一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜与流程

1.本发明涉及反射镜技术领域，具体涉及一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜。


背景技术：

2.激光器由于其独有的单色性、一致性，准直性等不可取代的特性，其在军事、加工、医疗和科学研究领域内得到了广泛应用。常用于激光测距、激光制导、激光打孔和切割、大气检测、激光遥感、眼科手术等方面。根据用途的不同，往往需要不同的激光波长，如在激光手术中针对不同病变需要选用不同波长的激光，以保证切除效果。而高反射镜是真空紫外波段天文观测、自由电子激光装置等研究方面的重要光学元件之一。由于在100nm以上的紫外光谱区域中，al膜具有任何已知膜材料的最高固有反射率和较好的粘附性，所以al是该波段高反射元件的首选材料。
3.现有的al基激光反射镜在100nm以上的紫外光谱区域，波长区域段反射率有好有坏，稳定性差，同时在耐酸腐、耐温性能反射率持久性低，产品很难实现波长区域段反射率稳定以及耐酸腐、耐温性能的稳定性差，基于此，本发明对其进一步的改进处理。


技术实现要素：

4.针对现有技术的缺陷，本发明的目的是提供一种紫外激光反射镜及制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.本发明解决技术问题采用如下技术方案：
6.本发明提供了一种紫外激光反射镜的制备方法，所述反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；
7.其中具体的方法为：
8.步骤一：将铝基层置于4~5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450~550w，超声时间为10~20min，超声温度为42~45℃，超声结束，水洗、干燥；
9.步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200~220sccm，离子源电流为10~30a，溅射功率为30~35kw，电偏压为100~120v，溅射厚度为0.45~0.65mm；
10.步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。
11.优选地，所述调节处理液的制备方法为：
12.s01：将羟基磷灰石先置于55~65℃下热处理5~10min，然后将热处理产物于3~5倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
13.s02：将3~5份质量分数为5~10%的硫酸镧溶液加入到10~15份盐酸溶液中先一次搅拌处理；
14.s03：然后向s02产物中再加入2~4份羟基磷灰石改性剂、1~3份十二烷基硫酸钠，再
二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。
15.优选地，所述盐酸溶液的质量分数为2~5%。
16.优选地，所述一次搅拌处理的转速为450~650r/min、搅拌温度为42~46℃，搅拌时间为20~30min；所述二次搅拌处理的转速为750~850r/min、搅拌温度为48~50℃，搅拌时间为10~20min。
17.优选地，所述改性液包括以下重量份原料：1~3份n，n-二甲基酰胺、2~5份氧化镁和6~10份海藻酸钠水溶液以及0.45~0.65份磷酸二异辛酯、0.25~0.35份硅烷偶联剂kh560。
18.优选地，所述海藻酸钠水溶液的质量分数为10~15%。
19.优选地，所述改性溅射料的制备方法为：
20.s11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量10~15%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量2~6%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；
21.s12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液。
22.s13：将氧化锡液中加入总量20~30%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1000~1500r/min，球磨1~2h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。
23.优选地，所述磷酸缓冲溶液的ph值为4.5~5.5；硝酸钇溶液的质量分数为2~5%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为4~8%。
24.优选地，所述烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
25.s101：先以350~360℃的温度烧结10~20min，然后以1~3℃/min的速率升温至410~420℃，继续烧结5~10min；
26.s102：然后s101产物以2~5℃/min的速率冷却至65~70℃，保温处理；
27.s103：再将保温产物再空冷至室温，即可。
28.本发明还提供了一种紫外激光反射镜的制备方法制备的紫外激光反射镜。
29.与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：
30.本发明反射镜采用铝基层通过调节处理液浸润，调节处理液以硫酸镧溶液、盐酸溶液一次搅拌，再配合羟基磷灰石改性剂、十二烷基硫酸钠二次搅拌，通过多级搅拌处理，制备的调节处理液能够提高对基层的活性润透，提高基础的润透性，羟基磷灰石改性剂通过羟基磷灰石55~65℃下热处理5~10min，再改性液搅拌改性，改性液采用n，n-二甲基酰胺、氧化镁和海藻酸钠水溶液以及磷酸二异辛酯、硅烷偶联剂kh560之间相互组配，通过改性液改性的羟基磷灰石协配在调节处理液中，对基层吸附粘接，调配在基层中，改性的羟基磷灰石改性剂能够优化铝基层与溅射料的粘接强度以及与改性溅射料溅射、烧结改性热均化处理共同协调配合，产品的波长区域段反射率稳定性改进，以及耐酸腐、耐温性能的稳定性提高，产品的性能得到协调。
31.改性溅射料采用氧化锡粉末、磷酸缓冲溶液和柠檬酸钠之间调配，硝酸钇溶液、壳聚糖水溶液配合形成球磨改性液，采用球磨改性方式对氧化锡粉末调节改性，优化的改性溅射料配合烧结工艺，产品的性能得到进一步的改进。
具体实施方式
32.下面结合具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显
然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
33.本发明所采用的紫外激光反射镜的制备方法，先将铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；
34.其中具体的方法为：
35.步骤一：将铝基层置于4~5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450~550w，超声时间为10~20min，超声温度为42~45℃，超声结束，水洗、干燥；
36.步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200~220sccm，离子源电流为10~30a，溅射功率为30~35kw，电偏压为100~120v，溅射厚度为0.45~0.65mm；
37.步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。
38.本实施例的调节处理液的制备方法为：
39.s01：将羟基磷灰石先置于55~65℃下热处理5~10min，然后将热处理产物于3~5倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
40.s02：将3~5份质量分数为5~10%的硫酸镧溶液加入到10~15份盐酸溶液中先一次搅拌处理；
41.s03：然后向s02产物中再加入2~4份羟基磷灰石改性剂、1~3份十二烷基硫酸钠，再二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。
42.其中，盐酸溶液的质量分数为2~5%。
43.具体的，一次搅拌处理的转速为450~650r/min、搅拌温度为42~46℃，搅拌时间为20~30min；所述二次搅拌处理的转速为750~850r/min、搅拌温度为48~50℃，搅拌时间为10~20min。
44.上述的改性液包括以下重量份原料：1~3份n，n-二甲基酰胺、2~5份氧化镁和6~10份海藻酸钠水溶液以及0.45~0.65份磷酸二异辛酯、0.25~0.35份硅烷偶联剂kh560。
45.具体的，海藻酸钠水溶液的质量分数为10~15%。
46.具体的，上述的改性溅射料的制备方法为：
47.s11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量10~15%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量2~6%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；
48.s12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液；
49.s13：将氧化锡液中加入总量20~30%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1000~1500r/min，球磨1~2h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。
50.其中，磷酸缓冲溶液的ph值为4.5~5.5；硝酸钇溶液的质量分数为2~5%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为4~8%。
51.具体的，上述的烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
52.s101：先以350~360℃的温度烧结10~20min，然后以1~3℃/min的速率升温至410~420℃，继续烧结5~10min；
53.s102：然后s101产物以2~5℃/min的速率冷却至65~70℃，保温处理；
54.s103：再将保温产物再空冷至室温，即可。
55.本实施例的一种紫外激光反射镜的制备方法制备的紫外激光反射镜。
实施例1
56.本实施例的紫外激光反射镜的制备方法，所述反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；
57.其中具体的方法为：
58.步骤一：将铝基层置于4倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450w，超声时间为10min，超声温度为42℃，超声结束，水洗、干燥；
59.步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200sccm，离子源电流为10a，溅射功率为30kw，电偏压为100v，溅射厚度为0.45mm；
60.步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。
61.本实施例的调节处理液的制备方法为：
62.s01：将羟基磷灰石先置于55℃下热处理5min，然后将热处理产物于3倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
63.s02：将3份质量分数为5%的硫酸镧溶液加入到10份盐酸溶液中先一次搅拌处理；
64.s03：然后向s02产物中再加入2份羟基磷灰石改性剂、1份十二烷基硫酸钠，再二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。
65.本实施例的盐酸溶液的质量分数为2%。
66.本实施例的一次搅拌处理的转速为450r/min、搅拌温度为42℃，搅拌时间为20min；所述二次搅拌处理的转速为750r/min、搅拌温度为48℃，搅拌时间为10min。
67.本实施例的改性液包括以下重量份原料：1份n，n-二甲基酰胺、2份氧化镁和6份海藻酸钠水溶液以及0.45份磷酸二异辛酯、0.25份硅烷偶联剂kh560。
68.本实施例的海藻酸钠水溶液的质量分数为10%。
69.本实施例的改性溅射料的制备方法为：
70.s11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量10%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量2%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；
71.s12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液；
72.s13：将氧化锡液中加入总量20%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1000r/min，球磨1h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。
73.本实施例的磷酸缓冲溶液的ph值为4.5；硝酸钇溶液的质量分数为2%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为4%。
74.本实施例的烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
75.s101：先以350℃的温度烧结10min，然后以1℃/min的速率升温至410℃，继续烧结5min；
76.s102：然后s101产物以2℃/min的速率冷却至65℃，保温处理；
77.s103：再将保温产物再空冷至室温，即可。
实施例2
78.本实施例的紫外激光反射镜的制备方法，反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；
79.其中具体的方法为：
80.步骤一：将铝基层置于5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为550w，超声时间为20min，超声温度为45℃，超声结束，水洗、干燥；
81.步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为220sccm，离子源电流为30a，溅射功率为35kw，电偏压为120v，溅射厚度为0.65mm；
82.步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。
83.本实施例的调节处理液的制备方法为：
84.s01：将羟基磷灰石先置于65℃下热处理10min，然后将热处理产物于5倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
85.s02：将5份质量分数为10%的硫酸镧溶液加入到15份盐酸溶液中先一次搅拌处理；
86.s03：然后向s02产物中再加入4份羟基磷灰石改性剂、3份十二烷基硫酸钠，再二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。
87.本实施例的盐酸溶液的质量分数为5%。
88.本实施例的一次搅拌处理的转速为650r/min、搅拌温度为46℃，搅拌时间为30min；所述二次搅拌处理的转速为850r/min、搅拌温度为50℃，搅拌时间为20min。
89.本实施例的改性液包括以下重量份原料：3份n，n-二甲基酰胺、5份氧化镁和10份海藻酸钠水溶液以及0.65份磷酸二异辛酯、0.35份硅烷偶联剂kh560。
90.本实施例的海藻酸钠水溶液的质量分数为15%。
91.本实施例的改性溅射料的制备方法为：
92.s11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量15%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量6%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；
93.s12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液；
94.s13：将氧化锡液中加入总量30%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1500r/min，球磨2h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。
95.本实施例的磷酸缓冲溶液的ph值为5.5；硝酸钇溶液的质量分数为2~5%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为8%。
96.本实施例的烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
97.s101：先以360℃的温度烧结20min，然后以3℃/min的速率升温至420℃，继续烧结10min；
98.s102：然后s101产物以5℃/min的速率冷却至70℃，保温处理；
99.s103：再将保温产物再空冷至室温，即可。
实施例3
100.本实施例的紫外激光反射镜的制备方法，反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；
101.其中具体的方法为：
102.步骤一：将铝基层置于4.5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为500w，超声时间为15min，超声温度为43℃，超声结束，水洗、干燥；
103.步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为210sccm，离子源电流为20a，溅射功率为32.5kw，电偏压为110v，溅射厚度为0.50mm；
104.步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。
105.本实施例的调节处理液的制备方法为：
106.s01：将羟基磷灰石先置于60℃下热处理7.5min，然后将热处理产物于4倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
107.s02：将4份质量分数为7.5%的硫酸镧溶液加入到12.5份盐酸溶液中先一次搅拌处理；
108.s03：然后向s02产物中再加入3份羟基磷灰石改性剂、2份十二烷基硫酸钠，再二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。
109.本实施例的盐酸溶液的质量分数为3.5%。
110.本实施例的一次搅拌处理的转速为500r/min、搅拌温度为44℃，搅拌时间为25min；所述二次搅拌处理的转速为800r/min、搅拌温度为49℃，搅拌时间为15min。
111.本实施例的改性液包括以下重量份原料：2份n，n-二甲基酰胺、3.5份氧化镁和8份海藻酸钠水溶液以及0.50份磷酸二异辛酯、0.30份硅烷偶联剂kh560。
112.本实施例的海藻酸钠水溶液的质量分数为12.5%。
113.本实施例的改性溅射料的制备方法为：
114.s11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量12%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量4%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；
115.s12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液；
116.s13：将氧化锡液中加入总量25%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1250r/min，球磨1.5h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。
117.本实施例的磷酸缓冲溶液的ph值为4.7；硝酸钇溶液的质量分数为3.5%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为6%。
118.本实施例的烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
119.s101：先以355℃的温度烧结15min，然后以2℃/min的速率升温至415℃，继续烧结7.5min；
120.s102：然后s101产物以3.5℃/min的速率冷却至67℃，保温处理；
121.s103：再将保温产物再空冷至室温，即可。
对比例1
122.与实施例3不同是未采用调节处理液浸润。
对比例2
123.与实施例3不同是调节处理液制备中未加入羟基磷灰石剂。
对比例3
124.与实施例3不同是羟基磷灰石剂制备中未采用改性液处理。
对比例4
125.与实施例3不同是调节处理液的制备方法为：
126.s01：将羟基磷灰石于4倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；
127.s02：将4份质量分数为7.5%的硫酸镧溶液加入到12.5份盐酸溶液中，再加入3份羟基磷灰石改性剂、2份十二烷基硫酸钠，搅拌结束，得到调节处理液；搅拌处理的转速为800r/min、搅拌温度为49℃，搅拌时间为25min，改性液的制备与本发明相同。
对比例5
128.与实施例3不同是改性溅射料采用氧化锡代替。
对比例6
129.与实施例3不同是改性溅射料的制备方法不同：
130.将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量12%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量4%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液，再水洗、干燥，得到改性溅射料。
对比例7
131.与实施例3不同是未采用烧结改性热均化处理。
132.将实施例1~3及对比例1~7产品在常规条件下测试110nm、115nm和120nm的波长条件下的反射率，以及产品在2%的酸腐条件下放置1h、65℃下放置2h测试酸腐、耐热性能，结果如下。
[0133][0134]
从对比例1~7及实施例1~3可看出；
[0135]
实施例3的产品具有优异的反射率，在110nm、115nm和120nm波长区域，产品的反射率优异，反射率性能稳定，同时产品在酸腐、耐温性能下，产品的反射率可达到持续性稳定，产品的性能协调性改进；
[0136]
从对比例1-7中看出，产品未采用调节处理液浸润、改性溅射料采用氧化锡代替以及未采用烧结改性热均化处理，产品的反射率性能变差明显，采用三者协配，产品的性能协同增效，性能改进明显，以及调节处理液制备中未加入羟基磷灰石剂，羟基磷灰石剂制备中未采用改性液处理，调节处理液的制备方法不同，产品的性能均有变差趋势，只有采用本发明的方法制备的调节处理液，产品的性能效果明显。
[0137]
此外，本发明的改性溅射料的制备方法不同，产品的性能也有变差趋势，同时本发明的发明人还发现羟基磷灰石剂制备中未采用改性液处理，产品的性能变差明显，基于此，本发明对其进一步的改进处理；
[0138]
本发明通过改性液处理的羟基磷灰石剂对产品性能进一步的探究；
[0139]
改性液包括以下重量份原料：2份n，n-二甲基酰胺、3.5份氧化镁和8份海藻酸钠水溶液以及0.50份磷酸二异辛酯、0.30份硅烷偶联剂kh560。
实验例1
[0140]
与实施例3相同，唯有不同是改性液中未加入n，n-二甲基酰胺。
实验例2
[0141]
与实施例3相同，唯有不同是改性液中未加入氧化镁。
实验例3
[0142]
与实施例3相同，唯有不同是改性液中未加入磷酸二异辛酯。
实验例4
[0143]
与实施例3相同，唯有不同是改性液中未加入硅烷偶联剂kh560。
[0144][0145]
从实验例1~4可看出，改性液中未加入氧化镁，产品的反射率性能，在改性液的组成因素中，性能变差最为明显，其次是未加入n，n-二甲基酰胺，改性液的组成不同，产品的性能均有变差趋势，同时只有采用本发明的原料配料，产品的性能效果最为显著，采用其他原料代替组成的改性液均不如本发明的效果显著。
[0146]
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。
[0147]
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.一种紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜；其中具体的方法为：步骤一：将铝基层置于4~5倍调节处理液中超声浸润处理，超声功率为450~550w，超声时间为10~20min，超声温度为42~45℃，超声结束，水洗、干燥；步骤二：将浸润的铝基层采用改性溅射料溅射，溅射采用氩气作为工作气体，流量为200~220sccm，离子源电流为10~30a，溅射功率为30~35kw，电偏压为100~120v，溅射厚度为0.45~0.65mm；步骤三：最后再烧结改性热均化处理，处理结束，即可得到紫外激光反射镜。2.根据权利要求1所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述调节处理液的制备方法为：s01：将羟基磷灰石先置于55~65℃下热处理5~10min，然后将热处理产物于3~5倍的改性液中搅拌分散均匀，搅拌结束，水洗、干燥，得到羟基磷灰石剂；s02：将3~5份质量分数为5~10%的硫酸镧溶液加入到10~15份盐酸溶液中先一次搅拌处理；s03：然后向s02产物中再加入2~4份羟基磷灰石改性剂、1~3份十二烷基硫酸钠，再二次搅拌处理，搅拌结束，得到调节处理液。3.根据权利要求2所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述盐酸溶液的质量分数为2~5%。4.根据权利要求2所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述一次搅拌处理的转速为450~650r/min、搅拌温度为42~46℃，搅拌时间为20~30min；所述二次搅拌处理的转速为750~850r/min、搅拌温度为48~50℃，搅拌时间为10~20min。5.根据权利要求2所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述改性液包括以下重量份原料：1~3份n，n-二甲基酰胺、2~5份氧化镁和6~10份海藻酸钠水溶液以及0.45~0.65份磷酸二异辛酯、0.25~0.35份硅烷偶联剂kh560。6.根据权利要求5所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述海藻酸钠水溶液的质量分数为10~15%。7.根据权利要求1所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述改性溅射料的制备方法为：s11：将氧化锡粉末按照重量比1:5加入到去离子水中，然后加入氧化锡粉末总量10~15%的磷酸缓冲溶液、氧化锡粉末总量2~6%的柠檬酸钠，搅拌充分，得到氧化锡液；s12：向硝酸钇溶液中，按照重量比3:1加入壳聚糖水溶液，搅拌充分，得到球磨调节液；s13：将氧化锡液中加入总量20~30%的球磨调节液，转至球磨机中球磨处理，球磨转速为1000~1500r/min，球磨1~2h，球磨结束，水洗、干燥，得到改性溅射料。8.根据权利要求7所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述磷酸缓冲溶液的ph值为4.5~5.5；硝酸钇溶液的质量分数为2~5%；所述壳聚糖水溶液的质量分数为4~8%。9.根据权利要求1所述的紫外激光反射镜的制备方法，其特征在于，所述烧结改性热均化处理的具体操作步骤为：
s101：先以350~360℃的温度烧结10~20min，然后以1~3℃/min的速率升温至410~420℃，继续烧结5~10min；s102：然后s101产物以2~5℃/min的速率冷却至65~70℃，保温处理；s103：再将保温产物再空冷至室温，即可。10.一种如权利要求1~9任一项所述紫外激光反射镜的制备方法制备的紫外激光反射镜。

技术总结
本发明具体公开了一种紫外激光反射镜的制备方法及制备的紫外激光反射镜，该反射镜为铝基层通过调节处理液先浸润处理，再通过改性溅射料溅射处理，最后烧结改性，即可得到本发明的紫外激光反射镜。本发明产品的波长区域段反射率稳定性改进，以及耐酸腐、耐温性能的持久性提高，产品的性能得到协调；改性溅射料采用氧化锡粉末、磷酸缓冲溶液和柠檬酸钠之间调配，硝酸钇溶液、壳聚糖水溶液配合形成球磨改性液，采用球磨改性方式对氧化锡粉末调节改性，优化的改性溅射料配合烧结工艺，产品的性能得到进一步的改进。能得到进一步的改进。


技术研发人员：任光裕
受保护的技术使用者：江苏天凯光电有限公司
技术研发日：2023.09.12
技术公布日：2023/10/20