基板收纳容器的制作方法

未命名 10-28 阅读:92 评论:0


1.本发明涉及在对半导体晶片、中间掩模、印刷基板等基板进行收纳、保管、搬运、输送等时使用的基板收纳容器。


背景技术:

2.作为收纳各种基板的基板收纳容器,以往已知有具备容器主体以及盖体的构成的容器。
3.容器主体的一端部具有容器主体开口部。容器主体的另一端部具有被封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成,能够收纳基板。盖体相对于容器主体开口部能够拆装,能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对地设置于壁部。在未通过盖体封闭容器主体开口部时,侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板的边缘部。
4.在盖体的一部分且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件(front retainer)(盖体侧基板支承部)。在通过盖体封闭容器主体开口部时,前部保持构件能够支承基板的边缘部。另外,以与前部保持构件成对地在壁部设置有后侧基板支承部。后侧基板支承部能够支承基板的边缘部。在通过盖体封闭容器主体开口部时,后侧基板支承部与前部保持构件协作来支承基板,从而在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板。
5.收纳于基板收纳容器的基板收纳空间的基板大多对水分(湿气)非常脆弱。基板收纳空间内的除湿虽然可以通过对基板收纳空间内进行吹扫来进行,但是在输送中等,吹扫作业是困难的。因此,已知有具备基板收纳空间内的除湿功能的基板收纳容器(例如参照专利文献1)。
6.在专利文献1所记载的基板收纳容器中,在容器主体外置有收纳除湿剂的盒(除湿剂收纳盒)。在容器主体设置有连通孔,经由该连通孔,容器主体的基板收纳空间与除湿剂收纳盒的内部连通。由此,在基板收纳空间中发挥收纳于除湿剂收纳盒的除湿剂带来的除湿功能。现有技术文献专利文献
7.专利文献1:美国专利第10734264号说明书


技术实现要素:

本发明要解决的技术问题
8.但是,在除湿剂收纳盒外置于容器主体的构成的情况下,完全达成容器主体与除湿剂收纳盒的气密是困难的。另外,由于除湿功能只能在所述连通孔的附近充分地发挥,所以除湿效果低。
9.另外,也可以考虑将除湿剂配置在容器主体的基板收纳空间内的构成。但是认为,
在该构成中,如果不对除湿剂的配置构成想办法,则无法有效地利用基板收纳空间内的空间。
10.本发明的目的在于提供一种在具备基板收纳空间内的除湿功能的基板收纳容器中能够有效地利用基板收纳空间内的空间的基板收纳容器。用于解决技术问题的技术方案
11.本发明涉及一种基板收纳容器,具备:容器主体,具备筒状的壁部,该壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭,利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间;盖体,能够相对于所述容器主体开口部拆装,能够封闭所述容器主体开口部;盖体侧基板支承部,配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分,在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时,能够支承所述多个基板的边缘部;后侧基板支承部,在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对地配置,能够支承所述多个基板的边缘部,在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时,与所述盖体侧基板支承部协作,在使所述多个基板的边缘部排列的状态下支承所述多个基板;侧方基板支承部,在所述基板收纳空间内在横向上成对地配置,通过与多个基板的边缘部抵接,能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承多个基板的边缘部;以及支承部构成部件,与所述容器主体的所述壁部的侧壁的内表面对置配置,所述侧方基板支承部设置于所述支承部构成部件,能够在所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间配置除湿剂。
12.另外优选的是,所述基板收纳容器具备剂保持部件,所述剂保持部件在所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间保持所述除湿剂。
13.另外优选的是,所述剂保持部件构成为,能够从所述容器主体开口部侧插入到与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面对置配置的状态的所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间,并且能够向所述容器主体开口部侧取出。
14.另外优选的是,所述剂保持部件构成为,在所述剂保持部件配置在所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间的状态下,能够从所述容器主体开口部侧收纳所述除湿剂,并且能够向所述容器主体开口部侧取出所述除湿剂。
15.另外优选的是,所述支承部构成部件具备连通孔,所述连通孔使由所述侧方基板支承部或所述后侧基板支承部支承的基板与所述剂保持部件连通。发明效果
16.根据本发明,能够提供在具备基板收纳空间内的除湿功能的基板收纳容器中能够有效地利用基板收纳空间内的空间的基板收纳容器。
附图说明
17.图1是表示在本发明的实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板w的样子的分解立体图。图2是表示未收纳有基板w的状态的基板收纳容器1的分解立体图。图3是表示拆下支承部构成部件4以及剂保持部件8的状态的基板收纳容器1的立
体图。图4是表示右侧的支承部构成部件4以及剂保持部件8的分解立体图。图5是表示除湿剂9配置在剂保持部件8的外部的状态的分解立体图。图6是图4的右视图。图7是从左侧观察图4的分解立体图。图8是从右侧观察右侧的支承部构成部件4的立体图。图9是通过右侧的支承部构成部件4、剂保持部件8以及除湿剂9的横剖视图。图10是通过右侧的支承部构成部件4、剂保持部件8以及除湿剂9的纵剖视图。
具体实施方式
18.[基板收纳容器1的整体构成]以下,参照附图对本实施方式的基板收纳容器1进行说明。图1是表示在本发明的实施方式的基板收纳容器1内收纳有多个基板w的样子的分解立体图。图2是表示未收纳基板w的状态的基板收纳容器1的分解立体图。图3是表示拆下了支承部构成部件4以及剂保持部件8的状态的基板收纳容器1的立体图。
[0019]
此处,为了便于说明,将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向d11,将其相反的方向定义为后方向d12,将它们合并起来定义为前后方向d1。另外,将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向d21,将其相反的方向定义为下方向d22,将它们合并起来定义为上下方向d2。另外,将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中从右下朝向左上的方向)定义为左方向d31,将其相反的方向定义为右方向d32,将它们合并起来定义为左右方向d3或横向d3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
[0020]
另外,收纳于基板收纳容器1的基板w(参照图1)是圆盘状(圆板状)的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等半导体晶片、中间掩模、矩形(四边形)板状的印刷基板等,是在工业上使用的薄基板。本实施方式的基板w是矩形板状的印刷基板。
[0021]
如图1~图3所示,基板收纳容器1用作收纳基板w并在工厂内的工序中搬运的工序内容器使用,或者用作用于通过陆运方式、空运方式、海运方式、等输送方式输送基板的发货容器,具备容器主体2、盖体3、支承部构成部件4、侧方基板支承部5、后侧基板支承部6、作为盖体侧基板支承部的前部保持构件(未图示)、以及剂保持部件8。侧方基板支承部5以及后侧基板支承部6设置在支承部构成部件4。
[0022]
容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分配置有支承部构成部件4。如图1所示,在基板收纳空间27中能够收纳多个基板w。
[0023]
侧方基板支承部5在基板收纳空间27内成对地设置于支承部构成部件4。侧方基板支承部5通过与多个基板w的边缘部抵接,能够在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分离排列的状态下支承多个基板w的边缘部。在侧方基板支承部5的后侧,与支承部构成部件4一体成型地设置有后侧基板支承部6。
[0024]
后侧基板支承部6在基板收纳空间27内与前部保持构件(未图示)成对地设置于支
承部构成部件4。后侧基板支承部6通过与多个基板w的边缘部抵接,能够支承多个基板w的边缘部的后部。
[0025]
盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28拆装,并能够封闭容器主体开口部21。未图示的前部保持构件设置于盖体3的一部分且在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分。前部保持构件在基板收纳空间27的内部与后侧基板支承部6成对地配置。
[0026]
在通过盖体3封闭容器主体开口部21时,前部保持构件与多个基板w的边缘部抵接,由此能够支承多个基板w的边缘部的前部。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时,前部保持构件与后侧基板支承部6协作来支承多个基板w,从而在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分离排列的状态下支承基板w。
[0027]
基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成,在没有特别说明的情况下,作为其材料的树脂,例如可以举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这样的热塑性树脂或它们的合金等。在对这些材料的树脂赋予导电性的情况下,选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。另外,为了提高刚性,也可以添加玻璃纤维、碳纤维等。
[0028]
[容器主体2]以下,对各部分详细地进行说明。如图1~图3所示,容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26由上述材料构成,并构成为一体成型。
[0029]
第一侧壁25与第二侧壁26对置,上壁23与下壁24对置。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端以及第二侧壁26的后端全部与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端以及第二侧壁26的前端构成开口周缘部28,该开口周缘部28形成呈大致长方形形状的容器主体开口部21。
[0030]
开口周缘部28设置于容器主体2的一端部,后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱状。壁部20的内表面亦即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面以及第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。形成于开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成于容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。基板收纳空间27中最多能够收纳16片基板w。
[0031]
在上壁23以及下壁24的一部分且是开口周缘部28的附近的部分形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的闩锁卡合凹部231a、231b、241a、241b。闩锁卡合凹部231a、231b、241a、241b在上壁23以及下壁24的左右两端部附近各形成有一个,合计形成有四个。
[0032]
在上壁23的外表面,与上壁23一体成型地设置有肋235。肋235能够提高容器主体2的刚性。另外,在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是当在amhs(自动晶片输送系统)、pgv(晶片基板输送台车)等中悬吊基板收纳容器1时成为在基板收纳容器1中被钩挂而悬吊的部分的部件。
[0033]
在下壁24固定有底板244。底板244具有与构成下壁24的外表面的下表面的大致整个面对置配置的大致长方形形状的板状,固定于下壁24。
[0034]
在下壁24的四角附近形成有作为两种贯通孔的供气孔242以及排气孔243。在本实
施方式中,下壁24的前部的两处贯通孔是用于排出容器主体2的内部的气体的排气孔243,后部的两处贯通孔是用于向容器主体2的内部供给气体的供气孔242。
[0035]
在作为供气孔242的贯通孔配置有作为附加部件的供气用过滤器部98,在作为排气孔243的贯通孔配置有排气用过滤器部99。即,供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99的内部的气体的流路构成能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的通气路的一部分。另外,供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99配置于壁部20,在供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99中,气体能够经由过滤器(未图示)在容器主体2的外部的空间与基板收纳空间27之间通过。构成为向供气用过滤器部98供给的吹扫气体向基板收纳空间27供给。排气用过滤器部99构成为能够使气体从基板收纳空间27向容器主体2的外部的空间通过。
[0036]
[支承部构成部件4]接着,参照附图对支承部构成部件4的详细进行说明。图4是表示右侧的支承部构成部件4以及剂保持部件8的分解立体图。图5是表示除湿剂9配置在剂保持部件8的外部的状态的分解立体图。图6是图4的右视图。图7是从左侧观察图4的分解立体图。图8是从右侧观察右侧的支承部构成部件4的立体图。图9是通过右侧的支承部构成部件4、剂保持部件8以及除湿剂9的横剖视图。图10是通过右侧的支承部构成部件4、剂保持部件8以及除湿剂9的纵剖视图。
[0037]
如图4~图10所示,支承部构成部件4具备纵板主体40、横板部41、侧方基板支承部5、后侧基板支承部6、连通孔42、前壁部43、保持孔44、引导片45、前方卡合部46以及后方卡合部47。如图2所示,支承部构成部件4分别与容器主体2的壁部20的第一侧壁25、第二侧壁26的内表面对置,在左右方向d3上成对地配置。在图4以后,以右侧(第二侧壁26侧)的支承部构成部件4为代表进行表示,但关于支承部构成部件4的说明也引用到左侧(第一侧壁25的侧)的支承部构成部件4(基本上说仅是左右相反)。
[0038]
纵板主体40是在d1-d2平面上延伸的平板状的部位。在纵板主体40与第二侧壁26的内表面之间配置有收纳并保持除湿剂9的剂保持部件8。
[0039]
横板部41是从纵板主体40的横向d3的内侧的面向横向d3的内侧突出的板状的部位。横板部41在d1-d3平面上延伸。横板部41在上下方向d2上例如设置有17个。相邻的横板部41以在上下方向d2上彼此分离且平行的位置关系配置。如图2所示,设置于右侧的支承部构成部件4的多个横板部41与设置于左侧的支承部构成部件4的多个横板部41具有彼此在左右方向d3上对置的位置关系。
[0040]
[侧方基板支承部5]如图2、图7所示,侧方基板支承部5在基板收纳空间27内在横向d3上成对地配置,通过与多个基板w的边缘部抵接,能够在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承多个基板w的边缘部。侧方基板支承部5是在纵板主体40的前侧横跨纵板主体40的横向d3的内侧的面以及横板部41的上表面设置的突起状的部位。侧方基板支承部5与基板w以大致点接触状接触,不以面状接触。另外,在最上部的横板部41不设置侧方基板支承部5。即,最上部的横板部41不直接参与基板w的支承。
[0041]
[后侧基板支承部6]如图2、图7所示,后侧基板支承部6设置有与能够收纳于基板收纳空间27的基板w
的每一个对应的个数,具体地说设置有16个。配置于右侧以及左侧的各个支承部构成部件4的后侧基板支承部6具有在前后方向d1上与后述的前部保持构件成对这样的位置关系。将基板w收纳在基板收纳空间27内,关闭盖体3,从而后侧基板支承部6支承基板w的边缘部的端缘。
[0042]
后侧基板支承部6设置在纵板主体40的最后部。后侧基板支承部6具备后侧突起部61以及后侧抵靠部62。后侧突起部61具有与侧方基板支承部5同样的构成,发挥同样的功能。后侧抵靠部62一体地设置在横板部41的后端部,在d2-d3平面上延伸。后侧突起部61位于后侧抵靠部62的附近且配置在前侧。另外,在最上部的横板部41不设置后侧基板支承部6。即,最上部的横板部41不直接参与基板w的支承。
[0043]
[连通孔42]如图4~图10所示,连通孔42使由侧方基板支承部5或后侧基板支承部6支承的基板w与剂保持部件8连通。连通孔42设置在纵板主体40的在上下方向d2上相邻的横板部41、41之间的位置。连通孔42设置成在前后方向d1上延伸的长孔状,在前后方向d1上分离地设置有两个。
[0044]
前壁部43是从横板部41的前侧(比连通孔42更靠前侧)的部分朝向横向d3的外侧伸出的壁部。前壁部43在d2-d3平面上延伸。
[0045]
保持孔44在前壁部43上在上下方向d2上分离地设置有两个。保持孔44在前后方向d1上贯通。一个保持孔44保持一个剂保持部件8的前侧的部分。在将剂保持部件8配置在支承部构成部件4的规定位置时,保持孔44也作为使剂保持部件8向前壁部43的后侧移动时的贯通孔起作用。
[0046]
引导片45是从横板部41的比前壁部43更靠后侧的部分的横向d3的外侧的面朝向横向d3的外侧伸出的片部。引导片45在d1-d3平面上延伸。引导片45引导、保持或支承被保持孔44保持的剂保持部件8的部分(后侧、中间部分)的至少下部(优选的是下部以及上部)。
[0047]
前方卡合部46设置在前壁部43,在本实施方式中,由孔部构成。前方卡合部46与设置在容器主体2的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的前侧的前方卡合部251(参照图2)、前方卡合部261(参照图3)卡合。另外,前方卡合部46与前方卡合部251、261在本实施方式中仅卡合,但是并不限定于此,也可以为固定的构成。
[0048]
后方卡合部47设置于纵板主体40。后方卡合部47与设置在容器主体2的第一侧壁25的后侧的后方卡合部(未图示)、设置在第二侧壁26的后侧的后方卡合部262(参照图3)卡合而被固定。另外,后方卡合部47与后方卡合部在本实施方式中固定,但是并不限定于此,也可以是仅卡合的构成。
[0049]
如图2所示,通过前方卡合部46以及后方卡合部47,支承部构成部件4以与容器主体2的第一侧壁25、第二侧壁26的内表面分别对置且在左右方向d3上成对地配置的状态固定于容器主体2。
[0050]
在本实施方式中,支承部构成部件4的纵板主体40沿着基板w的边缘部形状(在前后方向上为直线状)为平板状。因此,本来容器主体2的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面可以沿着支承部构成部件4的纵板主体40的形状为平面状。但是,在本实施方式中,容器主体2的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)朝向横向d3的外侧鼓出。即,容器主体2以及盖体3用于半导体晶片这样的圆板状的基板。通常,圆板状的基板用的基板收纳容器与矩形板状
的基板用的基板收纳容器相比需要更多。因此,圆板状的基板用的基板收纳容器与矩形板状的基板用的基板收纳容器相比能够以低成本制造。因此,本实施方式的容器主体2以及盖体3挪用了圆板状的基板用的基板收纳容器的容器主体以及盖体。并且,作为支承部构成部件4,通过采用具有支承矩形板状的基板w的构成的支承部构成部件4,构成矩形板状的基板w用的基板收纳容器1。在采用这样的构成的情况下,不仅能够得到降低容器主体2以及盖体3的制造成本的效果,而且也能够得到以下的效果。具体而言,在为了圆板状的基板用而朝向横向d3的外侧鼓出的容器主体2的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面与为了矩形板状的基板用而形成平板状的支承部构成部件4的纵板主体40(的横向d3的外侧的面)之间必然产生空间。本实施方式的基板收纳容器1将该空间有效地用作剂保持部件8以及除湿剂9的配置空间。
[0051]
[剂保持部件8]如图2所示,剂保持部件8配置在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间。如图4~图10所示,剂保持部件8是保持除湿剂9的部件。剂保持部件8通过收纳除湿剂9来保持除湿剂9。除湿剂9收纳于剂保持部件8,但也可以是不固定于剂保持部件8的方式。剂保持部件8具备剂收纳主体81、剂插入口82、剂盖体83、连通孔84以及弹簧片85。
[0052]
如图2所示,剂保持部件8与容器主体2的壁部20的第一侧壁25、第二侧壁26的内表面分别对置且在左右方向d3上成对地配置。在图4以后,以右侧(第二侧壁26侧)的剂保持部件8为代表进行表示,但关于剂保持部件8的说明也被引用到左侧(第一侧壁25侧)的剂保持部件8(基本上说仅是左右相反)。
[0053]
如图4~图10所示,剂收纳主体81具有收纳除湿剂9的空间。剂插入口82是设置在剂收纳主体81的前侧的开口部。在不考虑连通孔84的情况下,剂收纳主体81具有前侧(剂插入口82)开放的形状。在不考虑连通孔84的情况下,剂盖体83能够封闭剂插入口82。剂盖体83在横向d3的内侧通过铰链结构与剂收纳主体81旋转自如地连结。在剂盖体83未封闭剂插入口82的状态下,剂收纳主体81能够从前侧(剂插入口82)插入除湿剂9,能够向前侧(剂插入口82)取出除湿剂9。
[0054]
连通孔84是使剂保持部件8的内部与外部连通的孔。在本实施方式中,连通孔84具有设置在剂收纳主体81的横向d3的内侧的部分的内侧连通孔84a、设置在剂收纳主体81的横向d3的外侧的部分的外侧连通孔84b、以及设置在剂盖体83的盖侧连通孔84c。
[0055]
优选的是,在剂保持部件8支承于支承部构成部件4的状态下,内侧连通孔84a与支承部构成部件4的连通孔42在横向d3上重叠。由此,能够增大剂保持部件8的收纳空间与支承部构成部件4的横向d3的内侧的区域的连通路径的截面积。
[0056]
弹簧片85是与剂收纳主体81的前侧连结且体现向横向d3的弹性的片。在剂保持部件8配置在支承部构成部件4的规定位置的状态下,收缩了的弹簧片85将剂插入口82向横向d3的外侧按压,由此限制剂保持部件8相对于支承部构成部件4的移动。
[0057]
如图2所示,剂保持部件8构成为能够从容器主体开口部21侧插入与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面对置配置的状态的支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间,并且能够向容器主体开口部21侧取出。另外,如图4所示,剂保持部件8构成为能够从容器主体开口部21侧插入不
与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面对置配置的状态的支承部构成部件4与容器主体2的所述壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间,并且能够向容器主体开口部21侧取出。
[0058]
剂保持部件8构成为,在剂保持部件8配置在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间的状态下,能够从容器主体开口部21侧收纳除湿剂9,并且能够向容器主体开口部21侧取出除湿剂9。另外,如图5所示,剂保持部件8构成为,在剂保持部件8未配置在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间的状态下,能够从容器主体开口部21侧收纳除湿剂9,并且能够向容器主体开口部21侧取出除湿剂9。
[0059]
[除湿剂9]除湿剂9是具有除湿(稀释、干燥)功能的剂。只要能够保持于剂保持部件8,则对形态、构成没有限制。除湿剂9可以无法移动地保持于剂保持部件8,或者也可以能够移动地保持于剂保持部件8。例如,除湿剂9可以具有比剂保持部件8的收纳空间小一圈的大小。
[0060]
[盖体3]如图1所示,盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装,通过将盖体3安装于开口周缘部28,盖体3能够以被开口周缘部28包围的位置关系封闭容器主体开口部21。
[0061]
在盖体3的内表面(图1中示出的盖体3的背侧的面)且与形成在盖体3封闭容器主体开口部21时的开口周缘部28的紧后方向d12的位置的台阶的部分的面(密封面281)对置的面,以绕盖体3的外周缘部一周的方式安装有环状的密封部件(未图示)。所述密封部件配置成绕盖体3一周。所述密封部件为能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等。
[0062]
在盖体3安装于开口周缘部28时,所述密封部件被容器主体2的密封面281与盖体3的内表面夹持而弹性变形。即,通过在盖体3与容器主体2之间夹设所述密封部件,在盖体3与开口周缘部28彼此不抵接而分离的状态下,盖体3能够封闭容器主体开口部21。通过从开口周缘部28取下盖体3,能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板w。
[0063]
在盖体3设置有闩锁机构。如图1所示,闩锁机构设置在盖体3的左右两端部附近,具备能够从盖体3的上边向上方向d21突出的两个上侧闩锁部32a、32a、以及能够从盖体3的下边向下方向d22突出的两个下侧闩锁部32b、32b。两个上侧闩锁部32a、32a配置在盖体3的上边的左右两端附近,两个下侧闩锁部32b、32b配置在盖体3的下边的左右两端附近。
[0064]
在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧对操作部33进行操作,能够使上侧闩锁部32a、32a、下侧闩锁部32b、32b成为从盖体3的上边、下边突出或者不从上边、下边突出的状态。上侧闩锁部32a、32a从盖体3的上边向上方向d21突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部231a、231b卡合,并且下侧闩锁部32b、32b从盖体3的下边向下方向d22突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部241a、241b卡合,由此将盖体3固定于容器主体2的容器主体开口部21。
[0065]
在盖体3的内侧(图1中的盖体3的后方向d12侧),形成有向基板收纳空间27的外侧(前方向d11)凹陷的凹部(未图示)。在所述凹部固定设置有前部保持构件(未图示)。
[0066]
前部保持构件(未图示)具有前部保持构件基板承接部(未图示)。前部保持构件基
板承接部(未图示)在左右方向上以规定的间隔分离且成对地各配置有两个。这样成对地各配置两个的前部保持构件基板承接部以在上下方向上排列16对的状态设置。通过将基板w收纳在基板收纳空间27内,关闭盖体3,由此前部保持构件基板承接部支承基板w的边缘部的端缘。
[0067]
[实施方式的效果]根据上述构成的本实施方式的基板收纳容器1,能够得到以下的效果。本实施方式的基板收纳容器1具备:容器主体2,具备在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20,利用壁部20的内表面形成基板收纳空间27,所述基板收纳空间27能够收纳多个基板w且与容器主体开口部21连通;盖体3,能够相对于容器主体开口部21拆装,能够封闭容器主体开口部21;盖体侧基板支承部,配置在盖体3的一部分且是在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分,在通过盖体3封闭容器主体开口部21时,能够支承多个基板w的边缘部;后侧基板支承部6,以在基板收纳空间27内与盖体侧基板支承部成对地配置,能够支承多个基板w的边缘部,在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与盖体侧基板支承部协作,在使多个基板w的边缘部排列的状态下支承多个基板w;侧方基板支承部5,在基板收纳空间27内在横向d3上成对地配置,通过与多个基板w的边缘部抵接,能够在使相邻的基板w彼此以规定的间隔分离排列的状态下支承多个基板w的边缘部;以及支承部构成部件4,与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面对置配置。侧方基板支承部5设置于支承部构成部件4,除湿剂9能够配置在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间。
[0068]
因此,根据本实施方式的基板收纳容器1,通过将除湿剂9配置在与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面对置配置的支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间,能够有效地利用基板收纳空间1内的空间。
[0069]
另外,本实施方式的基板收纳容器1具备剂保持部件8,所述剂保持部件8在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间保持除湿剂9。因此,根据本实施方式的基板收纳容器1,能够将除湿剂9容易地保持在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间。
[0070]
另外,在本实施方式中,剂保持部件8构成为,能够从容器主体开口部21侧插入与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面对置配置的状态的支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间,并且能够向容器主体开口部21侧取出。因此,根据本实施方式的基板收纳容器1,在将支承部构成部件4配置到容器主体2的基板收纳空间27的规定位置之后,能够容易地将剂保持部件8插入到规定位置,能够容易地从规定位置取出。
[0071]
另外,在本实施方式中,剂保持部件8构成为,在剂保持部件8配置在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间的状态下,能够从容器主体开口部21侧收纳除湿剂9,并且能够向容器主体开口部21侧取出除湿剂9。因此,根据本实施方式的基板收纳容器1,在将支承部构成部件4以及剂保持部件8配置到容器主体2的基板收纳空间27的规定位置之后,能够容易地将除湿剂9收纳到规定位置,能够容易
地从规定位置取出除湿剂9。
[0072]
另外,在本实施方式中,支承部构成部件4具备使由侧方基板支承部5或后侧基板支承部6支承的基板w与剂保持部件8连通的连通孔42。剂保持部件8与基板w隔着支承部构成部件4(纵板主体40)而在横向d3上配置在相反侧。但是,通过在支承部构成部件4(纵板主体40)设置有连通孔42,能够在基板w的周围的气氛中容易地发挥被隔着支承部构成部件4(纵板主体40)而在横向d3上配置在相反侧的剂保持部件8保持并收纳的除湿剂9的除湿(吸湿、干燥)功能。
[0073]
[变形例]本发明并不限定于上述实施方式,能够在权利要求所记载的技术范围内进行变形。
[0074]
例如,在所述实施方式中,在支承部构成部件4设置有侧方基板支承部5以及后侧基板支承部6,但是并不限定于此。后侧基板支承部6也可以不设置于支承部构成部件4,而与容器主体2一体地形成。
[0075]
在基板为圆板状的情况下,只要以能够在支承部构成部件4与容器主体2的壁部20的侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面之间配置除湿剂9的方式形成侧壁(第一侧壁25、第二侧壁26)的内表面即可。
[0076]
支承部构成部件4的构成、例如纵板主体40、横板部41、连通孔42、前壁部43、保持孔44、引导片45、前方卡合部46、后方卡合部47的形状、构成、个数、有无并不限定于本实施方式的例子。剂保持部件8的构成、例如剂收纳主体81、剂插入口82、剂盖体83、连通孔84、弹簧片85的形状、构成、个数、有无并不限定于本实施方式的例子。
[0077]
另外,容器主体以及盖体的形状、容器主体中能够收纳的基板的张数和尺寸并不限定于本实施方式的容器主体2以及盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板w的张数和尺寸。附图标记说明
[0078]
1基板收纳容器2 容器主体20 壁部21 容器主体开口部25第一侧壁(侧壁)26第二侧壁(侧壁)27 基板收纳空间3 盖体4 支承部构成部件40 纵板主体41 横板部42 连通孔43 前壁部44 保持孔45 引导片
5 侧方基板支承部6 后侧基板支承部8 剂保持部件81 剂收纳主体82 剂插入口83 剂盖体84 连通孔84a 内侧连通孔84b 外侧连通孔84c 盖侧连通孔85 弹簧片9 除湿剂d3横向、左右方向w基板

技术特征:
1.一种基板收纳容器,其特征在于,所述基板收纳容器具备:容器主体,具备筒状的壁部,该壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭,利用所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间;盖体,能够相对于所述容器主体开口部拆装,能够封闭所述容器主体开口部;盖体侧基板支承部,配置在所述盖体的一部分且是在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间对置的部分,在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时,能够支承所述多个基板的边缘部;后侧基板支承部,在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对地配置,能够支承所述多个基板的边缘部,在通过所述盖体封闭所述容器主体开口部时,与所述盖体侧基板支承部协作,在使所述多个基板的边缘部排列的状态下支承所述多个基板;侧方基板支承部,在所述基板收纳空间内在横向上成对地配置,通过与多个基板的边缘部抵接,能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承多个基板的边缘部;以及支承部构成部件,与所述容器主体的所述壁部的侧壁的内表面对置配置,所述侧方基板支承部设置于所述支承部构成部件,能够在所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间配置除湿剂。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,所述基板收纳容器具备剂保持部件,所述剂保持部件在所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间保持所述除湿剂。3.根据权利要求2所述的基板收纳容器,其特征在于,所述剂保持部件构成为,能够从所述容器主体开口部侧插入到与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面对置配置的状态的所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间,并且能够向所述容器主体开口部侧取出。4.根据权利要求2或3所述的基板收纳容器,其特征在于,所述剂保持部件构成为,在所述剂保持部件配置在所述支承部构成部件与所述容器主体的所述壁部的所述侧壁的内表面之间的状态下,能够从所述容器主体开口部侧收纳所述除湿剂,并且能够向所述容器主体开口部侧取出所述除湿剂。5.根据权利要求2至4中任一项所述的基板收纳容器,其特征在于,所述支承部构成部件具备连通孔,所述连通孔使由所述侧方基板支承部或所述后侧基板支承部支承的基板与所述剂保持部件连通。

技术总结
本发明提供一种基板收纳容器,具备:容器主体(2);盖体(3);盖体侧基板支承部,在通过盖体(3)封闭容器主体开口部(21)时能够支承基板(W)的边缘部;后侧基板支承部(6),在基板收纳空间(27)内与盖体侧基板支承部成对地配置,能够支承基板(W)的边缘部,在容器主体开口部(21)被封闭时与盖体侧基板支承部协作,在使基板(W)的边缘部排列的状态下支承基板(W);侧方基板支承部(5),在基板收纳空间(27)内在横向(D3)上成对地配置,通过与基板(W)的边缘部抵接,能够在使相邻的基板(W)彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板(W)的边缘部;以及支承部构成部件(4),与容器主体(2)的壁部(20)的侧壁(25、26)的内表面对置配置。侧方基板支承部(5)设置于支承部构成部件(4),能够在支承部构成部件(4)与容器主体(2)的壁部(20)的侧壁(25、26)的内表面之间配置除湿剂(9)。26)的内表面之间配置除湿剂(9)。26)的内表面之间配置除湿剂(9)。


技术研发人员:永岛刚 福田隆二
受保护的技术使用者:未来儿股份有限公司
技术研发日:2021.03.29
技术公布日:2023/10/15
版权声明

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