一种生产板承载装置的制作方法

1.本实用新型涉及生产板制程处理技术领域，具体涉及一种生产板承载装置。


背景技术：

2.在高端集成电路基板的电镀生产过程中，需要通过不同技术的组合来达成最终的生产目标。而在电镀生产过程中，一项关键技术则是如何设计夹具以对生产板进行夹持，或者说夹持框架的设计，从而满足在生产过程中既能稳定夹持生产板，也能实现更好的整流器和生产板之间的电气连接的需求。
3.目前，在面对5微米及以下更高制程水平的集成电路基板图形设计时，现有技术中的有关夹持框架的设计已不能满足相关需求。此外，传统的湿式基板接触夹持方式也渐渐无法不能满足行业需求，而且在面对更新的基板材料时，例如玻璃基板，也需要更加轻柔的基板夹持方案。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例提供了一种生产板承载装置，旨在实现干式基板接触夹持效果，提高生产板夹持效果，满足生产需求。
5.本实用新型实施例提供了一种生产板承载装置，包括承载盘，所述承载盘的中心区域为用于吸附生产板的吸附区域，所述吸附区域的四周为干式接触区域，所述干式接触区域内设置有至少一个密封腔，所述密封腔内包含有一端与所述生产板接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构。
6.进一步的，所述干式接触区域包括设置于所述承载盘内部且通有超压气体的超压通道，所述超压气体用于在所述干式接触区域形成超压区域，以防止电镀过程中的化学药剂进入所述干式接触区域。
7.进一步的，所述超压气体包括化学性质为惰性的气体，所述超压气体包括氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氡气中的任意一种。
8.进一步的，所述密封腔与所述超压通道连通，以在密封腔内通入超压气体，所述接触机构在超压气体的压力下将所述生产板按压于吸附区域上。
9.进一步的，所述接触机构设置有4个，4个所述接触机构分别位于所述吸附区域的四角。
10.进一步的，所述接触机构为与电气系统负极相连接的接触杆或者接触片。
11.进一步的，所述吸附区域为真空吸盘。
12.进一步的，所述真空吸盘内设置有至少一路抽气通道。
13.进一步的，所述密封腔内设置有用于检测所述接触机构温度的温度传感器。
14.进一步的，所述干式接触区域的高度大于所述吸附区域的高度。
15.本实用新型实施例提供了一种生产板承载装置，包括承载盘，所述承载盘的中心区域为用于吸附生产板的吸附区域，所述吸附区域的四周为干式接触区域，所述干式接触
区域内设置有至少一个密封腔，所述密封腔内包含有一端与所述生产板接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构。本实用新型实施例通过在承载盘的吸附区域四周设置干式接触区域，以达到对生产板干式接触夹持的效果，同时通过密封腔内的接触机构对生产板进行接触按压并传导电流，从而提高生产板夹持效果，满足实际生产需求。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型实施例提供的一种生产板承载装置的结构示意图；
18.图2为本实用新型实施例提供的一种生产板承载装置与生产板的结构示意图；
19.图3为本实用新型实施例提供的一种生产板承载装置的第一剖面结构示意图；
20.图4为本实用新型实施例提供的一种生产板承载装置的第二剖面结构示意图；
21.图5为本实用新型实施例提供的一种生产板承载装置的第三剖面结构示意图。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
24.还应当理解，在此本实用新型说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本实用新型。如在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
25.还应当进一步理解，在本实用新型说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
26.下面请参见图1至图4，本实用新型实施例提供的一种生产板承载装置，包括承载盘1，所述承载盘1的中心区域为用于吸附生产板2的吸附区域11，所述吸附区域11的四周为干式接触区域12，所述干式接触区域12内设置有至少一个密封腔13，所述密封腔13内包含有一端与所述生产板2接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构131。
27.本实施例所述的生产板承载装置具体包括承载盘1，该承载盘1上设置有吸附区域11和干式接触区域12，所述干式接触区域12内设置有密封腔13，所述密封腔13内设置有接触结构，其中，所述吸附区域11用于吸附固定生产板2，所述干式接触区域12和密封腔13用于确保所在区域处于干燥状态，避免电镀液影响接触机构131的电气连接需求。本实施例通
过在承载盘1的吸附区域11四周设置干式接触区域12，以达到对生产板2干式接触夹持的效果，同时通过密封腔13内的接触机构131对生产板2进行接触按压并传导电流，从而提高生产板2夹持效果，满足实际生产需求。本实施例所述的生产板2具体可以为线路板、ic基板、pcb板等等。
28.在具体实施例中，所述干式接触区域12包括设置于所述承载盘1内部且通有超压气体的超压通道121，所述超压气体用于在所述干式接触区域12形成超压区域，以防止电镀过程中的化学药剂进入所述干式接触区域12。具体的，包括化学性质为惰性的气体，所述超压气体包括氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氡气中的任意一种。
29.本实施例采用超压通道121作为干式接触区域12，如此可以在干式接触区域12形成超压区域，以防止电镀过程中的化学药剂进入接触区，同时释放氮气或者其他超压气体进入电镀液中，在这里，由于氮气的化学性质稳定，因此不会像使用空气那样带来有机物氧化等负面问题。还有，本实施例通过通入氮气形成超压后，能够压紧接触结构，以保证生产板2的电气连接需求。此外，氮气还可以对干式接触区域12进行冷却，以防止电镀过程中由于电阻所导致的集热问题。当然，在其他应用场景中，除了所述的氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氡气之外，还可以采用其他气体，只要能够达到本实施例的效果即可，即形成超压区域，避免氧化等。
30.在具体实施例中，结合图4所示，所述密封腔13与所述超压通道121连通，以在密封腔13内通入超压气体，所述接触机构131在超压气体的压力下将所述生产板2按压于吸附区域11上。
31.使用氮气或其他超压气体的密封腔13可以避免氧气对电镀液带来的负面影响，防止有机添加剂在制程处理过程中被氧化，同时还能够确保在制程工艺中承载盘1转移过程中没有压力和密封性能损失。
32.在具体应用场景中，所述接触机构131设置有4个，4个所述接触机构131分别位于所述吸附区域的四角。在吸附区域11的四角分别设置接触机构131，如此便可以对生产板2的四角进行按压固定，从而提高生产板2的夹持稳定性。当然，在其他应用场景中，还可以设置数量更多或者更少的接触机构131，以满足实际生产需求。
33.进一步的，所述接触机构131为与电气系统负极相连接的接触杆或者接触片。优选的，所述接触杆或者接触片为柔性接触杆或者柔性接触片，即采用柔性材料作为接触机构131与生产板2相接触，从而避免对生产板2造成压迫损坏。
34.在具体实施例中，结合图5所示，所述吸附区域11为真空吸盘。本实施例通过所述真空吸盘对生产板2进行吸附固定，所述真空吸盘内设置有至少一路抽气通道111，以确保吸盘处于真空状态，该抽气通道111可以连接于一抽气系统，即通过该抽气系统对真空吸盘进行抽气控制，例如当未处于工作状态(即无需吸附生产板2)时，则可以不必确保吸盘处于真空状态，当处于工作状态(即需要吸附生产板2)时，则可以启动抽气系统经由抽气系统对吸盘进行真空抽气处理。
35.当然，在其他实施例中，也可以采用其他装置来对生产板2进行吸附固定，比如一次性粘结装置、挂钩装置、夹具装置等等。此外，本实施例还可以在承载盘1上设置定位销轴，以将真空吸盘精准安装于承载盘1上，避免因安装误差而导致生产板2吸附位置出现偏差。
36.在具体实施例中，所述密封腔13内设置有用于检测所述接触机构131温度的温度传感器。
37.本实施例通过所述温度传感器对所述接触机构131进行温度检测，从而避免因接触机构131的温度过高而导致生产板2与所述接触结构相接触的部位发生损坏。在这里，由于接触机构131与电极相连接，因此当通电一段时间后，可能会存在阻值过高而导致温度过高的情况，因此通过温度传感器及时检测温度，并当温度过高时可以由温度传感器发出报警信号，以便及时采取相应措施，如此可以提高对于生产板2的夹持效果以及生产板2的制程处理效果。
38.在具体实施例中，所述干式接触区域12的高度大于所述吸附区域11的高度。通过为干式接触区域12和吸附区域11设置不同的高度，使生产板2能够在放入吸附区域11的同时与干式接触区域12中的接触机构131相接触，并由接触机构131将生产板2按压于吸附区域11中。此外，由于吸附区域11的高度较低，因此所述生产板承载装置还可以适用于具有不同厚度的生产板2，即所述生产板承载装置具有较好的适用性。还需要说明的是，本实施例所述的生产板承载装置在长度和宽度上的尺寸固定，因此适用于与吸附区域11的长度和宽度相匹配的生产板2。但是，在其他实施例中，为了使生产板承载装置具有更高的适用性，还可以考虑将吸附区域11或者说将承载盘1在长度和/或宽度上设置可伸缩状态等等。
39.说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以对本技术进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本技术权利要求的保护范围内。
40.还需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的状况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

技术特征：
1.一种生产板承载装置，其特征在于，包括承载盘，所述承载盘的中心区域为用于吸附生产板的吸附区域，所述吸附区域的四周为干式接触区域，所述干式接触区域内设置有至少一个密封腔，所述密封腔内包含有一端与所述生产板接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构。2.根据权利要求1所述的生产板承载装置，其特征在于，所述干式接触区域包括设置于所述承载盘内部且通有超压气体的超压通道，所述超压气体用于在所述干式接触区域形成超压区域，以防止电镀过程中的化学药剂进入所述干式接触区域。3.根据权利要求2所述的生产板承载装置，其特征在于，所述超压气体包括化学性质为惰性的气体，所述超压气体包括氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氡气中的任意一种。4.根据权利要求2所述的生产板承载装置，其特征在于，所述密封腔与所述超压通道连通，以在密封腔内通入超压气体，所述接触机构在超压气体的压力下将所述生产板按压于吸附区域上。5.根据权利要求1所述的生产板承载装置，其特征在于，所述接触机构设置有4个，4个所述接触机构分别位于所述吸附区域的四角。6.根据权利要求1所述的生产板承载装置，其特征在于，所述接触机构为与电气系统负极相连接的接触杆或者接触片。7.根据权利要求1所述的生产板承载装置，其特征在于，所述吸附区域为真空吸盘。8.根据权利要求7所述的生产板承载装置，其特征在于，所述真空吸盘内设置有至少一路抽气通道。9.根据权利要求1所述的生产板承载装置，其特征在于，所述密封腔内设置有用于检测所述接触机构温度的温度传感器。10.根据权利要求1所述的生产板承载装置，其特征在于，所述干式接触区域的高度大于所述吸附区域的高度。

技术总结
本实用新型公开了一种生产板承载装置，包括承载盘，所述承载盘的中心区域为用于吸附生产板的吸附区域，所述吸附区域的四周为干式接触区域，所述干式接触区域内设置有至少一个密封腔，所述密封腔内包含有一端与所述生产板接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构。本实用新型实施例通过在承载盘的吸附区域四周设置干式接触区域，以达到对生产板干式接触夹持的效果，同时通过密封腔内的接触机构对生产板进行接触按压并传导电流，从而提高生产板夹持效果，满足实际生产需求。满足实际生产需求。满足实际生产需求。


技术研发人员：马库斯
受保护的技术使用者：鑫巨（深圳）半导体科技有限公司
技术研发日：2023.05.11
技术公布日：2023/10/20