先导式电磁膜片阀的制作方法

1.本发明涉及电磁阀技术领域，具体涉及一种先导式电磁膜片阀。


背景技术：

2.在医疗制氧机中，其电磁阀的阀芯结构常采用滑柱形式，滑柱式阀芯需要使用到润滑剂，否则会影响阀芯的移动和密封，但是，润滑剂会混入到制氧机所产生的氧气，污染氧气，导致氧气纯净度差，严重影响制氧机产生的氧气质量。
3.现有技术（cn213711985u）公开了一种制氧机用膜片式电磁阀，其采用了双膜片式电磁阀，通过两个先导阀来分别控制两个膜片阀的开闭，来实现进气和排气的交替进行，但是，两个先导阀的单独控制，控制结构复杂，控制难度大，协同性差，容易出现控制误差，即，在一个膜片阀进气的情况下，另一个膜片阀可能也在进气，反之，在一个膜片阀排气的情况下，另一个膜片阀可能也在排气，这样会造成制氧机进气端较大的压力波动，制氧机工作压力不稳定，容易造成设备损坏，并降低制氧质量。


技术实现要素：

4.本发明的目的是为了解决现有技术中先导式电磁膜片阀污染气体，控制结构复杂、双阀协同性差、气体压力不稳定等问题，而提出一种先导式电磁膜片阀。
5.为了实现上述目的，本发明提供了一种先导式电磁膜片阀，包括主阀组件和先导阀组件，所述主阀组件包括主阀本体以及安装在主阀本体内的第一膜片组件和第二膜片组件，第一膜片组件和第二膜片组件之间设有第一工作口c1和第二工作口c2，所述主阀本体上部设有第一进气口a1，主阀本体下部设有第一排气口b1；所述先导阀组件包括先导阀本体，所述先导阀本体内部竖直设有阀杆，所述阀杆内部设有阀杆内通道，所述阀杆内通道下端连通第二排气口b2，所述阀杆上固定设有第一先导膜片组件和第二先导膜片组件，所述第一先导膜片组件和所述第二先导膜片组件之间设有第二进气口a2；当所述阀杆位于上部的第一工作位置时，第二进气口a2的气体穿过第二先导膜片组件作用于第一膜片组件的左侧和第二膜片组件的右侧，使第二工作口c2与第一进气口a1连通并使第一工作口c1与第一排气口b1连通；当所述阀杆向下移动到第二工作位置时，所述第二进气口a2的气体穿过第一先导膜片组件作用于第一膜片组件的右侧和第二膜片组件的左侧，使第一工作口c1与第一进气口a1连通并使第二工作口c2与第一排气口b1连通。
6.优选的，主阀本体包括主阀左壁、主阀上壁、主阀下壁、主阀右壁，主阀左壁与主阀右壁之间水平设有相互连接的第一左隔离部、第一右隔离部以及相互连接的第二左隔离部、第二右隔离部，第一左隔离部、第一右隔离部共同隔离出主阀的上腔，第二左隔离部、第二右隔离部共同隔离出主阀的下腔，上腔和下腔之间隔离出中腔，所述第一膜片组件将上腔隔离为第一左隔离腔、进气腔、第一右隔离腔，所述第二膜片组件将下腔隔离为第二左隔离腔、排气腔、第二右隔离腔，竖直隔离部将中腔隔离为第一工作腔、第二工作腔，所述第一左隔离部，所述第二左隔离部，所述第一右隔离部，所述第二右隔离部上均设有连接孔，所
述连接孔能够将第一工作腔或第二工作腔与进气腔或排气腔连通，所述进气腔内设有第一左阀座、第一右阀座，所述排气腔内设有第二左阀座、第二右阀座，所述进气腔连接第一进气口a1，排气腔连通第一排气口b1；所述第一膜片组件包括第一左膜片、第一右膜片以及连接第一左膜片和第一右膜片的第一连杆，所述第二膜片组件包括第二左膜片、第二右膜片以及连接第二左膜片和第二右膜片的第二连杆，所述第一左膜片与第一左阀座配合用于连通或阻断进气腔与第一工作腔，所述第一右膜片与第一右阀座配合用于连通或阻断进气腔与第二工作腔，所述第二左膜片与第二左阀座配合用于连通或阻断排气腔与第一工作腔，所述第二右膜片与第二右阀座配合用于连通或阻断排气腔与第二工作腔；所述阀杆侧壁设有与阀杆内通道连通的第一阀杆通孔、第二阀杆通孔，所述阀杆内通道贯穿所述阀杆底部且连通第二排气口b2， 所述先导阀本体内壁设有第一环形凸台、第二环形凸台，第一先导膜片组件固定设置于所述第一环形凸台下侧与阀杆之间，第二先导膜片组件固定设置于所述第二环形凸台上侧与阀杆之间，阀杆下部外侧还固定设有第三先导膜片组件，所述第一先导膜片组件上方为第一泄气腔，所述第一先导膜片组件与第二先导膜片组件之间为先导进气腔，所述先导进气腔内设有第二进气口a2，所述第二先导膜片组件与第三先导膜片组件之间为第二泄气腔，所述第一泄气腔分别与第一右隔离腔、第二左隔离腔连通，所述第二泄气腔分别与第一左隔离腔、第二右隔离腔连通；所述第一先导膜片组件为圆形，其包括位于外周的第一平面密封部、中间的连接部以及内周的第二平面密封部，第二平面密封部内设有与所述阀杆相固定的中心孔；所述第一平面密封部、所述连接部、所述第二平面密封部柔性连接，所述第一平面密封部内设有第一刚性支撑板，所述连接部内设有第二刚性支撑板，所述第二平面密封部内设有第三刚性支撑板，所述第一平面密封部周向设有多个泄气孔；所述第二先导膜片组件与第一先导膜片组件结构相同且安装方向相反；当阀杆位于上部的第一工作位置时，所述第一先导膜片组件打开第一阀杆通孔且关闭其泄气孔，使所述第一泄气腔与所述阀杆内通道连通，所述第一泄气腔进行排气，阻断所述第二进气口a2与所述第一泄气腔，同时，所述第二先导膜片组件使所述第二进气口a2与所述第二泄气腔连通，阻断所述第二泄气腔与所述阀杆内通道；当所述阀杆向下移动到第二工作位置时，所述第一泄气腔与所述第二进气口a2连通且与所述阀杆内通道阻断，所述第二泄气腔与所述阀杆内通道连通且与所述第二进气口a2阻断。
7.优选的，所述主阀本体和所述先导阀本体设有多个安装孔，所述安装孔上设有阀盖。
8.优选的，所述第一左隔离腔外部设有第一阀盖，所述第一阀盖上设有第一主阀泄压口a1。
9.优选的，所述第二左隔离腔外部设有第二阀盖，所述第二阀盖上设有第二主阀泄压口b1。
10.优选的，所述先导阀本体上部设有第三阀盖，所述第三阀盖上部设有电磁致动器，电磁致动器与阀杆连接。
11.优选的，所述先导阀本体下部设有第四阀盖，所述第二排气口b2设置在第四阀盖上；所述阀杆底部设有台阶，所述台阶与所述第四阀盖之间设有复位弹簧，所述第三先导膜片组件与所述第四阀盖之间为弹簧腔。
12.优选的，所述先导阀本体的先导阀右壁上设有与所述第一泄气腔连通的第二先导
阀泄压口b2和与第二泄气腔连通的第一先导阀泄压口a2。
13.优选的，所述第一进气口a1与所述第二进气口a2连通，所述第一排气口b1与所述第二排气口b2连通，所述第一主阀泄压口a1与所述第一先导阀泄压口a2连通，所述第二主阀泄压口b1与所述第二先导阀泄压口b2连通。
14.优选的，所述先导阀本体的左壁为主阀右壁，所述主阀右壁上设有第一过气孔、第二过气孔，所述第一过气孔连通第一右隔离腔与第一泄气腔，所述第二过气孔连通第二右隔离腔与第二泄气腔。
15.本发明提出的一种先导式电磁膜片阀，有益效果在于：1、阀芯均为膜片式结构，不采用滑柱式阀芯，不需要使用润滑油，在进气与排气过程中，不会对气体产生污染，保证了气源的纯净。
16.2、仅采用一个先导阀，就能够同时控制两组膜片组件的动作，控制进气与排气的交替进行，控制结构简单。
17.3、双膜片组件的控制协同性强，第一膜片组件和第二膜片组件运动方向始终相反，第一工作腔、第二工作腔不会发生均进气或均排气的情况，进气和排气压力更加稳定，制氧过程更加平稳，提高了制氧机的使用寿命。
附图说明
18.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本发明的先导式电磁膜片阀处于第一工作位置的结构示意图；图2为本发明的先导式电磁膜片阀处于第二工作位置的结构示意图；图3为本发明的先导阀组件的结构示意图；图4为本发明的第一先导膜片组件的结构示意图。
19.图中：主阀左壁101，主阀上壁102，主阀下壁103，主阀右壁104，第一过气孔1041，第二过气孔1042，第一左阀座105，第一右阀座106，第二左阀座107，第二右阀座108，第一左隔离部109，第二左隔离部110，第一右隔离部111，第二右隔离部112，第一左隔离腔113，第一右隔离腔114，第一工作腔115，第二工作腔116，第二左隔离腔117，第二右隔离腔118，竖直隔离部119，先导阀右壁201，第一阀盖301，第二阀盖302，第三阀盖303，第四阀盖304，第一左膜片401，第一右膜片402，第二左膜片403，第二右膜片404，第一连杆405，第二连杆406，阀杆501，第一阀杆通孔5011，第二阀杆通孔5012，阀杆内通道5013，电磁致动器502，复位弹簧503，第一先导膜片组件504，泄气孔5041，第一平面密封部5042，连接部5043，第二平面密封部5044，中心孔5045，第一刚性支撑板5046，第二刚性支撑板5047，第三刚性支撑板5048，第二先导膜片组件505，第三先导膜片组件506，第一环形凸台507，第二环形凸台508，第一泄气腔509，先导进气腔510，第二泄气腔511，弹簧腔512，第一进气口a1，第二进气口a2，第一排气口b1，第二排气口b2，第一工作口c1，第二工作口c2，第一主阀泄压口a1，第一先导阀泄压口a2，第二主阀泄压口b1，第二先导阀泄压口b2。
20.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本文。
具体实施方式
21.为使本文实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本文实施例中的附图，对本文实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本文一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本文中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本文保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本文中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
22.除非上下文明确要求，否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。
23.参照图1-4，提出了一种先导式电磁膜片阀，包括主阀组件和先导阀组件，所述主阀组件包括主阀本体以及安装在主阀本体内的第一膜片组件和第二膜片组件，主阀本体包括主阀左壁101、主阀上壁102、主阀下壁103、主阀右壁104，主阀左壁101与主阀右壁104之间水平设有相互连接的第一左隔离部109、第一右隔离部111以及相互连接的第二左隔离部110、第二右隔离部112，第一左隔离部109、第一右隔离部111共同隔离出主阀的上腔，第二左隔离部110、第二右隔离部112共同隔离出主阀的下腔，上腔和下腔之间隔离出中腔，所述第一膜片组件将上腔隔离为第一左隔离腔113、进气腔、第一右隔离腔114，所述第二膜片组件将下腔隔离为第二左隔离腔117、排气腔、第二右隔离腔118，竖直隔离部119将中腔隔离为第一工作腔115、第二工作腔116，第一工作腔115内设有第一工作口c1，第二工作腔116内设有第二工作口c2；所述第一左隔离部109，所述第二左隔离部110，所述第一右隔离部111，所述第二右隔离部112上均设有连接孔，所述连接孔能够将第一工作腔115或第二工作腔116与进气腔或排气腔连通，所述进气腔内设有第一左阀座105、第一右阀座106，所述排气腔内设有第二左阀座107、第二右阀座108，所述进气腔连接第一进气口a1，排气腔连通第一排气口b1；所述第一膜片组件包括第一左膜片401、第一右膜片402以及连接第一左膜片401和第一右膜片402的第一连杆405，所述第二膜片组件包括第二左膜片403、第二右膜片404以及连接第二左膜片403和第二右膜片404的第二连杆406，所述第一左膜片401与第一左阀座105配合用于连通或阻断进气腔与第一工作腔115，所述第一右膜片402与第一右阀座106配合用于连通或阻断进气腔与第二工作腔116，所述第二左膜片403与第二左阀座107配合用于连通或阻断排气腔与第一工作腔115，所述第二右膜片404与第二右阀座108配合用于连通或阻断排气腔与第二工作腔116；所述先导阀组件包括先导阀本体，所述先导阀本体内壁竖直方向上设有阀杆501，所述阀杆501内部竖直设有阀杆内通道5013，所述阀杆501侧壁设有与阀杆内通道5013连通的第一阀杆通孔5011、第二阀杆通孔5012，所述阀杆内通道5013贯穿所述阀杆501底部且连通第二排气口b2， 所述先导阀本体内壁设有第一环形凸台507、第二环形凸台508，所述第一环形凸台507下侧设有与阀杆501固定连接的第一先导膜片组件504，所述第二环形凸台508上侧设有与阀杆501固定连接的第二先导膜片组件505，阀杆501下部外侧还固定设有第三先导膜片组件506，所述第一先导膜片组件504上方为第一泄气腔509，所述第一先导膜片组件504与第二先导膜片组件505之间为先导进气腔510，所述先导进气腔510内设有第二进气口a2，所述第二先导膜片组件505与第三先导膜片组件506之间为第二泄气腔511，所述第一泄气腔509分别与第一右隔离腔114、第二左隔离腔117连通，所述第二泄气腔511分别与第一左隔离腔113、第二右隔离腔118连通；所述第一先导
膜片组件504为圆形，其包括位于外周的第一平面密封部5042、中间的连接部5043以及内周的第二平面密封部5044，第二平面密封部5044内设有与所述阀杆501相固定的中心孔5045；所述第一平面密封部5042、所述连接部5043、所述第二平面密封部5044柔性连接，所述第一平面密封部5042内设有第一刚性支撑板5046，所述连接部5043内设有第二刚性支撑板5047，所述第二平面密封部5044内设有第三刚性支撑板5048，所述第一平面密封部5042周向设有多个泄气孔5041；所述第二先导膜片组件505与第一先导膜片组件504结构相同且安装方向相反；当阀杆501位于上部的第一工作位置时，所述第一先导膜片组件504打开第一阀杆通孔5011且关闭其泄气孔5041，使所述第一泄气腔509与所述阀杆内通道5013连通，所述第一泄气腔509进行排气，阻断所述第二进气口a2与所述第一泄气腔509，同时，所述第二先导膜片组件505使所述第二进气口a2与所述第二泄气腔511连通，阻断所述第二泄气腔511与所述阀杆内通道5013；当所述阀杆501移动到下部的第二工作位置时，所述第一泄气腔509与所述第二进气口a2连通且与所述阀杆内通道5013阻断，所述第二泄气腔511与所述阀杆内通道5013连通且与所述第二进气口a2阻断；第一工作口c1、第二工作口c2分别连通制氧机的制氧分子筛，实现制氧机进气与排气的交替进行。本发明中，在用于制氧的主阀本体中，阀芯均为膜片式结构，不采用滑柱式阀芯，不需要使用润滑油，在进气与排气过程中，不会对气体产生污染，保证了气源的纯净，提高了制备的氧气质量；仅采用一个先导阀，就能够同时控制两组膜片组件的动作，控制进气与排气的交替进行，控制结构简单，并且，在阀杆上固定设置第一先导膜片组件、第二先导膜片组件，第一先导膜片组件和第二先导膜片组件开闭状态正好相反，使第一工作腔、第二工作腔的进气和排气过程正好相反，同一时间只有一个工作腔进气，另一个工作腔排气，并且，第一工作腔、第二工作腔不会发生均进气或均排气的情况，双膜片组件的控制协同性强，进气和排气压力更加稳定，制氧过程更加平稳，提高了制氧机的使用寿命。
24.所述主阀本体和所述先导阀本体设有多个安装孔，所述安装孔上设有阀盖。该先导式电磁膜片阀的制造可采用现有技术的各种制造工艺实现，在设备的制造过程中，通过该安装孔可以实现设备内部组件的制造和安装，必要时，可将主阀本体或先导阀本体采用分体形式进行制造，以实现该先导式电磁膜片阀的组装。
25.所述第一左隔离腔113外部设有第一阀盖301，所述第一阀盖301上设有第一主阀泄压口a1；所述第二左隔离腔117外部设有第二阀盖302，所述第二阀盖302上设有第二主阀泄压口b1；所述先导阀本体上部设有第三阀盖303，所述第三阀盖303上部设有电磁致动器502，电磁致动器502与阀杆501连接；所述先导阀本体下部设有第四阀盖304，所述第二排气口b2设置在第四阀盖304上；所述先导阀本体的先导阀右壁201上设有与所述第一泄气腔509连通的第二先导阀泄压口b2和与第二泄气腔511连通的第一先导阀泄压口a2；所述第一进气口a1与所述第二进气口a2连通，所述第一排气口b1与所述第二排气口b2连通，所述第一主阀泄压口a1与所述第一先导阀泄压口a2连通，所述第二主阀泄压口b1与所述第二先导阀泄压口b2连通。在主阀本体或先导阀本体上的适当位置设置阀盖，用于实现安装口的封闭；在主阀本体、先导阀本体或阀盖上设置多个通孔，以实现该先导式电磁膜片阀的进气与排气的工作；阀杆采用单个电磁致动器进行操作，控制更加简单方便。
26.所述先导阀本体的左壁为主阀右壁104，所述主阀右壁104上设有第一过气孔1041、第二过气孔1042，所述第一过气孔1041连通第一右隔离腔114与第一泄气腔509，所述
第二过气孔1042连通第二右隔离腔118与第二泄气腔511。本发明中，主阀本体与先导阀本体可集成在一起，两者一体成型。
27.所述阀杆501底部设有台阶，所述台阶与所述第四阀盖304之间设有复位弹簧503，所述第三先导膜片组件506与所述第四阀盖304之间为弹簧腔512。设置复位弹簧503，可以在电磁致动器失电时，使阀杆回复到第一工作位置处。
28.本发明的工作原理：当阀杆501位于上部的第一工作位置时，所述第一先导膜片组件504打开第一阀杆通孔5011且关闭其泄气孔5041，使所述第一泄气腔509与所述阀杆内通道5013连通，阻断所述第二进气口a2与所述第一泄气腔509，所述第一泄气腔509进行排气，第二左隔离腔117、第一泄气腔509、第一右隔离腔114压力降低；同时，所述第二先导膜片组件505使所述第二进气口a2与所述第二泄气腔511连通，阻断所述第二泄气腔511与所述阀杆内通道5013，第二泄气腔511进气，第一左隔离腔113、第二泄气腔511、第二右隔离腔118压力增大，从而使得，第一膜片组件向右移动使第一左膜片401与第一左阀座105抵接，第二膜片组件向左移动使第二右膜片404与第二右阀座108抵接，从而实现第一工作腔115排气，第二工作腔116进气。
29.当所述阀杆501移动到下部的第二工作位置时，第一先导膜片组件504与第二先导膜片组件505的连通状态相反，使得所述第一泄气腔509与所述第二进气口a2连通且与所述阀杆内通道5013阻断，第一泄气腔509进气，第二左隔离腔117、第一泄气腔509、第一右隔离腔114压力增大；所述第二泄气腔511与所述阀杆内通道5013连通且与所述第二进气口a2阻断，第二泄气腔511排气，第一左隔离腔113、第二泄气腔511、第二右隔离腔118压力降低，使得第一膜片组件向左移动，第二膜片组件向右移动，从而实现第一工作腔115进气，第二工作腔116排气。
30.尽管已描述了本文的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本文范围的所有变更和修改。
31.显然，本领域的技术人员可以对本文进行各种改动和变型而不脱离本文的精神和范围。这样，倘若本文的这些修改和变型属于本文权利要求及其等同技术的范围之内，则本文的意图也包含这些改动和变型在内。

技术特征：
1.先导式电磁膜片阀，包括主阀组件和先导阀组件，其特征在于，所述主阀组件包括主阀本体以及安装在主阀本体内的第一膜片组件和第二膜片组件，第一膜片组件和第二膜片组件之间设有第一工作口（c1）和第二工作口（c2），所述主阀本体上部设有第一进气口（a1），主阀本体下部设有第一排气口（b1）；所述先导阀组件包括先导阀本体，所述先导阀本体内部竖直设有阀杆（501），所述阀杆（501）内部设有阀杆内通道（5013），所述阀杆内通道（5013）下端连通第二排气口（b2），所述阀杆（501）上固定设有第一先导膜片组件（504）和第二先导膜片组件（505），所述第一先导膜片组件（504）和所述第二先导膜片组件（505）之间设有第二进气口（a2）；当所述阀杆（501）位于上部的第一工作位置时，第二进气口（a2）的气体穿过第二先导膜片组件（505）作用于第一膜片组件的左侧和第二膜片组件的右侧，使第二工作口（c2）与第一进气口（a1）连通并使第一工作口（c1）与第一排气口（b1）连通；当所述阀杆（501）向下移动到第二工作位置时，所述第二进气口（a2）的气体穿过第一先导膜片组件（504）作用于第一膜片组件的右侧和第二膜片组件的左侧，使第一工作口（c1）与第一进气口（a1）连通并使第二工作口（c2）与第一排气口（b1）连通。2.根据权利要求1所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，主阀本体包括主阀左壁（101）、主阀上壁（102）、主阀下壁（103）、主阀右壁（104），主阀左壁（101）与主阀右壁（104）之间水平设有相互连接的第一左隔离部（109）、第一右隔离部（111）以及相互连接的第二左隔离部（110）、第二右隔离部（112），第一左隔离部（109）、第一右隔离部（111）共同隔离出主阀的上腔，第二左隔离部（110）、第二右隔离部（112）共同隔离出主阀的下腔，上腔和下腔之间隔离出中腔，所述第一膜片组件将上腔隔离为第一左隔离腔（113）、进气腔、第一右隔离腔（114），所述第二膜片组件将下腔隔离为第二左隔离腔（117）、排气腔、第二右隔离腔（118），竖直隔离部（119）将中腔隔离为第一工作腔（115）、第二工作腔（116），所述第一左隔离部（109），所述第二左隔离部（110），所述第一右隔离部（111），所述第二右隔离部（112）上均设有连接孔，所述连接孔能够将第一工作腔（115）或第二工作腔（116）与进气腔或排气腔连通，所述进气腔内设有第一左阀座（105）、第一右阀座（106），所述排气腔内设有第二左阀座（107）、第二右阀座（108），所述进气腔连接第一进气口（a1），排气腔连通第一排气口（b1）；所述第一膜片组件包括第一左膜片（401）、第一右膜片（402）以及连接第一左膜片（401）和第一右膜片（402）的第一连杆（405），所述第二膜片组件包括第二左膜片（403）、第二右膜片（404）以及连接第二左膜片（403）和第二右膜片（404）的第二连杆（406），所述第一左膜片（401）与第一左阀座（105）配合用于连通或阻断进气腔与第一工作腔（115），所述第一右膜片（402）与第一右阀座（106）配合用于连通或阻断进气腔与第二工作腔（116），所述第二左膜片（403）与第二左阀座（107）配合用于连通或阻断排气腔与第一工作腔（115），所述第二右膜片（404）与第二右阀座（108）配合用于连通或阻断排气腔与第二工作腔（116）；所述阀杆（501）侧壁设有与阀杆内通道（5013）连通的第一阀杆通孔（5011）、第二阀杆通孔（5012），所述阀杆内通道（5013）贯穿所述阀杆（501）底部且连通第二排气口（b2）， 所述先导阀本体内壁设有第一环形凸台（507）、第二环形凸台（508），第一先导膜片组件（504）固定设置于所述第一环形凸台（507）下侧与阀杆（501）之间，第二先导膜片组件（505）固定设置于所述第二环形凸台（508）上侧与阀杆（501）之间，阀杆（501）下部外侧还固定设有第三先导膜片组件（506），所述第一先导膜片组件（504）上方为第一泄气腔（509），所述第一先
导膜片组件（504）与第二先导膜片组件（505）之间为先导进气腔（510），所述先导进气腔（510）内设有第二进气口（a2），所述第二先导膜片组件（505）与第三先导膜片组件（506）之间为第二泄气腔（511），所述第一泄气腔（509）分别与第一右隔离腔（114）、第二左隔离腔（117）连通，所述第二泄气腔（511）分别与第一左隔离腔（113）、第二右隔离腔（118）连通；所述第一先导膜片组件（504）为圆形，其包括位于外周的第一平面密封部（5042）、中间的连接部（5043）以及内周的第二平面密封部（5044），第二平面密封部（5044）内设有与所述阀杆（501）相固定的中心孔（5045）；所述第一平面密封部（5042）、所述连接部（5043）、所述第二平面密封部（5044）柔性连接，所述第一平面密封部（5042）内设有第一刚性支撑板（5046），所述连接部（5043）内设有第二刚性支撑板（5047），所述第二平面密封部（5044）内设有第三刚性支撑板（5048），所述第一平面密封部（5042）周向设有多个泄气孔（5041）；所述第二先导膜片组件（505）与第一先导膜片组件（504）结构相同且安装方向相反；当阀杆（501）位于上部的第一工作位置时，所述第一先导膜片组件（504）打开第一阀杆通孔（5011）且关闭其泄气孔（5041），使所述第一泄气腔（509）与所述阀杆内通道（5013）连通，所述第一泄气腔（509）进行排气，阻断所述第二进气口（a2）与所述第一泄气腔（509），同时，所述第二先导膜片组件（505）使所述第二进气口（a2）与所述第二泄气腔（511）连通，阻断所述第二泄气腔（511）与所述阀杆内通道（5013）；当所述阀杆（501）向下移动到第二工作位置时，所述第一泄气腔（509）与所述第二进气口（a2）连通且与所述阀杆内通道（5013）阻断，所述第二泄气腔（511）与所述阀杆内通道（5013）连通且与所述第二进气口（a2）阻断。3.根据权利要求2所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述主阀本体和所述先导阀本体设有多个安装孔，所述安装孔上设有阀盖。4.根据权利要求3所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述第一左隔离腔（113）外部设有第一阀盖（301），所述第一阀盖（301）上设有第一主阀泄压口（a1）。5.根据权利要求4所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述第二左隔离腔（117）外部设有第二阀盖（302），所述第二阀盖（302）上设有第二主阀泄压口（b1）。6.根据权利要求5所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述先导阀本体上部设有第三阀盖（303），所述第三阀盖（303）上部设有电磁致动器（502），电磁致动器（502）与阀杆（501）连接。7.根据权利要求6所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述先导阀本体下部设有第四阀盖（304），所述第二排气口（b2）设置在第四阀盖（304）上；所述阀杆（501）底部设有台阶，所述台阶与所述第四阀盖（304）之间设有复位弹簧（503），所述第三先导膜片组件（506）与所述第四阀盖（304）之间为弹簧腔（512）。8.根据权利要求7所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述先导阀本体的先导阀右壁（201）上设有与所述第一泄气腔（509）连通的第二先导阀泄压口（b2）和与第二泄气腔（511）连通的第一先导阀泄压口（a2）。9.根据权利要求8所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述第一进气口（a1）与所述第二进气口（a2）连通，所述第一排气口（b1）与所述第二排气口（b2）连通，所述第一主阀泄压口（a1）与所述第一先导阀泄压口（a2）连通，所述第二主阀泄压口（b1）与所述第二先导阀泄压口（b2）连通。
10.根据权利要求2所述的先导式电磁膜片阀，其特征在于，所述先导阀本体的左壁为主阀右壁（104），所述主阀右壁（104）上设有第一过气孔（1041）、第二过气孔（1042），所述第一过气孔（1041）连通第一右隔离腔（114）与第一泄气腔（509），所述第二过气孔（1042）连通第二右隔离腔（118）与第二泄气腔（511）。

技术总结
本发明属于电磁阀技术领域，具体为一种先导式电磁膜片阀，包括主阀组件和先导阀组件，主阀组件包括主阀本体以及安装在主阀本体内的第一膜片组件和第二膜片组件，先导阀组件包括先导阀本体、阀杆以及安装在阀杆上的第一先导膜片组件、第二先导膜片组件，阀芯均为膜片式结构，不需要使用润滑油，在进气与排气过程中，不会对气体产生污染，保证了气源的纯净；仅采用一个先导阀，就能够同时控制两组膜片组件的动作，控制进气与排气的交替进行，控制结构简单；双膜片组件的控制协同性强，第一膜片组件和第二膜片组件运动方向始终相反，第一工作腔、第二工作腔不会发生均进气或均排气的情况，进气和排气压力更加稳定。进气和排气压力更加稳定。进气和排气压力更加稳定。


技术研发人员：毛秉 汪军辉 周先杰 王琼
受保护的技术使用者：宁波索诺工业自控设备有限公司
技术研发日：2023.09.08
技术公布日：2023/10/15