一种探针卡磨针装置的制作方法

1.本公开涉及探针卡清洁技术领域，尤其涉及一种探针卡磨针装置。


背景技术：

2.探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。探针卡在使用时，是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在ic尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是ic制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。
3.在一些探针卡测试场景中，由于长期测试一些高压大电流参数，探针卡的探针针尖被氧化速率很快，甚至会出现不同探针针尖不齐现象。而探针针尖氧化和针尖不齐会导致误测，甚至出现烧管芯现象。
4.在相关技术中，采用探针卡自动清针装置或者人工手动磨针纸磨针来解决上述问题。探针卡自动清针装置虽然可以实时自动进行清针，以消除针尖氧化层，但是对探针针尖氧化层清除效果并不理想，且无法解决针尖不齐问题；而人工手动磨针虽然可很好地清除针尖氧化物，但是针卡损坏风险过高，对个人操作要求过高，容易导致针尖不齐甚至损坏。


技术实现要素：

5.本公开提供了一种探针卡磨针装置，能够有效去除针尖氧化物且可改善针尖不齐现象。
6.本公开所提供的技术方案如下：
7.第一方面，本公开实施例提供了一种探针卡磨针装置，包括：
8.用于承载及固定探针卡的第一承载单元，所述探针卡承载于所述第一承载单元上时探针长度方向为第一方向；
9.用于执行磨针操作的磨针件，所述磨针件的磨砂面垂直于所述第一方向；
10.用于承载及固定所述磨针件的第二承载单元，所述第二承载单元与所述第一承载单元之间在三维方向上相对可移动；
11.用于检测所述探针卡上探针针尖长度差的检测单元，所述检测单元包括导电元件、及与所述导电元件电连接的多个被触发元件，每个所述被触发元件与至少一个探针对应电连接，所述导电元件承载及固定于所述第二承载单元上，所述导电元件具有与所述磨砂面处于同一平面或相互平行的导电接触面，所述被触发元件被配置为当对应的所述探针与所述导电元件的导电接触面接触时被触发。
12.示例性的，所述磨针件包括磨针纸，所述导电元件包括导电薄膜，所述磨针纸设置在所述导电薄膜的沿着第二方向的一侧，所述第二方向平行于所述磨砂面。
13.示例性的，所述被触发元件包括指示灯。
14.示例性的，所述探针卡磨针装置还包括：
15.处理器，所述处理器与所述第二承载单元和所述第一承载单元中至少一者及所述检测单元连接，用于记录多个所述被触发元件被触发时所述第一承载单元与所述第二承载单元在所述第一方向上的相对位置信息，并根据所述相对位置信息控制所述第一承载单元与所述第二承载单元的相对运动状态。
16.示例性的，所述处理器具体包括：
17.第一存储模块，用于记录多个所述被触发元件第1个被触发时所述第一承载单元与所述第二承载单元在所述第一方向上的第一相对位置；
18.第二存储模块，用于记录多个所述被触发元件最后1个被触发时所述第一承载单元与所述第二承载单元在所述第一方向上的第二相对位置；
19.计算模块，用于计算所述第一相对位置和所述第二相对位置的长度差值，并确定该长度差值为所述探针卡上探针针尖长度差；
20.控制模块，用于根据所述长度差值，发送控制信号，以使所述第一承载单元和所述第二承载单元中至少一者在所述第一方向上从所述第一相对位置向所述第二相对位置行进，且在行进过程中使所述磨针件相对所述探针卡在垂直于所述第一方向的方向上往复移动以执行磨针操作。
21.示例性的，所述处理器还包括：
22.第三存储模块，用于存储所述第二承载单元在所述第一方向上的预设的相对位置阈值；
23.判断模块，用于判断所述第二相对位置是否超出所述相对位置阈值；
24.报警模块，用于接收到报警信号时进行报警；
25.所述控制模块用于当所述第二相对位置未超出所述相对位置阈值时，接收所述长度差值并发送所述控制信号，当所述第二相对位置超出所述相对位置阈值时，向所述报警模块发送所述报警信号。
26.示例性的，所述三维方向包括所述第一方向、第二方向和第三方向，所述第二方向和所述第三方向相互垂直且平行于所述磨砂面；
27.用于驱动所述第一承载单元和所述第二承载单元中至少一者在所述三维方向上相对另一者移动的三维移动单元；
28.所述三维移动单元包括用于使所述第一承载单元与所述第二承载单元在所述第一方向相对移动的第一移动组件，所述第一移动组件包括具有粗调模式和微调模式的千分尺式调节机构，所述千分尺式调节机构沿所述第一方向的长度可调节，且调节所述千分尺式调节机构的长度时，所述第一承载单元和所述第二承载单元中至少一者随千分尺式调节机构的调节在所述第一方向上发生相应位移。
29.示例性的，所述第一移动组件还包括：若干导向柱，所述若干导向柱沿所述第一方向轴向延伸，且所述第一承载单元和所述第二承载单元中一者可滑动地套设于所述导向柱上。
30.示例性的，所述三维移动单元包括：用于在所述第二方向移动所述第二承载单元的第二移动组件，所述第二移动组件包括：第一丝杠、第一驱动件和第一丝杠螺母，所述第一丝杠沿所述第二方向轴向延伸，所述第一驱动件连接至所述第一丝杠以驱动所述第一丝杠转动，所述第一驱动件采用手动旋转手柄和/或驱动电机，所述第一丝杠螺母连接至所述
第一丝杠上且在所述第一丝杠转动时沿所述第一丝杠的轴向延伸方向可滑动；
31.所述三维移动单元包括：用于在所述第三方向移动所述第二承载单元的第三移动组件，所述第三移动组件包括：第二丝杠、第二驱动件和第二丝杆螺母，所述第二丝杠沿所述第三方向轴向延伸，所述第二驱动件连接至所述第二丝杠以驱动所述第二丝杠转动，所述第二驱动件采用手动旋转手柄和/或驱动电机，所述第二丝杠螺母连接至所述第二丝杠上且在所述第二丝杠转动时沿所述第二丝杠的轴向延伸方向可滑动；
32.其中，
33.所述三维移动单元还包括第一移动平台和第二移动平台；
34.所述第二承载单元连接至所述第一移动平台上，所述第一移动平台连接至所述第一丝杠螺母上，以使所述第二承载单元与所述第一丝杠螺母同步运动；
35.所述第二移动平台连接至所述第二丝杠螺母上，所述第一移动平台连接至所述第二移动平台上，以使所述第一移动平台与所述第二移动平台同步运动。
36.示例性的，所述第二移动组件还包括：设置于所述第二移动平台的面向所述第一移动平台的一侧面上且沿所述第二方向延伸的第一导向件、及设置于所述第一移动平台的面向所述第二移动平台的一侧面上且与所述第一导向件配合的第一导向适配件，所述第一导向适配件与所述第一导向件配合以对所述第一移动平台在所述第二方向上运动时进行导向；和/或
37.所述第三移动组件还包括：位于所述第二移动平台的背离所述第一移动平台的一侧且沿所述第三方向延伸的第二导向件、及设置于所述第二移动平台的背离所述第一移动平台的一侧面上且与所述第二导向件配合的第二导向适配件，所述第二导向适配件与所述第二导向件配合以对所述第二移动平台在所述第三方向上运动时进行导向。
38.本公开所带来的有益效果如下：
39.本公开实施例所提供的探针卡磨针装置可包括第一承载单元、第二承载单元、磨针件和检测单元，第一承载单元和第二承载单元在三维方向上可相对移动，探针卡可被承载于第一承载单元之上，磨针件及检测单元的导电元件可被承载于第二承载单元之上，且探针卡上的多个探针分别对应电连接至不同的被触发元件上，且各个被触发元件电连接至导电元件上。磨针过程可如下：将探针卡与导电元件在第一方向上正对且两者之间保持距离；在探针的长度方向(即第一方向上)相向移动第一承载单元和第二承载单元，使探针卡与导电元件之间的距离逐渐接近，当探针卡上探针与导电元件接触时，则对应的被触发元件被触发，因此最长的探针所连接的被触发元件可第1个被触发，最短的探针所连接的被触发元件则会最后1个被触发，从而测量最长探针和最短探针对应的被触发元件分别被触发时第一承载单元与第二承载单元在所述第一方向上相对移动距离，即可确定测量最长探针和最短探针的长度差；测量完毕后，在垂直第一方向的方向上相对移动第一承载单元与第二承载单元，以使磨针件与所述探针卡在所述第一方向上正对并执行磨针操作，其中根据上述测量的长度差，可确定磨针件在第一方向上的磨针深度。由此可见，本公开实施例所提供的探针卡磨针装置可针对探针针尖不齐现象，有效去除针尖表面氧化物，且不对探针卡造成损伤。
40.应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
41.通过参考附图阅读下文的详细描述，本公开示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施方式，其中：
42.在附图中，相同或对应的标号表示相同或对应的部分。
43.图1所示为本公开实施例提供的探针卡磨针装置的主视图；
44.图2所示为图1中b-b’向示意图；
45.图3所示为图1中a-a’向示意图；
46.图4所示为图1的左视图；
47.图5所示为处理器的结构框图。
48.图中标号说明：
49.10、探针卡；
50.11、探针；
51.100、第一承载单元；
52.200、磨针件；
53.210、磨砂面；
54.第二承载单元；三维移动单元；第一移动组件；导向柱；
55.第二移动组件；第一丝杠；
56.第一驱动件；
57.第一导向件；
58.第一导向适配件；第三移动组件；第二丝杠；
59.第二驱动件；
60.第二导向件；
61.第二导向适配件；第一移动平台；第二移动平台；检测单元；
62.导电元件；
63.导电接触面；
64.被触发元件；
65.电路板；
66.连接导线；
67.处理器；
68.第一存储模块；第二存储模块；计算模块；
69.控制模块；
70.第三存储模块；判断模块；
71.770、报警模块。
具体实施方式
72.在本公开的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确
具体的限定。
73.为使本公开的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而非全部实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
74.为了解决相关技术中探针卡上探针针尖被氧化进行针尖清理时存在无法解决探针针尖不齐现象且去除针尖氧化物效果不佳的问题，本公开实施例提供了一种探针卡磨针装置，能够有效去除针尖氧化物且可改善针尖不齐现象。
75.请参见图1至图4，本公开实施例所提供的探针卡磨针装置包括：第一承载单元100、磨针件200、第二承载单元300和检测单元500。
76.第一承载单元100用于承载及固定探针卡10，探针卡10承载于第一承载单元100上时探针长度方向为第一方向z；
77.磨针件200用于执行磨针操作，磨针件200的磨砂面210垂直于第一方向z；
78.第二承载单元300用于承载及固定磨针件200，第二承载单元300与第一承载单元100之间在三维方向上相对可移动，三维方向可包括相互垂直的第一方向z、第二方向x和第三方向y；
79.检测单元500用于检测探针卡10上探针针尖长度差，检测单元500包括导电元件510、及与导电元件510电连接的多个被触发元件520，每个被触发元件520与至少一个探针11对应电连接，导电元件510承载及固定于第二承载单元300上，导电元件510具有与磨砂面210处于同一平面或相互平行的导电接触面511，被触发元件520被配置为当对应的探针11与导电元件510的导电接触面511接触时被触发。
80.上述方案中，本发明提供的探针卡磨针装置的磨针过程可如下：
81.首先，将探针卡10承载及固定于第一承载单元100上，将第一承载单元100与第二承载单元300相对移动，直至探针卡10与导电元件510在第一方向z上正对且两者之间保持距离，该距离在能够使得导电元件510与探针卡10的探针11不接触情况下可以尽量小一些；
82.然后，在探针11的长度方向(即第一方向z)上相向移动第一承载单元100和第二承载单元300，使探针卡10与导电元件510之间的距离逐渐接近，当探针卡10上探针11与导电元件510接触时，则对应的被触发元件520被触发，因此最长的探针11对应的被触发元件520可第1个被触发，最短的探针11对应的被触发元件520则会最后1个被触发，从而测量最长探针11和最短探针11对应的被触发元件520分别被触发时第一承载单元100与第二承载单元300在第一方向z上的移动距离，即可确定测量最长探针11和最短探针11的长度差；
83.然后，测量完毕后，相对移动第一承载单元100与第二承载单元300，使磨针件200与探针卡10在第一方向z上正对，根据上述测量的长度差，可确定磨针件200在第一方向z上的磨针深度(即执行磨针操作时磨针件200相对探针11在第一方向z上的移动距离)，沿第一方向z相向移动第一承载单元100和第二承载单元300，并在第一方向z移动过程中在垂直第一方向z上的方向上使磨针件200相对探针卡11运动，以执行磨针操作。
84.由此可见，本公开实施例所提供的探针卡磨针装置可针对探针11针尖不齐现象，有效去除针尖表面氧化物，并且，由于针尖的长度差可被测量，磨针操作时，磨针程度可知，在保证针尖磨针效果的同时，不对探针卡10造成损伤，减少复测率，降低测试成本；同时，还
降低维修针卡时间，降低针卡维护成本。
85.需要说明的是，在上述方案中，第一承载单元100和第二承载单元300在三维方向上可相对移动，具体的移动方式可以包括：仅第一承载单元100移动，第二承载单元300不移动；或者，第一承载单元100不移动，仅第二承载单元300不移动；或者，第一承载单元100和第二承载单元300均可移动。
86.此外，作为一种示例性的实施例，如图1和图3所示，磨针件200包括磨针纸，导电元件510包括导电薄膜，磨针纸设置在导电薄膜的沿着第二方向x的一侧，其中第二方向x平行于磨砂面210。采用上述方案，磨针件200采用磨针纸，导电元件510采用导电薄膜，磨针纸和导电薄膜均可被铺展至第二承载单元300的承载平台上，磨砂面210与导电接触面511容易保证处于同一平面上，测量针尖的长度差及磨针时的磨针深度可保持一致。
87.当然可以理解的是，在其他实施例中，磨针件200并不限于磨针纸，也可以是选用例如磨针块等其他任意合适的磨针部件；同样的，导电元也可以不限于导电薄膜，也可以是选用例如导电金属块等其他任意合适的导电部件。
88.作为一种示例性的实施例，如图1和图2所示，被触发元件520可选用指示灯，每个指示灯连接至导电元件510上，而每个探针11对应连接至一个指示灯上，因此探针11与导电元件510作为一种接触开关，当探针11与导电元件510接触时，则导电元件510、探针11和指示灯为通路，指示灯亮；当探针11与导电元件510未接触时，则导电元件510、探针11和指示灯为断路，指示灯灭。通过指示灯可以直观观测到探针11与导电元件510接触情况。当然可以理解的是，在其他实施例中，被触发元件520也可以选用其他可产生其他电学信号的电学部件。
89.此外，在一种实施例中，第一承载单元100和第二承载单元300在三维方向上的相对运动可以通过人工手动控制，第1个被触发元件520和最后1个被触发元件520被触发时第一承载单元100和第二承载单元300的相对移动距离差值可通过人工记录；在另一些实施例中，在一些应用场景中，也可以实现自动化磨针过程。
90.具体地，作为一种示例性的实施例，探针卡磨针装置还可以包括：处理器700，处理器700与第二承载单元300和第一承载单元100中至少一者、及检测单元500连接，用于记录多个被触发元件520被触发时第一承载单元100与第二承载单元300在第一方向z上的相对位置信息，并根据相对位置信息控制第一承载单元100与第二承载单元300的相对运动状态。
91.示例性的，如图5所示，处理器700具体包括：
92.第一存储模块710，用于记录多个被触发元件520第1个被触发时第一承载单元100与第二承载单元300在第一方向z上的第一相对位置；
93.第二存储模块720，用于记录多个被触发元件520最后1个被触发时第一承载单元100与第二承载单元300在第一方向z上的第二相对位置；
94.计算模块730，用于计算第一相对位置和第二相对位置的长度差值，并确定该长度差值为探针卡10上探针11针尖长度差；
95.控制模块740，用于根据长度差值，发送控制信号，以使第一承载单元100和第二承载单元300中至少一者在第一方向z上从第一相对位置向第二相对位置行进，且在行进过程中使磨针件200相对探针卡10在第一方向z和/或第二方向x上往复移动以执行磨针操作。
96.示例性的，处理器700还包括：
97.第三存储模块750，用于存储第二承载单元300在第一方向z上的预设的相对位置阈值；
98.判断模块760，用于判断第二相对位置是否超出相对位置阈值；
99.报警模块770，用于接收到报警信号时进行报警；
100.控制模块740用于当第二相对位置未超出相对位置阈值时，接收长度差值并发送控制信号，当第二相对位置超出相对位置阈值时，向报警模块发送报警信号。
101.采用上述方案，本公开实施例提供的探针卡磨针装置可实现自动化磨针过程，第一承载单元100和第二承载单元300可通过电动驱动方式实现在三维方向上进行升降和平移，且处理器700可以当第1个被触发元件520被触发时自动记录对应的第一承载单元100和第二承载单元300的相对距离，且处理器700可持续监控在第一方向z上第一承载单元100与第二承载单元300的相对移动，处理器700内可存储有相对位置阈值，在第一承载单元100与第二承载单元300的相对移动距离处于该相对位置阈值内时，表明当前第一承载单元100与第二承载单元300之间在第一方向z上的相对距离不会对探针11造成损伤；最后1个被触发元件520被触发时，则自动计算长度差值，然后自动进行磨针操作；当在第一承载单元100与第二承载单元300的相对移动距离超出该相对位置阈值内时，则表明当前第一承载单元100与第二承载单元300之间在第一方向z上的相对距离可能会对探针11造成损伤，系统自动停止继续相对移动第一承载单元100和第二承载单元300，并报警，以便于工程师检查探针11是否存在异常。
102.此外，三维方向包括第一方向z、第二方向x和第三方向y，第二方向x和第三方向y相互垂直且平行于磨砂面210。第一方向z即为探针卡10上探针11的长度方向，第二方向x为导电件与磨针件200的排列方向，第三方向y为垂直第二方向x和第一方向z。
103.探针卡磨针装置还包括：用于驱动第一承载单元100和第二承载单元300中至少一者在三维方向上相对另一者移动的三维移动单元400；三维移动单元400包括用于使第一承载单元100与第二承载单元300在第一方向z相对移动的第一移动组件410，第一移动组件410包括具有粗调模式和微调模式的千分尺式调节机构，千分尺式调节机构沿第一方向z的长度可调节，且调节千分尺式调节机构的长度时，第一承载单元100和第二承载单元300中至少一者随千分尺式调节机构的调节在第一方向z上发生相应位移。
104.采用上述方案，在第一方向z上，第一移动组件可以是移动第一承载单元100，也可以是移动第二承载单元300，还可以移动两者。并且第一移动组件可以是一种千分尺式调节机构，其可以具有粗调模式和微调模式，可进行磨针操作时，具体地，可先粗调，以使得探针卡10的探针11与导电元件510靠近并保持不接触的距离，然后再细调，导电元件510与探针11相对移动时测量精度高，以便于精确测量探针11针尖长度差。需要说明的是，该第一移动组件410的结构为千分尺式调节结构，其具体结构可采用已知技术中可进行粗调和微调的任意合适的千分尺式调节结构，对其具体结构不限定。
105.示例性的，如图1至图3所示，第一移动组件410还包括：若干导向柱411，若干导向柱411沿第一方向z轴向延伸，且第一承载单元100和第二承载单元300中一者可滑动地套设于导向柱411上。采用上述方案，通过设置导向柱411，可保证第一承载单元100和第二承载单元300之间在第一方向z上相对移动时更加平稳，以进一步保证测量结果准确性。
106.此外，示例性的，如图1和图3所示，三维移动单元400包括：用于在第二方向x移动第二承载单元300的第二移动组件420，第二移动组件420包括：第一丝杠421、第一驱动件422和第一丝杠螺母(图中未示意)，第一丝杠421沿第二方向x轴向延伸，第一驱动件422连接至第一丝杠421以驱动第一丝杠421转动，第一驱动件422可采用手动旋转手柄和/或驱动电机，第一丝杠螺母连接至第一丝杠421上且在第一丝杠421转动时沿第一丝杠421的轴向延伸方向可滑动。
107.在上述方案中，第二移动组件选用丝杠驱动方式，且可通过人工手动或电动方式进行驱动，这种方式，结构简单，移动精度高。应当理解的是，在其他未示意出的实施例中，第二移动组件也可以是选用其他方式实现第一承载单元100和第二承载单元300在第二方向x上的移动，例如，第二移动组件还可以选用液压或气压驱动等方式实现。
108.此外，示例性的，如图1至图4所示，三维移动单元400可包括：用于在第三方向y移动第二承载单元300的第三移动组件430，第三移动组件430包括：第二丝杠431、第二驱动件432和第二丝杆螺母(图中未示意)，第二丝杠431沿第三方向y轴向延伸，第二驱动件432连接至第二丝杠431以驱动第二丝杠431转动，第二驱动件432采用手动旋转手柄和/或驱动电机，第二丝杠螺母连接至第二丝杠431上且在第二丝杠431转动时沿第二丝杠431的轴向延伸方向可滑动。
109.在上述方案中，第三移动组件430选用丝杠驱动方式，且可通过人工手动或电动方式进行驱动，这种方式，结构简单，移动精度高。应当理解的是，在其他未示意出的实施例中，第三移动组件430也可以是选用其他方式实现第一承载单元100和第二承载单元300在第三方向y上的移动，例如，第三移动组件430还可以选用液压或气压驱动等方式实现。
110.作为一种具体的实施例，如图1和图3所示，三维移动单元400还包括第一移动平台441和第二移动平台442；第二承载单元300连接至第一移动平台441上，第一移动平台441连接至第一丝杠螺母上，以使第二承载单元300与第一丝杠螺母同步运动；第二移动平台442连接至第二丝杠螺母()上，第一移动平台441连接至第二移动平台442上，以使第一移动平台441与第二移动平台442同步运动。
111.此外，作为一种更为具体的实施例，如图1和图4所示，第二移动组件420还包括：设置于第二移动平台442的面向第一移动平台441的一侧面上且沿第二方向x延伸的第一导向件424、及设置于第一移动平台441的面向第二移动平台442的一侧面上且与第一导向件424配合的第一导向适配件425，第一导向适配件425与第一导向件424配合以对第一移动平台441在第二方向x上运动时进行导向；第三移动组件430还包括：位于第二移动平台442的背离第一移动平台441的一侧且沿第三方向y延伸的第二导向件434、及设置于第二移动平台442的背离第一移动平台441的一侧面上且与第二导向件434配合的第二导向适配件435，第二导向适配件435与第二导向件434配合以对第二移动平台442在第三方向y上运动时进行导向。
112.在上述方案中，通过第一导电件424和第一导向适配件25的配合，可以进一步保证第一移动平台441与第二移动平台442在第二方向x上相对运动的平稳性；通过第二导向件和第二导向适配件的配合，可以进一步保证第一移动平台441与第二移动平台442在第三方向y上相对运动的平稳性。
113.作为一种更为具体的实施例，第一导向件424可以包括设置在第一移动平台441上
且沿第二方向x延伸的第一导轨，第一导轨的数量可以有两个且分别设置在第一丝杠的相对两侧，相应的，第一导向适配件425可以包括设置在第二承载单元300下方且与第一导轨配合的第一滑块等；第二导向件434可以包括设置在第二移动平台442上且沿第三方向y延伸的第二导轨，第二导轨的数量可以有两个且分别设置在第二丝杠431的相对两侧，相应的，第二导向适配件435可以包括设置在第二移动平台442下方且与第二导轨配合的第二滑块等。
114.应当理解的是，对于第一导向件424、第一导向适配件425、第二导向件434及第二导向适配件435的具体结构不限于此。
115.以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

技术特征：
1.一种探针卡磨针装置，其特征在于，包括：用于承载及固定探针卡(10)的第一承载单元(100)，所述探针卡(10)承载于所述第一承载单元(100)上时探针长度方向为第一方向(z)；用于执行磨针操作的磨针件(200)，所述磨针件(200)的磨砂面(210)垂直于所述第一方向(z)；用于承载及固定所述磨针件(200)的第二承载单元(300)，所述第二承载单元(300)与所述第一承载单元(100)之间在三维方向上相对可移动；用于检测所述探针卡(10)上探针针尖长度差的检测单元(500)，所述检测单元(500)包括导电元件(510)、及与所述导电元件(510)电连接的多个被触发元件(520)，每个所述被触发元件(520)与至少一个探针(11)对应电连接，所述导电元件(510)承载及固定于所述第二承载单元(300)上，所述导电元件(510)具有与所述磨砂面(210)处于同一平面或相互平行的导电接触面(511)，所述被触发元件(520)被配置为当对应的所述探针(11)与所述导电元件(510)的导电接触面(511)接触时被触发。2.根据权利要求1所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述磨针件(200)包括磨针纸，所述导电元件(510)包括导电薄膜，所述磨针纸设置在所述导电薄膜的沿着第二方向(x)的一侧，所述第二方向(x)平行于所述磨砂面(210)。3.根据权利要求1所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述被触发元件(520)包括指示灯。4.根据权利要求1所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述探针卡磨针装置还包括：处理器(700)，所述处理器(700)与所述第二承载单元(300)和所述第一承载单元(100)中至少一者及所述检测单元(500)连接，用于记录多个所述被触发元件(520)被触发时所述第一承载单元(100)与所述第二承载单元(300)在所述第一方向(z)上的相对位置信息，并根据所述相对位置信息控制所述第一承载单元(100)与所述第二承载单元(300)的相对运动状态。5.根据权利要求4所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述处理器(700)具体包括：第一存储模块(710)，用于记录多个所述被触发元件(520)第1个被触发时所述第一承载单元(100)与所述第二承载单元(300)在所述第一方向(z)上的第一相对位置；第二存储模块(720)，用于记录多个所述被触发元件(520)最后1个被触发时所述第一承载单元(100)与所述第二承载单元(300)在所述第一方向(z)上的第二相对位置；计算模块(730)，用于计算所述第一相对位置和所述第二相对位置的长度差值，并确定该长度差值为所述探针卡(10)上探针(11)针尖长度差；控制模块(740)，用于根据所述长度差值，发送控制信号，以使所述第一承载单元(100)和所述第二承载单元(300)中至少一者在所述第一方向(z)上从所述第一相对位置向所述第二相对位置行进，且在行进过程中使所述磨针件(200)相对所述探针卡(10)在垂直于所述第一方向(z)的方向上往复移动以执行磨针操作。6.根据权利要求5所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述处理器(700)还包括：
第三存储模块(750)，用于存储所述第二承载单元(300)在所述第一方向(z)上的预设的相对位置阈值；判断模块(760)，用于判断所述第二相对位置是否超出所述相对位置阈值；报警模块(770)，用于接收到报警信号时进行报警；所述控制模块(740)用于当所述第二相对位置未超出所述相对位置阈值时，接收所述长度差值并发送所述控制信号，当所述第二相对位置超出所述相对位置阈值时，向所述报警模块发送所述报警信号。7.根据权利要求1所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述三维方向包括所述第一方向(z)、第二方向(x)和第三方向(y)，所述第二方向(x)和所述第三方向(y)相互垂直且平行于所述磨砂面(210)；所述探针卡磨针装置还包括：用于驱动所述第一承载单元(100)和所述第二承载单元(300)中至少一者在所述三维方向上相对另一者移动的三维移动单元(400)；所述三维移动单元(400)包括用于使所述第一承载单元(100)与所述第二承载单元(300)在所述第一方向(z)相对移动的第一移动组件(410)，所述第一移动组件(410)包括具有粗调模式和微调模式的千分尺式调节机构，所述千分尺式调节机构沿所述第一方向(z)的长度可调节，且调节所述千分尺式调节机构的长度时，所述第一承载单元(100)和所述第二承载单元(300)中至少一者随千分尺式调节机构的调节在所述第一方向(z)上发生相应位移。8.根据权利要求7所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述第一移动组件(410)还包括：若干导向柱(411)，所述若干导向柱(411)沿所述第一方向(z)轴向延伸，且所述第一承载单元(100)和所述第二承载单元(300)中一者可滑动地套设于所述导向柱(411)上。9.根据权利要求7所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述三维方向包括所述第一方向(z)、第二方向(x)和第三方向(y)，所述第二方向(x)和所述第三方向(y)相互垂直且平行于所述磨砂面(210)；所述三维移动单元(400)包括：用于在所述第二方向(x)移动所述第二承载单元(300)的第二移动组件(420)，所述第二移动组件(420)包括：第一丝杠(421)、第一驱动件(422)和第一丝杠螺母()，所述第一丝杠(421)沿所述第二方向(x)轴向延伸，所述第一驱动件(422)连接至所述第一丝杠(421)以驱动所述第一丝杠(421)转动，所述第一驱动件(422)采用手动旋转手柄和/或驱动电机，所述第一丝杠螺母()连接至所述第一丝杠(421)上且在所述第一丝杠(421)转动时沿所述第一丝杠(421)的轴向延伸方向可滑动；所述三维移动单元(400)包括：用于在所述第三方向(y)移动所述第二承载单元(300)的第三移动组件(430)，所述第三移动组件(430)包括：第二丝杠(431)、第二驱动件(432)和第二丝杆螺母()，所述第二丝杠(431)沿所述第三方向(y)轴向延伸，所述第二驱动件(432)连接至所述第二丝杠(431)以驱动所述第二丝杠(431)转动，所述第二驱动件(432)采用手动旋转手柄和/或驱动电机，所述第二丝杠螺母()连接至所述第二丝杠(431)上且在所述第二丝杠(431)转动时沿所述第二丝杠(431)的轴向延伸方向可滑动；其中，所述三维移动单元(400)还包括第一移动平台(441)和第二移动平台(442)；所述第二承载单元(300)连接至所述第一移动平台(441)上，所述第一移动平台(441)
连接至所述第一丝杠螺母()上，以使所述第二承载单元(300)与所述第一丝杠螺母()同步运动；所述第二移动平台(442)连接至所述第二丝杠螺母()上，所述第一移动平台(441)连接至所述第二移动平台(442)上，以使所述第一移动平台(441)与所述第二移动平台(442)同步运动。10.根据权利要求9所述的探针卡磨针装置，其特征在于，所述第二移动组件(420)还包括：设置于所述第二移动平台(442)的面向所述第一移动平台(441)的一侧面上且沿所述第二方向(x)延伸的第一导向件(424)、及设置于所述第一移动平台(441)的面向所述第二移动平台(442)的一侧面上且与所述第一导向件(424)配合的第一导向适配件(425)，所述第一导向适配件(425)与所述第一导向件(424)配合以对所述第一移动平台(441)在所述第二方向(x)上运动时进行导向；和/或所述第三移动组件(430)还包括：位于所述第二移动平台(442)的背离所述第一移动平台(441)的一侧且沿所述第三方向(y)延伸的第二导向件(434)、及设置于所述第二移动平台(442)的背离所述第一移动平台(441)的一侧面上且与所述第二导向件(434)配合的第二导向适配件(435)，所述第二导向适配件(435)与所述第二导向件(434)配合以对所述第二移动平台(442)在所述第三方向(y)上运动时进行导向。

技术总结
本公开提供一种探针卡磨针装置，包括：用于承载及固定探针卡的第一承载单元，探针卡承载于第一承载单元上时探针长度方向为第一方向；用于执行磨针操作的磨针件，磨针件的磨砂面垂直于第一方向；用于承载及固定磨针件的第二承载单元，第二承载单元在三维方向相对第一承载单元可移动；用于检测探针卡上探针针尖长度差的检测单元，包括导电元件及与导电元件电连接的多个被触发元件，每个被触发元件与至少一个探针对应电连接，导电元件承载于第二承载单元上，导电元件具有与磨砂面处于同一平面的导电接触面，被触发元件被配置为当对应的探针与导电元件的导电接触面接触时被触发。本公开的探针卡磨针装置可有效去除针尖氧化物且改善针尖不齐现象。善针尖不齐现象。善针尖不齐现象。


技术研发人员：文地茂
受保护的技术使用者：杭州富芯半导体有限公司
技术研发日：2023.02.16
技术公布日：2023/10/20