半导体12吋Full-Auto物流回滚机制的制作方法

半导体12吋full-auto物流回滚机制
技术领域
1.本技术涉及生产自动化领域，具体涉及一种半导体12吋full-auto物流回滚机制。


背景技术：

2.在半导体12吋晶圆全自动化的生产过程中，搬运的场景非常多样且复杂，一般在半自动的场景，carrier在小车上，中途有异常会直接对该任务下cancel，并且由人对小车上的carrier重新下发其他任务，但在全自动化的情况，则需要减少人处理的状况。因此需要一个回滚机制，当carrier在搬运过程发生任何情况都需要能够回到原来的位置。
3.产品现有的功能当carrier上小车后，如果想取消该搬运任务，必须要由人工先取消该任务，并且在mcs客户端或amhs系统重新下发新的任务将carrier从小车放回原来的起始地位置。另外还有可能mcs下发cancel命令给设备，但被设备给拒绝了，导致cancel命令失败。


技术实现要素：

4.本技术提供了一种半导体12吋full-auto物流回滚机制，其目的在于，可针对各种不同场景，在mes下发cancel之后，将foup放回初始地，不需要再人工介入从mcs客户端重新发送命令。
5.本技术是通过以下技术方案实现的：
6.半导体12吋full-auto物流回滚机制，包括如下步骤：
7.(1)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，
8.carrier位置：source@storage，状态：queue，
9.cancel描述：该job在amhs还没准备搬运时将该job取消，因此carrier并没做任何搬运，停留在storage中；
10.(2)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，
11.carrier位置：source@storage，状态：transfering，
12.cancel描述：当搬运开始时，这时候发算cancel设备也会拒绝，因此这时候mcs如果收到mes cancel job的请求，mcs则直接从数据库更改该job的目的地，并且上报更改目的地report给mes，因此当carrier到了出库口之后，小车会直接将该carrier再搬回同一台设备的进入口，然后入回storage中；
13.(3)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：source@to，状态：transfering，
14.cancel描述：当carrier到了出库口之后，才接收到mes cancel job的请求，由于出库口无法直接入库，因此必须透过小车将该carrier搬回同一台设备的进入口，然后入回storage中；
15.(4)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：vehicle，状态：transfering，amhs reply success，
16.cancel描述：当carrier到了vehicle之后，才接收到mes cancel job的请求，此时mcs会对设备下abort终止当前命令，之后会再重新下发新的搬运任务将carrier搬回初始地；
17.(5)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：vehicle，状态：transfering，amhs reply fail，
18.cancel描述：当carrier到了vehicle之后，才接收到mes cancel job的请求，由于mcs给设备下abort请求失败，无法取消当前的任务，所以在该carrier到达mes原本指派的目的地后，mcs会重新下发新的任务搬回原来的目的地；
19.(6)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：dest@ti，状态：transfering，
20.cancel描述：当carrier到了dest ti port之后，才接收到mes cancel job的请求，此时因为如果目的地是stb或eqp，该任务已经结束了，mcs则是直接回复cancel失败给mes。
21.作为优选实施例，所述步骤(6)中，如果是stk，一般情况下不太需要刻意再放回原来stk，增加搬运成本，因此这个状况mcs则是直接回复cancel失败给mes。
22.本设计的优点：本技术半导体12吋full-auto物流回滚机制，可针对各种不同场景，在mes下发cancel之后，将foup放回初始地，不需要再人工介入从mcs客户端重新发送命令，如此可以减少许多物流搬运上的损失，以及取消命令有可能被amhs给拒绝，导致取消命令失败。mcs也另外确保设备拒绝的状况仍然能确保mes取消命令的需求，让foup能够回到原来的位置。另外也能避免取消任务时，有可能被amhs系统自动搬到其他就近的stk，提升物流的效率以及质量。
附图说明
23.图1为当载具在stk且状态为queue时，收到cancel job命令示意图。
24.图2为当载具在stk且状态为transfering时，收到cancel job命令示意图。
25.图3为当载具在stk_to port且状态为transfering时，收到cancel job命令示意图。
26.图4为当载具在天车上，收到cancel job命令示意图。
27.图5为当载具在天车上，收到cancel job命令，且设备回复取消失败示意图。
28.图6为当载具在目的地设备，收到cancel job命令，且设备回复取消失败示意图。
29.图1中各英文字符代表：
[0030][0031][0032]
图2中各英文字符代表：
[0033][0034][0035]
图3中各英文字符代表：
[0036][0037][0038]
图4中各英文字符代表：
[0039][0040]
[0041]
图5中各英文字符代表：
[0042]
[0043][0044]
图6(a)中各英文字符代表：
[0045]
[0046][0047]
图6(b)中各英文字符代表：
[0048]
[0049]
具体实施方式
[0050]
下面结合附图对本发明的实施例作详细说明：本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
[0051]
半导体12吋full-auto物流回滚机制，包括如下步骤：
[0052]
(1)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，
[0053]
carrier位置：source@storage，状态：queue，
[0054]
cancel描述：该job在amhs还没准备搬运时将该job取消，因此carrier并没做任何搬运，停留在storage中，如图1所示。
[0055]
(2)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，
[0056]
carrier位置：source@storage，状态：transfering，
[0057]
cancel描述：当搬运开始时，这时候发算cancel设备也会拒绝，因此这时候mcs如果收到mes cancel job的请求，mcs则直接从数据库更改该job的目的地，并且上报更改目的地report给mes，因此当carrier到了出库口之后，小车会直接将该carrier再搬回同一台设备的进入口，然后入回storage中，如图2所示。
[0058]
(3)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：source@to，状态：transfering，
[0059]
cancel描述：当carrier到了出库口之后，才接收到mes cancel job的请求，由于出库口无法直接入库，因此必须透过小车将该carrier搬回同一台设备的进入口，然后入回storage中，如图3所示。
[0060]
(4)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：vehicle，状态：transfering，amhs reply success，
[0061]
cancel描述：当carrier到了vehicle之后，才接收到mes cancel job的请求，此时mcs会对设备下abort终止当前命令，之后会再重新下发新的搬运任务将carrier搬回初始地，如图4所示。
[0062]
(5)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：vehicle，状态：transfering，amhs reply fail，
[0063]
cancel描述：当carrier到了vehicle之后，才接收到mes cancel job的请求，由于mcs给设备下abort请求失败，无法取消当前的任务，所以在该carrier到达mes原本指派的
目的地后，mcs会重新下发新的任务搬回原来的目的地，如图5所示。
[0064]
(6)mes下发任务source@storage＝》dest@storage，carrier位置：dest@ti，状态：transfering，
[0065]
cancel描述：当carrier到了dest ti port之后，才接收到mes cancel job的请求，此时因为如果目的地是stb或eqp，该任务已经结束了，如果是stk，一般情况下不太需要刻意再放回原来stk，增加搬运成本，因此这个状况mcs则是直接回复cancel失败给mes，如图6(包括6a、6b)所示。
[0066]
本技术半导体12吋full-auto物流回滚机制，可针对各种不同场景，在mes下发cancel之后，将foup放回初始地，不需要再人工介入从mcs客户端重新发送命令，如此可以减少许多物流搬运上的损失，以及取消命令有可能被amhs给拒绝，导致取消命令失败。
[0067]
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：
1.半导体12吋full-auto物流回滚机制，其特征在于，包括如下步骤：(1)mes下发任务source@storage＝>dest@storage，carrier位置：source@storage，状态：queue，cancel描述：该job在amhs还没准备搬运时将该job取消，因此carrier并没做任何搬运，停留在storage中；(2)mes下发任务source@storage＝>dest@storage，carrier位置：source@storage，状态：transfering，cancel描述：当搬运开始时，这时候发算cancel设备也会拒绝，因此这时候mcs如果收到mes cancel job的请求，mcs则直接从数据库更改该job的目的地，并且上报更改目的地report给mes，因此当carrier到了出库口之后，小车会直接将该carrier再搬回同一台设备的进入口，然后入回storage中；(3)mes下发任务source@storage＝>dest@storage，carrier位置：source@to，状态：transfering，cancel描述：当carrier到了出库口之后，才接收到mes cancel job的请求，由于出库口无法直接入库，因此必须透过小车将该carrier搬回同一台设备的进入口，然后入回storage中；(4)mes下发任务source@storage＝>dest@storage，carrier位置：vehicle，状态：transfering，amhs reply success，cancel描述：当carrier到了vehicle之后，才接收到mes cancel job的请求，此时mcs会对设备下abort终止当前命令，之后会再重新下发新的搬运任务将carrier搬回初始地；(5)mes下发任务source@storage＝>dest@storage，carrier位置：vehicle，状态：transfering，amhs reply fail，cancel描述：当carrier到了vehicle之后，才接收到mes cancel job的请求，由于mcs给设备下abort请求失败，无法取消当前的任务，所以在该carrier到达mes原本指派的目的地后，mcs会重新下发新的任务搬回原来的目的地；(6)mes下发任务source@storage＝>dest@storage，carrier位置：dest@ti，状态：transfering，cancel描述：当carrier到了dest ti port之后，才接收到mes cancel job的请求，此时因为如果目的地是stb或eqp，该任务已经结束了，mcs则是直接回复cancel失败给mes。2.根据权利要求1所述的半导体12吋full-auto物流回滚机制，其特征在于，所述步骤(6)中，如果是stk，一般情况下不太需要刻意再放回原来stk，增加搬运成本，因此这个状况mcs则是直接回复cancel失败给mes。

技术总结
本发明公开了一种半导体12吋Full-Auto物流回滚机制，MES下发任务Source@STORAGE＝>Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@STORAGE，状态：QUEUE；(2)MES下发任务Source@STORAGE＝>Dest@STORAGE，CARRIER位置：Source@STORAGE，状态：Transfering。本申请可针对各种不同场景，将FOUP放回初始地，不需要再人工介入从MCS客户端重新发送命令，可以减少许多物流搬运上的损失，以及取消命令有可能被AMHS给拒绝，导致取消命令失败本申请半导体12吋Full-Auto物流回滚机制。流回滚机制。流回滚机制。


技术研发人员：刘苡宗 孙健
受保护的技术使用者：上海哥瑞利软件股份有限公司
技术研发日：2022.12.21
技术公布日：2023/10/20