气体侦测装置以及特气分流箱的制作方法

1.本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种气体侦测装置以及特气分流箱。


背景技术：

2.气体侦测装置常用于半导体工艺中气体泄漏检测。目前市场上的气体侦测装置一般具有自动侦测功能，侦测到相关区域的测试值超出设定值时会有报警警示的功能；在管理人员收到报警内容再做出相关的响应。
3.图1所示为现有技术中气体侦测装置的架构示意图。所述装置包括传感器11、控制主机12、以及报警器13。所述控制主机12一端连接至传感器11，另一端连接至报警器13。所述传感器11探测气体浓度并传输给所述控制主机12，当气体浓度异常时，所述控制主机12通过报警器13发出警示信号(如声光信号等)，管理人员在接收到警示信号后作出相应的应急处理。
4.然而，警示信号通常在现场，信号传输至管理人员会有部分延时；并且事故应急处理效率有赖于管理人员的工作效率；此外，当应急处理需要启动一些应急设施，启动应急设施的过程也会造成延时。
5.因此，如何提高气体泄漏时应急处理的响应效率，是当下需要解决的问题


技术实现要素：

6.本实用新型所要解决的技术问题是提高气体泄漏时应急处理的响应效率，提供一种气体侦测装置以及特气分流箱。
7.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种气体侦测装置，包括：传感器；控制主机，连接所述传感器；报警器，连接至所述控制主机；管理者设备，连接至所述控制主机；预设响应设备，连接至所述控制主机；所述控制主机被配置为收到传感器检测到的异常信号后：发出第一信号至报警器，所述报警器发出报警信号；发出第二信号至管理者设备，通知管理者；发出第三信号至预设响应设备，启动设备进行应急处理。
8.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种特气分流箱，包括：箱体；排风组件，连接至所述箱体；多档位电动阀，位于所述箱体与排风组件之间，用于调节排风强度；所述特气分流箱还包括至少一所述气体侦测装置。
9.上述技术方案，通过控制主机同时传输信号至现场报警器、管理者、以及预设响应设备，提高信息传输速度；直接传输信号至管理者，管理者无需通过现场报警获取信息，提高了管理者响应效率；采用预设响应设备，提高处置速度，减少响应速度造成的损失。
附图说明
10.图1所示为现有技术中气体侦测装置的架构示意图。
11.图2所示为本实用新型所述气体侦测装置的一实施例的架构示意图。
12.图3所示为本实用新型所述特气分流箱的一实施例的架构示意图。
13.图4所示为本实用新型所述特气分流箱的一实施例中气体侦测装置的工作方式示意图。
具体实施方式
14.下面结合附图对本实用新型提供的气体侦测装置的具体实施方式做详细说明。
15.图2所示为本实用新型所述气体侦测装置的一实施例的架构示意图。所述气体侦测装置，包括：传感器21、控制主机22、报警器23、管理者设备24、以及预设响应设备25。所述控制主机22连接所述传感器21。所述报警器23、管理者设备24、以及预设响应设备25连接至所述控制主机22。所述控制主机22被配置为收到传感器21检测到的异常信号后：发出第一信号至所述报警器23，所述报警器23发出报警信号；发出第二信号至所述管理者设备24，通知管理者；发出第三信号至预设响应设备25，启动设备进行应急处理。
16.上述技术方案通过控制主机22同时传输信号至现场报警器23、管理者设备24、以及预设响应设备25，提高信息传输速度；直接传输信号至管理者，管理者无需通过现场报警获取信息，提高了管理者响应效率；采用预设响应设备25，提高处置速度，减少响应速度造成的损失。
17.作为一实施例，所述装置可通过管理者设备24对控制主机22远程输入指令；所述装置可通过管理者设备24对预设响应设备25远程输入指令。管理者可从管理者设备24监控设备运行状况，必要时可通过远程指令对设备的自动响应控制系统进行干预，以实现更高效的应急响应。
18.作为一实施例，所述报警信号包括现场声光警报和撤离提示。所述报警信号用于通知现场人员并提醒现场人员及时撤离。
19.作为一实施例，所述管理者设备24包括管理者移动终端和管理者电脑。所述控制主机22将第二信号传输至管理者设备24，使不在现场的管理者也能及时获取信息，并进行远程操控。此外，采用管理者移动终端，使管理者移动状态下仍能接收信号，并进行远程操控。
20.作为一实施例，所述传感器21和所述控制主机22之间还设置有集线盒26和中继器27。所述集线盒26与中继器27用于将传感器21产生的信号传输至所述控制主机22。
21.图3所示为本实用新型所述特气分流箱的一实施例的架构示意图。图4所示为本实用新型所述特气分流箱的一实施例中气体侦测装置的工作方式示意图。本实施例通过特气分流箱(valve manifold box，简称vmb)的气体泄漏侦测来对本实用新型所述气体侦测装置做详细说明。
22.请参阅图3，所述特气分流箱包括箱体30、进气阀31、多档位电动阀32、气体侦测装置、排风组件33。所述进气阀31位于箱体30内，所述多档位电动阀32位于所述箱体30与所述排风组件33之间，用于调节排风强度。
23.通过在特气分流箱中加入气体侦测装置，在检测到气体泄漏时，气体侦测装置通过控制主机22调节多档位电动阀32以调节排风强度，及时清理泄漏的气体。
24.作为一实施例，所述气体侦测装置中的传感器21位于所述多档位电动阀32与所述排风组件33之间；所述传感器21连接至所述控制主机22，所述控制主机22连接至所述报警器23、以及所述管理者设备24。所述特气分流箱还包括酸雾塔34，所述酸雾塔34连接至所述
排风组件33。
25.在本实施例中，将所述进气阀31、所述多档位电动阀32、所述排风33以及所述酸雾塔34设置为预设响应设备25。正常运行时vmb通过多档位电动阀32将排风组件33设定为低档的运行，当所述传感器21侦测到气体浓度高于预设阈值时，所述控制主机22发送第一信号至所述装置的报警器23，所述报警器23发出现场报警以及撤离提示音；所述控制主机22发送第二信号至管理者设备24，通知管理者；所述控制主机22发送第三信号至预设响应设备25，即所述进气阀31、所述多档位电动阀32、所述排风组件33以及所述酸雾塔34。所述进气阀31关闭，阻止气体进入该vmb；所述多档位电动阀32启动，加大该vmb排风量；增加酸雾塔34处理能力以及排风吸力，进一步加速处理泄漏气体。
26.上述技术方案通过控制主机22同时传输信号至现场报警器23、管理者设备24、以及预设响应设备25，提高信息传输速度；直接传输信号至管理者，管理者无需通过现场报警获取信息，提高了管理者响应效率；采用预设响应设备25，提高处置速度，减少响应速度造成的损失。
27.当存在多个所述特气分流箱，且某一所述特气分流箱中的气体侦测装置检测气体异常时，调节该装置所在的特气分流箱的多档位电动阀使排风增大，调节其他特气分流箱多档位电动阀使排风减小。
28.如图4所示，本实施例中，多个特气分流箱位于多个不同区域，即区域1、区域2、以及区域3；每一区域对应设置多个带有气体侦测装置的特气分流箱，如区域1中设置有设施101、设施102、设施103、设施104。当某个区域中的某一所述特气分流箱(如区域1中的设施102)中的气体侦测装置侦测到气体浓度超标，将该区域的其他特气分流箱(即区域1中的设施101、设施103、设施104)的多档可调的电动阀逐渐关小，同时气体浓度异常的特气分流箱(即区域1中的设施102)的多档可调的电动阀调整至最大。出现异常的设施(即侦测到浓度高的区域)可以切断供给，并将排风量加到最大，可以快速的净化该区域，间接对设施起到保护的作用。
29.上述技术方案通过控制主机22同时传输信号至现场报警器23、管理者设备24、以及预设响应设备25，提高信息传输速度；直接传输信号至管理者，管理者无需通过现场报警获取信息，提高了管理者响应效率；采用预设响应设备25，提高处置速度，减少响应速度造成的损失。
30.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：
1.一种气体侦测装置，其特征在于，包括：传感器；控制主机，连接所述传感器；报警器，连接至所述控制主机；管理者设备，连接至所述控制主机；预设响应设备，连接至所述控制主机；所述控制主机被配置为收到传感器检测到的异常信号后：发出第一信号至报警器，所述报警器发出报警信号；发出第二信号至管理者设备，通知管理者；发出第三信号至预设响应设备，启动设备进行应急处理。2.根据权利要求1所述的气体侦测装置，其特征在于，所述装置可通过管理者设备对控制主机远程输入指令。3.根据权利要求1所述的气体侦测装置，其特征在于，所述装置可通过管理者设备对预设响应设备远程输入指令。4.根据权利要求1所述的气体侦测装置，其特征在于，所述报警信号包括现场声光警报和撤离提示。5.根据权利要求1所述的气体侦测装置，其特征在于，所述管理者设备包括管理者移动终端和管理者电脑。6.根据权利要求1所述的气体侦测装置，其特征在于，所述传感器和所述控制主机之间还设置有集线盒和中继器。7.一种特气分流箱，包括：箱体；排风组件，连接至所述箱体；多档位电动阀，位于所述箱体与排风组件之间，用于调节排风强度；其特征在于，所述特气分流箱还包括至少一如权利要求1～6任一项所述的气体侦测装置。8.根据权利要求7所述的特气分流箱，其特征在于，所述特气分流箱还包括酸雾塔，所述酸雾塔连接至所述排风组件。

技术总结
本实用新型提供一种气体侦测装置以及特气分流箱。所述气体侦测装置，包括：传感器；控制主机，连接所述传感器；报警器，连接至所述控制主机；管理者设备，连接至所述控制主机；预设响应设备，连接至所述控制主机；所述控制主机被配置为收到传感器检测到的异常信号后：发出第一信号至报警器，所述报警器发出报警信号；发出第二信号至管理者设备，通知管理者；发出第三信号至预设响应设备，启动设备进行应急处理。上述技术方案，通过控制主机同时传输信号至现场报警器、管理者、以及预设响应设备，提高信息传输速度；直接传输信号至管理者，管理者无需通过现场报警获取信息，提高了管理者响应效率。效率。效率。


技术研发人员：吴庆东 王树强 陶玉佳 薛会海 黄俊
受保护的技术使用者：上海新傲科技股份有限公司
技术研发日：2022.11.10
技术公布日：2023/10/20