一种晶圆收纳容器密封结构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆收纳容器技术领域，具体为一种晶圆收纳容器密封结构。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在包装输送时，由于其精度较高，且表面光滑，需要将其通过专业的收纳容器输送，防止其发生摩擦碰撞。
3.专利文件cn114743904a公开了一种“半导体晶圆收纳容器，包括：容器主体及盖体；还包括：至少一个闩锁机构，设置于所述盖体上，每个所述闩锁机构包括复数个设置在所述盖体周向上的闩锁进退部，所述容器主体上设置有用以容纳所述闩锁进退部的凹槽；柔性胶条，设置于所述盖体朝向所述容器主体一面的周向，所述柔性胶条包括环设于所述盖体周向的基部和至少一个沿所述基部朝向所述容器主体的一面周向设置的可变形的鳍片，所述鳍片朝向所述盖体的外侧倾斜设置，且宽度大于所述基部的宽度。通过将闩锁进退部对称设置在盖体的周向上，实现锁定点在盖体与容器主体之间的周向布设。”。
4.上述装置在使用时，通过将闩锁进退部对称设置在盖体的周向上，实现锁定点在盖体与容器主体之间的周向布设，此种装置虽可将晶圆的收纳容器顶部快速密封盖上，但整体的操作步骤较为复杂，操作时，装置的顶盖插接较为复杂，需要工作人员花较多时间关闭顶盖，使得装置整体的操作效果较差，需要工作人员对其改进处理。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种晶圆收纳容器密封结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种晶圆收纳容器密封结构，包括收纳套盒，所述收纳套盒顶部的一侧固定连接有密封环，所述收纳套盒顶部的另一侧搭接有密封盖，所述密封盖内壁的底部固定连接有贴附环，且贴附环底部的一侧搭接于密封环的顶部，所述密封盖表面的四周处均固定连接有梯形套框，四个所述梯形套框一侧的中部均固定连接有安装盒。
7.贴附环与密封环精密贴合，增加装置的整体密封性。
8.优选的，所述安装盒内壁的一侧固定连接有液压缸，所述液压缸的输出端安装有出气管，所述出气管的前端固定连接有伸缩支架，且伸缩支架表面的一侧贯穿插接于梯形套框的内壁，所述伸缩支架的前端固定连接有插接杆，且插接杆表面的一侧贯穿插接于密封盖的内壁。
9.液压缸的输出端带动伸缩支架调节，伸缩支架带动前端的插接杆活动。
10.优选的，所述收纳套盒表面的四周处均开设有限位孔，且插接杆表面的一侧插接于限位孔的内壁。
11.密封盖套接到收纳套盒的顶部时，通过插接杆插接到限位孔的内部，使得密封盖与收纳套盒稳固衔接。
12.优选的，所述收纳套盒内壁的一侧固定连接有多组收纳框，所述收纳框顶部的两侧均固定连接有限位架，所述收纳框与限位架内壁的一侧均固定连接有回弹海绵，所述收纳框与限位架内壁的另一侧均开设有放置槽。
13.晶圆通过限位架与收纳框内壁开设的放置槽放置进去，使得回弹海绵对晶圆起到一定的包裹防护，且具备一定的卡接效果。
14.优选的，所述收纳套盒内壁的两侧均固定连接有静电吸尘器本体，两个所述静电吸尘器本体顶部的中部固定连接有吸尘框。
15.静电吸尘器本体通过顶部的吸尘框将灰尘吸附，防止其对内部放置晶圆造成污染。
16.优选的，所述收纳套盒表面的中部固定连接有标签盒，所述收纳套盒底部的一侧固定连接有防滑底板。
17.优选的，所述密封盖顶部的中部固定连接有把手，所述密封盖顶部的一侧固定连接有控制面板本体，所述密封盖内壁的一侧固定连接有蓄电池盒。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
19.1、本实用新型通过收纳套盒、密封环、密封盖、贴附环、梯形套框、安装盒、液压缸、伸缩支架、插接杆和限位孔的设置，液压缸的输出端带动伸缩支架调节，伸缩支架带动前端的插接杆活动，通过插接杆插接到限位孔的内部，使得密封盖与收纳套盒稳固衔接，贴附环与密封环精密贴合，增加装置的整体密封性，从而达到了对晶圆收纳套盒快速简易衔接密封盖的效果，且便于工作人员操作。
20.2、本实用新型通过收纳框、限位架、回弹海绵、放置槽、静电吸尘器本体和吸尘框的设置，晶圆通过限位架与收纳框内壁开设的放置槽放置进去，回弹海绵对晶圆起到一定的包裹防护，且具备一定的卡接效果，静电吸尘器本体通过顶部的吸尘框将灰尘吸附，防止其对内部放置晶圆造成污染，从而达到了对晶圆快速插接防护放置的效果，且便于将其防尘处理。
附图说明
21.图1为本实用新型的拆分结构立体图；
22.图2为本实用新型的结构立体图；
23.图3为本实用新型的插接杆结构示意图；
24.图4为本实用新型的静电吸尘器本体结构示意图。
25.图中：1、收纳套盒；2、密封环；3、密封盖；4、贴附环；5、梯形套框；6、安装盒；7、液压缸；8、伸缩支架；9、插接杆；10、限位孔；11、收纳框；12、限位架；13、回弹海绵；14、放置槽；15、静电吸尘器本体；16、吸尘框；17、标签盒；18、防滑底板；19、把手；20、控制面板本体；21、蓄电池盒。
具体实施方式
26.请参阅图1至图4，一种晶圆收纳容器密封结构；
27.包括收纳套盒1，收纳套盒1顶部的一侧固定连接有密封环2，收纳套盒1顶部的另一侧搭接有密封盖3，密封盖3内壁的底部固定连接有贴附环4，且贴附环4底部的一侧搭接于密封环2的顶部，密封盖3表面的四周处均固定连接有梯形套框5，四个梯形套框5一侧的中部均固定连接有安装盒6，安装盒6内壁的一侧固定连接有液压缸7，液压缸7的输出端安装有出气管，出气管的前端固定连接有伸缩支架8，且伸缩支架8表面的一侧贯穿插接于梯形套框5的内壁，伸缩支架8的前端固定连接有插接杆9，且插接杆9表面的一侧贯穿插接于密封盖3的内壁，收纳套盒1表面的四周处均开设有限位孔10，且插接杆9表面的一侧插接于限位孔10的内壁。
28.使用时，在收纳套盒1的表面四周处均开设有多个限位孔10，并在顶部设置有密封环2，在收纳套盒1的顶部套接有密封盖3，密封盖3的四周处设置有梯形套框5，在每个梯形套框5的一侧中部通过安装盒6设置有液压缸7，工作人员将液压缸7接通电源，液压缸7的输出端带动伸缩支架8调节，伸缩支架8带动前端的插接杆9活动，使得密封盖3套接到收纳套盒1的顶部时，通过插接杆9插接到限位孔10的内部，使得密封盖3与收纳套盒1稳固衔接，并在密封盖3的底部设置有贴附环4，贴附环4与密封环2精密贴合，增加装置的整体密封性。
29.收纳套盒1内壁的一侧固定连接有多组收纳框11，收纳框11顶部的两侧均固定连接有限位架12，收纳框11与限位架12内壁的一侧均固定连接有回弹海绵13，收纳框11与限位架12内壁的另一侧均开设有放置槽14，收纳套盒1内壁的两侧均固定连接有静电吸尘器本体15，两个静电吸尘器本体15顶部的中部固定连接有吸尘框16。
30.使用时，在收纳套盒1的内部安装有多个收纳框11，收纳框11的顶部两侧设置有限位架12，使得晶圆通过限位架12与收纳框11内壁开设的放置槽14放置进去，并在放置槽14的两侧均设置有回弹海绵13，使得回弹海绵13对晶圆起到一定的包裹防护，且具备一定的卡接效果，并在收纳套盒1的内壁两侧均设置有静电吸尘器本体15，工作人员将静电吸尘器本体15接通电源，静电吸尘器本体15通过顶部的吸尘框16将灰尘吸附，防止其对内部放置晶圆造成污染。
31.收纳套盒1表面的中部固定连接有标签盒17，收纳套盒1底部的一侧固定连接有防滑底板18，密封盖3顶部的中部固定连接有把手19，密封盖3顶部的一侧固定连接有控制面板本体20，密封盖3内壁的一侧固定连接有蓄电池盒21。
32.工作原理，液压缸7的输出端带动伸缩支架8调节，伸缩支架8带动前端的插接杆9活动，使得密封盖3套接到收纳套盒1的顶部时，通过插接杆9插接到限位孔10的内部，使得密封盖3与收纳套盒1稳固衔接，贴附环4与密封环2精密贴合，增加装置的整体密封性，晶圆通过限位架12与收纳框11内壁开设的放置槽14放置进去，并在放置槽14的两侧均设置有回弹海绵13，使得回弹海绵13对晶圆起到一定的包裹防护，静电吸尘器本体15通过顶部的吸尘框16将灰尘吸附，防止其对内部放置晶圆造成污染。
33.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

技术特征：
1.一种晶圆收纳容器密封结构，包括收纳套盒(1)，其特征在于：所述收纳套盒(1)顶部的一侧固定连接有密封环(2)，所述收纳套盒(1)顶部的另一侧搭接有密封盖(3)，所述密封盖(3)内壁的底部固定连接有贴附环(4)，且贴附环(4)底部的一侧搭接于密封环(2)的顶部，所述密封盖(3)表面的四周处均固定连接有梯形套框(5)，四个所述梯形套框(5)一侧的中部均固定连接有安装盒(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆收纳容器密封结构，其特征在于：所述安装盒(6)内壁的一侧固定连接有液压缸(7)，所述液压缸(7)的输出端安装有出气管，所述出气管的前端固定连接有伸缩支架(8)，且伸缩支架(8)表面的一侧贯穿插接于梯形套框(5)的内壁，所述伸缩支架(8)的前端固定连接有插接杆(9)，且插接杆(9)表面的一侧贯穿插接于密封盖(3)的内壁。3.根据权利要求1所述的一种晶圆收纳容器密封结构，其特征在于：所述收纳套盒(1)表面的四周处均开设有限位孔(10)，且插接杆(9)表面的一侧插接于限位孔(10)的内壁。4.根据权利要求1所述的一种晶圆收纳容器密封结构，其特征在于：所述收纳套盒(1)内壁的一侧固定连接有多组收纳框(11)，所述收纳框(11)顶部的两侧均固定连接有限位架(12)，所述收纳框(11)与限位架(12)内壁的一侧均固定连接有回弹海绵(13)，所述收纳框(11)与限位架(12)内壁的另一侧均开设有放置槽(14)。5.根据权利要求1所述的一种晶圆收纳容器密封结构，其特征在于：所述收纳套盒(1)内壁的两侧均固定连接有静电吸尘器本体(15)，两个所述静电吸尘器本体(15)顶部的中部固定连接有吸尘框(16)。6.根据权利要求1所述的一种晶圆收纳容器密封结构，其特征在于：所述收纳套盒(1)表面的中部固定连接有标签盒(17)，所述收纳套盒(1)底部的一侧固定连接有防滑底板(18)。7.根据权利要求1所述的一种晶圆收纳容器密封结构，其特征在于：所述密封盖(3)顶部的中部固定连接有把手(19)，所述密封盖(3)顶部的一侧固定连接有控制面板本体(20)，所述密封盖(3)内壁的一侧固定连接有蓄电池盒(21)。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆收纳容器密封结构，包括收纳套盒，所述收纳套盒顶部的一侧固定连接有密封环，所述收纳套盒顶部的另一侧搭接有密封盖，所述密封盖内壁的底部固定连接有贴附环，且贴附环底部的一侧搭接于密封环的顶部，所述密封盖表面的四周处均固定连接有梯形套框。本实用新型通过收纳套盒、密封环、密封盖、贴附环、梯形套框、安装盒、液压缸、伸缩支架、插接杆和限位孔的设置，液压缸的输出端带动伸缩支架调节，伸缩支架带动前端的插接杆活动，通过插接杆插接到限位孔的内部，使得密封盖与收纳套盒稳固衔接，贴附环与密封环精密贴合，增加装置的整体密封性，从而达到了对晶圆收纳套盒快速简易衔接密封盖的效果。收纳套盒快速简易衔接密封盖的效果。收纳套盒快速简易衔接密封盖的效果。


技术研发人员：王征
受保护的技术使用者：芯岛新材料（浙江）有限公司
技术研发日：2023.05.10
技术公布日：2023/10/20