用于晶圆检测的光学滤波系统以及晶圆检测设备的制作方法

1.本披露一般涉及半导体检测技术领域。更具体地，本披露涉及一种用于晶圆检测的光学滤波系统以及晶圆检测设备。


背景技术：

2.晶圆是半导体的基础材料，在其生产过程中容易出现破损、隐裂和划伤等各种缺陷。特别是半导体晶圆的内部晶体结构的异常还会导致后续形成的ic芯片出现不良。
3.一部分半导体芯片产品经过光刻后，在晶圆上会存在有规律的图案阵列，这些图案阵列具有一定的周期频率，因此可以通过滤波技术将这些周期频率的图案消除，达到消除背景图案且只保留破损、隐裂、划伤和脏污等没有固定频率的缺陷图案的效果，从而便于对晶圆缺陷进行检测。
4.然而，目前通常是利用处理器对获取的图像进行卷积运算和高斯滤波等算法进行滤波操作，需要耗费处理器大量的算力资源，对处理器性能要求较高。
5.有鉴于此，亟需提供一种光学滤波方案，以便降低滤波操作对处理器的要求，节省处理器算力，从而显著提高晶圆检测效率。


技术实现要素：

6.为了至少解决如上所提到的一个或多个技术问题，本披露在多个方面中提出了光学滤波方案。
7.在第一方面中，本披露提供一种用于晶圆检测的光学滤波系统包括：沿光轴依次布置的第一透镜、液晶屏和第二透镜，其中液晶屏布置成位于第一透镜的后焦面和第二透镜的前焦面处，液晶屏包括液晶单元；以及控制器，用于控制液晶屏并且配置成：接收晶圆在第一透镜的后焦面上形成的傅里叶图像；根据傅里叶图像来调整液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线；向第二透镜传递经屏蔽的光线，以便通过第二透镜得到晶圆检测图像。
8.在一些实施例中，该光学滤波系统还包括：分光棱镜，其设置在第一透镜和液晶屏之间；以及像屏，其位于分光棱镜的反射方向上且位于第一透镜的后焦面；其中在根据傅里叶图像来调整液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线中，控制器配置成：将预设频域点在像屏上的第一坐标换算成其在液晶屏上的第二坐标；以及调整第二坐标处的液晶单元的方向。
9.在一些实施例中，该光学滤波系统还包括：激光发生器，其与控制器连接；其中在将第一坐标换算成第二坐标之前，控制器还配置成：控制激光发生器沿着光轴向第一透镜发射准直激光光线；以及根据准直激光光线的光斑在像屏上的坐标和准直激光光线的光斑在液晶屏上的坐标，生成像屏与液晶屏的坐标换算关系，其中坐标换算关系用于第一坐标换算成第二坐标。
10.在一些实施例中，第二透镜用于对滤波后的傅里叶图像进行傅里叶逆变换，以形
成晶圆检测图像；该光学滤波系统还包括成像相机，成像相机位于第二透镜的后焦面并且配置成：接收晶圆检测图像，以用于晶圆检测。
11.在一些实施例中，像屏包括带有坐标刻度的白屏；在将第一坐标换算成第二坐标之前，控制器还配置成：根据坐标刻度读取预设频域点的第一坐标。
12.在一些实施例中，控制器为控制液晶单元的上位机；其中在调整第二坐标处的液晶单元的方向中，上位机配置成：发出显示图像指令，以控制液晶屏显示基于傅里叶图像所生成的傅里叶滤波图像。
13.在一些实施例中，控制器为连接液晶单元的驱动电路；其中在调整第二坐标处的液晶单元的方向中，驱动电路配置成：调整驱动液晶单元的驱动电流，以将液晶屏上第二坐标处的液晶单元的方向调整为横向。
14.在一些实施例中，第一透镜包括凸透镜，并且第二透镜包括凸透镜。
15.在第二方面中，本披露提供一种晶圆检测设备包括：根据第一方面任一项的光学滤波系统；以及晶圆检测系统，其配置成：对从光学滤波系统所获得的晶圆检测图像进行缺陷检测，以生成晶圆检测结果。
16.在一些实施例中，光学滤波系统中的第二透镜用于对滤波后的傅里叶图像进行傅里叶逆变换，以形成晶圆检测图像；光学滤波系统还包括成像相机，成像相机位于第二透镜的后焦面且与晶圆检测系统连接；其中成像相机配置成：接收晶圆检测图像并将其传递给晶圆检测系统。
17.通过如上所提供的用于晶圆检测的光学滤波系统，本披露实施例利用第一透镜在其后焦面处形成晶圆的傅里叶图像，然后通过设置在第一透镜的后焦面和第二透镜的前焦面上的液晶屏能够屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线，使得传递至第二透镜处的是经过滤波处理后的光线，从而能够再通过第二透镜得到滤波后的晶圆检测图像。在此过程中，光线屏蔽的过程由控制器调整液晶屏中液晶单元的方向来完成，傅里叶转换则是由光学透镜来完成，此时傅里叶滤波功能设置于光学成像光路中，因此控制器只需控制液晶单元方向，而无需执行算法来对图像进行傅里叶变换，不仅大幅节省了算力资源，还提高了晶圆检测的效率。
18.另外，由于傅里叶图像是频域空间图像，因此基于傅里叶图像可以实现滤除物面中预设频域点的图案，进而去除晶圆图案阵列的干扰，只保留需要检测的缺陷的图案，有利于执行晶圆缺陷检测。
附图说明
19.通过参考附图阅读下文的详细描述，本披露示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本披露的若干实施方式，并且相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：
20.图1示出了本披露实施例的光学滤波系统的示例性结构图；
21.图2示出了本披露实施例的光学滤波方法的示例性流程图；
22.图3示出了本披露另一些实施例的光学滤波系统的示例性结构图；
23.图4示出了本披露又一些实施例的光学滤波系统的示例性结构图；
24.图5示出了本披露实施例的晶圆检测设备的示例性结构图；
25.图6示出了本披露实施例的电子设备的示例性结构框图。
具体实施方式
26.下面将结合本披露实施例中的附图，对本披露实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本披露一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本披露中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本披露保护的范围。
27.应当理解，本披露的说明书和权利要求书中使用的术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
28.还应当理解，在此本披露说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的，而并不意在限定本披露。如在本披露说明书和权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。还应当进一步理解，在本披露说明书和权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
29.如在本说明书和权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。
[0030]
下面结合附图来详细描述本披露的具体实施方式。
[0031]
示例性应用场景
[0032]
在集成电路制造过程中，光刻是在微小的芯片上实现功能的重要环节。光刻的基本原理是利用光致抗蚀剂感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点，将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。
[0033]
经过光刻后，晶圆表面上会形成有规律的图案阵列，相对于晶圆表面的破损、隐裂、划伤和脏污等没有固定频率的缺陷而言，这些图案阵列具有一定的周期频率。基于图案阵列与缺陷的区别，可以采用滤波技术将图案阵列从图像中消除，进而提取出仅保留缺陷特征的晶圆检测图像，这样一方面能够排除图案阵列对检测的干扰，另一方面还能够提高晶圆检测的效率。
[0034]
现有的滤波方案通常是在处理器中对图像进行卷积运算和高斯滤波，这种通过算法进行图像处理的方案对于处理器的性能具有较高的要求，并且还需要耗费处理器大量的算力资源，导致处理时长较长，进而影响晶圆检测效率。
[0035]
示例性应用方案
[0036]
有鉴于此，本披露实施例提供了一种光学滤波方案，其通过将傅里叶滤波功能设置于光学成像光路中，使得控制器免于执行卷积运算和高斯滤波运算，控制器只需控制液晶单元方向即可完成滤波，不仅大幅节省了算力资源，还提高了晶圆检测的效率。
[0037]
图1示出了本披露实施例的光学滤波系统100的示例性结构图。
[0038]
如图1所示，该用于晶圆检测的光学滤波系统100包括：第一透镜10、液晶屏30、第二透镜20和控制器40。在一个实施方式中，如图中所示出的第一透镜10、液晶屏30和第二透
镜20沿光轴依次布置，且液晶屏30位于第一透镜10的后焦面和第二透镜20的前焦面处。作为示例，第一透镜10和第二透镜20均可以为凸透镜，并且设定第一透镜10的焦距为f1，第二透镜20的焦距为f2。为了便于理解图中所示出的本发明的光学滤波系统，下面对其理论基础进行简要的描述。
[0039]
如本领域技术人员所知，一个光学信息系统和一个电学信息系统有许多相同之处，例如二者都可以收集信息和传递信息，并且二者也可能使用共同的分析工具，例如线性系统理论和傅里叶分析。由此，参照线性网络收集和传输电信号的过程，可以推算出光是如何在光学系统中进行传播，二者区别在于，电信理论处理的电信号是时间的一维函数，频率是时间频率，只涉及时间的一维函数的傅里叶变换；光学系统处理的光信号是空间的三维函数，不同方向传播的光用空间频率来表征，需用空间的三维函数的傅里叶变换。
[0040]
傅里叶光学运用傅里叶频谱分析方法和线性系统理论对广泛的光学现象作出诠释，对一个光学系统而言，物和像的关系也可以根据标量衍射理论，由系统中光场的传播来确定，即光学系统可以看成一个通信信道。
[0041]
鉴于光学系统与电信系统的相似性，在光学系统中同样可以引入频率响应的概念，系统对一窄脉冲的响应也可以用来描述光学系统，即用光学系统对点光源的响应可以来描述系统的性质，此处点光源的响应即为点光源的像。光学系统的脉冲响应又称点扩展函数，一旦系统的点扩展函数已知，系统对任意物体所成的像可以从物体上每个点源产生的点扩展函数的线性叠加求得。
[0042]
根据傅里叶分析，任意复杂物体都可以写成傅里叶变换关系式，其物理意义是把复杂物体的表达式分解成多个简单基元函数的线性组合。物体的空间频谱则作为一个权重因子，添加至各自基元函数上。基于此，原本利用光强、振幅的空间分布来描述的光学图像，现也可以用频率的分布和变化来进行描述。
[0043]
再进一步地，根据标量衍射理论可以知道凸透镜的作用之一是把远处的夫琅和费衍射图样拉近到其后焦面上，当孔径平面放在透镜的前焦面上时，菲涅耳衍射中常数相位因子消失，这时物与像之间有精确的傅里叶变换关系。也即是说，透镜前后焦面上光场分布互为傅里叶变换的关系。
[0044]
基于上述的理论基础，可以知道将晶圆放置在与第一透镜10距离为f1的位置，即第一透镜10的前焦面处，那么在第一透镜10的后焦面处就会形成晶圆的空间频谱且该空间频谱与晶圆之间有着精确傅里叶变换关系。若是在第一透镜10的后焦面处放置像屏，即可在像屏上得到晶圆的傅里叶图像。
[0045]
与第一透镜10相似地，对于第二透镜20而言，位于第二透镜20的前焦面处的晶圆的空间频谱也可以视作物体，其在第二透镜20的后焦面处所形成的像与前焦面处的晶圆的空间频谱也有着精确的傅里叶变换关系。
[0046]
本实施例的光学滤波系统中，在第一透镜10的后焦面和第二透镜20的前焦面处布置了液晶屏30，该液晶屏30包括液晶单元，每个液晶单元的方向可控，具体地，当液晶单元的方向为横向时，光线无法通过该液晶单元，当液晶单元的方向为竖直方向时，光线可以通过该液晶单元，因此通过调控液晶屏30中各液晶单元的方向，可以对指定位置的光线进行滤波。
[0047]
为了调控液晶屏30中各液晶单元的方向，在本实施例提供的光学滤波系统中，设
置控制器40以用于控制液晶屏30，具体地，该控制器40用于调整液晶单元的方向。
[0048]
结合第一透镜10和第二透镜20光场分布的傅里叶性质，可以理解的是，在本实施例提供的光学滤波系统中，放置在第一透镜10前焦面处的晶圆的光线经过第一透镜10将会完成傅里叶变换，在第一透镜10后焦面处形成傅里叶图像。该傅里叶图像反馈的是晶圆的空间频谱，有规律的图案阵列因其具有一定的周期频率，在空间频谱中也会表现出一定的频率规律，而缺陷由于不具备固定频率，在空间频谱中则呈散乱分布，因此可以确定出一个预设频域范围来表征晶圆的图案阵列，利用液晶屏30来屏蔽该预设频域范围内的预设频域点的光线，即可将图案阵列从傅里叶图像中滤除，仅保留缺陷部分的图像。再经过第二透镜20对滤波后的傅里叶图像进行傅里叶逆变换，得到仅包含缺陷特征的晶圆检测图像。
[0049]
进一步地，光学滤波系统还可以包括成像相机80，该成像相机位于第二透镜的后焦面并且配置成：接收晶圆检测图像以用于晶圆检测。
[0050]
具体地，控制器40可以通过执行图2所示的光学滤波方法200来完成图案阵列的光线屏蔽，图2示出了本披露实施例的光学滤波方法200的示例性流程图。
[0051]
在步骤s201中，接收晶圆在第一透镜的后焦面上形成的傅里叶图像。
[0052]
在步骤s202中，根据傅里叶图像来调整液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线。
[0053]
在本实施例中，控制器实现液晶单元的方向的方式并不唯一。在一些实施例中，可以使用驱动电路对液晶单元的方向进行控制。在另一些实施例中，随着控制系统的完善，也可以采用上位机控制的方法，利用显示图像指令来控制液晶单元的方向。
[0054]
两种方式具体如下：
[0055]
其一，控制器为连接液晶单元的驱动电路，执行步骤s202时，驱动电路调整驱动液晶单元的驱动电流，以将液晶屏上预设频域点处的液晶单元的方向调整为横向。
[0056]
其二，控制器为控制液晶单元的上位机，执行步骤s202时，上位机发出显示图像指令，以控制液晶屏显示基于该傅里叶图像所生成的傅里叶滤波图像。
[0057]
在实际应用时，液晶屏之所以能够显示白色图像是因为全部液晶单元均为竖直方向，液晶屏之所以显示黑色图像是因为全部液晶单元均为横向所致。因此可以根据傅里叶图像，在控制系统中通过图像绘制的方式，绘制出与该傅里叶图像尺寸大小呈1:1的傅里叶滤波图像，绘制完毕后再通过全屏显示的显示图像指令，使得该傅里叶滤波图像全画幅显示，从而免于对每一液晶单元的驱动电流进行单独调整。
[0058]
在步骤s203中，向第二透镜传递经屏蔽的光线，以便通过第二透镜得到晶圆检测图像。
[0059]
本披露实施例所提供的用于晶圆检测的光学滤波系统可以利用第一透镜在其后焦面处形成晶圆的傅里叶图像，然后通过设置在第一透镜的后焦面和第二透镜的前焦面上的液晶屏能够屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线，使得传递至第二透镜处的是经过滤波处理后的光线，从而能够再通过第二透镜得到滤波后的晶圆检测图像。
[0060]
在此过程中，光线屏蔽的过程由控制器调整液晶屏中液晶单元的方向来完成，傅里叶转换则是由光学透镜来完成，此时傅里叶滤波功能设置于光学成像光路中，因此控制器只需控制液晶单元方向，而无需执行算法来对图像进行傅里叶变换，不仅大幅节省了控制器的算力资源，还提高了晶圆检测的效率。
[0061]
另外，由于傅里叶图像是频域空间图像，因此基于傅里叶图像可以实现滤除物面中预设频域点的图案，进而去除晶圆图案阵列的干扰，只保留需要检测的缺陷的图案，有利于执行晶圆缺陷检测。
[0062]
本实施例中光学滤波系统要实现精准滤波，关键在于精准定位需调整方向的液晶单元。为了精准定位到预设频域点所对应的液晶单元，本披露还提供了如图3所示的光学滤波系统300，图3示出了本披露另一些实施例的光学滤波系统300的示例性结构图。
[0063]
如图3所示，与前文实施例中的光学滤波系统100相比，该光学滤波系统300在其基础上增设了分光棱镜50和像屏60。
[0064]
分光棱镜50设置在第一透镜10和液晶屏30之间，像屏60则位于分光棱镜50的反射方向上且位于第一透镜10的后焦面。
[0065]
在光学滤波系统300工作时，分光棱镜可以将光线传递给液晶屏的同时，将光线传递给像屏60。由于像屏60位于第一透镜10的后焦面，因此像屏60与液晶屏30一样，其接收的是晶圆的傅里叶图像，由于像屏60上的傅里叶图像可视，因此像屏60上的傅里叶图像可以为液晶单元的方向调控提供参考。
[0066]
具体地，控制器40可以在执行步骤s202时，将预设频域点在像屏上的第一坐标换算成其在液晶屏上的第二坐标，接着，调整第二坐标处的液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线。
[0067]
在一些实施例中，可以用带有坐标刻度的白屏作为像屏60，控制器在将第一坐标换算成第二坐标之前，则可以直接根据坐标刻度来读取第一坐标，再根据第一坐标与第二坐标之间的坐标换算关系，完成第二坐标的计算。
[0068]
为了获取该坐标换算关系，本披露提供了如图4所示的光学滤波系统400，图4示出了本披露又一些实施例的光学滤波系统400的示例性结构图。
[0069]
光学滤波系统400与光学滤波系统300相比，增设了激光发生器70，该激光发生器70与控制器40连接，在控制器40的控制下沿着光轴向第一透镜10发射准直激光光线。
[0070]
进一步地，在前文实施例的步骤s202之前，控制器40可以通过执行如下操作来确定坐标换算关系：
[0071]
控制激光发生器沿着光轴向第一透镜发射准直激光光线；
[0072]
根据准直激光光线的光斑在像屏上的坐标和准直激光光线的光斑在液晶屏上的坐标，生成像屏与液晶屏的坐标换算关系。
[0073]
在生成像屏与液晶屏的坐标换算关系之后，控制器可以根据像屏上的坐标刻度或其他方法读取预设频域点在像屏上的第一坐标，接着，再根据坐标换算关系和第一坐标计算出预设频域点在液晶屏上的第二坐标，然后以改变驱动电流或发出显示图像指令的方式，将第二坐标处的液晶单元方向调整为横向。
[0074]
利用前文实施例所提供的任一种光学滤波系统，可以搭建出一种晶圆检测设备，图5示出了本披露实施例的晶圆检测设备500的示例性结构图。
[0075]
该晶圆检测设备500包括：前文任一实施例所提供的光学滤波系统501和晶圆检测系统502，具体地，其中光学滤波系统501可以包括控制器40以及沿光轴依次布置的第一透镜10、液晶屏30和第二透镜20，晶圆的检测光线经过第一透镜10、液晶屏30和第二透镜20后形成晶圆检测图像，晶圆检测系统501则配置成基于晶圆检测图像进行缺陷检测，以生成晶
圆检测结果。
[0076]
具体地，液晶屏30位于第一透镜10的后焦面和第二透镜20的前焦面处，液晶屏30包括液晶单元，控制器40与液晶屏30连接并且配置成：
[0077]
接收晶圆在第一透镜的后焦面上形成的傅里叶图像；
[0078]
根据傅里叶图像来调整液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线；
[0079]
向第二透镜传递经屏蔽的光线，以便通过第二透镜得到晶圆检测图像。
[0080]
进一步地，光学滤波系统501还包括成像相机80，成像相机80位于第二透镜20的后焦面且与晶圆检测系统502连接，第二透镜20用于对滤波后的傅里叶图像进行傅里叶逆变换，以形成晶圆检测图像，成像相机80则在接收晶圆检测图像之后将其传递给晶圆检测系统502。
[0081]
在一些实施例中，光学滤波系统501还可以包括设置在第一透镜10和液晶屏30之间的分光棱镜50以及位于分光棱镜50的反射方向上且位于第一透镜10的后焦面的像屏60，分光棱镜50用于将光线传递给液晶屏的同时，将光线传递给像屏60，像屏60能够接收晶圆的傅里叶图像并将其可视化，从而为液晶单元的方向调控提供参考。
[0082]
进一步地，该像屏60可以采用带有坐标刻度的白屏，以便控制器40根据坐标刻度来读取预设频域点在像屏上的第一坐标，进而根据坐标换算关系计算出预设频域点在液晶屏上的第二坐标，以便调整第二坐标处的液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线。
[0083]
在一些实施例中，光学滤波系统还可以通过增设激光发生器70来获取像屏与液晶屏之间的坐标换算关系。
[0084]
综上，本披露实施例提供了一种光学滤波系统，其利用第一透镜和第二透镜完成晶圆图像的傅里叶变换和傅里叶逆变换，借助液晶屏在光学成像过程中完成滤波，从而将傅里叶滤波功能置入于光学成像光路中，免除了控制器执行傅里叶滤波相关算法的任务，降低了对控制器的性能要求并释放了大量的算力资源。另外，在光学成像过程中完成傅里叶滤波，也免去了控制器执行算法所需的响应时长，进而提高了晶圆检测的效率。
[0085]
本披露实施例还提供了一种晶圆检测设备，其中的光学滤波系统可以滤除物面中预设频域点的图案，进而去除晶圆图案阵列的干扰，形成仅保留有待检测缺陷图案的晶圆检测图像。当设备中的晶圆检测系统基于该晶圆检测图像进行缺陷检测时，可以减少无关因素的干扰，实现更加精准可靠的缺陷检测。
[0086]
与前述功能性实施例相对应地，本披露实施例中还提供了一种如图6所示的电子设备。图6示出了本披露实施例的电子设备600的示例性结构框图。
[0087]
图6所示的电子设备600，包括：控制器610；以及存储器620，存储器620上存储有可执行的程序指令，当所述程序指令由所述控制器610来执行时，使得所述电子设备实现如下光学滤波方法：
[0088]
接收晶圆在第一透镜的后焦面上形成的傅里叶图像；
[0089]
根据傅里叶图像来调整液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线；
[0090]
向第二透镜传递经屏蔽的光线，以便通过第二透镜得到晶圆检测图像。
[0091]
在图6的电子设备600中，仅示出了与本实施例有关的组成元素。因此，对于本领域普通技术人员而言显而易见的是：电子设备600还可以包括与图6中所示的组成元素不同的常见组成元素。
[0092]
控制器610可以控制电子设备600的操作。例如，控制器610通过执行电子设备600上的存储器620中存储的程序，来控制电子设备600的操作。控制器610可以由电子设备600中提供的中央处理单元(cpu)、应用处理器(ap)、人工智能处理器芯片(ipu)等来实现。然而，本披露不限于此。在本实施方式中，控制器610可以按任何适当的方式实现。例如，控制器610可以采取例如微处理器或处理器以及存储可由该(微)处理器执行的计算机可读程序代码(例如软件或固件)的计算机可读介质、逻辑门、开关、专用集成电路(application specific integrated circuit，asic)、可编程逻辑控制器和嵌入微控制器的形式等等。
[0093]
存储器620可以用于存储电子设备600中处理的各种数据、指令的硬件。例如，存储器620可以存储电子设备600中的处理过的数据和待处理的数据。存储器620可存储控制器610已处理或要处理的数据集。此外，存储器620可以存储要由电子设备600驱动的应用、驱动程序等。例如：存储器620可以存储与将由控制器610执行的图像显示、坐标换算等有关的各种程序。存储器620可以是dram，但是本披露不限于此。存储器620可以包括易失性存储器或非易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可以包括只读存储器(rom)、可编程rom(prom)、电可编程rom(eprom)、电可擦除可编程rom(eeprom)、闪存、相变ram(pram)、磁性ram(mram)、电阻ram(rram)、铁电ram(fram)等。易失性存储器可以包括动态ram(dram)、静态ram(sram)、同步dram(sdram)、pram、mram、rram、铁电ram(feram)等。在实施例中，存储器620可以包括硬盘驱动器(hdd)、固态驱动器(ssd)、高密度闪存(cf)、安全数字(sd)卡、微安全数字(micro-sd)卡、迷你安全数字(mini-sd)卡、极限数字(xd)卡、高速缓存(caches)或记忆棒中的至少一项。
[0094]
综上，本说明书实施方式提供的电子设备600的存储器620和控制器610实现的具体功能，可以与本说明书中的前述实施方式相对照解释，并能够达到前述实施方式的技术效果，这里便不再赘述。
[0095]
或者，本披露还可以实施为一种非暂时性机器可读存储介质(或计算机可读存储介质、或机器可读存储介质)，其上存储有计算机程序指令(或计算机程序、或计算机指令代码)，当所述计算机程序指令(或计算机程序、或计算机指令代码)被电子设备(或电子设备、服务器等)的处理器执行时，使所述处理器执行根据本披露的上述方法的各个步骤的部分或全部。
[0096]
虽然本文已经示出和描述了本披露的多个实施例，但对于本领域技术人员显而易见的是，这样的实施例只是以示例的方式来提供。本领域技术人员可以在不偏离本披露思想和精神的情况下想到许多更改、改变和替代的方式。应当理解的是在实践本披露的过程中，可以采用对本文所描述的本披露实施例的各种替代方案。所附权利要求书旨在限定本披露的保护范围，并因此覆盖这些权利要求范围内的等同或替代方案。

技术特征：
1.一种用于晶圆检测的光学滤波系统，其特征在于，包括：沿光轴依次布置的第一透镜、液晶屏和第二透镜，其中所述液晶屏布置成位于所述第一透镜的后焦面和所述第二透镜的前焦面处，所述液晶屏包括液晶单元；以及控制器，其用于控制所述液晶屏并且配置成：接收所述晶圆在所述第一透镜的后焦面上形成的傅里叶图像；根据所述傅里叶图像来调整所述液晶单元的方向，以屏蔽所述傅里叶图像中预设频域点的光线；向所述第二透镜传递经所述屏蔽的光线，以便通过所述第二透镜得到晶圆检测图像。2.根据权利要求1所述的光学滤波系统，其特征在于，所述光学滤波系统还包括：分光棱镜，其设置在所述第一透镜和所述液晶屏之间；以及像屏，其位于所述分光棱镜的反射方向上且位于所述第一透镜的后焦面；其中在根据所述傅里叶图像来调整所述液晶单元的方向，以屏蔽所述傅里叶图像中预设频域点的光线中，所述控制器配置成：将所述预设频域点在所述像屏上的第一坐标换算成其在所述液晶屏上的第二坐标；以及调整所述第二坐标处的液晶单元的方向。3.根据权利要求2所述的光学滤波系统，其特征在于，所述光学滤波系统还包括：激光发生器，其与所述控制器连接；其中在将第一坐标换算成第二坐标之前，所述控制器还配置成：控制所述激光发生器沿着所述光轴向所述第一透镜发射准直激光光线；以及根据所述准直激光光线的光斑在所述像屏上的坐标和所述准直激光光线的光斑在所述液晶屏上的坐标，生成所述像屏与所述液晶屏的坐标换算关系，其中所述坐标换算关系用于将第一坐标换算成所述第二坐标。4.根据权利要求1-3任一项所述的光学滤波系统，其特征在于，所述第二透镜用于对所述滤波后的傅里叶图像进行傅里叶逆变换，以形成所述晶圆检测图像；所述光学滤波系统还包括成像相机，所述成像相机位于所述第二透镜的后焦面并且配置成：接收所述晶圆检测图像，以用于晶圆检测。5.根据权利要求2所述的光学滤波系统，其特征在于，所述像屏包括带有坐标刻度的白屏；在将第一坐标换算成第二坐标之前，所述控制器还配置成：根据所述坐标刻度读取所述预设频域点的第一坐标。6.根据权利要求2所述的光学滤波系统，其特征在于，所述控制器包括控制所述液晶单元的上位机，其中在调整所述第二坐标处的液晶单元的方向中，所述上位机配置成：发出显示图像指令，以控制所述液晶屏显示基于所述傅里叶图像所生成的傅里叶滤波图像。7.根据权利要求2所述的光学滤波系统，其特征在于，所述控制器为连接所述液晶单元的驱动电路，其中在调整所述第二坐标处的液晶单元的方向中，所述驱动电路配置成：
调整驱动所述液晶单元的驱动电流，以将所述液晶屏上第二坐标处的液晶单元的方向调整为横向。8.根据权利要求1所述的光学滤波系统，其特征在于，所述第一透镜包括凸透镜，并且所述第二透镜包括凸透镜。9.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括：根据权利要求1-8任一项所述的光学滤波系统；以及晶圆检测系统，其配置成：对从所述光学滤波系统所获得的晶圆检测图像进行缺陷检测，以生成晶圆检测结果。10.根据权利要求9所述的晶圆检测设备，其特征在于，所述光学滤波系统中的所述第二透镜用于对所述滤波后的傅里叶图像进行傅里叶逆变换，以形成所述晶圆检测图像；所述光学滤波系统还包括成像相机，所述成像相机位于所述第二透镜的后焦面且与所述晶圆检测系统连接；其中所述成像相机配置成：接收所述晶圆检测图像并将其传递给所述晶圆检测系统。

技术总结
本披露公开了一种用于晶圆检测的光学滤波系统以及晶圆检测设备。该血光滤波系统包括：沿光轴依次布置的第一透镜、液晶屏和第二透镜，其中液晶屏布置成位于第一透镜的后焦面和第二透镜的前焦面处，液晶屏包括液晶单元；以及控制器，用于控制液晶屏并且配置成：接收晶圆在第一透镜的后焦面上形成的傅里叶图像；根据傅里叶图像来调整液晶单元的方向，以屏蔽傅里叶图像中预设频域点的光线；向第二透镜传递经屏蔽的光线，以便通过第二透镜得到晶圆检测图像。本披露实施例通过将傅里叶滤波功能设置于光学成像光路中，使得控制器免于执行傅里叶滤波相关算法，只需控制液晶单元方向即可完成滤波，不仅大幅节省了算力资源，还提高了晶圆检测的效率。圆检测的效率。圆检测的效率。


技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：苏州高视半导体技术有限公司
技术研发日：2023.07.14
技术公布日：2023/10/20