检查系统、检查管理装置、检查方法和程序与流程

1.本发明涉及检查系统、检查管理装置、检查方法和程序。


背景技术：

2.以往，在各种基板的制造工序中进行使用了拍摄基板得到的图像的计测、检查，已知有通过x射线ct检查来实施靠外观无法检查的部分的检查的技术。另外，公知有在进行这样的检查时，对判定为异常的检查对象物，以与该异常的种类对应的拍摄条件进行再检查的技术(例如专利文献1)。
3.另外，还公开了如下技术：在使用x射线检查装置进行基板的检查时，生成基于在进行一次检查时取得的多个一次图像数据而生成的分辨率比一次图像数据高的二次图像数据，针对在一次图像数据中存在异常的部件，利用高分辨率的二次图像数据进行再检查(例如，专利文献2)。由此，在进行二次检查时，不需要重新取得二次检查用的图像数据，能够高效地进行二次检查。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特许第5246187号公报
7.专利文献2：日本特许第6484838号公报


技术实现要素：

8.发明所要解决的课题
9.另外，上述专利文献1以及2所记载的技术在一个检查装置中对判定为异常的全部部件进行改变了拍摄条件(包含画质)的再检查。根据这样的方法，在根本不需要再检查的明显为不良品的情况、如果是相同的拍摄原理则无论怎么改变拍摄条件(包含画质)都无法解决这样的拍摄原理存在极限的情况下，也实施再检查，产生浪费。
10.本发明是鉴于上述那样的实际情况而完成的，其目的在于提供一种在具备多种检查装置的部件安装基板的检查系统中，能够确保检查的精度并且提高检查效率的技术。
11.用于解决课题的手段
12.为了实现上述目的，本发明采用以下的结构。即，一种检查系统，其具有：第一检查单元，其基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据，实施第一检查；第二检查单元，其基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据，实施第二检查；第一检查信息取得单元，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。另外，所述第二检查实施决定单元也可以在决定实施所述第二检查的情况下，还决定所述第二检查的内容。
13.这里所说的“拍摄单元”不限于检测可见光区域的波长的照相机，还包含检测x射线的x射线照相机、用于激光扫描的光传感器等。另外，“检查单元”例如是自动光学检查(aoi)、自动x射线检查(axi)等基于拍摄检查对象物得到的图像数据实施检查的单元。另外，上述的“检查的内容”是指检查项目、图像数据的分辨率、拍摄范围等检查条件，检查项目也可以包含实施检查的坐标、提取检查对象的参数等信息。另外，“是否需要实施”例如能够考虑为是否通过该检查单元进行作为对象的检查项目的检查的标志，若标志为on(需要实施)则通过该检查单元实施作为对象的检查项目的检查，若标志为off则不实施。另外，在“决定第二检查的内容”中，在决定了实施的情况下，还包含按照预先决定的内容实施检查。
14.根据这样的结构，在具备拍摄单元不同的多种检查单元的基板检查系统中，能够判定反映了各单元的拍摄原理的差异的再检查的有效性，基于该判定内容来决定是否需要实施再检查(以及检查内容)，因此能够防止由于实施有效性低的(即无用的)检查而导致的效率性的降低。
15.另外，也可以是，所述第二检查实施决定单元在所述第一检查的结果为“无异状”并且所述有效性判定单元进行了认可实施所述第二检查的有效性的判定的情况下，决定实施所述第二检查。
16.如果是以往的技术，则仅在一次检查中存在异常的情况下实施再检查，但这样的话，在是在检查基准的阈值附近进行的良品判定的情况等下，有时虽然实际上存在不良但产生了其检测遗漏(所谓的漏检)。关于这一点，根据上述那样的结构，即使在第一次检查中是“无异常(即良品)”的判定，也在认可了实施二次检查的有效性的情况下，实施再检查，由此能够抑制这样的漏检，实施精度良好的检查。另外，二次检查的实施仅限于被认可了其有效性的情况，因此也不会实施无用的二次检查，能够防止检查效率的降低。
17.另外，也可以是，所述检查系统还具有：第二检查信息取得单元，其从所述第二检查单元取得包含所述第二检查的结果的第二检查信息；以及判定条件生成单元，其至少使用所述第二检查信息，生成作为更适当的所述判定条件的改善判定条件。根据这样的结构，在用于判定实施二次检查的有效性的条件不适当，至少基于二次检查的历史信息存在改善的余地的情况下，能够对其进行改善。
18.此外，也可以是，所述第二检查信息包含第二检查良品率，所述第二检查良品率表示被实施了所述第二检查的所述检查对象物的总数中的被判定为良品的数量的比例，在所述第二检查良品率超过规定的阈值的情况下，所述判定条件生成单元执行生成所述改善判定条件的处理。
19.在二次检查中也出现良品的检查结果是指一次检查的结果存在问题的可能性低，实施了无用的二次检查。而且，二次检查的良品率高这一情况可以认为是认可实施二次检查的有效性的判定条件宽松，由此检查整体的效率降低。因此，通过在满足上述那样的条件的情况下实现关于实施二次检查的有效性的判定条件的改善，能够抑制检查效率的降低。
20.另外，也可以是，所述检查系统还具有判定条件更新单元，所述判定条件更新单元将所述判定条件生成单元生成的所述改善判定条件设定为新的所述规定的判定条件。通过具有这样的结构，能够自动地更新判定条件。并且，通过实时地进行二次检查的结果信息的取得、判定条件的改善、改善后的判定条件的更新，能够构建检查条件自动地高效化的检查系统。此外，关于是否将改善判定条件设定为新的判定条件，当然也可以不自动地进行更
新，而是设为每次都由操作者进行确认的方式。
21.另外，也可以是，所述有效性判定单元根据针对所述第一图像数据、基于所述第一图像数据得到的与所述检查对象物的形状有关的计测值、与所述检查对象物的设计有关的信息中的至少任一方设定的所述规定的判定条件，来判定所述有效性。
22.在此，“与检查对象物的设计有关的信息”例如在检查对象为部件安装基板的情况下包含部件(以及焊盘)的形状、尺寸、各部件的配置关系等的信息。而且，作为对与检查对象物的设计有关的信息设定的判定条件，可以考虑设定基于成为其他部件的死角的可能性、从相邻的部件的焊料面受到二次反射的可能性等对一次检查造成影响的可能性的条件。另外，作为对第一图像数据设定的判定条件，例如可以考虑设定如“图像数据的最大亮度饱和或者最小亮度为零”、“与通常的良品图像的类似度低”等那样在使用了该图像数据的检查的可靠性上产生疑义的条件。另外，作为对基于所述第一图像数据得到的与所述检查对象物的形状有关的计测值设定的判定条件，可以考虑设定基于与检查基准的阈值的偏离度较低这样的误差的条件。
23.另外，也可以是，所述有效性判定单元包含学习完毕模型，所述学习完毕模型通过学习数据集进行了机器学习，所述学习数据集包含过去对所述检查对象物进行的所述第一检查所涉及的所述第一图像数据中的在所述第一检查中成为检测遗漏和/或过检测的所述检查对象物的所述第一图像数据。
24.在此，“检测遗漏”是指所谓的漏检，“过检测”是指所谓的过检。根据这样的结构，能够通过基于过去的实绩数据进行学习后的学习模型来进行高效的判定。
25.另外，所述检查对象物也可以是部件安装基板。另外，也可以是，所述第一拍摄单元是可见光照相机，所述第二拍摄单元是x射线照相机。本发明适合于这种条件的检查系统。
26.另外，本发明也能够理解为一种检查管理装置，其是包含第一检查单元和第二检查单元的检查系统的管理装置，所述第一检查单元基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据实施第一检查，所述第二检查单元基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据实施第二检查，所述检查系统的管理装置具有：第一检查信息取得单元，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。
27.另外，本发明也可以理解为一种检查方法，其具有：第一检查步骤，基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据，实施第一检查；第一检查信息取得步骤，取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定步骤，基于规定的判定条件，判定基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据对所述检查对象物实施第二检查的有效性；以及第二检查实施决定步骤，基于所述有效性判定步骤的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。
28.另外，也可以是，在所述第二检查实施决定步骤中，在决定实施所述第二检查的情况下，还决定所述第二检查的内容，所述检查方法还具有：第二检查步骤，在通过所述第二检查实施决定步骤决定了所述第二检查的内容的情况下，以该决定的所述第二检查的内容
实施所述第二检查。
29.另外，也可以是，所述检查方法还具有：第二检查信息取得步骤，取得包含所述第二检查的结果的第二检查信息；以及改善判定条件生成步骤，至少使用所述第二检查信息，生成作为更适当的所述判定条件的改善判定条件。
30.另外，也可以是，所述检查方法还具有：判定条件更新步骤，将在所述改善判定条件生成步骤中生成的所述判定条件设定为新的所述规定的判定条件。
31.另外，本发明也能够理解为用于使计算机执行上述的方法的程序、非暂时性地记录有这样的程序的计算机可读取的记录介质。
32.此外，只要不产生技术上的矛盾，上述结构以及处理分别能够相互组合来构成本发明。
33.发明效果
34.根据本发明，能够提供一种在具备多种检查装置的部件安装基板的检查系统中，能够确保检查的精度并提高检查效率的技术。
附图说明
35.图1是表示应用例的检查系统的概略结构的示意图。
36.图2是表示实施方式的检查系统的概略结构的框图。
37.图3是表示实施方式的检查系统中的处理流程的流程图。
具体实施方式
38.以下，基于附图对本发明的实施例进行说明。但是，以下的各例中记载的构成要素的尺寸、材质、形状、其相对配置等只要没有特别记载，就不是将本发明的范围仅限定于它们的意思。
39.《应用例》
40.(应用例的结构)
41.本发明例如能够作为具有具备不同的拍摄系统的多个检查装置的基板检查系统的检查管理装置来应用。图1是表示应用本发明的基板检查系统的概略结构的示意图。如图1所示，本应用例的基板检查系统9构成为包含：配备于部件安装基板的生产线(未图示)的多个检查装置91、92；管理检查的内容以及结果的检查管理装置93；以及将它们相互连接的lan(local area network)等通信线路。
42.检查装置91、92分别是基于由拍摄单元对由未图示的搬运辊从生产线搬运来的部件安装基板进行拍摄得到的图像数据，对作为检查对象物的部件安装基板o进行检查的装置。如图1所示，各检查装置91、92构成为具备拍摄单元911、921、图像数据取得部912、922、检查处理部913、923。另外，图中的白色箭头表示输送部件安装基板o的方向。
43.这里，检查装置91的拍摄单元911和检查装置92的拍摄单元921采用不同种类的拍摄单元，例如拍摄单元911可以是可见光照相机，拍摄单元921可以是x射线照相机等。而且，在各检查装置中，在检查处理部中应用规定的检查程序对由拍摄单元、图像数据取得部得到的图像数据进行良否判定，由此进行部件安装基板o的检查。
44.检查管理装置93例如能够由通用的计算机等构成，具备第一检查信息取得部931、
有效性判定部932、第二检查实施决定部933、存储部934的各功能部。此外，虽未图示，但具备鼠标、键盘等各种输入单元、显示器等输出单元。
45.第一检查信息取得部931从检查装置91取得部件安装基板o的图像数据、基于该图像数据取得的部件安装基板o的计测值以及检查(良否判定)的结果等各种信息。
46.另外，有效性判定部932基于第一检查信息取得部931取得的信息以及规定的判定条件，判定对部件安装基板o实施检查装置92的第二检查的有效性。
47.另外，第二检查实施决定部933基于有效性判定部932的判定内容，决定是否对作为对象的部件安装基板o实施检查装置92中的检查，在实施的情况下决定以怎样的条件(检查项目、取得图像的分辨率、拍摄范围等)进行拍摄/检查。
48.存储部934由ram、hdd等存储单元构成，存储与部件安装基板o有关的各种设计信息(安装的部件、部件的配置关系等)、与部件有关的信息(部件种类、部件件号、批号、部件图像等)、检查程序(检查项目、检查基准等)、过去的检查图像数据、过去的检查结果信息等各种信息。
49.(有效性判定处理)
50.接着，在本应用例中，对有效性判定部932进行的有效性的判定处理进行说明。有效性判定部932基于预先确定的规定的判定条件以及存储于存储部934的与部件安装基板o有关的各种设计信息、由检查装置91取得的图像数据的特征量、与部件安装基板o的检查对象部件的形状有关的计测值等信息，判定对作为对象的部件安装基板o(以及所安装的部件)实施检查装置92中的检查的有效性。此外，关于检查装置92中的二次检查是否有效，能够将检查装置91中的检查(良否判定)的结果是否可以说是可靠性可疑的所谓灰色区域的检查结果作为一个基准。在此，是否可以说是灰色区域例如能够根据是否满足与检查对象部件的形状有关的计测值是检查基准的阈值附近的值、所取得的图像数据中存在噪声等条件来判定。但是，即使在属于灰色区域的情况下，在通过由检查装置92进行二次检查无法确保检查的精度的情况下(例如，由检查装置91取得的图像的部件的文字部分不清晰，因此成为灰色区域，检查装置92为x射线检查装置的情况下)，也不具备有效性(或者有效性低)。
51.而且，在有效性判定部932进行了不具备有效性的判定的情况下，作为对象的部件安装基板o不被实施检查装置92中的检查而被输送到后续工序。或者，也可以根据有效性的判定内容，在由检查装置91变更了检查条件的基础上进行再检查。
52.另一方面，在有效性判定部932判定为具备有效性的情况下，决定检查装置92中的检查条件，将其发送到检查装置92。然后，在检查装置92中，通过反映了该检查条件的检查程序，实施部件安装基板o的二次检查。
53.根据以上那样的检查管理系统9，能够在判定了实施二次检查的有效性的基础上，决定是否对实施了第一检查的检查对象实施基于与第一检查不同的拍摄系统的二次检查。因此，不会对实施二次检查的有效性低的检查对象实施无用的二次检查，能够仅在二次检查有效的情况下实施二次检查，能够确保检查的精度，并且提高效率性。
54.《实施方式》
55.以下，基于图2、图3，以通过外观检查装置和x射线检查装置进行基板的检查的系统为例，进一步详细说明本发明的实施方式。
56.(系统结构)
57.图2是表示本实施方式的基板检查系统1的结构的概略的框图。本实施方式的基板检查系统1大致构成为包含外观检查装置10、x射线检查装置20、数据服务器30以及检查管理装置40，它们通过未图示的通信单元以能够通信的方式连接。是基于由外观检查装置10得到的基板的计测结果和由x射线检查装置20得到的基板的计测结果进行基板的检查的系统。
58.外观检查装置10例如是通过组合了所谓的相移方式及彩色高亮方式的检查方式来进行部件安装基板的外观检查的装置。关于组合了相移方式及彩色高亮方式的检查方式，由于已经是公知的技术，因此省略详细的说明，但通过这样的检查，在基板的焊盘部分，能够高精度地检测从外观可视觉确认的电极的形状及焊脚的倾斜程度。此外，相移方式是指通过对将图案光投影到物体表面时的图案的变形进行分析来复原物体表面的三维形状的方法之一。另外，彩色高亮方式是指如下方法：将多种颜色(波长)的光以彼此不同的入射角照射至基板，在焊料表面出现与其法线方向对应的颜色特征(从照相机观察时位于正反射方向的光源的颜色)的状态下进行拍摄，由此将焊料表面的三维形状捕捉为二维的色调信息。
59.外观检查装置10大致具备外观图像拍摄部110、外观计测部120、外观检查部130的各功能部以及投影仪、光源、保持基板的工作台(均未图示)等。外观图像拍摄部110拍摄从未图示的投影仪及光源被照射了光的状态的基板，输出外观检查用图像。外观计测部120基于外观检查用图像，对基板(的安装部件)的外观形状进行计测。外观检查部130通过将计测出的外观形状与检查基准进行比较，进行基板(的安装部件)的外观检查、即良否判定。此外，以下，即使在仅表述为“基板的检查”的情况下，也包含针对安装于基板的部件的检查。
60.另外，上述的外观检查用图像、外观形状的计测值、外观检查结果的各信息从外观检查装置10发送至数据服务器30，保存在数据服务器30中。
61.x射线检查装置20例如是通过ct(computed tomography)、断层合成等方式计测基板的三维形状，基于该三维形状进行基板的良否判定的装置。
62.x射线检查装置20大致具备x射线图像拍摄部210、x射线计测部220、x射线检查部230的各功能部以及x射线源、保持基板的工作台(均未图示)等。x射线图像拍摄部210通过拍摄从未图示的x射线源照射并透过了基板的x射线，来输出基板的断层图像(以下称为x射线图像)。x射线计测部220基于多个x射线图像来计测基板的三维形状。x射线检查部230通过将计测出的三维形状与检查基准进行比较，进行基板的三维形状检查、即良否判定。
63.另外，上述的x射线图像、三维形状数据、x射线检查结果从x射线检查装置20发送到数据服务器30，保存在数据服务器30中。
64.检查管理装置40例如能够设为通用的计算机。即，虽然未图示，但具备cpu、dsp等处理器、包含只读存储器(rom)、随机存取存储器(ram)等主存储部和eprom、硬盘驱动器(hdd)、可移动介质等辅助存储部的存储部、键盘、鼠标等输入部、液晶显示器等输出部。另外，检查管理装置40可以由单一的计算机构成，也可以由相互协作的多台计算机构成。
65.在辅助存储部中存储有操作系统(os)、各种程序、与检查对象物有关的各种信息、各种检查基准等，将其中存储的程序加载到主存储部的作业区域并执行，通过程序的执行来控制各构成部等，由此能够实现后述那样的实现规定目的的功能部。此外，一部分或者全部的功能部也可以通过asic、fpga那样的硬件电路来实现。
66.接着，对检查管理装置40所具备的各功能部进行说明。检查管理装置40具备外观检查信息取得部411、x射线检查信息取得部412、x射线检查有效性判定部421、x射线检查实施决定部422、判定条件生成部431以及判定条件更新部432的各功能部。
67.外观检查信息取得部411从数据服务器30(或外观检查装置10)取得被检查的基板的图像数据、基于该图像数据取得的基板的计测值及检查(良否判定)的结果等各种信息。x射线检查信息取得部412也同样地从数据服务器30(或x射线检查装置20)取得被检查的基板的图像数据、基于该图像数据取得的基板的计测值以及检查(良否判定)的结果等各种信息。
68.如后所述，x射线检查有效性判定部421基于外观检查信息取得部411所取得的信息以及规定的判定条件，判定对结束了外观检查的基板进一步实施x射线检查装置20的x射线检查是否有效。另外，x射线检查实施决定部422基于x射线检查有效性判定部421的判定内容以及外观检查的结果，来决定是否对作为检查对象的基板实施x射线检查，在实施的情况下决定以怎样的检查条件实施x射线检查。
69.判定条件生成部431使用x射线检查信息取得部412取得的信息，在满足规定的条件的情况下，生成作为更适当的有效性的判定条件的改善判定条件。另外，这里所说的“生成”不仅包含从头开始生成，还包含变更已有的条件而生成。另外，规定的条件例如能够设为判定为良品的基板相对于接受了作为二次检查的x射线检查的基板的总数的比例(以下，也称为良品率)超过规定值的情况等。在这样的情况下，认为有效性的判定基准被设定得宽松，因此优选向使x射线检查的有效性判定的基准变严格的方向变更判定条件。
70.另外，判定条件更新部432在判定条件生成部431生成了改善判定条件的情况下，将该改善判定条件设定为新的有效性判定的条件。此外，判定条件的更新既可以自动地实施，也可以进行对操作者确认是否可以设定改善判定条件的处理，接受操作者的指示来更新判定条件。
71.(检查系统的处理流程)
72.接着，参考图3对本实施方式的检查管理系统1中的检查处理的流程进行说明。图3是表示该处理的流程的流程图。如图3所示，首先，利用外观检查装置10对作为检查对象的基板(上安装的各部件)实施外观检查(s101)。接着，检查管理装置40经由外观检查信息取得部411取得包含外观检查结果的信息(s102)。
73.接着，x射线检查有效性判定部421判定对作为检查对象的基板实施x射线检查是否有效(s103)。在此，有效性的判定例如按照以下那样的条件进行。
74.(1)外观检查中的检查对象部件的计测值处于检查基准的阈值的附近。
75.(2-1)基于基板的设计信息，检查对象部件有可能存在死角(附近存在高度高的其他部件)。
76.(2-2)基于基板的设计信息，检查对象部件的焊料面可能发生二次反射(靠近其他部件的焊料面)。
77.(3-1)在外观检查图像中，最大亮度饱和，或者最小亮度的值为0。
78.(3-2)外观检查图像与一般的良品图像的类似度低。
79.有效性的判定可以通过上述条件中的任一个或上述条件的组合来进行。此外，在基板的设计信息中包含安装于作为检查对象的基板的部件(以及焊盘)的形状、尺寸、各部
件的配置关系等信息，它们可以预先保存于数据服务器30。
80.是否符合上述的(3-1)、(3-2)的条件既可以在针对外观检查图像的图像处理中基于亮度、噪声量来判断，也可以使用根据过去的检查实绩进行了学习的学习完毕模型。
81.返回到处理流程的说明，当步骤s103的处理结束时，由x射线检查实施决定部422根据x射线检查有效性判定部421的判定内容和外观检查的结果信息，判定是否需要作为二次检查的x射线检查(s104)。在此，在判断为不需要x射线检查的情况下，暂时结束处理，基板跳过x射线检查而向后续工序输送。
82.另一方面，在步骤s104中判断为实施x射线检查的情况下，进入步骤s105，由x射线检查实施决定部422决定二次检查的检查条件(s105)。具体而言，例如，在由于作为检查对象的部件的前焊脚不足而确认了二次检查的有效性的情况下，为了在x射线检查中准确地检查该部件的后焊脚，以能够以高分辨率进行拍摄的方式设定拍摄条件(提高取得图像的分辨率)。另外，除此之外，也可以根据成为二次检查的对象的部件的数量/配置来调整拍摄范围，以能够尽可能地缩短x射线检查所需的时间。
83.当在步骤s105中决定了x射线检查的检查条件时，将该条件发送到x射线检查装置20，通过反映了该条件的检查程序来实施x射线检查(s106)。当该检查结束时，检查管理装置40通过x射线检查信息取得部412取得包含x射线检查的结果信息的x射线检查信息(s107)，然后，根据该x射线检查信息，进行判定实施x射线检查的有效性的判定条件是否需要改善的处理(s108、s109)。由于上面已经描述了判定方法，因此将省略其详细描述。
84.在步骤s109中判断为不需要改善x射线检查的有效性判定条件的情况下，流程暂时结束。另一方面，在判断为需要改善的情况下，由判定条件生成部431生成改善判定条件(s110)。判定条件的改善可以根据由于何种理由而认为需要实施x射线检查来进行。例如，在上述的步骤s103的处理中，在符合(1)的条件成为确认了有效性的原因的情况下，缩小检查基准的阈值的“附近”的范围即可。另外，在符合上述的(2-1)(2-2)的条件成为确认了有效性的原因的情况下，缩短在基板的部件间判断为“近”的距离即可。另外，在符合上述(3-2)的条件成为确认了有效性的原因的情况下，只要放宽与良品图像的类似度的基准即可。
85.然后，通过判定条件更新部432应用在步骤s110中生成的改善判定条件(即，更新x射线检查的有效性的判定条件)(s111)，结束一系列的处理。
86.根据以上那样的本实施方式的检查管理系统，在具备外观检查装置和x射线检查装置的部件安装基板的检查系统中，能够仅对在外观检查中出现了灰色区域的检查结果的基板中的确认了实施作为二次检查的x射线检查的有效性的基板实施x射线检查。由此，不会由于进行无用的再检查而使检查整体的效率降低，能够构建确保了一定的精度的检查系统。
87.《其他》
88.上述各例只不过是例示性地说明本发明的例子，本发明并不限定于上述的具体的方式。本发明能够在其技术思想的范围内进行各种变形和组合。例如，在上述各例中，作为包含检查装置的系统进行了说明，但本发明也可以理解为检查管理装置。另外，在上述各例中，第一检查和第二检查由各自的检查装置实施，但本发明也能够应用于具备多个不同的拍摄系统且具有与各拍摄系统对应的多个检查功能的一台检查装置。
89.另外，在上述各例中，对在一次检查中出现了灰色区域的结果的基板实施二次检
查的有效性判定，但也可以以是在一次检查中被判定为良品的基板为条件，进行有效性的判定。在对在一次检查中判定为不良的产品特意进行二次检查而判定为良品的情况下，发生所谓漏检的可能性也变高。从这样的观点出发，在一次检查中出现了不良的结果的情况下，优选彻底进行作为不良来处理的运用。
90.另外，在上述实施方式中，构成为与外观检查装置10及x射线检查装置20分开地具有用于生成检查程序的检查管理装置40，但也可以不另外设置检查管理装置40，而在外观检查装置10、x射线检查装置20中的任意方中设置检查管理装置40的各功能部来进行上述各步骤的处理。
91.另外，在上述实施方式中，将外观检查装置10作为组合了相移方式及彩色高亮方式的检查方式的装置进行了说明，但也可以是仅通过相移方式或仅通过彩色高亮方式进行检查的外观检查装置。
92.另外，本发明不限于外观检查装置与x射线检查装置的组合，也能够应用于激光扫描计测装置与x射线检查装置的组合。
93.《附记1》
94.一种检查系统，其具有：第一检查单元(10)，其基于由第一拍摄单元(110)拍摄检查对象物得到的第一图像数据，实施第一检查；第二检查单元(20)，其基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元(210)拍摄所述检查对象物得到的第二图像数据，实施第二检查；第一检查信息取得单元(411)，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元(421)，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元(422)，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。
95.《附记2》
96.一种检查管理装置，其是具备第一检查单元(91)和第二检查单元(92)的检查系统(9)的管理装置(93)，所述第一检查单元(91)基于由第一拍摄单元(911)对检查对象物(o)进行拍摄得到的第一图像数据实施第一检查，所述第二检查单元(92)基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元(921)对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据实施第二检查，所述检查管理装置具有：第一检查信息取得单元(931)，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元(932)，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元(933)，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。
97.《附记3》
98.一种检查方法，其具有：第一检查步骤(s101)，基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据，实施第一检查；第一检查信息取得步骤(s102)，取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定步骤(s103)，基于规定的判定条件，判定基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据对所述检查对象物实施第二检查的有效性；以及第二检查实施决定步骤(s105)，基于所述有效性判定步骤的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查以及所述第二检查的内容。
99.标号说明
100.1、9：基板检查系统；10：外观检查装置；110：外观图像拍摄部；120：外观计测部；130：外观检查部；20：x射线检查装置；210：x射线图像拍摄部；220：x射线计测部；230：x射线检查部；30：数据服务器；40、93：检查管理装置；91、92：检查装置；911、921：拍摄单元；o：部件安装基板。

技术特征：
1.一种检查系统，其具有：第一检查单元，其基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据，实施第一检查；第二检查单元，其基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据，实施第二检查；第一检查信息取得单元，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，所述第二检查实施决定单元在决定实施所述第二检查的情况下，还决定所述第二检查的内容。3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，所述第二检查实施决定单元在所述第一检查的结果为“无异常”并且所述有效性判定单元进行了认可实施所述第二检查的有效性的判定的情况下，决定实施所述第二检查。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的检查系统，其特征在于，所述检查系统还具有：第二检查信息取得单元，其从所述第二检查单元取得包含所述第二检查的结果的第二检查信息；以及判定条件生成单元，其至少使用所述第二检查信息，生成作为更适当的所述判定条件的改善判定条件。5.根据权利要求4所述的检查系统，其特征在于，所述第二检查信息包含第二检查良品率，所述第二检查良品率表示被实施了所述第二检查的所述检查对象物的总数中的被判定为良品的数量的比例，在所述第二检查良品率超过规定的阈值的情况下，所述判定条件生成单元执行生成所述改善判定条件的处理。6.根据权利要求4或5所述的检查系统，其特征在于，所述检查系统还具有判定条件更新单元，所述判定条件更新单元将所述判定条件生成单元生成的所述改善判定条件设定为新的所述规定的判定条件。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的检查系统，其特征在于，所述有效性判定单元根据针对所述第一图像数据、基于所述第一图像数据得到的与所述检查对象物的形状有关的计测值、与所述检查对象物的设计有关的信息中的至少任一方设定的所述规定的判定条件，来判定所述有效性。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的检查系统，其特征在于，所述有效性判定单元包含学习完毕模型，所述学习完毕模型通过学习数据集进行了机器学习，所述学习数据集包含过去对所述检查对象物进行的所述第一检查所涉及的所述第一图像数据中的在所述第一检查中成为检测遗漏和/或过检测的所述检查对象物的所述第
一图像数据。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的检查系统，其特征在于，所述检查对象物是部件安装基板。10.根据权利要求1至9中的任一项所述的检查系统，其特征在于，所述第一拍摄单元是可见光照相机，所述第二拍摄单元是x射线照相机。11.一种检查管理装置，其是包含第一检查单元和第二检查单元的检查系统的管理装置，所述第一检查单元基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据实施第一检查，所述第二检查单元基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据实施第二检查，所述检查管理装置具有：第一检查信息取得单元，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。12.一种检查方法，其具有：第一检查步骤，基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据，实施第一检查；第一检查信息取得步骤，取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定步骤，基于规定的判定条件，判定基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据对所述检查对象物实施第二检查的有效性；以及第二检查实施决定步骤，基于所述有效性判定步骤的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。13.根据权利要求12所述的检查方法，其特征在于，在所述第二检查实施决定步骤中，在决定实施所述第二检查的情况下，还决定所述第二检查的内容，所述检查方法还具有第二检查步骤：在通过所述第二检查实施决定步骤决定了所述第二检查的内容的情况下，以该决定的所述第二检查的内容实施所述第二检查。14.根据权利要求12或13所述的检查方法，其特征在于，所述检查方法还具有：第二检查信息取得步骤，取得包含所述第二检查的结果的第二检查信息；以及改善判定条件生成步骤，至少使用所述第二检查信息，生成作为更适当的所述判定条件的改善判定条件。15.根据权利要求14所述的检查方法，其特征在于，所述检查方法还具有判定条件更新步骤：将在所述改善判定条件生成步骤中生成的所述判定条件设定为新的所述规定的判定条件。16.一种程序，所述程序用于使计算机执行权利要求12至15中的任一项所述的检查方法的各步骤。

技术总结
一种检查系统，其具有：第一检查单元，其基于由第一拍摄单元对检查对象物进行拍摄得到的第一图像数据，实施第一检查；第二检查单元，其基于由与所述第一拍摄单元不同的第二拍摄单元对所述检查对象物进行拍摄得到的第二图像数据，实施第二检查；第一检查信息取得单元，其从所述第一检查单元取得包含所述第一检查的结果的第一检查信息；有效性判定单元，其基于规定的判定条件，判定由所述第二检查单元对所述检查对象物实施所述第二检查的有效性；以及第二检查实施决定单元，其基于所述有效性判定单元的判定内容，至少决定是否需要实施所述第二检查。第二检查。第二检查。


技术研发人员：大西贵子
受保护的技术使用者：欧姆龙株式会社
技术研发日：2022.01.19
技术公布日：2023/10/15