于夹板(7)的底部开设有安装槽，安装槽的内部设置有矩形阵列排布的滚珠，滚珠的顶部与夹板(7)的底部贴合。8.根据权利要求1所述的一种半导体器件用高低温测试探针台，其特征在于，两个所述夹板(7)相互靠近的一侧均开设有限位槽，所述电动滑轨(3)通过导线与控制器连接。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体器件用高低温测试探针台，包括防护箱和工作台本体，所述工作台本体的底部与所述防护箱的底部内壁固定连接，工作台本体的顶部且位于放置台的两侧设置有以工作台本体的中心点呈镜像对称的电动滑轨，电动滑轨的滑动端均固定设有安装板，安装板的正面均设置有延伸至安装板顶部的调节组件，调节组件靠近放置台的一侧均设置有缓冲组件，防护箱的外侧两侧均设置有延伸至缓冲组件内的辅助组件，该装置通过调节组件控制夹板对探针进行夹持，并通过缓冲组件和辅助组件对夹板在与夹持方向垂直的方向进行缓冲，从而对夹板和探针一同起缓冲组件，在保证探针夹持稳定性的同时保证探针的缓冲效果，便于实际使用。用。用。


技术研发人员：张博
受保护的技术使用者：天津楚格科技有限公司
技术研发日：2023.04.17
技术公布日：2023/7/28