单晶硅生产用辅助装置及单晶硅生产装置的制作方法

1.本技术涉及单晶炉技术领域，特别是涉及单晶硅生产用辅助装置及单晶硅生产装置。


背景技术：

2.随着碳达峰，碳中和概念的提出，国家对新能源的投入加大，光伏发电迎来了高速发展时期。在这种背景下，降低单晶硅生产成本、提高生产效率是各大光伏企业的首要目标。
3.单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。目前单晶硅一般采用直拉法制造，在直拉法制造单晶硅时，需将多晶硅置于单晶炉内的石英坩埚中，经过高温使其熔化，制作单晶硅。由于单晶硅在多晶熔化时挥发出一种一氧化硅颗粒，高温状态下一氧化硅颗粒会与坩埚等配件发生反应，因此，单晶炉热场在长时间运行后，需要拆卸并清理。
4.相关技术中，为实现单晶炉热场的拆装和清理，尤其是单晶炉热场的核心部件热屏的拆装和清理，出现了多种热屏拆取装置。然而，热屏拆取装置的功能较为单一，需配合人工才能完成热屏的拆装，增加了单晶硅的生产成本，降低了单晶硅的生产效率。


技术实现要素：

5.基于此，本技术提供一种单晶硅生产用辅助装置及单晶硅生产装置，以便于热屏的拆装，降低单晶硅的生产成本，提高单晶硅的生产效率。
6.本技术第一方面的实施例提供了一种单晶硅生产用辅助装置，用于单晶炉热场，所述单晶炉热场包括热屏和水冷屏，所述热屏具有与所述水冷屏连接的连接状态，以及与所述水冷屏解除连接的非连接状态，包括机架、升降组件和支撑组件，升降组件包括活动架和第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述活动架连接，并用于驱动所述活动架相对所述机架沿第一方向运动，所述第一方向为所述机架的高度方向；支撑组件包括第一支撑件；所述第一支撑件被构造为中空结构件，所述第一支撑件用于与所述热屏的凸缘至少局部接触，以承托所述热屏；所述第一支撑件被配置为绕所述第一方向转动地连接于活动架，以带动所述热屏在所述连接状态与所述非连接状态之间切换。
7.在其中一些实施例中，所述支撑组件还包括第二支撑件，所述第二支撑件被构造为中空结构件，所述第二支撑件连接于所述活动架，所述第一支撑件绕第一方向转动地连接于所述第二支撑件上。
8.在其中一些实施例中，所述第二支撑件和所述第一支撑件同轴设置；所述第二支撑件位于所述第一支撑件的沿所述第一方向的一侧，或者，所述第一支撑件位于所述第二支撑件内。
9.在其中一些实施例中，所述支撑组件还包括设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的第一旋转机构；所述第一旋转机构包括导向件和旋转件，绕所述第一方向延伸
的所述导向件设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件中的一者上，所述旋转件设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件中的另一者上，所述旋转件与所述导向件滑动配合。
10.在其中一些实施例中，所述第一支撑件上弹性连接有用于与所述热屏接触的多个阻隔部，多个所述阻隔部沿所述第一支撑件的周向间隔布置，所述阻隔部为非金属材质。
11.在其中一些实施例中，还包括第二旋转机构，所述第二旋转机构连接在所述第二支撑件和所述活动架之间，所述第二旋转机构被配置为允许所述第二支撑件相对于所述活动架绕第二方向转动，所述第二方向与所述第一方向垂直。
12.在其中一些实施例中，所述第二旋转机构包括两个旋转臂和驱动件；两个所述旋转臂分布在所述第二支撑件的两侧，每一所述旋转臂的一端与所述第二支撑件固定连接，另一端转动连接于所述活动架；所述驱动件设置在所述活动架上，所述驱动件的输出端与一所述旋转臂连接，以驱动两个所述旋转臂同步地相对于活动架绕所述第二方向转动。
13.在其中一些实施例中，还包括限位机构，所述限位机构设置在所述活动架上，所述限位机构用于限制所述第二支撑件相对于所述活动架在预设角度范围转动。
14.在其中一些实施例中，所述限位机构还包括第一限位件和第二限位件，所述第二限位件和所述第一限位件分设于所述旋转臂沿第三方向的两侧，所述第三方向与所述第一方向以及所述第二方向垂直；所述第一限位件位于所述第二支撑件的下方，并固定在所述活动架上；当所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第一位置时，所述第一支撑件与所述第一限位件抵接，其中，所述第一位置为预设角度范围的上限值所对应的位置；所述第二限位件位于所述旋转臂的下方，并固定在所述活动架上；当所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第二位置时，所述第二限位件与所述第二支撑件抵接，其中，所述第二位置为预设角度范围的下限值所对应的位置。
15.在其中一些实施例中，还包括固定件，所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第一位置时，所述第二支撑件和所述活动架之间能够通过所述固定件固定连接；其中，在所述第一位置时，所述第二支撑件的中心轴线沿第一方向延伸。
16.在其中一些实施例中，还包括固定连接于所述支撑组件的承托件，所述承托件被配置为在所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第二位置时对所述热屏提供支撑；其中，在所述第二位置时，所述第二支撑件的中心轴线与所述第一方向呈夹角。
17.在其中一些实施例中，所述活动架位于机架的一侧，所述活动架的中部以及远离所述机架的一侧被构造为镂空结构，以避让所述热屏。
18.在其中一些实施例中，所述承托件设置在支撑组件的靠近所述机架的一侧，且所述承托件朝着靠近所述镂空结构的方向延伸。
19.本技术第二方面的实施例提供了一种单晶硅生产装置，包括根据上述第一方面中任一项所述的单晶硅生产用辅助装置。
20.上述单晶硅生产用辅助装置，其升降组件包括活动架和第一驱动机构，第一驱动机构与活动架连接，并用于驱动活动架相对机架沿第一方向运动，第一方向为机架的高度方向；支撑组件包括第一支撑件；第一支撑件被构造为中空结构件，第一支撑件用于与热屏的凸缘至少局部接触，以承托热屏；第一支撑件被配置为绕第一方向转动地连接于活动架，以带动热屏在连接状态与非连接状态之间切换。如此，在进行热屏的拆取和安装时，通过使第一支撑件相对于活动架绕第一方向转动，以带动热屏在连接状态和非连接状态之间切
换，通过升降组件带动承托热屏的第一支撑件运动，操作简单，无需借助人工操作将热屏在连接状态和非连接状态之间切换，可减少热屏与人员等的接触，满足单晶硅高纯工艺要求，可降低人力成本，提高生产效率。
21.另外，在清理拆取下来的热屏时，可通过使第一支撑件相对于活动架绕第一方向转动，带动热屏转动，可方便将热屏的待清理的位置处于操作人员的可操作范围内，为操作人员清理热屏提供便利，降低操作人员的劳动强度，提高热屏清理效率，进而可提高生产效率。
附图说明
22.图1为相关技术中单晶炉热场的局部结构示意图。
23.图2为相关技术中热屏的结构示意图。
24.图3为本技术一些实施例中的一种单晶硅生产用辅助装置的结构示意图。
25.图4为本技术一些实施例中的一种单晶硅生产用辅助装置的活动架的结构示意图。
26.图5为本技术一些实施例中的一种单晶硅生产用辅助装置的支撑组件在第一视角下的结构示意图。
27.图6为本技术一些实施例中的一种单晶硅生产用辅助装置的支撑组件在第二视角下的结构示意图。
28.附图标记说明：
29.1、单晶炉热场；2、水冷屏；3、热屏；31、凸缘；
30.10、机架；110、车体；120、龙门架；
31.20、升降组件；210、活动架；210a、镂空结构；
32.30、支撑组件；310、第一支撑件；320、第二支撑件；330、第二导向件；340、阻隔部；350、弹性部；
33.40、第二旋转机构；410、旋转臂；420、驱动件；
34.50、限位机构；510、第一限位件；520、第二限位件；
35.60、固定件；610、第一子件；620、第二子件；
36.70、承托件；710、连接部；720、承托部；
37.x、第一方向；y、第二方向；z、第三方向。
具体实施方式
38.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
39.在本技术的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示
或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
40.此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
41.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
42.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
43.需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本技术所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
44.单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。单晶硅一般采用直拉法制造，在直拉法制造单晶硅时，需将多晶硅置于单晶炉内的石英坩埚中，经过高温使其熔化以制作单晶硅。由于单晶硅在多晶熔化时挥发出一种一氧化硅颗粒，高温状态下一氧化硅颗粒会与坩埚等配件发生反应，因此，单晶炉热场在长时间运行后，需要拆卸并清理。
45.请参阅图1、图2，相关技术中，为了加大晶体和熔硅之间固液界面的温度梯度，加快结晶潜热的释放以及提高晶体的冷却速率，在单晶炉热场1中的石英坩埚上方悬挂设置围绕单晶棒的热屏3，从而降低开炉功耗，节省生产成本。为快速带走结晶产生的热量，改善单晶炉热场1内的散热效果，单晶炉热场1内设置水冷屏2，热屏3套在水冷屏2的外部，热屏3的凸缘31上设置卡件，水冷屏2上设置与卡件配合的卡槽，卡件需在热屏3绕水冷屏2转动一定角度后才能卡设于卡槽内，进而使得热屏3与水冷屏2的连接；当需解除热屏3与水冷屏2的连接时，热屏3需绕水冷屏2转动一定角度，以使卡件从卡槽中脱离出来，进而解除热屏3和水冷屏2的连接。
46.为实现单晶炉热场1的核心部件热屏3的拆装和清理，出现了热屏3拆取装置。然而，热屏3拆取装置的功能较为单一，其仅具有升降功能，当需要拆取或安装位于高处的热屏3时，需人工操作使卡件卡设于卡槽或从卡槽内脱离出来，操作复杂，增加了人工成本，不符合单晶硅高纯工艺要求，降低生产效率。
47.基于上述问题，本技术提供一种单晶硅生产用辅助装置及单晶硅生产装置，以便于热屏的拆装，降低单晶硅的生产成本，提高单晶硅的生产效率。
48.请参阅图3，图3示出了本技术一些实施例中的一种单晶硅生产用辅助装置的结构示意图。本技术第一方面的实施例提供了一种单晶硅生产用辅助装置，用于单晶炉热场1，单晶炉热场1包括热屏3和水冷屏2，热屏3具有与水冷屏2连接的连接状态，以及与水冷屏2解除连接的非连接状态。该单晶硅生产用辅助装置包括机架10、升降组件20和支撑组件30，升降组件20包括活动架210和第一驱动机构(图中未示出)，第一驱动机构与活动架210连接，并用于驱动活动架210相对机架10沿第一方向x运动，第一方向x为机架10的高度方向；支撑组件30包括第一支撑件310；第一支撑件310被构造为中空结构件，第一支撑件310用于与热屏3的凸缘31至少局部接触，以承托热屏3；第一支撑件310被配置为绕第一方向x转动地连接于活动架210，以带动热屏3在连接状态与非连接状态之间切换。
49.本技术实施例提供的单晶硅生产用辅助装置，在进行热屏3拆取时，可通过第一驱动机构驱动活动架210相对固定架沿第一方向x向上运动，将第一支撑件310托起，使第一支撑件310逐渐靠近并承托热屏3，使第一支撑件310相对于活动架210绕第一方向x转动，以带动热屏3切换至非连接状态，即解除热屏3与水冷屏2的连接，然后通过第一驱动机构驱动活动架210沿固定架沿第一方向x向下运动，从而将热屏3从单晶炉热场1内拆取下来。当进行热屏3安装时，可通过第一驱动机构驱动活动架210相对固定架沿第一方向x向上运动，将承托有热屏3的第一支撑件310托起，使热屏3套在水冷屏2的外部，使第一支撑件310相对于活动架210绕第一方向x转动，以带动热屏3切换至连接状态，也就是说热屏3与水冷屏2连接，从而完成热屏3的安装。综上，本技术的辅助装置在进行热屏3的拆取和安装时，通过使第一支撑件310相对于活动架210绕第一方向x转动，以带动热屏3在连接状态和非连接状态之间切换，通过升降组件20带动承托热屏3的第一支撑件310运动，操作简单，无需借助人工操作将热屏3在连接状态和非连接状态之间切换，可减少热屏3与人员等的接触，满足单晶硅高纯工艺要求，可降低人力成本，提高生产效率。
50.另外，在清理拆取下来的热屏3时，可通过使第一支撑件310相对于活动架210绕第一方向x转动，带动热屏3转动，可方便将热屏3的待清理的位置处于操作人员的可操作范围内，为操作人员清理热屏3提供便利，降低操作人员的劳动强度，提高热屏3清理效率，进而提高生产效率。
51.示例性的，机架10可为推车形式，也可为龙门架形式，也可为推车和龙门架相结合的形式。优选地，如图3所示，机架10可包括车体110和龙门架120，龙门架120固定在车体110上，活动架210可活动连接在龙门架120上，第一驱动机构用于驱动活动架210在龙门架120上沿第一方向x运动，第一方向x为龙门架120的高度方向。如此，可提高活动架210相对于机架10沿第一方向x运动的稳定性。
52.进一步地，活动架210和龙门架120可通过滑动组件(图中未示出)活动连接，滑动组件包括滑动配合的滑槽和滑轮，滑槽优选为t型滑槽，滑槽可开设在龙门架120上，滑轮可设置在活动架210上。通过使活动架210和龙门架120之间通过滑动组件活动连接，可提高活动架210相对于机架10沿第一方向x运动的顺畅性和稳定性。
53.进一步地，车体110的一侧设置推拉扶手；车体110的底部四角安装移动轮，靠近推拉扶手的两个移动轮可为万向自锁轮，远离推拉扶手的两个移动轮可为定向轮；车体110的
远离推拉扶手的一侧设置折叠支撑架，车体110上可设置可折叠拖拽三脚架；车体110的底部可与agv配合；如此，可方便车体110的行走和停止，可方便操作人员转移热屏3。在清理热屏3时可将折叠支撑架支撑在地面上，可提高车体110的稳定性。通过可折叠拖拽三脚架可方便拉动车体110，或者车体110的底部与agv配合，实现自动化运输，从而提高热屏3转移效率。
54.示例性的，第一驱动机构可为电动、液压、气动、手动的驱动机构。当第一驱动机构为电动驱动机构时，可为电机或电动推杆。当第一驱动机构为液压驱动机构时，可为液压缸、脚踏式液压升降机等。
55.结合图3、图5和图6所示，在其中一些实施例中，支撑组件30还包括第二支撑件320，第二支撑件320被构造为中空结构件，第二支撑件320连接于活动架210，第一支撑件310绕第一方向x转动地连接于第二支撑件320上。通过使第二支撑件320连接于活动架210，第一支撑件310绕第一方向x转动地连接于第二支撑件320上，从而可方便第一支撑件310绕第一方向x转动地连接于活动架210上，第二支撑件320被构造为中空结构件，可避让热屏3，从而可方便第一支撑件310承托热屏3。
56.进一步地，第一支撑件310和第二支撑件320均可为环形结构件。
57.在其中一些实施例中，第二支撑件320和所述第一支撑件310同轴设置；第二支撑件320位于第一支撑件310的沿第一方向x的一侧，或者，第一支撑件310位于第二支撑件320内。如此，可方便第一支撑件310和第二支撑件320之间的配合。
58.在其中一些实施例中，支撑组件30还包括设置在第一支撑件310和第二支撑件320之间的第一旋转机构(图中未示出)；第一旋转机构包括第一导向件和旋转件，绕第一方向x延伸的第一导向件设置在第一支撑件310和第二支撑件320中的一者上，旋转件设置在第一支撑件310和第二支撑件320中的另一者上，旋转件与第一导向件滑动配合。如此，以方便第一支撑件310绕第一方向x转动地连接于第二支撑件320上，提高第一支撑件310相对于第二支撑件320绕第一方向x转动的顺畅性。
59.在一些实施例中，第一旋转机构330包括滑槽和多个滚动体，滑槽绕第一方向x延伸并设置在第一支撑件310和第二支撑件320中的一者上，滚动体可为滚珠，多个滚动体绕第一方向x间隔布置，并凸出设置在第一支撑件310和第二支撑件320中的另一者上，并能够在第一支撑件310和第二支撑件320中的另一者上转动；多个所述滚动体滑动配合在所述滑槽内。通过多个滚动体和滑槽的滑动配合，以方便第一支撑件310绕第一方向x转动地连接于第二支撑件320上，提高第一支撑件310相对于第二支撑件320绕第一方向x转动的顺畅性。
60.结合图3和图6所示，在一些实施例中，第一旋转机构还包括多个第二导向件330，多个第二导向件330固定在第一支撑件310的靠近第二支撑件320的一侧，且多个第二导向件330绕第一方向x间隔布置，多个第二导向件330的靠近第二支撑件320的一端均开设有环槽，所述环槽与第二支撑件320的内侧壁抵接，如此，可减小第一支撑件310相对于第二支撑件320绕第一方向x转动时的径向移动或晃动，提高第一支撑件310相对于第二支撑件320转动时的稳定性。
61.结合图3和图5所示，在其中一些实施例中，第一支撑件310上弹性连接有用于与热屏3接触的多个阻隔部340，多个阻隔部340沿第一支撑件310的周向间隔布置，阻隔部340为
非金属材质。如此，可减小第一支撑件310与热屏3的接触面积，避免第一支撑件310与热屏3之间发生反应，如金属扩散，可减小对热屏3污染的可能性，从而减小对炉内硅液造成污染的可能性。另外，阻隔部340弹性连接在第一支撑件310上，当热屏3被承托在阻隔部340上时，可对热屏3起到缓冲作用，保护热屏3安全。
62.结合图4所示，进一步地，阻隔部340可通过弹性部350连接在第一支撑件310上，弹性部350可为橡胶材质。
63.结合图3和图4所示，在其中一些实施例中，还包括第二旋转机构40，第二旋转机构40连接在第二支撑件320和活动架210之间，第二旋转机构40被配置为允许第二支撑件320相对于活动架210绕第二方向y转动，第二方向y与第一方向x垂直。如此，可方便热屏3待清理的区域(尤其是热屏3的底部以及靠近底部的区域)位于操作人员的可操作范围，为操作人员清理热屏3提供便利，降低操作人员的劳动强度，保证操作人员的安全，提高热屏3清理效率。
64.在其中一些实施例中，第二旋转机构40包括两个旋转臂410和驱动件420；两个旋转臂410分布在第二支撑件320的两侧，每一旋转臂410的一端与第二支撑件320固定连接，另一端转动连接于活动架210；驱动件420设置在活动架210上，驱动件420的输出端与一旋转臂410连接，以驱动两个旋转臂410同步地相对于活动架210绕第二方向y转动。如此，可方便驱动第二支撑件320相对于活动架210绕第二方向y转动。
65.进一步地，驱动件420可为具有回转功能的驱动件420，例如，手摇减速器。
66.结合图3和图4所示，在其中一些实施例中，还包括限位机构50，限位机构50设置在活动架210上，限位机构50用于限制第二支撑件320相对于活动架210在预设角度范围转动。如此，在清理热屏3时，可通过限位机构50调整第二支撑件320相对于活动架210的转动角度，以方便热屏3待清理的区域位于操作人员的可操作范围内，为操作人员清理热屏3提供便利，降低操作人员的劳动强度，保证操作人员的安全，提高热屏3清理效率。
67.结合图2所示，在其中一些实施例中，限位机构50还包括第一限位件510和第二限位件520，第二限位件520和第一限位件510分设于旋转臂410沿第三方向z的两侧，第三方向z与第一方向x以及第二方向y垂直；第一限位件510位于第二支撑件320的下方，并固定在活动架210上；当第二支撑件320相对于所述活动架210转动至第一位置时，第二支撑件320与第一限位件510抵接，其中，第一位置为预设角度范围的上限值所对应的位置。第二限位件520位于旋转臂410的下方，并固定在活动架210上；当第二支撑件320相对于活动架210转动至第二位置时，第二限位件520与第二支撑件320抵接，其中，第二位置为预设角度范围的下限值所对应的位置。如此，可方便将第二支撑件320相对于活动架210的转动角度限制的预设角度范围。
68.进一步地，第一限位件510的数量为两个，第二限位件520的数量为两个，两个第一限位件510间隔布置在第二支撑件320的下方，两个第二限位件520分别位于对应旋转臂410的下方。如此，当第二支撑件320相对于活动架210转动至第一位置时，两个第一限位件510与第二支撑件320抵接，当第二支撑件320相对于活动架210转动至第二位置时，两个第二限位件520与第二支撑件320接，从而可提高支撑组件30在第一位置和第二位置时的稳定性。
69.结合图3和图4所示，在其中一些实施例中，还包括固定件60，第二支撑件320相对于活动架210转动至第一位置时，第二支撑件320和活动架210之间能够通过固定件60固定
连接；其中，在第一位置时，第二支撑件320的中心轴线沿第一方向x延伸。如此，可将第二支撑件320固定在第一位置，在第一位置时，第二支撑件320的中心轴线沿第一方向x延伸，可方便升降组件20带动支撑组件30以及热屏3沿第一方向x运动。
70.结合图3所示，在其中一些实施例中，固定件60包括第一子件610和第二子件620，第一子件610设置在活动架210上，第二子件620设置在第二支撑件320上，当第二支撑件320相对于活动架210在第一位置时，第一子件610和所述第二子件620之间通过紧固件连接，从而实现第二支撑件320和活动架210的固定连接。
71.进一步地，第一子件610可设置在第一限位件510上，对应的，第一子件610和第二子件620的数量可为两个。
72.进一步地，第一子件610开设有第一安装孔，第二子件620上开设有第二安装孔，以方便第一子件610和第二子件620通过紧固件连接。
73.结合图3所示，在其中一些实施例中，还包括固定连接于支撑组件30的承托件70，承托件70被配置为在第二支撑件320相对于活动架210转动至第二位置时对热屏3提供支撑；其中，在第二位置时，第二支撑件320的中心轴线与第一方向x呈夹角。一方面，承托件70可对热屏3提供支撑，使得热屏3稳定在相应位置，以方便热屏3的清理，另一方面，可使热屏3受到多点支撑，避免热屏3的局部受力过大发生损伤。
74.结合图3、图4所示，在其中一些实施例中，活动架210位于机架10的一侧，活动架210的中部以及远离机架10的一侧被构造为镂空结构210a，以避让热屏3，以方便使热屏3的底部以及靠近底部的区域位于操作人员的可操作范围内，为操作人员清理热屏3提供便利，降低操作人员的劳动强度，保证操作人员的安全，提高热屏3清理效率。
75.结合图3所示，在其中一些实施例中，承托件70设置在支撑组件30的靠近机架10的一侧，且承托件70朝着靠近镂空结构210a的方向延伸。如此，当第二支撑件320相对于活动架210向着靠近机架10的方向转动并至第二位置时，承托件70可对热屏3提供支撑，使得热屏3稳定在相应位置，以方便热屏3的清理。
76.结合图3所示，进一步地，承托件70包括连接部710和承托部720，连接部710设置在支撑组件30的靠近机架10的一侧，并朝着靠近镂空结构210a的方向延伸；承托部720连接于连接部710，承托部720被构造为具有与热屏3的外壁抵接的弧形面。以增加承托件70与热屏3的接触面积，方便使热屏3稳定在相应位置，进而方便热屏3的清理。
77.进一步地，承托部720可拆卸地连接于连接部710，如此可方便承托部720的更换。
78.进一步地，承托部720的弧形面上设置阻隔部340，阻隔部340为非金属材质。避免承托部720与热屏3之间发生反应，如金属扩散，可减小对热屏3污染的可能性，从而减小对炉内硅液造成污染的可能性。
79.本技术第二方面的实施例提供了一种单晶硅生产装置，包括根据上述第一方面中任一项所述的单晶硅生产用辅助装置。
80.本技术实施例提供的单晶硅生产装置，包括单晶硅生产用辅助装置，单晶硅生产用辅助装置的升降组件20包括活动架210和第一驱动机构，第一驱动机构与活动架210连接，并用于驱动活动架210相对机架10沿第一方向x运动，第一方向x为机架10的高度方向；支撑组件30包括第一支撑件310；第一支撑件310被构造为中空结构件，第一支撑件310用于与热屏3的凸缘至少局部接触，以承托热屏3；第一支撑件310被配置为绕第一方向x转动地
连接于活动架210，以带动热屏3在连接状态与非连接状态之间切换。如此，在进行热屏3的拆取和安装时，通过使第一支撑件310相对于活动架210绕第一方向x转动，以带动热屏3在连接状态和非连接状态之间切换，通过升降组件20带动承托热屏3的第一支撑件310运动，操作简单，无需借助人工操作将热屏3在连接状态和非连接状态之间切换，可减少热屏3与人员等的接触，满足单晶硅高纯工艺要求，可降低人力成本，提高生产效率。另外，在清理拆取下来的热屏3时，可通过使第一支撑件310相对于活动架210绕第一方向x转动，带动热屏3转动，可方便将热屏3的待清理的位置处于操作人员的可操作范围内，为操作人员清理热屏3提供便利，降低操作人员的劳动强度，提高热屏3清理效率，进而可提高生产效率。
81.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
82.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。

技术特征：
1.一种单晶硅生产用辅助装置，用于单晶炉热场，所述单晶炉热场包括热屏和水冷屏，所述热屏具有与所述水冷屏连接的连接状态，以及与所述水冷屏解除连接的非连接状态，其特征在于，包括：机架；升降组件，包括活动架和第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述活动架连接，并用于驱动所述活动架相对所述机架沿第一方向运动，所述第一方向为所述机架的高度方向；支撑组件，包括第一支撑件；所述第一支撑件被构造为中空结构件，所述第一支撑件用于与所述热屏的凸缘至少局部接触，以承托所述热屏；所述第一支撑件被配置为绕所述第一方向转动地连接于活动架，以带动所述热屏在所述连接状态与所述非连接状态之间切换。2.根据权利要求1所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述支撑组件还包括第二支撑件，所述第二支撑件被构造为中空结构件，所述第二支撑件连接于所述活动架，所述第一支撑件绕第一方向转动地连接于所述第二支撑件上。3.根据权利要求2所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述第二支撑件和所述第一支撑件同轴设置；所述第二支撑件位于所述第一支撑件的沿所述第一方向的一侧，或者，所述第一支撑件位于所述第二支撑件内。4.根据权利要求2所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述支撑组件还包括设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间的第一旋转机构；所述第一旋转机构包括导向件和旋转件，绕所述第一方向延伸的所述导向件设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件中的一者上，所述旋转件设置在所述第一支撑件和所述第二支撑件中的另一者上，所述旋转件与所述导向件滑动配合。5.根据权利要求1所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述第一支撑件上弹性连接有用于与所述热屏接触的多个阻隔部，多个所述阻隔部沿所述第一支撑件的周向间隔布置，所述阻隔部为非金属材质。6.根据权利要求2-4任一项所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，还包括第二旋转机构，所述第二旋转机构连接在所述第二支撑件和所述活动架之间，所述第二旋转机构被配置为允许所述第二支撑件相对于所述活动架绕第二方向转动，所述第二方向与所述第一方向垂直。7.根据权利要求6所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述第二旋转机构包括两个旋转臂和驱动件；两个所述旋转臂分布在所述第二支撑件的两侧，每一所述旋转臂的一端与所述第二支撑件固定连接，另一端转动连接于所述活动架；所述驱动件设置在所述活动架上，所述驱动件的输出端与一所述旋转臂连接，以驱动两个所述旋转臂同步地相对于活动架绕所述第二方向转动。8.根据权利要求7所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，还包括限位机构，所述限位机构设置在所述活动架上，所述限位机构用于限制所述第二支撑件相对于所述活动架在预设角度范围转动。9.根据权利要求8所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述限位机构还包括第
一限位件和第二限位件，所述第二限位件和所述第一限位件分设于所述旋转臂沿第三方向的两侧，所述第三方向与所述第一方向以及所述第二方向垂直；所述第一限位件位于所述第二支撑件的下方，并固定在所述活动架上；当所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第一位置时，所述第二支撑件与所述第一限位件抵接，其中，所述第一位置为预设角度范围的上限值所对应的位置；所述第二限位件位于所述旋转臂的下方，并固定在所述活动架上；当所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第二位置时，所述第二限位件与所述第二支撑件抵接，其中，所述第二位置为预设角度范围的下限值所对应的位置。10.根据权利要求8所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，还包括固定件，所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第一位置时，所述第二支撑件和所述活动架之间能够通过所述固定件固定连接；其中，在所述第一位置时，所述第二支撑件的中心轴线沿第一方向延伸。11.根据权利要求8所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，还包括固定连接于所述支撑组件的承托件，所述承托件被配置为在所述第二支撑件相对于所述活动架转动至第二位置时对所述热屏提供支撑；其中，在所述第二位置时，所述第二支撑件的中心轴线与所述第一方向呈夹角。12.根据权利要求11所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述活动架位于机架的一侧，所述活动架的中部以及远离所述机架的一侧被构造为镂空结构，以避让所述热屏。13.根据权利要求12所述的单晶硅生产用辅助装置，其特征在于，所述承托件设置在支撑组件的靠近所述机架的一侧，且所述承托件朝着靠近所述镂空结构的方向延伸。14.一种单晶硅生产装置，其特征在于，根据权利要求1至13任一项所述的单晶硅生产用辅助装置。

技术总结
本申请涉及一种单晶硅生产用辅助装置及单晶硅生产装置。该单晶硅生产用辅助装置包括机架、升降组件和支撑组件，升降组件包括活动架和第一驱动机构，第一驱动机构与活动架连接，并用于驱动活动架相对机架沿第一方向运动，第一方向为机架的高度方向；支撑组件包括第一支撑件；第一支撑件被构造为中空结构件，第一支撑件用于与热屏的凸缘至少局部接触，以承托热屏；第一支撑件被配置为绕第一方向转动地连接于活动架，以带动热屏在连接状态与非连接状态之间切换。本申请的辅助装置操作简单，无需借助人工操作将热屏在连接状态和非连接状态之间切换，可减少热屏与人员等的接触，满足单晶硅高纯工艺要求，可降低人力成本，提高生产效率。生产效率。生产效率。


技术研发人员：王剑桥 马玉花
受保护的技术使用者：天合光能股份有限公司
技术研发日：2023.05.19
技术公布日：2023/10/20