一种蒸发电极及真空镀膜加热装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体的说，是涉及一种蒸发电极及真空镀膜加热装置。


背景技术：

2.真空镀膜是将膜材置于真空镀膜室内，通过蒸发源使其加热蒸发。蒸发的粒子从蒸发源表面上逸出，到达基片表面上凝结而生成薄膜。真空镀膜通常为电阻式加热，将蒸发舟夹持在正负电极之间，将待蒸镀物质放入蒸发舟中，给电极通入电流，电流流经蒸发舟，蒸发舟发热对待蒸镀物质进行蒸发。
3.现有的蒸发电极安装在冷却板的电极孔上，且蒸发电极与电极孔之间留有缝隙，蒸镀过程中，部分蒸镀物质会凝结在缝隙里。比如蒸镀铝的过程中，蒸发电极与冷却板电极孔之间的缝隙沉积有铝渣，如果不及时清理，沉积的铝渣会导致电极与冷却板导电之间导电，从而使得蒸镀的铝膜出现孔洞，影响产品质量。
4.因此蒸镀一段时间后需要将蒸发电极拆卸下来，对孔洞内部进行敲打以清理铝渣。可见，现有的清理方法每次都需要将蒸发电极拆卸下来，且蒸发电极拆卸和安装的操作繁琐，严重影响了生产效率。


技术实现要素：

5.为了解决在现有蒸镀加热装置中，清理蒸发电极和电极孔之间的缝隙时，需要拆卸蒸发电极造成效率低下的问题，本实用新型提供一种蒸发电极及真空镀膜加热装置。
6.本实用新型技术方案如下所述：
7.一种蒸发电极，所述蒸发电极包括电极本体，所述电极本体的外侧套设有绝缘环，所述绝缘环位于所述电极本体与用于安装所述电极本体的电极孔之间的缝隙内，且所述绝缘环的外围与所述电极孔的内壁接触。
8.优选的，所述绝缘环的外端部伸出所述电极孔。
9.根据上述方案的本实用新型，所述绝缘环的外周设有螺纹，所述绝缘环与所述电极孔的内壁螺纹连接。
10.根据上述方案的本实用新型，所述绝缘环的外周设有刮片，所述刮片的外侧端部与所述电极孔的内壁抵接。
11.进一步的，所述绝缘环远离所述刮片的一端设有转动把手。
12.更进一步的，所述绝缘环两侧对称设有两个所述转动把手。
13.根据上述方案的本实用新型，所述绝缘环的材质为聚四氟乙烯。
14.根据上述方案的本实用新型，所述电极本体为圆柱形，其直径为3至10厘米。
15.本实用新型还提供一种真空镀膜加热装置，包括蒸发槽和上述方案的蒸发电极，所述蒸发槽两侧设置有冷却板，所述冷却板上开设有电极孔，所述电极孔内设有安装底座，所述蒸发电极安装于所述电极孔内并与所述安装底座插接；所述蒸发槽内设置有蒸发舟，
所述蒸发舟的两端通过电极本体安装在所述冷却板上。
16.根据上述方案的本实用新型，所述电极本体的端面设有卡槽，所述蒸发舟的端部通过所述卡槽安装固定。
17.进一步的，所述冷却板，所述冷却板内部穿设有冷却水管路，所述冷却水管路的出水口和进水口均由所述安装底座穿出并连接外部水管，所述冷却水管路经过电极本体内部。
18.根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于：
19.本实用新型通过在蒸发电极和电极孔之间设置绝缘环，减少沉积到缝隙中的铝渣，而且绝缘环可以确保电极本体与冷却板之间绝缘，防止两者之间导电；蒸镀一段时间后，作业人员可将绝缘环从电极本体上取下更换，且取下过程中绝缘环还会对电极孔的内壁进行擦拭清理；可见，本实用新型能够实现在不需要拆卸蒸发电极的情况下，保持孔隙的清洁，避免蒸发电极和电极孔之间导电，提高蒸镀产品质量。
附图说明
20.图1为实施例一中蒸发电极的结构示意图；
21.图2为实施例一中蒸发电极的侧视图；
22.图3为蒸发电极和冷却板的剖视图；
23.图4为真空蒸镀加热装置的结构示意图；
24.图5为实施例二中绝缘环的结构示意图；
25.图6为实施例二中绝缘环的另一视角示意图。
26.在图中，1、蒸发电极；11、电极本体；111、卡槽；12、绝缘环；121、螺纹；122、刮片；123、转动把手；
27.2、冷却板；21、冷却水管路；211、进水管；222、出水管；
28.3、安装底座；
29.4、蒸发舟；
30.5、蒸发槽。
具体实施方式
31.为了更好地理解本实用新型的目的、技术方案以及技术效果，以下结合附图和实施例对本实用新型进行进一步的讲解说明。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时声明，以下所描述的实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。需要说明的是，术语“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体地限定。
32.实施例一
33.如图1、图3和图4所示，一种真空镀膜加热装置，包括蒸发槽5、蒸发舟4和蒸发电极1，蒸发槽5的两侧设有冷却板2，冷却板2设有若干电极孔，电极孔内设置有安装底座3，蒸发电极1的电极本体11端部穿入电极孔后与安装底座3插接固定。电极本体11与安装底座3之间为可拆卸，必要时可方便将电极本体11拆下。
34.如图2所示，蒸发舟4的两端则分别固定在左右两侧对应的蒸发电极1上，具体地，蒸发电极1的电极本体11的端面设有卡槽111，蒸发舟4的端部设有与卡槽111适配的凸起部，将蒸发舟4的端部插入卡槽111内完成安装固定。两侧的蒸发电极1夹持蒸发舟4，并提供加热电压。
35.在本实施例中，蒸发电极1的电极本体11的端部套设有绝缘环12，绝缘环12位于电极本体11与电极孔之间的缝隙内，且绝缘环12的外围与电极孔的内壁接触。绝缘环12的内径与电极本体11的外径配合，使得绝缘环12能够穿过电极本体11进行安装和拆卸。绝缘环12在取下过程中，由于其外围与电极孔的内壁接触，能够对电极孔的内壁进行擦拭清洁。
36.为了便于抓握并取下绝缘环12，绝缘环12安装到位后，其外端部伸出电极孔，露出的部分便于作业人员抓握。绝缘环12与电极孔的内壁之间为螺纹121连接，具体地，绝缘环12的外周设有螺纹121，即外螺纹，电极孔的内壁设有内螺纹，旋转绝缘环12即可轻松将其安装或拆卸。
37.绝缘环12的材质为聚四氟乙烯，绝缘环12将电极本体11和电极孔之间的缝隙填充，减少铝渣沉积到该缝隙内，蒸镀一段时间后，仅需将绝缘环12进行更换即可。绝缘环12可以直接从蒸发电极1上取下，不需要对蒸发电极1进行拆卸，简化了清理铝渣的操作，提高了生产效率。
38.在本实用新型中，蒸发电极1的电极本体11设计为圆柱形，其直径为3至10厘米。与现有头部为正方体形的蒸发电极相比，圆柱形的蒸发电极1方便绝缘环12直接穿过，不需要拆卸电极本体11的情况下就可以更换绝缘环12。
39.如图3所示，冷却板2内部穿设有冷却水管路21，冷却水管路21内部充满冷却液，使得冷却板2具有较好的冷却效果。冷却水管路21的出水口和进水口均由安装底座3穿出并连接外部水管，具体地，其进水口连接进水管211流入冷却液，其出水口连接出水管222流出冷却液，使得冷却水管路21内部的冷却液流动。
40.实施例二
41.如图5和图6所示，一种真空镀膜加热装置，包括蒸发槽5、蒸发电极1和蒸发舟4，其余结构同实施例一，区别在于：绝缘环12的外周设有刮片122，刮片122的外侧端部与电极孔的内壁抵接。刮片122为绝缘环12侧壁延伸出来的部分结构，故其材质与绝缘环12本体相同，也是聚四氟乙烯，因此刮片122有一定的弹性和韧性，绝缘环12顺着电极本体11装入电极孔后，刮片122的外侧端部与电极孔的内壁抵接，转动绝缘环12时刮片122可以将附着在电极孔内壁的铝渣刮下，因此该结构的绝缘环12在拆装过程中直接清理电极孔内的铝渣，避免铝渣沉积。
42.在本实施例中，绝缘环12远离刮片122的一端设有转动把手123，两个转动把手123对称设置在绝缘环12左右两侧，转动把手123能够方便作业人员旋转绝缘环12，从而快速便捷地拆卸或安装绝缘环12。
43.综上所述，本实用新型在电极本体外侧套设绝缘环，保证电极本体与冷却板之间绝缘；而且绝缘环对蒸发电极与电极孔的孔隙有一定的封堵作用，减少孔隙内蒸发物质的沉积；并且绝缘环方便从蒸发电极上取下，取下过程还能对电极孔内壁进行摩擦擦拭或者刮擦擦拭，确保孔隙的清洁，可见本实用新型能够在不拆卸蒸发电极的情况下，防止缝隙铝渣沉积而导致蒸发电极和电极孔之间导电。
44.需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
45.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
46.以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种蒸发电极，其特征在于，所述蒸发电极包括电极本体，所述电极本体的外侧套设有绝缘环，所述绝缘环位于所述电极本体与用于安装所述电极本体的电极孔之间的缝隙内，且所述绝缘环的外围与所述电极孔的内壁接触。2.根据权利要求1所述的一种蒸发电极，其特征在于，所述绝缘环的外周设有螺纹，所述绝缘环与所述电极孔的内壁螺纹连接。3.根据权利要求1所述的一种蒸发电极，其特征在于，所述绝缘环的外周设有刮片，所述刮片的外侧端部与所述电极孔的内壁抵接。4.根据权利要求3所述的一种蒸发电极，其特征在于，所述绝缘环远离所述刮片的一端设有转动把手。5.根据权利要求4所述的一种蒸发电极，其特征在于，所述绝缘环两侧对称设有两个所述转动把手。6.根据权利要求1所述的一种蒸发电极，其特征在于，所述绝缘环的材质为聚四氟乙烯。7.根据权利要求1所述的一种蒸发电极，其特征在于，所述电极本体为圆柱形，其直径为3至10厘米。8.一种真空镀膜加热装置，其特征在于，包括蒸发槽和权利要求1至7任一项所述的蒸发电极，所述蒸发槽两侧设置有冷却板，所述冷却板上开设有电极孔，所述电极孔内设有安装底座，所述蒸发电极安装于所述电极孔内并与所述安装底座插接；所述蒸发槽内设置有蒸发舟，所述蒸发舟的两端通过电极本体安装在所述冷却板上。9.根据权利要求8所述的一种真空镀膜加热装置，其特征在于，所述电极本体的端面设有卡槽，所述蒸发舟的端部通过所述卡槽安装固定。10.根据权利要求8所述的一种真空镀膜加热装置，其特征在于，所述冷却板，所述冷却板内部穿设有冷却水管路，所述冷却水管路的出水口和进水口均由所述安装底座穿出并连接外部水管，所述冷却水管路经过电极本体内部。

技术总结
本实用新型涉及一种蒸发电极及设置有该蒸发电极的真空镀膜加热装置，蒸发电极设置在蒸发槽两侧冷却板的电极孔，蒸发电极包括电极本体，电极本体端部与电极孔内的安装底座插接；电极本体端部套设有绝缘环，绝缘环位于电极本体与电极孔之间的缝隙内，且绝缘环的外围与电极孔的内壁接触。本实用新型通过在蒸发电极和电极孔之间设置绝缘环，减少沉积到缝隙中的铝渣，绝缘环可以确保电极本体与冷却板之间绝缘，防止两者之间导电；蒸镀一段时间后，将绝缘环从电极本体上取下更换，且取下过程中绝缘环还会对电极孔的内壁进行擦拭清理；本实用新型能够实现在不需要拆卸蒸发电极的情况下，保持孔隙的清洁，避免蒸发电极和电极孔之间导电，提高产品良率。提高产品良率。提高产品良率。


技术研发人员：臧世伟 刘文卿
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：2023.05.19
技术公布日：2023/10/20