一种网版表面处理用蒸镀装置及其处理方法与流程

1.本发明涉及蒸镀技术领域，具体为一种网版表面处理用蒸镀装置及其处理方法。


背景技术：

2.蒸镀设备是一种化学气相沉积设备，用于制备薄膜材料，如金属、半导体和电介质等。蒸镀设备的工作原理是通过加热蒸发材料，使其气化并沉积在基板上，从而形成薄膜；现在的蒸镀装置在对镀膜材料加热的时候，由于需要将镀膜材料气化，所以前期的加热时间较长，但是现有的蒸镀装置内部空间较大，所需的热量较高，耗费的能源较大，因此需要对蒸镀装置的结构进行改进。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本发明提供了一种网版表面处理用蒸镀装置及其处理方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一方面，本发明提供一种网版表面处理用蒸镀装置，包括蒸镀罐，所述蒸镀罐的内部设置有蒸发腔，所述蒸发腔内安装有加热体，所述蒸发腔内装有镀膜材料，所述蒸镀罐内部上方具有翻转组件，所述翻转组件包括：翻转架，其内部用于容纳网版，所述翻转架在旋转件的带动下可相对蒸镀罐的内壁沿水平轴线方向转动；所述翻转架的下方设置有阻挡件，所述阻挡件在旋转件的带动下可转动；所述阻挡件可将蒸镀罐分为上部空间和下部空间，上部空间用于容纳翻转架，下部空间用于容纳所述加热体形成的热量；所述阻挡件具有开、关两种状态，当阻挡件处于开的状态时、所述上部空间与下部空间连通；当阻挡件处于关的状态时、所述上部空间与下部空间相对封闭；通过上述方案，当蒸发腔内部的加热体对镀膜材料加热的时候、并且还为达到指定温度之前，可以通过阻挡件将蒸镀罐分为两个部分，让蒸镀罐下部空间与上部空间分割，为加热体提供更小的加热空间，从而减少能源消耗，达到节能环保的作用。
5.优选的，所述蒸发腔的外部具有活动组件，所述活动组件包括挡板，所述挡板活动安装在所述蒸发腔的顶部。
6.优选的，所述活动组件还包括扰动杆，所述扰动杆在驱动件的带动下可在所述蒸发腔的内部转动，对所述蒸发腔内部的镀膜材料扰动，当加热到蒸发温度时，通过扰动干对蒸镀材料翻动，使蒸镀材料下方位置的材料翻动，使其加热均匀。
7.优选的，所述蒸镀罐上部空间和下部空间之间具有放置台阶，所述放置台阶的中部具有开放口，所述翻转组件还包括：移动架，所述移动架与放置台阶滑动连接；
连通口，开设在所述移动架的底部，所述连通口与蒸镀罐的下部空间贯通；第一齿轮，连接在所述翻转架的一端，所述第一齿轮通过轴承与所述移动架的内壁转动连接；所述翻转架具有多个，多个翻转架竖向平行摆放；所述第一齿轮的下方具有第一齿条，所述第一齿条与第一齿轮啮合；驱动装置，其输出端连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮用于第一齿条啮合，所述驱动齿轮延伸至移动架的内部；通过上述方案，当第一齿条带动第一齿轮转动后，第一齿轮带动翻转架转动，从而让翻转架和其内部的网版处于倾斜的状态，在该状态下，被蒸发的蒸镀材料能够有效进入到翻转架的内部，达到镀膜效果。
8.优选的，所述移动架的内底部设置有开关板，所述开关板可将连通口遮挡，所述开关板的外壁具有齿牙，所述第一齿条的底部连接有第二齿条，所述第二齿条与开关板外壁的齿牙啮合。
9.优选的，所述活动组件还包括：旋转轴，连接在所述开关板的底部，所述旋转轴的底部连接有第二齿轮；设置在所述挡板一端的第三齿条，所述第二齿轮与第三齿条啮合；当所述第二齿轮转动时可带动第三齿条移动，促使挡板移动。
10.优选的，所述旋转轴位于蒸发腔内部的一端连接有螺旋杆，所述螺旋杆连接在扰流杆的一端。
11.优选的，所述蒸镀罐的内底部开设有进气腔，所述进气腔的一端与蒸镀罐内部连通，进气腔的另一端与蒸发腔的内部连通，所述进气腔位于蒸镀罐内部的一端连接有气囊，所述气囊的另一端与挡板的一端连接。
12.优选的，所述挡板的一端连接有滑块，所述蒸发腔的一端连接有滑杆，所述滑块与滑杆滑动连接，所述滑块的一端与滑杆的末端之间通过弹簧弹性连接。
13.另一方面，本发明提供一种网版表面处理方法，包括以下步骤：将移动架抽出，然后将需要处理的网版放入移动架内的翻转架内，然后再将移动架插入到蒸镀罐内；启动加热体，将镀膜材料放入蒸发腔内，加热体对镀膜材料加热；待镀膜材料加热至蒸发状态后，启动驱动装置，带动驱动齿轮转动，驱动齿轮带动第一齿条滑动，第一齿条带动第一齿轮转动，第一齿轮带动翻转架转动，使翻转架及其内部的网版处于倾斜状态；在第一齿条滑动的同时，第二齿条同步移动，第二齿条与开关板外壁的齿牙啮合，开关板转动，使开关板与移动架底部的连通口分离，使蒸发腔内被蒸发成气态的镀膜材料能够进入到翻转架的内部，完成镀膜工作。
14.与现有技术相比，本发明提供了一种网版表面处理用蒸镀装置及其处理方法，具备以下有益效果：1、本发明通过蒸发腔内部的加热体对镀膜材料加热、并且还未达到指定温度之前，可以通过阻挡件将蒸镀罐分为两个部分，让蒸镀罐下部空间与上部空间分割，为加热体提供更小的加热空间，从而减少能源消耗，达到节能环保的作用。
15.2、本发明扰动杆在驱动件的带动下可在所述蒸发腔的内部转动，对所述蒸发腔内部的镀膜材料扰动，当加热到蒸发温度时，通过扰动干对蒸镀材料翻动，使蒸镀材料下方位置的材料翻动，使其加热均匀。
16.3、本发明挡板在旋转轴底部的第二齿轮的带动下，挡板而已朝一侧滑动，当滑动的时候，可以对气囊进行压缩，从而让进气腔的内部产生气体，然后气体从进气腔的另一端进入到蒸发腔的内部，从而对蒸发腔内部的镀膜材料向上吹，从而让镀膜材料快速上升到翻转架的内部，对网版进行蒸镀工作。
17.4、本发明当挡板滑动的时候，可以对气囊进行压缩，从而让进气腔的内部产生气体，然后气体从进气腔的另一端进入到蒸发腔的内部，从而对蒸发腔内部的镀膜材料向上吹，从而让镀膜材料快速上升到翻转架的内部，对网版进行蒸镀工作。
附图说明
18.图1为本发明立体图；图2为本发明部分剖视图；图3为本发明爆炸图；图4为本发明半剖图；图5为本发明图4中a处放大图；图6为本发明翻转架的立体图；图7为本发明阻挡件的结构图；图8为本发明活动组件的立体图；图9为本发明翻转架的状态变化图；图10为本发明反转组件和活动组件的正视图。
19.图中：110、蒸镀罐；120、排气口；130、抽气口；140、进气口；150、蒸发腔；160、加热体；170、放置台阶；200、翻转组件；210、移动架；220、连通口；230、翻转架；240、网版；250、开关板；260、第一齿条；270、第一齿轮；280、驱动装置；281、驱动齿轮；290、第二齿条；300、活动组件；310、挡板；320、第三齿条；330、旋转轴；340、第二齿轮；350、滑块；360、滑杆；370、弹簧；380、进气腔；390、气囊。
实施方式实施例
20.参阅图1、图2、图3，本实施例提供一种网版表面处理用蒸镀装置，包括蒸镀罐110，所述蒸镀罐110的内部设置有蒸发腔150，所述蒸发腔150内安装有加热体160，所述蒸发腔150内装有镀膜材料，所述蒸镀罐110的外部设置有排气口120、抽气口130和进气口140，所述蒸镀罐110内部上方具有翻转组件200，所述翻转组件200包括：翻转架230，其内部用于容纳网版240，所述翻转架230在电机的带动下可相对蒸镀罐110的内壁沿水平轴线方向转动；所述翻转架230的下方设置有阻挡件，所述阻挡件在电机的带动下可转动；所述阻挡件可将蒸镀罐110分为上部空间和下部空间，上部空间用于容纳翻转架
230，下部空间用于容纳所述加热体160形成的热量；所述阻挡件具有开、关两种状态，当阻挡件处于开的状态时、所述上部空间与下部空间连通；当阻挡件处于关的状态时、所述上部空间与下部空间相对封闭；通过上述方案，当蒸发腔150内部的加热体160对镀膜材料加热的时候、并且还未达到指定温度之前，可以通过阻挡件将蒸镀罐110分为两个部分，让蒸镀罐110下部空间与上部空间分割，为加热体160提供更小的加热空间，从而减少能源消耗，达到节能环保的作用，上述加热体160可以是电热线圈。
21.继续参阅图4、图5，作为一种可能的实施例，所述蒸发腔150的外部具有活动组件300，所述活动组件300包括挡板310，所述挡板310活动安装在所述蒸发腔150的顶部；所述活动组件300还包括扰动杆331，所述扰动杆331在驱动件的带动下可在所述蒸发腔150的内部转动，对所述蒸发腔150内部的镀膜材料扰动，当加热到蒸发温度时，通过扰动干331对蒸镀材料翻动，使蒸镀材料下方位置的材料翻动，使其加热均匀。
22.如图3、图6所示，所述蒸镀罐110上部空间和下部空间之间具有放置台阶170，所述放置台阶170的中部具有开放口，所述翻转组件200还包括：移动架210，所述移动架210与放置台阶170滑动连接，在移动架210的前方还设置有门板，该门板与移动架210的前端铰接；连通口220，开设在所述移动架210的底部，所述连通口220与蒸镀罐110的下部空间贯通；第一齿轮270，连接在所述翻转架230的一端，所述第一齿轮270通过轴承与所述移动架210的内壁转动连接；所述翻转架230具有多个，多个翻转架230竖向平行摆放；所述第一齿轮270的下方具有第一齿条260，所述第一齿条260与第一齿轮270啮合；驱动装置280，该驱动装置280可以是电机，其输出端连接有驱动齿轮281，所述驱动齿轮281用于第一齿条260啮合，所述驱动齿轮281延伸至移动架210的内部；通过上述方案，当第一齿条260带动第一齿轮270转动后，第一齿轮270带动翻转架230转动，从而让翻转架230和其内部的网版240处于倾斜的状态，在该状态下，被蒸发的蒸镀材料能够有效进入到翻转架230的内部，达到镀膜效果。
23.如图7、图8、图9、图10所示，上面所说的阻挡件为设置在所述移动架210内底部的开关板250，所述开关板250可将连通口220遮挡，所述开关板250的外壁具有齿牙，所述第一齿条260的底部连接有第二齿条290，所述第二齿条290与开关板250外壁的齿牙啮合。
24.所述活动组件300还包括：旋转轴330，连接在所述开关板250的底部，所述旋转轴330的底部连接有第二齿轮340；设置在所述挡板310一端的第三齿条320，所述第二齿轮340与第三齿条320啮合；当所述第二齿轮340转动时可带动第三齿条320移动，促使挡板310移动。
25.所述旋转轴330位于蒸发腔150内部的一端连接有螺旋杆332，所述螺旋杆332连接在扰流杆331的一端；
需要说明的是，上述螺旋杆332的底端还具有倾斜形状，通过螺旋杆332转动，其底部的倾斜形状的部分可以对蒸发腔150底部的镀膜材料铲起，从而达到翻动的效果。
26.如图5所示，所述蒸镀罐110的内底部开设有进气腔380，所述进气腔380的一端与蒸镀罐110内部连通，进气腔380的另一端与蒸发腔150的内部连通，所述进气腔380位于蒸镀罐110内部的一端连接有气囊390，所述气囊390的另一端与挡板310的一端连接；通过上述方案，当挡板310在旋转轴330底部的第二齿轮340的带动下，挡板310而已朝一侧滑动，当滑动的时候，可以对气囊390进行压缩，从而让进气腔380的内部产生气体，然后气体从进气腔380的另一端进入到蒸发腔150的内部，从而对蒸发腔150内部的镀膜材料向上吹，从而让镀膜材料快速上升到翻转架230的内部，对网版240进行蒸镀工作。
27.所述挡板310的一端连接有滑块350，所述蒸发腔150的一端连接有滑杆360，所述滑块350与滑杆360滑动连接，所述滑块350的一端与滑杆360的末端之间通过弹簧370弹性连接。
实施例
28.本实施例提供一种网版表面处理方法，包括以下步骤：将移动架210抽出，然后将需要处理的网版240放入移动架210内的翻转架230内，然后再将移动架210插入到蒸镀罐110内；启动加热体160，将镀膜材料放入蒸发腔150内，加热体160对镀膜材料加热；待镀膜材料加热至蒸发状态后，启动驱动装置280，带动驱动齿轮281转动，驱动齿轮281带动第一齿条260滑动，第一齿条260带动第一齿轮270转动，第一齿轮270带动翻转架230转动，使翻转架230及其内部的网版240处于倾斜状态；在第一齿条260滑动的同时，第二齿条290同步移动，第二齿条290与开关板250外壁的齿牙啮合，开关板250转动，使开关板250与移动架210底部的连通口220分离，使蒸发腔150内被蒸发成气态的镀膜材料能够进入到翻转架230的内部，完成镀膜工作。

技术特征：
1.一种网版表面处理用蒸镀装置，包括蒸镀罐（110），所述蒸镀罐（110）的内部设置有蒸发腔（150），所述蒸发腔（150）内安装有加热体（160），所述蒸发腔（150）内装有镀膜材料，其特征在于：所述蒸镀罐（110）内部上方具有翻转组件（200），所述翻转组件（200）包括：翻转架（230），其内部用于容纳网版（240），所述翻转架（230）在旋转件的带动下可相对蒸镀罐（110）的内壁沿水平轴线方向转动；所述翻转架（230）的下方设置有阻挡件，所述阻挡件在旋转件的带动下可转动；所述阻挡件可将蒸镀罐（110）分为上部空间和下部空间，上部空间用于容纳翻转架（230），下部空间用于容纳所述加热体（160）形成的热量；所述阻挡件具有开、关两种状态，当阻挡件处于开的状态时、所述上部空间与下部空间连通；当阻挡件处于关的状态时、所述上部空间与下部空间相对封闭。2.根据权利要求1所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发腔（150）的外部具有活动组件（300），所述活动组件（300）包括挡板（310），所述挡板（310）活动安装在所述蒸发腔（150）的顶部。3.根据权利要求2所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述活动组件（300）还包括扰动杆（331），所述扰动杆（331）在驱动件的带动下可在所述蒸发腔（150）的内部转动，对所述蒸发腔（150）内部的镀膜材料扰动。4.根据权利要求3所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀罐（110）上部空间和下部空间之间具有放置台阶（170），所述放置台阶（170）的中部具有开放口，所述翻转组件（200）还包括：移动架（210），所述移动架（210）与放置台阶（170）滑动连接；连通口（220），开设在所述移动架（210）的底部，所述连通口（220）与蒸镀罐（110）的下部空间贯通；第一齿轮（270），连接在所述翻转架（230）的一端，所述第一齿轮（270）通过轴承与所述移动架（210）的内壁转动连接；所述翻转架（230）具有多个，多个翻转架（230）竖向平行摆放；所述第一齿轮（270）的下方具有第一齿条（260），所述第一齿条（260）与第一齿轮（270）啮合；驱动装置（280），其输出端连接有驱动齿轮（281），所述驱动齿轮（281）用于第一齿条（260）啮合，所述驱动齿轮（281）延伸至移动架（210）的内部。5.根据权利要求4所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述移动架（210）的内底部设置有开关板（250），所述开关板（250）可将连通口（220）遮挡，所述开关板（250）的外壁具有齿牙，所述第一齿条（260）的底部连接有第二齿条（290），所述第二齿条（290）与开关板（250）外壁的齿牙啮合。6.根据权利要求5所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述活动组件（300）还包括：旋转轴（330），连接在所述开关板（250）的底部，所述旋转轴（330）的底部连接有第二齿轮（340）；设置在所述挡板（310）一端的第三齿条（320），所述第二齿轮（340）与第三齿条（320）啮
合；当所述第二齿轮（340）转动时可带动第三齿条（320）移动，促使挡板（310）移动。7.根据权利要求6所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述旋转轴（330）位于蒸发腔（150）内部的一端连接有螺旋杆（332），所述螺旋杆（332）连接在扰流杆（331）的一端。8.根据权利要求7所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀罐（110）的内底部开设有进气腔（380），所述进气腔（380）的一端与蒸镀罐（110）内部连通，进气腔（380）的另一端与蒸发腔（150）的内部连通，所述进气腔（380）位于蒸镀罐（110）内部的一端连接有气囊（390），所述气囊（390）的另一端与挡板（310）的一端连接。9.根据权利要求8所述的一种网版表面处理用蒸镀装置，其特征在于：所述挡板（310）的一端连接有滑块（350），所述蒸发腔（150）的一端连接有滑杆（360），所述滑块（350）与滑杆（360）滑动连接，所述滑块（350）的一端与滑杆（360）的末端之间通过弹簧（370）弹性连接。10.一种网版表面处理方法，其特征在于：用权利要求8所述的蒸镀装置实现，包括以下步骤：将移动架（210）抽出，然后将需要处理的网版（240）放入移动架（210）内的翻转架（230）内，然后再将移动架（210）插入到蒸镀罐（110）内；启动加热体（160），将镀膜材料放入蒸发腔（150）内，加热体（160）对镀膜材料加热；待镀膜材料加热至蒸发状态后，启动驱动装置（280），带动驱动齿轮（281）转动，驱动齿轮（281）带动第一齿条（260）滑动，第一齿条（260）带动第一齿轮（270）转动，第一齿轮（270）带动翻转架（230）转动，使翻转架（230）及其内部的网版（240）处于倾斜状态；在第一齿条（260）滑动的同时，第二齿条（290）同步移动，第二齿条（290）与开关板（250）外壁的齿牙啮合，开关板（250）转动，使开关板（250）与移动架（210）底部的连通口（220）分离，使蒸发腔（150）内被蒸发成气态的镀膜材料能够进入到翻转架（230）的内部，完成镀膜工作。

技术总结
本发明涉及蒸镀领域，且公开了一种网版表面处理用蒸镀装置，包括蒸镀罐，所述蒸镀罐的内部设置有蒸发腔，所述蒸发腔内安装有加热体，所述蒸发腔内装有镀膜材料，所述蒸镀罐内部上方具有翻转组件，所述翻转组件包括翻转架，其内部用于容纳网版，所述翻转架在旋转件的带动下可相对蒸镀罐的内壁沿水平轴线方向转动；所述翻转架的下方设置有阻挡件，所述阻挡件在旋转件的带动下可转动。本发明通过蒸发腔内部的加热体对镀膜材料加热、并且还未达到指定温度之前，可以通过阻挡件将蒸镀罐分为两个部分，让蒸镀罐下部空间与上部空间分割，为加热体提供更小的加热空间，从而减少能源消耗，达到节能环保的作用。达到节能环保的作用。达到节能环保的作用。


技术研发人员：冯立文
受保护的技术使用者：常州市三洋精密制版有限公司
技术研发日：2023.07.21
技术公布日：2023/10/19