化学液供给设备的制作方法

1.本实用新型是有关于一种化学液供给设备。特别是有关于一种自动对准化学桶的化学液供给设备。


背景技术：

2.随着近年来国内外半导体市场因电脑及其周边产品材料的需求而蓬勃发展，半导体产业亦不断的持续扩展，更替国家创造了大量的外汇收入。
3.半导体元件的制作流程非常复杂，所涉及的技术几乎含盖所有人类近代科学发展上最重要且关键的科技与新型。因此，半导体元件的生产不但是一项尖端科技的产业，也是一项需要庞大资金，以维持发展的需求。
4.然而，由于半导体元件的设计日趋复杂，因此半导体元件制造技术愈趋精密与复杂化，所潜在的职业危害与财产损失也愈来愈复杂，举凡半导体工艺中的磊晶、扩散、离子植入、化学气相沉积、蚀刻和微影等工艺单元所常使用的化学品，虽然储存量与使用量皆远小于化学或石化工业所处理与使用量，但是由于具有着火性、可燃性、毒性、腐蚀性等特性，一旦发生泄漏或操作异常，亦造成人员伤亡，甚至可能造成重大财产损失。
5.在半导体工厂，化学液体以化学储存容器储存，使用时接上工厂中的供应线路。当化学液体使用完毕，则需进行化学储存桶的更换。
6.如何能方便地进行化学储存容器的更换，将有助于提升半导体厂工作的安全性，更有助于提升半导体厂的整体产能。


技术实现要素：

7.新型内容旨在提供本揭示内容的简化摘要，以使阅读者对本揭示内容具备基本的理解。此新型内容并非本揭示内容的完整概述，且其用意并非在指出本实用新型实施例的重要/关键元件或界定本实用新型的范围。
8.本实用新型内容之一目的是在提供一种化学液供给设备，可以自动对准化学桶，以方便地供给生产所需的化学液，且方便地进行化学储存容器的更换，提升更换化学储存容器的安全性与便利性。
9.为达上述目的，本实用新型内容之一技术态样是关于一种化学液供给设备包含有机壳、连接模块以及化学桶旋转输送模块。机壳具有化学桶容置空间，连接模块安装于机壳的化学桶容置空间之中，而化学桶旋转输送模块亦安装于机壳的化学桶容置空间之中，用以将化学桶，输送至化学桶容置空间之中，并旋转化学桶以对准连接模块。
10.在一些实施例中，化学液供给设备更包含有导引板，设置于机壳的化学桶容置空间之中，并位于连接模块以及化学桶旋转输送模块之间，以导引化学桶。
11.在一些实施例中，化学桶旋转输送模块包含有第一传动装置以及第二传动装置。第一传动装置以及第二传动装置，平行设置，用以平移或转动化学桶。
12.在一些实施例中，第一传动装置以及第二传动装置分别包含有多个第一动力滚
筒、多个第一无动力滚筒、多个第二动力滚筒以及多个第二无动力滚筒，彼此平行设置。
13.在一些实施例中，第一动力滚筒的长度大于第二动力滚筒的长度，而第一无动力滚筒的长度大于第二无动力滚筒的长度。
14.在一些实施例中，第一动力滚筒的长度等于第一无动力滚筒的长度，第二动力滚筒的长度等于第二无动力滚筒的长度。
15.在一些实施例中，连接模块包含有第一连接模块，用以连接化学桶的气体开口，以及第二连接模块，相对于第一连接模块设置，用以连接化学桶的液体开口。
16.在一些实施例中，第一连接模块包含有旋盖装置、管路连接装置以及光学侦测器。旋盖装置用以旋转化学桶的气体开口的化学桶密封盖，管路连接装置用以连接化学桶的气体开口，而光学侦测器设置于旋盖装置以及管路连接装置之间，用以侦测化学桶的气体开口的位置。
17.在一些实施例中，第二连接模块包含有旋盖装置、管路连接装置以及光学侦测器。旋盖装置用以旋转化学桶的液体开口的化学桶密封盖，管路连接装置用以连接液体开口，以抽取或回流化学桶的化学液体，而光学侦测器设置于第二连接模块的旋盖装置以及管路连接装置之间，用以侦测化学桶的液体开口的位置。
18.在一些实施例中，第一连接模块的旋盖装置与第二连接模块的旋盖装置相距180度，而第一连接模块的管路连接装置与第二连接模块的管路连接装置相距180度。
19.综上所述，化学液供给设备可以安全与可靠地将化学桶连接至连接模块，且利用化学桶旋转输送模块更可以方便且准确地进行对准，有效地简化管路长度并降低管路所需的转动角度，提升化学液供给设备安装与移除化学桶的效率与精确度。
附图说明
20.为让本揭露的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下：
21.图1是依照本实用新型一实施例所绘示的一种化学液供给设备的示意图。
22.图2是图1的化学液供给设备的连接模块的示意图。
23.图3是图1的化学液供给设备的化学桶旋转输送模块的示意图。
24.图4是本实用新型的另一实施态样的化学液供应方法的流程图。
25.图5是化学液供应方法的化学桶移除步骤的流程图。
26.图6是化学桶的示意图。
27.【主要元件符号说明】
28.100：化学液供给设备110：机壳
29.120：连接模块130：化学桶旋转输送模块
30.140：化学桶150：导引板
31.160：化学桶容置空间210：第一连接模块
32.212：旋盖装置214：管路连接装置
33.216：光学侦测器220：第二连接模块
34.222：旋盖装置224：管路连接装置
35.226：光学侦测器310：第一传动装置
36.312：第一动力滚筒314：第一无动力滚筒
37.316：第二动力滚筒318：第二无动力滚筒
38.320：第二传动装置322：第一动力滚筒
39.324：第一无动力滚筒326：第二动力滚筒
40.328：第二无动力滚筒400：化学液供应方法
41.410～470：步骤500：化学桶移除步骤
42.510～530：步骤610：气体开口
43.620：液体开口630：化学桶密封盖
44.640：化学桶密封盖
具体实施方式
45.下文是举实施例配合所附附图进行详细说明，但所提供的实施例并非用以限制本揭露所涵盖的范围，而结构运作的描述非用以限制其执行的顺序，任何由元件重新组合的结构，所产生具有均等功效的装置，皆为本揭露所涵盖的范围。另外，附图仅以说明为目的，并未依照原尺寸作图。为使便于理解，下述说明中相同元件或相似元件将以相同的符号标示来说明。
46.另外，在全篇说明书与权利要求书所使用的用词(terms)，除有特别注明外，通常具有每个用词使用在此领域中、在此揭露的内容中与特殊内容中的平常意义。某些用以描述本揭露的用词将在下或在此说明书的别处讨论，以提供本领域技术人员在有关本揭露的描述上额外的引导。
47.在实施方式与权利要求中，除非内文中对于冠词有所特别限定，否则『一』与『该』可泛指单一个或多个。而步骤中所使用的编号仅是用来标示步骤以便于说明，而非用来限制前后顺序及实施方式。
48.其次，在本文中所使用的用词『包含』、『包括』、『具有』、『含有』等等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。
49.图1是绘示一种化学液供给设备的示意图，图2是绘示化学液供给设备的连接模块的示意图，图3则是绘制化学液供给设备的化学桶旋转输送模块的示意图。此外，图4是一种化学液供应方法的流程图，而图5则是化学液供应方法的化学桶移除步骤的流程图。
50.首先参阅图1，如图中所示，化学液供给设备100包含有机壳110、连接模块120以及化学桶旋转输送模块130。机壳110具有至少一个化学桶容置空间160，而每一个化学桶容置空间160安装有连接模块120。此外，化学桶旋转输送模块130亦安装于机壳110的化学桶容置空间160之中，以将化学桶140，输送至化学桶容置空间160之中，并可旋转化学桶140以对准连接模块120。
51.通过化学桶旋转输送模块130，定位并旋转化学桶140，可以使化学桶140对准连接模块120。因此，连接模块120所需的管路长度，可以有效地被缩减，且连接模块120所需的转动角度亦可以有效地被缩减，例如是仅需左右旋转约30度，而无需如传统的连接模块需要旋转至正负180度或正负200度方能确保正确地连接至化学桶140，而连接模块120所需的位移距离更可以有效地被缩减。因此，本实用新型的化学液供给设备100可以简化连接模块120的结构以及降低化学液供给设备100的生产成本，更能提升化学液供给设备100的供应
化学液体的品质与效率。
52.在一些实施例中，化学液供给设备100更包含至少一个导引板150，设置于机壳110的化学桶容置空间160之中，并位于连接模块120以及化学桶旋转输送模块130之间，用以有效地导引化学桶140的。其中，导引板150接触化学桶140的一侧，具有与化学桶140外型相似的弧线造型，当化学桶140接触到导引板150，导引板150可以限制化学桶140进一步向内侧移动，亦可以有效地限制化学桶140的左右位移，以提升化学桶140对准连接模块120效率以及精度，且能简化连接模块120后端的管路长度并降低管路所需的转动角度。
53.同时参阅图3，在一些实施例中，化学桶旋转输送模块130包含有第一传动装置310以及第二传动装置320。第一传动装置310以及第二传动装置320，较佳地是左右平行设置，用以平移或转动化学桶140。
54.在一些实施例中，第一传动装置310包含有多个第一动力滚筒312、多个第一无动力滚筒314、多个第二动力滚筒316以及多个第二无动力滚筒318。第一动力滚筒312、第一无动力滚筒314、第二动力滚筒316以及第二无动力滚筒318较佳地相互前后平行设置。
55.在一些实施例中，第二传动装置320包含有多个第一动力滚筒322、多个第一无动力滚筒324、多个第二动力滚筒326以及多个第二无动力滚筒328。第一动力滚筒322、第一无动力滚筒324、第二动力滚筒326以及第二无动力滚筒328较佳地相互前后平行设置。
56.换言之，当第一传动装置310与第二传动装置320均向同方向转动时，可将化学桶140移入至化学桶容置空间160之中，或者将化学桶140由化学桶容置空间160之中移出。而当第一传动装置310与第二传动装置320以不同方向转动时，则可以旋转化学桶140的角度，以用来将化学桶140对准连接模块120。
57.在一些实施例中，第一动力滚筒312的长度大于第二动力滚筒316的长度，而第一无动力滚筒314的长度大于第二无动力滚筒318的长度。
58.在一些实施例中，第一动力滚筒312的长度等于第一无动力滚筒314的长度，第二动力滚筒316的长度等于第二无动力滚筒318的长度。
59.相同地，第二传动装置320的第一动力滚筒322的长度大于第二动力滚筒326的长度，而第一无动力滚筒324的长度大于第二无动力滚筒328的长度。
60.在一些实施例中，第一动力滚筒322的长度等于第一无动力滚筒324的长度，第二动力滚筒326的长度等于第二无动力滚筒328的长度。
61.此外，第一动力滚筒312以及第一动力滚筒322较佳地位于化学桶容置空间160的入口处，而第一无动力滚筒314以及第一无动力滚筒324则可以位于化学桶容置空间160的入口处第一动力滚筒312以及第一动力滚筒322的后方以及化学桶旋转输送模块130的末端，以减少所需的动力滚筒的数量。而位于第一传动装置310中间的第二动力滚筒316以及第二无动力滚筒318，以及第二传动装置320中间的第二动力滚筒326以及第二无动力滚筒328，由于长度较短，而可以在化学桶旋转输送模块130的中间形成开口，且通过较短的第二动力滚筒316、第二无动力滚筒318、第二动力滚筒326以及第二无动力滚筒328可以降低所需滚筒的长度以及成本，更能提升滚筒的支撑力量，避免变形，以更为精确地输送与转动化学桶140。
62.同时参阅图6，在一些实施例中，连接模块120包含有第一连接模块210以及第二连接模块220。第一连接模块210用以连接化学桶140的气体开口610，而第二连接模块220相对
于第一连接模块210设置，用以连接化学桶140的液体开口620。
63.在一些实施例中，第一连接模块210包含有旋盖装置212、管路连接装置214以及光学侦测器216。旋盖装置212用以旋转化学桶140的气体开口610的化学桶密封盖630，管路连接装置214则用以连接化学桶140的气体开口610，而光学侦测器216设置于旋盖装置及管路连接装置之间，用以侦测化学桶140的气体开口610的位置。
64.在一些实施例中，第二连接模块220包含有旋盖装置222、管路连接装置224以及光学侦测器226。旋盖装置222用以旋转化学桶140的液体开口620的化学桶密封盖640，管路连接装置224连接液体开口620，以抽取或回流化学桶140的化学液体，而光学侦测器226则设置于第二连接模块220的旋盖装置222以及管路连接装置224之间，用以侦测化学桶140的液体开口620的位置。
65.在一些实施例中，气体开口610的外径大于液体开口620的外径。
66.在一些实施例中，第一连接模块210的旋盖装置212与第二连接模块220的旋盖装置222相距180度，而第一连接模块210的管路连接装置214与第二连接模块220的管路连接装置224相距180度。
67.根据本实用新型的另一态样，是提供一种化学液供应方法400。参阅图4与图5，如图中所示，化学液供应方法400包含有下列步骤，首先，步骤410，提供化学桶140，然后，步骤420，将化学桶140输送至化学液供给设备100的化学桶容置空间160中。步骤430，化学液供给设备100侦测化学桶140的开口位置，例如是气体开口610及/或液体开口620。然后，步骤440，化学液供给设备100根据开口的位置，利用化学桶旋转输送模块130，旋转化学桶140，以使化学桶140的开口对准连接模块120的旋盖装置，例如是旋盖装置212及/或旋盖装置222。
68.然后，步骤450，利用旋盖装置212及旋盖装置222，旋转化学桶140的气体开口610及液体开口620上的化学桶密封盖630以及化学桶密封盖640，以开启化学桶140，并利用旋盖装置212及旋盖装置222握持化学桶密封盖630以及化学桶密封盖640。
69.接着，步骤460，利用管路连接装置，例如是管路连接装置214以及管路连接装置224，连接化学桶140的气体开口610及液体开口620。然后，步骤470，利用管路连接装置224抽取化学液体，并利用管路连接装置214进行排气或者是进气。
70.接着，参阅图5，其是化学液供应方法400的化学桶移除步骤500的流程图。当提供工艺所需的化学液体的作业后，步骤510，化学液供给设备100可以自动地分离管路连接装置214与化学桶140的气体开口610以及管路连接装置224与化学桶140的液体开口620。然后，步骤520，利用旋盖装置212及旋盖装置222将握持的化学桶密封盖630以及化学桶密封盖640，分别转回气体开口610及液体开口620，以将化学桶140密封。然后，步骤530，可以利用化学桶旋转输送模块130将化学桶140由化学桶容置空间160中移出。
71.综上所述，化学液供给设备可以安全与可靠地将化学桶连接至连接模块，且利用化学桶旋转输送模块更可以方便且准确地进行对准，有效地简化管路长度并降低管路所需的转动角度，提升化学液供给设备安装与移除化学桶的效率与精确度。
72.虽然本揭露已以实施方式揭露如上，然其并非用以限定本揭露，任何本领域具有通常知识者，在不脱离本揭露的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本揭露的保护范围当视权利要求所界定者为准。

技术特征：
1.一种化学液供给设备，其特征在于，包含：机壳，具有化学桶容置空间；连接模块，安装于该机壳的该化学桶容置空间之中；以及化学桶旋转输送模块，亦安装于该机壳的该化学桶容置空间之中，用以将化学桶，输送至该化学桶容置空间之中，并旋转该化学桶以对准该连接模块。2.根据权利要求1所述的化学液供给设备，其特征在于，更包含：导引板，设置于该机壳的该化学桶容置空间之中，并位于该连接模块以及该化学桶旋转输送模块之间，以导引该化学桶。3.根据权利要求1所述的化学液供给设备，其特征在于，该化学桶旋转输送模块，包含：第一传动装置；以及第二传动装置，该第一传动装置以及该第二传动装置，平行设置，用以平移或转动该化学桶。4.根据权利要求3所述的化学液供给设备，其特征在于，该第一传动装置以及该第二传动装置，分别包含：多个第一动力滚筒；多个第一无动力滚筒，平行所述多个第一动力滚筒设置；多个第二动力滚筒，平行所述多个第一动力滚筒以及所述多个第一无动力滚筒设置；以及多个第二无动力滚筒，平行所述多个第一动力滚筒、所述多个第一无动力滚筒以及所述多个第二无动力滚筒设置。5.根据权利要求4所述的化学液供给设备，其特征在于，所述多个第一动力滚筒的长度大于所述多个第二动力滚筒的长度，而所述多个第一无动力滚筒的长度大于所述多个第二无动力滚筒的长度。6.根据权利要求5所述的化学液供给设备，其特征在于，所述多个第一动力滚筒的长度等于所述多个第一无动力滚筒的长度，所述多个第二动力滚筒的长度等于所述多个第二无动力滚筒的长度。7.根据权利要求1所述的化学液供给设备，其特征在于，该连接模块，包含：第一连接模块，用以连接该化学桶的气体开口；以及第二连接模块，相对于该第一连接模块设置，用以连接该化学桶的液体开口。8.根据权利要求7所述的化学液供给设备，其特征在于，该第一连接模块，包含：旋盖装置，用以旋转该化学桶的该气体开口的化学桶密封盖；管路连接装置，用以连接该化学桶的该气体开口；以及光学侦测器，设置于该旋盖装置以及该管路连接装置之间，用以侦测该化学桶的该气体开口的位置。9.根据权利要求8所述的化学液供给设备，其特征在于，该第二连接模块，包含：旋盖装置，用以旋转该化学桶的该液体开口的化学桶密封盖；管路连接装置，用以连接该液体开口，以抽取或回流该化学桶的化学液体；以及光学侦测器，设置于该第二连接模块的该旋盖装置以及该管路连接装置之间，用以侦测该化学桶的该液体开口的位置。
10.根据权利要求9所述的化学液供给设备，其特征在于，该第一连接模块的旋盖装置与该第二连接模块的旋盖装置相距180度，而该第一连接模块的管路连接装置与该第二连接模块的管路连接装置相距180度。

技术总结
一种化学液供给设备包含有机壳、连接模块以及化学桶旋转输送模块。机壳具有化学桶容置空间，连接模块安装于机壳的化学桶容置空间之中，而化学桶旋转输送模块亦安装于机壳的化学桶容置空间之中，用以将化学桶，输送至化学桶容置空间之中，并旋转化学桶以对准连接模块。并旋转化学桶以对准连接模块。并旋转化学桶以对准连接模块。


技术研发人员：陈炳旭 鲁建国
受保护的技术使用者：帆宣系统科技股份有限公司
技术研发日：2023.03.22
技术公布日：2023/10/20