清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置的制作方法

1.本发明涉及晶圆清洗设备技术领域，具体是清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆表面在进行研磨和抛光后往往需要用到专门的清洗装置对其表面进行清洗。
3.现有的晶圆用的清洗装置一般都是通过毛刷与清洗水的相互配合下对晶圆表面进行刷洗，但是毛刷在对晶圆表面进行清刷的过程中刷毛表面往往会附着杂质，从而容易导致刷毛上的杂质很容易再次粘附到晶圆表面，进而影响对晶圆清洗的洁净度，为此我们提供清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，用于解决上述问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于：为了解决的毛刷在对晶圆表面进行清刷的过程中刷毛表面往往会附着杂质，从而容易导致刷毛上的杂质很容易再次粘附到晶圆表面，进而影响对晶圆清洗的洁净度的问题，提供清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，包括固定座，所述固定座的顶端设置有第一连接座，所述第一连接座的内侧固定连接有支撑盘，所述支撑盘的一端设置有晶圆本体，所述晶圆本体的外壁与所述第一连接座的一侧设置有自动清刷器，所述支撑盘的一侧外壁固定连接有第二连接座，所述第二连接座的一端安装有第三驱动电机，所述第三驱动电机的输出端连接有双向螺纹丝杆，所述第二连接座的内侧滑动连接有第二磁体，所述第二磁体套接在所述双向螺纹丝杆的外壁，所述第二磁体的一端固定连接有弧形夹持板，所述弧形夹持板贴合在所述晶圆本体的外壁，所述固定座的顶端位于所述晶圆本体的一侧固定连接有第一支撑座，所述第一支撑座的内侧设置有清洗毛刷辊，所述第一支撑座的顶端位于所述清洗毛刷辊的上方设置有自动冲刷器，所述固定座的顶端固定连接有第二支撑座，所述第二支撑座的两侧外壁设置有循环击打辅助件；所述循环击打辅助件包括设置转动连接在所述第二支撑座内侧的旋轴，所述第二支撑座的一侧外壁安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端与所述旋轴连接，所述旋轴的外壁等距离设置有多个t形击打块，所述旋轴与所述t形击打块的外壁均设置有循环摆动组件，所述旋轴的一端与所述第一支撑座的一侧外壁设置有往复扩增辅助单元。
6.作为本发明再进一步的方案：所述自动清刷器包括安装在所述第一支撑座一侧外壁的第四驱动电机，所述第四驱动电机的输出端连接有连接盘，所述连接盘的一侧外壁安装有第一磁体，所述清洗毛刷辊的两侧外壁固定连接有旋柱，且所述旋柱与所述第一支撑
座转动连接，其中一个所述旋柱的一端安装有第二磁体，所述第一磁体与所述第二磁体隔着所述第一支撑座对称设置，所述固定座的顶端固定连接有u形立座，所述u形立座的顶端安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端连接有单向螺纹丝杆，所述u形立座的内侧滑动连接有滑块，所述滑块套接在所述单向螺纹丝杆的外壁，且所述滑块与所述第一连接座固定连接。
7.作为本发明再进一步的方案：所述u形立座的内侧设置有与所述滑块相匹配的第一引导槽，所述滑块的内侧开设有与所述单向螺纹丝杆相匹配的螺纹槽。
8.作为本发明再进一步的方案：所述双向螺纹丝杆的外壁设置有正螺纹与反螺纹，所述第二连接座设置有两个，两个所述第二连接座的内侧均开设有与所述第二磁体相匹配的第二引导槽，两个所述第二磁体分别套接在所述双向螺纹丝杆正螺纹与反螺纹外壁。
9.作为本发明再进一步的方案：所述自动冲刷器包括固定连接在所述第一支撑座顶端的连接架，所述连接架的内侧安装有导流管，所述导流管的排水口处固定连接有波纹软管，所述波纹软管的一端固定连接有喷头。
10.作为本发明再进一步的方案：所述往复扩增辅助单元包括固定连接在所述旋轴一端的固定柱，所述固定柱的外壁固定连接有第一锥齿轮，所述第一支撑座的一侧外壁固定连接有矩形座，所述矩形座的内侧转动连接有转轴，所述转轴的底端固定连接有第二锥齿轮，且所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮向啮合，所述转轴的外壁位于所述矩形座的上方固定连接有半齿轮，所述矩形座的顶端滑动连接有u形齿条，所述u形齿条的一侧外壁固定连接有异形杆，所述异形杆的一端固定连接有第二连接杆，所述第二连接杆的内侧等距离固定连接有多个连接环套，且所述连接环套的内侧与所述喷头固定连接，所述转轴的外壁与所述矩形座的内侧设置有间歇敲打件。
11.作为本发明再进一步的方案：所述u形齿条的内侧对称设置有两组卡齿，两组卡齿均与所述半齿轮啮合设置，其中一组卡齿初始与所述半齿轮相啮合，所述u形齿条的底端固定连接有限位滑块，所述矩形座的内侧开设有与限位滑块相匹配的第三引导槽。
12.作为本发明再进一步的方案：所述间歇敲打件包括固定连接在所述矩形座顶端的固定套筒，诉讼固定套筒的内侧滑动连接有矩形拉扯块，所述矩形拉扯块的一端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端与所述固定套筒固定连接，所述矩形拉扯块的另一端固定连接有拨动块，所述转轴的外壁固定连接有两个动力块，两个所述动力块的内侧均转动连接有一个动力轮，其中一个所述动力轮贴合在所述拨动块的外壁，所述拨动块的一侧外壁固定连接有撞击块，所述撞击块一端抵在所述旋轴的一端外壁，所述撞击块的外壁设置有拉扯辅助组件。
13.作为本发明再进一步的方案：所述循环摆动组件包括滑动连接在所述旋轴外壁的滑动环，所述滑动环的内侧固定连接有第一弹簧，所述滑动环的内侧固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆的一端固定连接有直齿条，所述旋轴的外壁等距离固定连接有多个辅助座，其中一个所述辅助座的外壁与所述第一弹簧的一端固定连接，所述辅助座的内侧转动连接有摆动块，所述摆动块的一端与所述t形击打块固定连接，所述辅助座的一侧外壁固定连接有动力轴，所述动力轴的一端贯穿至所述辅助座的外部并与所述辅助座转动连接，所述动力轴的外壁固定连接有直齿轮，所述直齿轮与所述直齿条相啮合，所述直齿轮的一侧外壁安装有扭簧，所述扭簧的一端安装在所述辅助座的外壁。
14.作为本发明再进一步的方案：所述拉扯辅助组件包括固定连接在所述撞击块顶端的拉扯辅助块，所述直齿条的一端固定连接有连接环，所述连接环的内侧开设有凹槽，所述拉扯辅助块贴合在所述凹槽上。
15.与现有技术相比，本发明的有益效果是：1、通过设置循环击打辅助件，第二驱动电机输出端驱动旋轴带动多个t形击打块进行转动，从而通过多个t形击打块分别对清洗毛刷辊外壁刷毛进行击打，使得刷毛上粘附的杂质脱落，从而进一步的提高了清洗毛刷辊刷毛的洁净度；2、通过设置自动冲刷器，喷头初始位置对准清洗毛刷辊外壁刷毛，将供水管道与导流管输入端进行连接，随后通过多个喷头喷洒到清洗毛刷辊刷毛上，以此对清洗毛刷辊刷毛上粘附的杂质进行冲洗，使得刷毛上的杂质能够被冲刷下来，从而提高清洗毛刷辊刷毛的洁净度，进而提高了清洗毛刷辊对晶圆本体表面刷洗的洁净度；3、通过设置往复扩增辅助单元，旋轴进行转动同时通过固定柱带动第一锥齿轮进行转动，从而驱动第二锥齿轮通过转轴带动半齿轮进行转动，当半齿轮外壁卡齿与u形齿条内侧一组卡齿接触时，驱动u形齿条进行横向移动，当半齿轮外壁卡齿与u形齿条一组卡齿分离与另一组卡齿接触时，驱动u形齿条进行复位，通过转轴不断带动半齿轮进行转动，从而驱动u形齿条通过异形杆带动第二连接杆进行往复移动，以此通过连接环套拉动喷头进行往复摆动，从而扩大喷头喷洒的范围；4、通过设置间歇敲打件，转轴进行转动的同时带动动力块进行转动，从而通过动力轮推动拨动块通过矩形拉扯块挤压第二弹簧进行移动，并拉动撞击块与旋轴分离，当动力轮与拨动块分离后，第二弹簧推动矩形拉扯块进行复位，使得撞击块撞击到旋轴上，使得旋轴产生震动作用于t形击打块，由于震动只要接触就可以进行传递，进而能辅助t形击打块在击打清洗毛刷辊外壁刷毛时将刷毛表面杂质震动下来，同时能够将粘附在t形击打块上的杂质震动下来，以此提高了对清洗毛刷辊外壁刷毛上杂质清理的效率，同时能够提高t形击打块表面的洁净度；5、通过设置循环摆动组件，当撞击块向远离旋轴方向进行移动的同时通过拉扯辅助块拉动连接环进行移动，从而通过直齿条与第一连接杆拉动滑动环进行移动，并对第一弹簧进行挤压，通过直齿条驱动直齿轮通过动力轴带动摆动块进行转动，从而带动连接环进行转动，以此扩大连接环的范围，使得连接环能够对清洗毛刷辊外壁刷毛进行多范围击打。
附图说明
16.图1为本发明的结构示意图；图2为本发明的固定座侧视图；图3为本发明的图2中a处放大图；图4为本发明的旋轴结构示意图；图5为本发明的矩形座顶部结构示意图；图6为本发明的循环摆动组件结构示意图；图7为本发明的图6中b处放大图；图8为本发明的第一支撑座剖视图；
图9为本发明的第一连接座结构示意图；图10为本发明的连接环结构示意图。
17.图中：1、固定座；2、第一支撑座；3、清洗毛刷辊；4、第二支撑座；5、u形立座；6、第一驱动电机；7、滑块；8、晶圆本体；9、弧形夹持板；10、第一连接座；11、导流管；12、连接架；13、第二驱动电机；14、t形击打块；15、支撑盘；16、单向螺纹丝杆；17、第三驱动电机；18、双向螺纹丝杆；19、第四驱动电机；20、旋轴；21、滑动环；22、第一连接杆；23、第一弹簧；24、连接环；25、喷头；26、连接环套；27、第二连接杆；28、异形杆；29、固定套筒；30、固定柱；31、第一锥齿轮；32、矩形座；33、转轴；34、第二锥齿轮；35、u形齿条；36、半齿轮；37、摆动块；38、辅助座；39、直齿条；40、直齿轮；41、矩形拉扯块；42、拨动块；43、撞击块；44、第二弹簧；45、拉扯辅助块；46、动力块；47、动力轮；48、动力轴；49、扭簧；50、旋柱；51、连接盘；52、第一磁体；53、波纹软管；54、第二磁体；55、第二连接座；56、凹槽。
具体实施方式
18.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
19.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。下面根据本发明的整体结构，对其实施例进行说明。
20.请参阅图1～10，本发明实施例中，清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，包括固定座1，固定座1的顶端设置有第一连接座10，第一连接座10的内侧固定连接有支撑盘15，支撑盘15的一端设置有晶圆本体8，晶圆本体8的外壁与第一连接座10的一侧设置有自动清刷器，支撑盘15的一侧外壁固定连接有第二连接座55，第二连接座55的一端安装有第三驱动电机17，第三驱动电机17的输出端连接有双向螺纹丝杆18，第二连接座55的内侧滑动连接有第二磁体54，第二磁体54套接在双向螺纹丝杆18的外壁，第二磁体54的一端固定连接有弧形夹持板9，弧形夹持板9贴合在晶圆本体8的外壁，固定座1的顶端位于晶圆本体8的一侧固定连接有第一支撑座2，第一支撑座2的内侧设置有清洗毛刷辊3，第一支撑座2的顶端位于清洗毛刷辊3的上方设置有自动冲刷器，固定座1的顶端固定连接有第二支撑座4，第二支撑座4的两侧外壁设置有循环击打辅助件；循环击打辅助件包括设置转动连接在第二支撑座4内侧的旋轴20，第二支撑座4的一侧外壁安装有第二驱动电机13，第二驱动电机13的输出端与旋轴20连接，旋轴20的外壁
等距离设置有多个t形击打块14，旋轴20与t形击打块14的外壁均设置有循环摆动组件，旋轴20的一端与第一支撑座2的一侧外壁设置有往复扩增辅助单元，双向螺纹丝杆18的外壁设置有正螺纹与反螺纹，第二连接座55设置有两个，两个第二连接座55的内侧均开设有与第二磁体54相匹配的第二引导槽，两个第二磁体54分别套接在双向螺纹丝杆18正螺纹与反螺纹外壁。
21.本实施例中：当需要清洗的晶圆本体8放置到一个弧形夹持板9的内侧，随后启动第三驱动电机17，第三驱动电机17输出端驱动两个第二磁体54分别带动一个弧形夹持板9向晶圆本体8内侧靠近，当两个弧形夹持板9移动到最大位置时，将晶圆本体8固定在指定位置，通过清洗毛刷辊3外壁毛刷对晶圆本体8表面进行清理，启动第二驱动电机13，第二驱动电机13输出端驱动旋轴20带动多个t形击打块14进行转动，从而通过多个t形击打块14分别对清洗毛刷辊3外壁刷毛进行击打，使得刷毛上粘附的杂质脱落，从而进一步的提高了清洗毛刷辊3刷毛的洁净度。
22.请着重参阅图1～9，自动清刷器包括安装在第一支撑座2一侧外壁的第四驱动电机19，第四驱动电机19的输出端连接有连接盘51，连接盘51的一侧外壁安装有第一磁体52，清洗毛刷辊3的两侧外壁固定连接有旋柱50，且旋柱50与第一支撑座2转动连接，其中一个旋柱50的一端安装有第二磁体54，第一磁体52与第二磁体54隔着第一支撑座2对称设置，固定座1的顶端固定连接有u形立座5，u形立座5的顶端安装有第一驱动电机6，第一驱动电机6的输出端连接有单向螺纹丝杆16，u形立座5的内侧滑动连接有滑块7，滑块7套接在单向螺纹丝杆16的外壁，且滑块7与第一连接座10固定连接，u形立座5的内侧设置有与滑块7相匹配的第一引导槽，滑块7的内侧开设有与单向螺纹丝杆16相匹配的螺纹槽。
23.本实施例中：第一磁体52和第二磁体54相对的端面上的磁极按照ns极交替方式圆周排列，设置多个磁铁呈环状布置于连接盘51上形成第一磁体52，任意两个相邻的磁铁的磁极布置方向相反，如具有八个磁铁，四个磁铁磁极以n-s向布置，四个磁铁的磁极以s-n向布置，且相邻磁铁的磁极布置方向相反，同理，第二磁体54在旋柱50上的布置方式按照相同原理设置，如此设置的优点在于，第一磁体52与第二磁体54在相对静止的过程中，任意相对的位置均为n-s极相互吸引的状态，当在第一磁体52受驱动转动一周的过程中，第二磁体54经历的磁感线的变化较大，同时可以得到在空间上正弦分布的磁场，获得较强的磁力耦合，增强传动效果，启动第四驱动电机19，第四驱动电机19输出端驱动连接盘51带动第一磁体52进行转动，第一磁体52通过磁力带动第二磁体54进行转动，从而通过旋柱50带动清洗毛刷辊3进行旋转，通过清洗毛刷辊3外壁刷毛对晶圆本体8表面进行清刷，启动第一驱动电机6，第一驱动电机6输出端可以进行正反转，从而驱动单向螺纹丝杆16进行正转动和反转，进而能够驱动滑块7带动第一连接座10进行上下往复移动，从而使得清洗毛刷辊3外壁刷毛能够对晶圆本体8表面进行全方位清理。
24.请着重参阅图1、图2、图3、图8，自动冲刷器包括固定连接在第一支撑座2顶端的连接架12，连接架12的内侧安装有导流管11，导流管11的排水口处固定连接有波纹软管53，波纹软管53的一端固定连接有喷头25。
25.本实施例中：喷头25初始位置对准清洗毛刷辊3外壁刷毛，将供水管道与导流管11输入端进行连接，随后通过多个喷头25喷洒到清洗毛刷辊3刷毛上，以此对清洗毛刷辊3刷毛上粘附的杂质进行冲洗，使得刷毛上的杂质能够被冲刷下来，从而提高清洗毛刷辊3刷毛
的洁净度，进而提高了清洗毛刷辊3对晶圆本体8表面刷洗的洁净度。
26.请着重参阅图1～8，往复扩增辅助单元包括固定连接在旋轴20一端的固定柱30，固定柱30的外壁固定连接有第一锥齿轮31，第一支撑座2的一侧外壁固定连接有矩形座32，矩形座32的内侧转动连接有转轴33，转轴33的底端固定连接有第二锥齿轮34，且第二锥齿轮34与第一锥齿轮31向啮合，转轴33的外壁位于矩形座32的上方固定连接有半齿轮36，矩形座32的顶端滑动连接有u形齿条35，u形齿条35的一侧外壁固定连接有异形杆28，异形杆28的一端固定连接有第二连接杆27，第二连接杆27的内侧等距离固定连接有多个连接环套26，且连接环套26的内侧与喷头25固定连接，转轴33的外壁与矩形座32的内侧设置有间歇敲打件，u形齿条35的内侧对称设置有两组卡齿，两组卡齿均与半齿轮36啮合设置，其中一组卡齿初始与半齿轮36相啮合，u形齿条35的底端固定连接有限位滑块，矩形座32的内侧开设有与限位滑块相匹配的第三引导槽。
27.本实施例中：旋轴20进行转动同时通过固定柱30带动第一锥齿轮31进行转动，从而驱动第二锥齿轮34通过转轴33带动半齿轮36进行转动，当半齿轮36外壁卡齿与u形齿条35内侧一组卡齿接触时，驱动u形齿条35进行横向移动，当半齿轮36外壁卡齿与u形齿条35一组卡齿分离与另一组卡齿接触时，驱动u形齿条35进行复位，通过转轴33不断带动半齿轮36进行转动，从而驱动u形齿条35通过异形杆28带动第二连接杆27进行往复移动，以此通过连接环套26拉动喷头25进行往复摆动，从而扩大喷头25喷洒的范围。
28.请着重参阅图5，间歇敲打件包括固定连接在矩形座32顶端的固定套筒29，诉讼固定套筒29的内侧滑动连接有矩形拉扯块41，矩形拉扯块41的一端固定连接有第二弹簧44，第二弹簧44的一端与固定套筒29固定连接，矩形拉扯块41的另一端固定连接有拨动块42，转轴33的外壁固定连接有两个动力块46，两个动力块46的内侧均转动连接有一个动力轮47，其中一个动力轮47贴合在拨动块42的外壁，拨动块42的一侧外壁固定连接有撞击块43，撞击块43一端抵在旋轴20的一端外壁，撞击块43的外壁设置有拉扯辅助组件。
29.本实施例中：转轴33进行转动的同时带动动力块46进行转动，从而通过动力轮47推动拨动块42通过矩形拉扯块41挤压第二弹簧44进行移动，并拉动撞击块43与旋轴20分离，当动力轮47与拨动块42分离后，第二弹簧44推动矩形拉扯块41进行复位，使得撞击块43撞击到旋轴20上，使得旋轴20产生震动作用于t形击打块14，由于震动只要接触就可以进行传递，进而能辅助t形击打块14在击打清洗毛刷辊3外壁刷毛时将刷毛表面杂质震动下来，同时能够将粘附在t形击打块14上的杂质震动下来，以此提高了对清洗毛刷辊3外壁刷毛上杂质清理的效率，同时能够提高t形击打块14表面的洁净度。
30.请着重参阅图2～10，循环摆动组件包括滑动连接在旋轴20外壁的滑动环21，滑动环21的内侧固定连接有第一弹簧23，滑动环21的内侧固定连接有第一连接杆22，第一连接杆22的一端固定连接有直齿条39，旋轴20的外壁等距离固定连接有多个辅助座38，其中一个辅助座38的外壁与第一弹簧23的一端固定连接，辅助座38的内侧转动连接有摆动块37，摆动块37的一端与t形击打块14固定连接，辅助座38的一侧外壁固定连接有动力轴48，动力轴48的一端贯穿至辅助座38的外部并与辅助座38转动连接，动力轴48的外壁固定连接有直齿轮40，直齿轮40与直齿条39相啮合，直齿轮40的一侧外壁安装有扭簧49，扭簧49的一端安装在辅助座38的外壁，拉扯辅助组件包括固定连接在撞击块43顶端的拉扯辅助块45，直齿条39的一端固定连接有连接环24，连接环24的内侧开设有凹槽56，拉扯辅助块45贴合在凹
槽56上。
31.本实施例中：当撞击块43向远离旋轴20方向进行移动的同时通过拉扯辅助块45拉动连接环24进行移动，从而通过直齿条39与第一连接杆22拉动滑动环21进行移动，并对第一弹簧23进行挤压，通过直齿条39驱动直齿轮40通过动力轴48带动摆动块37进行转动，从而带动连接环24进行转动，以此扩大连接环24的范围，使得连接环24能够对清洗毛刷辊3外壁刷毛进行多范围击打。
32.以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，包括固定座（1），其特征在于，所述固定座（1）的顶端设置有第一连接座（10），所述第一连接座（10）的内侧固定连接有支撑盘（15），所述支撑盘（15）的一端设置有晶圆本体（8），所述晶圆本体（8）的外壁与所述第一连接座（10）的一侧设置有自动清刷器，所述支撑盘（15）的一侧外壁固定连接有第二连接座（55），所述第二连接座（55）的一端安装有第三驱动电机（17），所述第三驱动电机（17）的输出端连接有双向螺纹丝杆（18），所述第二连接座（55）的内侧滑动连接有第二磁体（54），所述第二磁体（54）套接在所述双向螺纹丝杆（18）的外壁，所述第二磁体（54）的一端固定连接有弧形夹持板（9），所述弧形夹持板（9）贴合在所述晶圆本体（8）的外壁，所述固定座（1）的顶端位于所述晶圆本体（8）的一侧固定连接有第一支撑座（2），所述第一支撑座（2）的内侧设置有清洗毛刷辊（3），所述第一支撑座（2）的顶端位于所述清洗毛刷辊（3）的上方设置有自动冲刷器，所述固定座（1）的顶端固定连接有第二支撑座（4），所述第二支撑座（4）的两侧外壁设置有循环击打辅助件；所述循环击打辅助件包括设置转动连接在所述第二支撑座（4）内侧的旋轴（20），所述第二支撑座（4）的一侧外壁安装有第二驱动电机（13），所述第二驱动电机（13）的输出端与所述旋轴（20）连接，所述旋轴（20）的外壁等距离设置有多个t形击打块（14），所述旋轴（20）与所述t形击打块（14）的外壁均设置有循环摆动组件，所述旋轴（20）的一端与所述第一支撑座（2）的一侧外壁设置有往复扩增辅助单元。2.根据权利要求1所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述自动清刷器包括安装在所述第一支撑座（2）一侧外壁的第四驱动电机（19），所述第四驱动电机（19）的输出端连接有连接盘（51），所述连接盘（51）的一侧外壁安装有第一磁体（52），所述清洗毛刷辊（3）的两侧外壁固定连接有旋柱（50），且所述旋柱（50）与所述第一支撑座（2）转动连接，其中一个所述旋柱（50）的一端安装有第二磁体（54），所述第一磁体（52）与所述第二磁体（54）隔着所述第一支撑座（2）对称设置，所述固定座（1）的顶端固定连接有u形立座（5），所述u形立座（5）的顶端安装有第一驱动电机（6），所述第一驱动电机（6）的输出端连接有单向螺纹丝杆（16），所述u形立座（5）的内侧滑动连接有滑块（7），所述滑块（7）套接在所述单向螺纹丝杆（16）的外壁，且所述滑块（7）与所述第一连接座（10）固定连接。3.根据权利要求2所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述u形立座（5）的内侧设置有与所述滑块（7）相匹配的第一引导槽，所述滑块（7）的内侧开设有与所述单向螺纹丝杆（16）相匹配的螺纹槽。4.根据权利要求1所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述双向螺纹丝杆（18）的外壁设置有正螺纹与反螺纹，所述第二连接座（55）设置有两个，两个所述第二连接座（55）的内侧均开设有与所述第二磁体（54）相匹配的第二引导槽，两个所述第二磁体（54）分别套接在所述双向螺纹丝杆（18）正螺纹与反螺纹外壁。5.根据权利要求1所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述自动冲刷器包括固定连接在所述第一支撑座（2）顶端的连接架（12），所述连接架（12）的内侧安装有导流管（11），所述导流管（11）的排水口处固定连接有波纹软管（53），所述波纹软管（53）的一端固定连接有喷头（25）。6.根据权利要求5所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述往复扩增辅助单元包括固定连接在所述旋轴（20）一端的固定柱（30），所述固定柱（30）的
外壁固定连接有第一锥齿轮（31），所述第一支撑座（2）的一侧外壁固定连接有矩形座（32），所述矩形座（32）的内侧转动连接有转轴（33），所述转轴（33）的底端固定连接有第二锥齿轮（34），且所述第二锥齿轮（34）与所述第一锥齿轮（31）向啮合，所述转轴（33）的外壁位于所述矩形座（32）的上方固定连接有半齿轮（36），所述矩形座（32）的顶端滑动连接有u形齿条（35），所述u形齿条（35）的一侧外壁固定连接有异形杆（28），所述异形杆（28）的一端固定连接有第二连接杆（27），所述第二连接杆（27）的内侧等距离固定连接有多个连接环套（26），且所述连接环套（26）的内侧与所述喷头（25）固定连接，所述转轴（33）的外壁与所述矩形座（32）的内侧设置有间歇敲打件。7.根据权利要求6所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述u形齿条（35）的内侧对称设置有两组卡齿，两组卡齿均与所述半齿轮（36）啮合设置，其中一组卡齿初始与所述半齿轮（36）相啮合，所述u形齿条（35）的底端固定连接有限位滑块，所述矩形座（32）的内侧开设有与限位滑块相匹配的第三引导槽。8.根据权利要求6所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述间歇敲打件包括固定连接在所述矩形座（32）顶端的固定套筒（29），诉讼固定套筒（29）的内侧滑动连接有矩形拉扯块（41），所述矩形拉扯块（41）的一端固定连接有第二弹簧（44），所述第二弹簧（44）的一端与所述固定套筒（29）固定连接，所述矩形拉扯块（41）的另一端固定连接有拨动块（42），所述转轴（33）的外壁固定连接有两个动力块（46），两个所述动力块（46）的内侧均转动连接有一个动力轮（47），其中一个所述动力轮（47）贴合在所述拨动块（42）的外壁，所述拨动块（42）的一侧外壁固定连接有撞击块（43），所述撞击块（43）一端抵在所述旋轴（20）的一端外壁，所述撞击块（43）的外壁设置有拉扯辅助组件。9.根据权利要求8所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述循环摆动组件包括滑动连接在所述旋轴（20）外壁的滑动环（21），所述滑动环（21）的内侧固定连接有第一弹簧（23），所述滑动环（21）的内侧固定连接有第一连接杆（22），所述第一连接杆（22）的一端固定连接有直齿条（39），所述旋轴（20）的外壁等距离固定连接有多个辅助座（38），其中一个所述辅助座（38）的外壁与所述第一弹簧（23）的一端固定连接，所述辅助座（38）的内侧转动连接有摆动块（37），所述摆动块（37）的一端与所述t形击打块（14）固定连接，所述辅助座（38）的一侧外壁固定连接有动力轴（48），所述动力轴（48）的一端贯穿至所述辅助座（38）的外部并与所述辅助座（38）转动连接，所述动力轴（48）的外壁固定连接有直齿轮（40），所述直齿轮（40）与所述直齿条（39）相啮合，所述直齿轮（40）的一侧外壁安装有扭簧（49），所述扭簧（49）的一端安装在所述辅助座（38）的外壁。10.根据权利要求9所述的清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，其特征在于，所述拉扯辅助组件包括固定连接在所述撞击块（43）顶端的拉扯辅助块（45），所述直齿条（39）的一端固定连接有连接环（24），所述连接环（24）的内侧开设有凹槽（56），所述拉扯辅助块（45）贴合在所述凹槽（56）上。

技术总结
本发明公开了清洗毛刷无接触磁浮传动总成用的清洗装置，涉及晶圆清洗设备技术领域，包括固定座，所述固定座的顶端设置有第一连接座，所述第一连接座的内侧固定连接有支撑盘，所述支撑盘的一端设置有晶圆本体，所述晶圆本体的外壁与所述第一连接座的一侧设置有自动清刷器，所述支撑盘的一侧外壁固定连接有第二连接座，所述第二连接座的一端安装有第三驱动电机，清洗毛刷辊，自动冲刷器，有循环击打辅助件。本发明通过设置循环击打辅助件，第二驱动电机输出端驱动旋轴带动多个T形击打块进行转动，从而通过多个T形击打块分别对清洗毛刷辊外壁刷毛进行击打，使得刷毛上粘附的杂质脱落，从而进一步的提高了清洗毛刷辊刷毛的洁净度。度。度。


技术研发人员：毛林才
受保护的技术使用者：光微半导体（吉林）有限公司
技术研发日：2023.06.02
技术公布日：2023/7/12