集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法与流程

1.本技术是有关于一种半导体领域，详细来说，是有关于一种集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法。


背景技术：

2.在现有技术中，当工艺机台报警时都需人员确认，无法自动跳过前制程不良品，造成工艺机台的效率低下,人力资源消耗增长；另外，工艺机台的自动化程度低，需要大量人力进行排除报警、输入资料、确认配方等等作业，造成效率低下，并且错误率高。另外，产品出现问题时，常常难以追踪产品的映射信息，可追溯性低；另外，mes系统、rms系统和料条映射资料库三大系统数据无法联动，人员每次作业需要到各系统确认作业信息，系统未有联动性。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术提出一种集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法来解决上述问题。
4.依据本技术的一实施例，提出一种集成电路产品进出站智能化管理系统。所述集成电路产品进出站管理系统包括通讯模块、检测模块、进出站模块、映射模块以及配方管控模块。所述通讯模块用以接受工艺机台发送的请求信号，其中所述请求信号指示当前料条的识别码。所述检测模块用以根据所述请求信号判断所述当前料条的批次并产生检测结果。所述进出站模块用以根据所述检测结果指示所述mes系统执行生产追踪并获取批次信息，并将所述批次信息以及对应所述识别码的映射信息和配方信息传送至所述进出站模块。所述映射模块用以接受所述映射信息并将所述映射信息存储于料条映射资料库。所述配方管控模块用以根据所述配方信息指示所述rms系统确认配方。
5.依据本技术的一实施例，所述映射模块还通过所述通讯模块将所述映射信息传送至所述工艺机台，所述映射信息指示所述工艺机台省略所述映射信息中记录的不良品的工艺。
6.依据本技术的一实施例，所述进出站模块还根据所述检测结果指示所述mes系统判断所述工艺机台状态、模具号以及材料账料信息是否符合生产状态。
7.依据本技术的一实施例，所述进出站模块还根据所述检测结果指示所述mes系统获取所述批次信息后，所述mes系统执行对应所述批次信息的账料自动过站。
8.依据本技术的一实施例，所述配方管控模块还指示所述rms系统判断所述工艺机台的配方是否符合生产状态。
9.依据本技术的一实施例，所述检测结果指示所述当前料条是不属于当前批次的混料料条时，停止所述工艺机台作业。
10.依据本技术的一实施例，当所述检测结果指示所述当前料条是该批次最后一条
时，所述进出站模块在所述工艺机台完成工艺后传送接收自所述工艺机台的所述映射信息至所述mes系统并指示所述mes系统结束生产追踪。
11.依据本技术的一实施例，所述通讯模块通过secs/gem协议与所述工艺机台通讯。
12.依据本技术的一实施例，所述进出站模块通过wcf技术与所述mes系统对接所述批次信息。
13.依据本技术的一实施例，提出一种集成电路产品进出站管理方法。所述集成电路产品进出站管理方法包括：接受工艺机台发送的请求信号，其中所述请求信号指示当前料条的识别码；根据所述请求信号判断所述当前料条的批次并产生检测结果；根据所述检测结果指示所述mes系统执行生产追踪并获取批次信息；自所述mes系统接受所述批次信息以及对应所述识别码的映射信息和配方信息；将所述映射信息存储于料条映射资料库；以及根据所述配方信息指示所述rms系统确认配方。
14.通过本技术提出的集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法，当工艺机台参考批次信息的指示遇到上一个制程的不良品时，可以直接跳过工艺，避免人员手动操作，从而提升机台工作效率。
15.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法中，可以指示mes系统自动化地实现和结束生产追踪(track in/out)，从而实现无需人工在mes系统过站，从而提高过站的准确性和及时性。与之对应人员作业效率和准确性及时性提升，系统导入，机台报警减少，效率提升，人员只需要去处理真正的报警，人员效率提升20％，过站的及时性提升30％，准确性提升5％。
16.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法中，在mes系统和rms系统的检查都通过的情况下，工艺机台接收映射信息后才能生产，减少人员记忆作业流程，人员只需要放入产品即可，从而提升品质
17.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法中，是以每条料条进行追踪，相比过去以批次进行追踪的方案产能大幅提高。
18.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统和集成电路产品进出站管理方法中，能与mes系统、rms系统和料条映射资料库进行数据提取、传输与处理，进而解决现有作业过程中mes系统、rms系统和料条映射资料库三大系统数据孤岛问题，实现作业自动化。
附图说明
19.附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：
20.图1演示依据本技术一实施例的集成电路产品进出站管理系统的方块示意图。
21.图2演示依据本技术一实施例的集成电路产品进出站管理系统的操作流程图。
22.图3演示依据本技术一实施例的集成电路产品进出站管理方法的步骤流程图。
具体实施方式
23.以下揭示内容提供了多种实施方式或例示，其能用以实现本揭示内容的不同特征。下文所述之组件与配置的具体例子系用以简化本揭示内容。当可想见，这些叙述仅为例示，其本意并非用于限制本揭示内容。举例来说，在下文的描述中，将一第一特征形成于一
第二特征上或之上，可能包括某些实施例其中所述的第一与第二特征彼此直接接触；且也可能包括某些实施例其中还有额外的组件形成于上述第一与第二特征之间，而使得第一与第二特征可能没有直接接触。此外，本揭示内容可能会在多个实施例中重复使用组件符号和/或标号。此种重复使用乃是基于简洁与清楚的目的，且其本身不代表所讨论的不同实施例和/或组态之间的关系。
24.再者，在此处使用空间上相对的词汇，譬如「之下」、「下方」、「低于」、「之上」、「上方」及与其相似者，可能是为了方便说明图中所绘示的一组件或特征相对于另一或多个组件或特征之间的关系。这些空间上相对的词汇其本意除了图中所绘示的方位之外，还涵盖了装置在使用或操作中所处的多种不同方位。可能将所述设备放置于其他方位(如，旋转90度或处于其他方位)，而这些空间上相对的描述词汇就应该做相应的解释。
25.虽然用以界定本技术较广范围的数值范围与参数皆是约略的数值，此处已尽可能精确地呈现具体实施例中的相关数值。然而，任何数值本质上不可避免地含有因个别测试方法所致的标准偏差。在此处，「约」通常系指实际数值在一特定数值或范围的正负10％、5％、1％或0.5％之内。或者是，「约」一词代表实际数值落在平均值的可接受标准误差之内，视本技术所属技术领域中具有通常知识者的考虑而定。当可理解，除了实验例之外，或除非另有明确的说明，此处所用的所有范围、数量、数值与百分比(例如用以描述材料用量、时间长短、温度、操作条件、数量比例及其他相似者)均经过「约」的修饰。因此，除非另有相反的说明，本说明书与附随权利要求书所揭示的数值参数皆为约略的数值，且可视需求而更动。至少应将这些数值参数理解为所指出的有效位数与套用一般进位法所得到的数值。在此处，将数值范围表示成由一端点至另一端点或介于二端点之间；除非另有说明，此处所述的数值范围皆包括端点。
26.图1演示依据本技术一实施例的集成电路产品进出站管理系统1的方块示意图。在某些实施例中，集成电路产品进出站管理系统1包括通讯模块11、检测模块12、进出站模块13、映射模块14以及配方管控模块15。在某些实施例中，通讯模块11用以接受工艺机台100发送的请求信号sm，其中请求信号sm指示当前料条的识别码id。在某些实施例中，工艺机台100扫描当前料条的识别码id后向通讯模块11发送请求信号sm，以指示集成电路产品进出站管理系统1传送识别码id对应的映射信息2sy。在某些实施例中，通讯模块11可以通过secs/gem协议与工艺机台100通讯。
27.在某些实施例中，检测模块12用以根据请求信号sm判断当前料条的批次并产生检测结果sa。在某些实施例中，检测结果sa指示当前料条是否属于新批次的第一条料条。在某些实施例中，当检测结果sa指示当前料条属于新批次的第一条料条时，进出站模块13指示mes系统200判断工艺机台100的状态、模具号以及材料账料信息是否符合生产状态，若符合生产状态，mes系统200执行生产追踪(track in)并获取对应的批次信息1sy，并执行对应批次信息1sy的账料自动过站，接着，mes系统200将批次信息1sy以及对应识别码id的映射信息2sy和配方信息3sy传送至进出站模块13。
28.若工艺机台100的状态、模具号以及材料账料信息不符合生产状态，mes系统200通报工艺机台100以停止工艺。在某些实施例中，mes系统200可以通过通讯模块11通报工艺机台100以停止工艺。
29.在某些实施例中，进出站模块13通过wcf技术与mes系统200对接批次信息1sy。
30.在某些实施例中，检测结果sa还可以指示当前料条是否不属于该批次的混料料条。当检测结果sa指示当前料条是属于该批次的料条时，进出站模块13指示mes系统200将对应识别码id的映射信息2sy和配方信息3sy传送至进出站模块13。当检测结果sa指示当前料条是不属于该批次的混料料条时，进出站模块13通过通讯模块11通报工艺机台100以停止工艺。
31.在某些实施例中，检测结果sa指示当前料条是该批次最后一条时，进出站模块13在工艺机台100完成工艺后传送接收自工艺机台100的映射信息2sy至mes系统200并指示mes系统200结束生产追踪(track out)。
32.在某些实施例中，映射模块14用以接受映射信息2sy并将映射信息2sy存储于料条映射资料库400。在某些实施例中，映射模块14通过通讯模块11将映射信息2sy传送至工艺机台100。在某些实施例中，映射信息2sy指示当前料条中的不良品，并指示工艺机台100省略不良品的工艺，以减少通过人员手动解除的程序。
33.在某些实施例中，配方管控模块15用以根据配方信息3sy指示rms系统300确认工艺机台100的配方是否符合生产状态，若符合生产状态，rms系统300指示工艺机台100开始工艺。若不符合生产状态，rms系统300通报工艺机台100停止工艺。在某些实施例中，rms系统300可以通过通讯模块11指示或通报工艺机台100以开始或停止工艺。
34.图2演示依据本技术一实施例的集成电路产品进出站管理系统1的操作流程图。倘若大致上可以得到相同的结果，本技术并不限定完全依照图2所示的步骤来执行。在某些实施例中，图2所示的操作流程是应用于集成电路产品进出站管理系统1的方法，请同时参考图1实施例以便说明。在某些实施例中，集成电路产品进出站管理系统1的操作流程可以归纳如下：
35.步骤20：工艺机台100扫描当前料条的识别码id，并向通讯模块11发送请求信号sm。请求信号sm指示集成电路产品进出站管理系统1传送识别码id对应的映射信息2sy。
36.步骤21：检测模块11判断当前料条是否是新批次的第一条料条，若是，则进入步骤22；否则进入步骤29。
37.步骤22：进出站模块13指示mes系统200以判断工艺机台100的状态、模具号以及材料账料信息是否符合生产状态，若是，则进入步骤23；否则停止工艺。
38.步骤23：mes系统200执行生产追踪(track in)并获取批次信息1sy，执行对应批次信息1sy的账料自动过站。
39.步骤24：mes系统将批次信息1sy、映射信息2sy和配方信息3sy传送至进出站模块13。
40.步骤25：配方管控模块15将配方信息3sy传递至rms系统300以指示rms系统300执行配方确认。
41.步骤26：工艺机台100的配方是否符合生产状态，若是，则进入步骤27；否则停止工艺。
42.步骤27：映射模块14将映射信息2sy传递并存储至料条映射资料库400，并通过通讯模块11将映射信息2sy传递给工艺机台100。工艺机台100可以省略映射信息2sy所指示当前料条中的不良品的工艺，以减少通过人员手动解除的程序。
43.步骤28：开始工艺。
44.步骤29：检测模块11判断当前料条是否是不属于该批次的混料料条，若是，
45.则停止工艺；否则，进入步骤24。
46.需说明的是，在某些实施例中，在步骤25后可以先执行步骤27将映射信息2sy传递并存储至料条映射资料库400，并通过通讯模块11将映射信息2sy传递给工艺机台100，接着执行步骤25和步骤26，将配方信息3sy传递至rms系统300以指示rms系统300执行配方确认，若工艺机台100的配方是否符合生产状态则接续步骤28开始工艺，否则停止工艺。
47.需说明的是，在步骤29中，若判断当前料条不是属于该批次的混料料条，检测模块12还可以判断当前料条是否是该批次最后一条料条，若是，则进出站模块13在工艺机台100完成工艺后，传送接收自工艺机台100的映射信息2sy至mes系统200并指示mes系统200结束生产追踪(track out)。
48.图3演示依据本技术一实施例的集成电路产品进出站管理方法3的步骤流程图。倘若大致上可以得到相同的结果，本技术并不限定完全依照图3所示的步骤来执行。在某些实施例中，集成电路产品进出站管理方法3可以归纳如下：
49.步骤30：接受工艺机台发送的请求信号，其中所述请求信号指示当前料条的识别码；
50.步骤31：根据所述请求信号判断所述当前料条的批次并产生检测结果；
51.步骤32：根据所述检测结果指示所述mes系统执行生产追踪并获取批次信息；
52.步骤33：自所述mes系统接受所述批次信息以及对应所述识别码的映射信息和配方信息；
53.步骤34：将所述映射信息存储于料条映射资料库；以及
54.步骤35：根据所述配方信息指示所述rms系统确认配方。
55.本领域技术人员在阅读完图1和图2实施例后，应能轻易理解图3实施例的细节，因此详细说明书再次省略以省篇幅。
56.通过本技术提出的集成电路产品进出站管理系统1和集成电路产品进出站管理方法3，当工艺机台100参考批次信息2sy的指示遇到上一个制程的不良品时，可以直接跳过工艺，避免人员手动操作，从而提升机台工作效率。
57.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统1和集成电路产品进出站管理方法3中，可以指示mes系统200自动化地实现和结束生产追踪(track in/out)，从而实现无需人工在mes系统200过站，从而提高过站的准确性和及时性。与之对应人员作业效率和准确性及时性提升，系统导入，机台报警减少，效率提升，人员只需要去处理真正的报警，人员效率提升20％，过站的及时性提升30％，准确性提升5％。
58.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统1和集成电路产品进出站管理方法3中，在mes系统200和rms系统300的检查都通过的情况下，工艺机台100接收映射信息2sy后才能生产，减少人员记忆作业流程，人员只需要放入产品即可，从而提升品质
59.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统1和集成电路产品进出站管理方法3中，是以每条料条进行追踪，相比过去以批次进行追踪的方案产能大幅提高。
60.另外，本技术提出的集成电路产品进出站管理系统1和集成电路产品进出站管理方法3中，能与mes系统200、rms系统300和料条映射资料库400进行数据提取、传输与处理，进而解决现有作业过程中mes系统200、rms系统300和料条映射资料库400三大系统数据孤
岛问题，实现作业自动化。
61.需说明的是，图1所示的各模块如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本技术的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本技术各个实施例该方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(read-only memory，rom)、随机存取存储器(random access memory，ram)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
62.上述实施例，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现，当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。
63.计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行计算机执行指令时，全部或部分地产生按照本技术实施例的流程或功能。计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一计算机可读存储介质传输，例如，计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(dsl))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。计算机可读存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。可用介质可以是磁性介质，(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，dvd)、或者半导体介质(例如ssd))等。
64.如本文中所使用，术语“近似地”、“基本上”、“基本”及“约”用于描述并考虑小变化。当与事件或情况结合使用时，所述术语可指事件或情况精确地发生的例子以及事件或情况极近似地发生的例子。如本文中相对于给定值或范围所使用，术语“约”大体上意味着在给定值或范围的
±
10％、
±
5％、
±
1％或
±
0.5％内。范围可在本文中表示为自一个端点至另一端点或在两个端点之间。除非另外规定，否则本文中所公开的所有范围包括端点。术语“基本上共面”可指沿同一平面定位的在数微米(μm)内的两个表面，例如，沿着同一平面定位的在10μm内、5μm内、1μm内或0.5μm内。当参考“基本上”相同的数值或特性时，术语可指处于所述值的平均值的
±
10％、
±
5％、
±
1％或
±
0.5％内的值。
65.如本文中所使用，术语“近似地”、“基本上”、“基本”和“约”用于描述和解释小的变化。当与事件或情况结合使用时，所述术语可指事件或情况精确地发生的例子以及事件或情况极近似地发生的例子。举例来说，当与数值结合使用时，术语可指小于或等于所述数值的
±
10％的变化范围，例如，小于或等于
±
5％、小于或等于
±
4％、小于或等于
±
3％、小于或等于
±
2％、小于或等于
±
1％、小于或等于
±
0.5％、小于或等于
±
0.1％，或小于或等于
±
0.05％。举例来说，如果两个数值之间的差小于或等于所述值的平均值的
±
10％(例如，小于或等于
±
5％、小于或等于
±
4％、小于或等于
±
3％、小于或等于
±
2％、小于或等于
±
1％、小于或等于
±
0.5％、小于或等于
±
0.1％，或小于或等于
±
0.05％)，那么可认为所述两个数值“基本上”或“约”相同。举例来说，“基本上”平行可以指相对于0
°
的小于或等于
±
10
°
的角度变化范围，例如，小于或等于
±5°
、小于或等于
±4°
、小于或等于
±3°
、小于或等于
±2°
、小于或等于
±1°
、小于或等于
±
0.5
°
、小于或等于
±
0.1
°
，或小于或等于
±
0.05
°
。
举例来说，“基本上”垂直可以指相对于90
°
的小于或等于
±
10
°
的角度变化范围，例如，小于或等于
±5°
、小于或等于
±4°
、小于或等于
±3°
、小于或等于
±2°
、小于或等于
±1°
、小于或等于
±
0.5
°
、小于或等于
±
0.1
°
，或小于或等于
±
0.05
°
。
66.举例来说，如果两个表面之间的位移等于或小于5μm、等于或小于2μm、等于或小于1μm或等于或小于0.5μm，那么两个表面可以被认为是共面的或基本上共面的。如果表面相对于平面在表面上的任何两个点之间的位移等于或小于5μm、等于或小于2μm、等于或小于1μm或等于或小于0.5μm，那么可以认为表面是平面的或基本上平面的。
67.如本文中所使用，除非上下文另外明确规定，否则单数术语“一(a/an)”和“所述”可包含复数指示物。在一些实施例的描述中，提供于另一组件“上”或“上方”的组件可涵盖前一组件直接在后一组件上(例如，与后一组件物理接触)的情况，以及一或多个中间组件位于前一组件与后一组件之间的情况。
68.如本文中所使用，为易于描述可在本文中使用空间相对术语例如“下面”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”、“下部”、“左侧”、“右侧”等描述如图中所说明的一个组件或特征与另一组件或特征的关系。除图中所描绘的定向之外，空间相对术语意图涵盖在使用或操作中的装置的不同定向。设备可以其它方式定向(旋转90度或处于其它定向)，且本文中所使用的空间相对描述词同样可相应地进行解释。应理解，当一组件被称为“连接到”或“耦合到”另一组件时，其可直接连接或耦合到所述另一组件，或可存在中间组件。
69.前文概述本公开的若干实施例和细节方面的特征。本公开中描述的实施例可容易地用作用于设计或修改其它过程的基础以及用于执行相同或相似目的和/或获得引入本文中的实施例的相同或相似优点的结构。这些等效构造不脱离本公开的精神和范围并且可在不脱离本公开的精神和范围的情况下作出不同变化、替代和改变。

技术特征：
1.一种集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，包括：通讯模块，用以接受工艺机台发送的请求信号，其中所述请求信号指示当前料条的识别码；检测模块，用以根据所述请求信号判断所述当前料条的批次并产生检测结果；进出站模块，用以根据所述检测结果指示所述mes系统执行生产追踪并获取批次信息，并将所述批次信息以及对应所述识别码的映射信息和配方信息传送至所述进出站模块；映射模块，用以接受所述映射信息并将所述映射信息存储于料条映射资料库；以及配方管控模块，用以根据所述配方信息指示所述rms系统确认配方。2.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述映射模块还通过所述通讯模块将所述映射信息传送至所述工艺机台，所述映射信息指示所述工艺机台省略所述映射信息中记录的不良品的工艺。3.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述进出站模块还根据所述检测结果指示所述mes系统判断所述工艺机台状态、模具号以及材料账料信息是否符合生产状态。4.根据权利要求3所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述进出站模块还根据所述检测结果指示所述mes系统获取所述批次信息后，所述mes系统执行对应所述批次信息的账料自动过站。5.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述配方管控模块还指示所述rms系统判断所述工艺机台的配方是否符合生产状态。6.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述检测结果指示所述当前料条是不属于当前批次的混料料条时，停止所述工艺机台作业。7.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，当所述检测结果指示所述当前料条是该批次最后一条时，所述进出站模块在所述工艺机台完成工艺后传送接收自所述工艺机台的所述映射信息至所述mes系统并指示所述mes系统结束生产追踪。8.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述通讯模块通过secs/gem协议与所述工艺机台通讯。9.根据权利要求1所述的集成电路产品进出站管理系统，其特征在于，所述进出站模块通过wcf技术与所述mes系统对接所述批次信息。10.一种集成电路产品进出站管理方法，其特征在于，包括：接受工艺机台发送的请求信号，其中所述请求信号指示当前料条的识别码；根据所述请求信号判断所述当前料条的批次并产生检测结果；根据所述检测结果指示所述mes系统执行生产追踪并获取批次信息；自所述mes系统接受所述批次信息以及对应所述识别码的映射信息和配方信息；将所述映射信息存储于料条映射资料库；以及根据所述配方信息指示所述rms系统确认配方。

技术总结
本申请提出一种集成电路产品进出站智能化管理系统。所述集成电路产品进出站管理系统包括通讯模块、检测模块、进出站模块、映射模块以及配方管控模块。所述通讯模块用以接受工艺机台发送的请求信号，其中所述请求信号指示当前料条的识别码。所述检测模块用以根据所述请求信号判断所述当前料条的批次并产生检测结果。所述进出站模块用以根据所述检测结果指示所述MES系统执行生产追踪并获取批次信息，并将所述批次信息以及对应所述识别码的映射信息和配方信息传送至所述进出站模块。所述映射模块用以接受所述映射信息并将所述映射信息存储于料条映射资料库。所述配方管控模块用以根据所述配方信息指示所述RMS系统确认配方。根据所述配方信息指示所述RMS系统确认配方。根据所述配方信息指示所述RMS系统确认配方。


技术研发人员：姜进 何林
受保护的技术使用者：日月新半导体（苏州）有限公司
技术研发日：2023.08.03
技术公布日：2023/10/15