一种洁净室车间AMC气体采样装置的制作方法

一种洁净室车间amc气体采样装置
技术领域
1.本发明涉及洁净室车间气体采样设备技术领域，具体为一种洁净室车间amc气体采样装置。


背景技术：

2.半导体集成电路(ic)产业经历了指数式增长，ic材料和设计方面的技术进步产生了多代ic，其中，每一代都具有比上一个代更小和更复杂的电路。在ic发展过程中，功能密度大幅增加了而几何尺寸减小。通常这种按比例缩小工艺通过提高生产效率和降低相关成本来提供很多益处。这种按比例缩小增加了加工和生产ic的复杂度，也对生产环境(洁净室)提出了越来越高的要求。尤其是，为了进一步按比例缩小几何尺寸，气态分子污染(amc)成为半导体制造工艺中越来越严重的问题。
3.如前所述，半导体制造工艺中，需要洁净室中的amc浓度维持在设定水平之下，这样才可以保证制程的正常进行以及产品的良率，因此在生产时需要对车间内部气体进行采样检测，现有的检测设备在使用时需要检测人员将设备放置在需要检测的区域进行气体抽样检测，但是由于洁净室车间整体的空间区域较大，为了保证整体检测准确性以及确定车间的污染源，需要对车间多个位置进行检测，因此现有的气体采样设备在实际使用时就较为麻烦，需要不断地进行更换位置采样检测，从而增加整体的检测所需时间，降低检测效率，因此在实际使用时还具有一定的局限性。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种洁净室车间amc气体采样装置，以解决上述背景技术中提出的现有的检测设备在使用时需要检测人员将设备放置在需要检测的区域进行气体抽样检测，但是由于洁净室车间整体的空间区域较大，为了保证整体检测准确性以及确定车间的污染源，需要对车间多个位置进行检测，因此现有的气体采样设备在实际使用时就较为麻烦，需要不断地进行更换位置采样检测，从而增加整体的检测所需时间，降低检测效率，因此在实际使用时还具有一定的局限性的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种洁净室车间amc气体采样装置，包括引导轨道，所述引导轨道的一侧滑动卡合安装有轨道小车，所述轨道小车的一侧安装有气体分析仪器；抽气采样机构，所述抽气采样机构设于所述气体分析仪器的顶端一侧，且抽气采样机构的作用是能够对车间进行自动多点采样；所述抽气采样机构包括抵触杆、接触块、挤压杆、限位齿条、微动控制开关一、微动控制开关二和抽气泵，所述抵触杆等间距设在引导轨道的一侧，所述接触块设置在抵触杆的一侧，所述挤压杆滑动贯穿设置在接触块的一侧内部，所述限位齿条一侧安装在挤压杆的一端外部，所述微动控制开关一和微动控制开关二对称设置在限位齿条的一侧外部，所述微动控制开关一与轨道小车内部电机电性控制连接，所述微动控制开关二与所述抽气泵电性控制连接，以使得所述轨道小车移动时所述挤压杆受到抵触杆抵触移动带动所述限位齿条移动抵触一侧的微动控制开关一和微
动控制开关二以控制所述轨道小车定点停止和所述抽气泵定点启动抽气采样。
6.优选的，所述抽气采样机构还包括预存罐、辅助杆、阀门、导气管、限位齿轮和单向阀，所述预存罐安装在气体分析仪器顶端一侧，所述预存罐的一端与抽气泵输出端通过管道导通固定安装，所述预存罐与抽气泵输出端导通安装的管道一侧贯穿导通有单向阀，且单向阀的输出端朝向预存罐的内部，以使得所述抽气泵抽入排出的气体只能够进入所述预存罐的内部不会反流；
7.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，使得通过单向阀设置，从而使得抽气泵抽气采样时能够将气体一直充入预存罐内部，保证抽气泵反流排出，保证气体储存在预存罐内部，便于后续机构的运行。
8.优选的，所述阀门导通安装在预存罐靠近抽气泵的一侧顶端外部，所述阀门顶端阀杆外部固定有限位齿轮，所述限位齿轮的一侧与限位齿条一侧啮合连接，以使得所述挤压杆移动带动所述限位齿条移动同时带动所述阀门内部阀杆转动打开或关闭，所述阀门的输出端导通安装有导气管，且导气管的输出端与气体分析仪器检测进气端导通；
9.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，使得通过挤压杆的移动，从而带动一侧限位齿条移动，从而控制阀门的关闭和打开，在抽气泵抽气时，此时阀门打开，保证预存罐内部气体能够持续增加从而对一侧限位滑杆抵触，同时在抽气泵工作结束后，此时一侧挤压杆复位，使得阀门关闭，从而使得预存罐内部气体能够通过导气管进入气体分析仪器内部进行气体分析。
10.优选的，所述接触块的一侧外部固定有辅助杆，且挤压杆的一侧内部贯穿滑动安装在辅助杆的一侧外部，以使得所述挤压杆定向稳定移动；
11.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，通过辅助杆的限位，从而使得挤压杆在进行挤压移动以及复位弹簧复位时，能够运行流畅。
12.优选的，所述预存罐的一侧内部设置有检测触发机构，所述检测触发机构包括限位滑杆、活塞块、抵触板、连接板、复位弹簧、拉伸弹簧、辅助弹簧和报警器，所述检测触发机构的作用是在所述抽气采样机构对其中1个区域气体采样结束后能够自动触发所述轨道小车继续移动对下一区域进行气体采样；
13.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，通过检测触发机构的设置，从而能够在预存罐内部取样存入一定量的气体后联动触发，使得再次启动一侧轨道小车继续运行，从而对下一区域进行取样，同时能够将原先取样储存的气体挤压进气体分析仪器内部进行分析。
14.优选的，所述限位滑杆贯穿滑动安装在预存罐远离抽气泵的一侧内部，所述限位滑杆位于预存罐内部一端安装有活塞块，且活塞块与预存罐内壁滑动密封安装，以使得所述抽气泵向所述预存罐内部充气时能够抵触所述活塞块和所述限位滑杆向远离抽气泵一侧移动；
15.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，当预存罐内部气体的持续充入，从而抵触一侧的活塞块和限位滑杆进行移动，从而使得一侧抵触板抵触连接板向远离接触块的一侧进行移动，从而使得抵触杆脱离接触块，使得一侧挤压杆复位，此时表示抽样剂量达到指定量，可对一下一区域进行取样检测，此时一侧的就挤压杆自动回弹，从而使得一侧微动控制开关失去抵触回弹复位，从而使得轨道小车继续带动整体抽样机构运行移动至下一检
测区域。
16.优选的，所述限位滑杆远离活塞块一端固定安装有抵触板，所述抵触杆远离接触块的一端固定安装有连接板，以使得所述限位滑杆移动带动所述抵触板同时移动对所述连接板抵触使得所述连接板带动所述抵触杆移动脱离接触块一侧；
17.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，在装配时需要保证限位滑杆的中心线与抵触杆的中心线不在同一平面上，保证限位滑杆带动抵触杆脱离接触块后，轨道小车继续运动时，不会造成限位滑杆与抵触杆抵触，保证整体能够稳定移动，同时抵触板也不会与抵触杆抵触卡合，保证整体运行流畅性。
18.优选的，所述挤压杆远离抵触杆的一侧外表面固定安装有复位弹簧，所述复位弹簧的另一端嵌入式安装在接触块的一侧内部，以使得所述抵触杆移动脱离接触块内部后所述复位弹簧回弹带动所述挤压杆和一侧限位齿条复位，以使得所述微动控制开关一和微动控制开关二失去抵触压力控制所述轨道小车启动和所述抽气泵停止抽气，同时所述限位齿条复位带动所述阀门打开使得所述预存罐内部气体能够顺着所述导气管进入所述气体分析仪器内部进行气体分析；
19.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，使得挤压杆复位时，此时一侧限位齿条移动复位，使得一侧阀门打开，同时配合限位滑杆一侧拉伸弹簧的回弹复位，从而使得将预存罐内部的气体能够快速挤压进气体分析仪器内部进行气体分析。
20.优选的，所述预存罐远离抽气泵的一侧内壁与活塞块的一侧内壁之间固定安装有拉伸弹簧，以使得所述阀门打开后所述拉伸弹簧回弹带动所述活塞块和所述限位滑杆向抽气泵的一侧移动从而快速将预存罐内部气体快速挤压进所述气体分析仪器内部，所述气体分析仪器的一侧电性控制连接安装有报警器；
21.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，气体分析仪器检测出该区域采样气体不达标时能够控制轨道小车及时停止在该区域，同时一侧报警器报警，从而便于工作人员能够准确的查到车间某一区域的污染源，不易弄混，及时进行处理改善，整体使用效果好。
22.优选的，所述抵触杆外部设有拆装机构，所述拆装机构包括定位孔、定位环和定位盖，所述定位孔等间距贯穿安装在引导轨道靠近抵触杆一侧内部，且抵触杆贯穿滑动卡合安装在定位孔内部，所述定位环一侧均固定安装在引导轨道靠近定位孔的一侧外部，所述抵触杆靠近定位孔一侧外部贯穿滑动套设有定位盖，所述抵触杆位于定位盖和连接板之间的外部套设有辅助弹簧，且辅助弹簧的两端分别嵌入式转动卡合安装在定位盖和连接板的一侧外部，所述定位盖的一侧与定位环螺纹连接；
23.采用上述技术方案使得整体在进行使用时，通过在引导轨道上等间距设置的定位孔，以及定位孔一侧的定位环和抵触杆外部的定位盖设置，从而使得使用者能够根据需要在引导轨道上的不同位置安装抵触杆，从而便于后续触发轨道小车一侧的抽气采样机构，使得整体机构能够及时停止在需要检测的区域进行采样检测分析，整体能够随意拆装调节。
24.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该洁净室车间amc气体采样装置：
25.1.该洁净室车间amc气体采样装置在使用时，通过引导轨道和轨道小车的安装配合，使得顶端的抽气采样机构能够在车间任意区域进行自动移动，同时通过抽气采样机构内部结构的配合运行，从而使得抽气采样机构到达指定位置后，能够自动控制轨道小车停
止，同时控制一侧的抽气泵启动开始进行抽气取样，从而使得本装置能够在较大的车间区域内部进行自动多点取样检测，整体操作较为方便，提高整体的采样效率，整体使用效果好，便捷性高；
26.2.该洁净室车间amc气体采样装置在使用时，当轨道小车移动到指定位置后，此时一侧的接触块与安装指定位置的抵触杆抵触，从而使得挤压杆抵触压缩移动，以此控制一侧抽气泵移动从而带动限位齿轮转动，从而使得在抽气时阀门关闭，从而能够将气体集中存在预存罐内部，从而便于后续气体的充入膨胀能够抵触一侧的限位滑杆内部气体存入一定量后，此时限位滑杆继续带动整体抽样机构运行移动至下一检测区域，同时一侧抽气泵自控关闭，整体无需人为控制，整体使用灵活性高；
27.3.该洁净室车间amc气体采样装置在使用时，当该采样机构对其中一个区域检测结束，继续移动至下一区域的过程中，此时一侧限位齿条移动复位，使得一侧阀门打开，同时配合限位滑杆一侧拉伸弹簧的回弹复位，从而使得将预存罐内部的气体能够快速挤压进气体分析仪器内部进行气体分析，从而完成对该区域的气体进行自动采样检测分析，整体使用效果好，同时气体分析仪器检测出该区域采样气体不达标时能够控制轨道小车及时停止在该区域，同时一侧报警器报警，从而便于工作人员能够准确的查到车间某一区域的污染源，不易弄混，及时进行处理改善，整体使用效果好；
28.4.该洁净室车间amc气体采样装置在使用时，通过在引导轨道上等间距设置的定位孔，以及定位孔一侧的定位环和抵触杆外部的定位盖设置，从而使得使用者能够根据需要在引导轨道上的不同位置安装抵触杆，从而便于后续触发轨道小车一侧的抽气采样机构，使得整体机构能够及时停止在需要检测的区域进行采样检测分析，整体能够随意拆装调节，整体拆装控制方便，使得整体使用灵活性更高。
附图说明
29.图1为本发明整体立体结构示意图；
30.图2为本发明检测触发机构与引导轨道安装后视立体结构示意图；
31.图3为本发明抽气采样机构与引导轨道安装立体结构示意图；
32.图4为本发明检测触发机构与引导轨道安装侧视结构示意图；
33.图5为本发明图3中a处放大结构示意图；
34.图6为本发明抵触杆与挤压杆安装局部剖视立体结构示意图；
35.图7为本发明检测触发机构与预存罐安装剖视立体结构示意图；
36.图8为本发明拆装机构与引导轨道安装剖视立体结构示意图。
37.图中：1、引导轨道；2、轨道小车；3、气体分析仪器；4、抽气采样机构；401、预存罐；402、抵触杆；403、接触块；404、挤压杆；405、辅助杆；406、阀门；407、导气管；408、限位齿轮；409、限位齿条；4010、微动控制开关一；4011、微动控制开关二；4012、抽气泵；4013、单向阀；5、检测触发机构；501、限位滑杆；502、活塞块；503、抵触板；504、连接板；505、复位弹簧；506、拉伸弹簧；507、辅助弹簧；508、报警器；6、拆装机构；601、定位孔；602、定位环；603、定位盖。
具体实施方式
38.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
39.请参阅图1-8，本发明提供一种技术方案：一种洁净室车间amc气体采样装置，包括引导轨道1，引导轨道1的一侧滑动卡合安装有轨道小车2，轨道小车2的一侧安装有气体分析仪器3；抽气采样机构4，抽气采样机构4设于气体分析仪器3的顶端一侧，且抽气采样机构4的作用是能够对车间进行自动多点采样。
40.在本实施例中洁净室车间amc气体采样装置主要包括引导轨道1、轨道小车2、气体分析仪器3和抽气采样机构4，在本方案中洁净室车间amc气体采样装置在实际使用时，通过引导轨道1和轨道小车2的安装配合，使得顶端的抽气采样机构4能够在车间任意区域进行自动移动，同时通过抽气采样机构4内部结构的配合运行，从而使得抽气采样机构4到达指定位置后，能够自动控制轨道小车2停止，同时控制一侧的抽气泵4012启动开始进行抽气取样，从而使得本装置能够在较大的车间区域内部进行自动多点取样检测，整体操作较为方便，提高整体的采样效率，整体使用效果好，便捷性高。
41.在一些实施例中，抽气采样机构4包括抵触杆402、接触块403、挤压杆404、限位齿条409、微动控制开关一4010、微动控制开关二4011和抽气泵4012，抵触杆402等间距设在引导轨道1的一侧，接触块403设置在抵触杆402的一侧，挤压杆404滑动贯穿设置在接触块403的一侧内部，限位齿条409一侧安装在挤压杆404的一端外部，微动控制开关一4010和微动控制开关二4011对称设置在限位齿条409的一侧外部，微动控制开关一4010与轨道小车2内部电机电性控制连接，微动控制开关二4011与抽气泵4012电性控制连接，以使得轨道小车2移动时挤压杆404受到抵触杆402抵触移动带动限位齿条409移动抵触一侧的微动控制开关一4010和微动控制开关二4011以控制轨道小车2定点停止和抽气泵4012定点启动抽气采样；抽气采样机构4还包括预存罐401、辅助杆405、阀门406、导气管407、限位齿轮408和单向阀4013，预存罐401安装在气体分析仪器3顶端一侧，预存罐401的一端与抽气泵4012输出端通过管道导通固定安装，预存罐401与抽气泵4012输出端导通安装的管道一侧贯穿导通有单向阀4013，且单向阀4013的输出端朝向预存罐401的内部，以使得抽气泵4012抽入排出的气体只能够进入预存罐401的内部不会反流；阀门406导通安装在预存罐401靠近抽气泵4012的一侧顶端外部，阀门406顶端阀杆外部固定有限位齿轮408，限位齿轮408的一侧与限位齿条409一侧啮合连接，以使得挤压杆404移动带动限位齿条409移动同时带动阀门406内部阀杆转动打开或关闭，阀门406的输出端导通安装有导气管407，且导气管407的输出端与气体分析仪器3检测进气端导通；接触块403的一侧外部固定有辅助杆405，且挤压杆404的一侧内部贯穿滑动安装在辅助杆405的一侧外部，以使得挤压杆404定向稳定移动。
42.本装置整体在进行使用时，结合图1、图3、图4、图5和图6所示，首先将引导轨道1环绕有序安装在车间墙壁上，之后将引导轨道1靠近需要进行检测的区域的一侧内部均安装上抵触杆402，从而便于后续触发轨道小车2和抽气采样机构4在该区域定位停止进行采样工作。
43.在需要进行车间多区域amc气体采样检测使用时，首先通过轨道小车2的移动，从
而带动一侧气体分析仪器3和抽气采样机构4在车间内部进行移动，当移动到需要进行amc气体采样检测的区域时，此时一侧接触块403与该区域引导轨道1上安装的抵触杆402抵触，之后轨道小车2继续缓慢移动，此时通过抵触杆402抵触，从而使得接触块403内部的挤压杆404受力挤压，开始向远离抵触杆402一侧移动，通过抵触杆402的移动，从而带动一侧限位齿条409同时进行移动，通过限位齿条409与限位齿轮408的啮合，从而使得限位齿轮408转动，使得底端的阀门406关闭，从而使得后续在充气时，气体不会直接从导气管407进入气体分析仪器3内部，而是集中存入预存罐401内部，便于挤压后续的限位滑杆501移动。
44.当限位齿条409移动一定位置后，此时限位齿条409一侧的压板将一侧微动控制开关一4010和微动控制开关二4011一侧的触发块抵触，从而使得微动控制开关一4010控制轨道小车2及时停止，从而使得轨道小车2和一侧抽气采样机构4整体自动停止在该检测区域一侧，同时微动控制开关二4011控制一侧抽气泵4012工作，从而将气体集中抽入预存罐401内部，从而对该区域进行气体采样工作，整体使用效果，整体无需人为控制能够进行自动定位采样。
45.在一些实施例中，预存罐401的一侧内部设置有检测触发机构5，检测触发机构5包括限位滑杆501、活塞块502、抵触板503、连接板504、复位弹簧505、拉伸弹簧506、辅助弹簧507和报警器508，检测触发机构5的作用是在抽气采样机构4对其中1个区域气体采样结束后能够自动触发轨道小车2继续移动对下一区域进行气体采样；限位滑杆501贯穿滑动安装在预存罐401远离抽气泵4012的一侧内部，限位滑杆501位于预存罐401内部一端安装有活塞块502，且活塞块502与预存罐401内壁滑动密封安装，以使得抽气泵4012向预存罐401内部充气时能够抵触活塞块502和限位滑杆501向远离抽气泵4012一侧移动；限位滑杆501远离活塞块502一端固定安装有抵触板503，抵触杆402远离接触块403的一端固定安装有连接板504，以使得限位滑杆501移动带动抵触板503同时移动对连接板504抵触使得连接板504带动抵触杆402移动脱离接触块403一侧；挤压杆404远离抵触杆402的一侧外表面固定安装有复位弹簧505，复位弹簧505的另一端嵌入式安装在接触块403的一侧内部，以使得抵触杆402移动脱离接触块403内部后复位弹簧505回弹带动挤压杆404和一侧限位齿条409复位，以使得微动控制开关一4010和微动控制开关二4011失去抵触压力控制轨道小车2启动和抽气泵4012停止抽气，同时限位齿条409复位带动阀门406打开使得预存罐401内部气体能够顺着导气管407进入气体分析仪器3内部进行气体分析；预存罐401远离抽气泵4012的一侧内壁与活塞块502的一侧内壁之间固定安装有拉伸弹簧506，以使得阀门406打开后拉伸弹簧506回弹带动活塞块502和限位滑杆501向抽气泵4012的一侧移动从而快速将预存罐401内部气体快速挤压进气体分析仪器3内部，气体分析仪器3的一侧电性控制连接安装有报警器508。
46.当抽气泵4012持续对预存罐401内部进行充入气体采样时，结合图1、图2和图7所示。
47.随着气体的不断充入，使得预存罐401内部气体增多，从而抵触预存罐401一侧内部的活塞块502和限位滑杆501向远离抽气泵4012一侧进行移动，当移动一定距离后，此时限位滑杆501一侧的抵触板503与一侧抵触杆402一端的连接板504抵触，之后限位滑杆501继续移动，从而将连接板504和抵触杆402整体抵触后移，从而使得抵触杆402的一端脱离一侧接触块403的内部，此时通过挤压杆404一侧复位弹簧505的回弹复位，从而带动挤压杆
404整体移动复位。
48.在复位的过程中，带动一侧限位齿条409同时移动复位，从而带动一侧限位齿轮408转动，从而使得底端的阀门406打开，从而便于后续能够将储存在预存罐401内部的采样气体导入导气管407和气体分析仪器3内部。
49.同时限位齿条409同时移动复位后，使得一侧微动控制开关一4010和微动控制开关二4011能够失去抵触，从而使得微动控制开关一4010控制一侧轨道小车2继续开始进行移动，从而带动一侧气体分析仪器3和抽气采样机构4在引导轨道1上继续进行移动，不在受到抵触杆402抵触限位，从而使得本装置整体能够随着引导轨道1的引导能够在较大的车间区域内部进行多点位自动定位取样检测，整体操作较为方便，提高整体的采样效率，整体使用效果好，便捷性高。
50.同时一侧微动控制开关二4011控制一侧抽气泵4012关闭，此时配合阀门406的打开，同时通过抽气泵4012输出端与预存罐401输入端之间的单向阀4013设置，使得抽气泵4012停止后，预存罐401内部气体不会从抽气泵4012泄露，之后配合限位滑杆501外部套设的拉伸弹簧506的回弹复位，从而能够使得一侧活塞块502移动将预存罐401内部的气体能够快速挤压进导气管407内部之后进入气体分析仪器3内部进行气体分析，整体能够进行自动采样和气体导入分析，整体使用效果好。
51.同时气体导入气体分析仪器3内部进行气体分析后，当气体分析仪器3检测出该区域采样气体不达标时能够控制轨道小车2及时停止在该区域，同时一侧报警器508报警，从而能够及时提醒工作人员以及便于工作人员能够准确的查到车间某一区域的污染源，不易弄混，及时进行处理改善处理，整体使用效果好，当采样气体检测达标后，不会影响轨道小车2的正常运行，自动进行下一区域的采样检测。
52.同时当拉伸弹簧506带动限位滑杆501复位时，此时通过一侧抵触杆402外部的辅助弹簧507的设置，使得辅助弹簧507能够及时拉动抵触杆402重新缓慢复位至初始位置，从而使得后续轨道小车2在进行二次移动对该区域采样检测时，依旧能够受到该区域抵触杆402的抵触，整体重复使用，无需调节，自动复位，整体便捷性高。
53.在一些实施例中，抵触杆402外部设有拆装机构6，拆装机构6包括定位孔601、定位环602和定位盖603，定位孔601等间距贯穿安装在引导轨道1靠近抵触杆402一侧内部，且抵触杆402贯穿滑动卡合安装在定位孔601内部，定位环602一侧均固定安装在引导轨道1靠近定位孔601的一侧外部，抵触杆402靠近定位孔601一侧外部贯穿滑动套设有定位盖603，抵触杆402位于定位盖603和连接板504之间的外部套设有辅助弹簧507，且辅助弹簧507的两端分别嵌入式转动卡合安装在定位盖603和连接板504的一侧外部，定位盖603的一侧与定位环602螺纹连接。
54.本装置在使用时，结合图1和图8所示，本装置可根据车间内部需要检测区域的多少和检测位置，对引导轨道1上抵触杆402进行拆装调试，从而能够增加或者减少轨道小车2的采样点位，整体适用范围广，整体使用灵活方便。
55.在对抵触杆402进行安装时，只需将抵触杆402一端插入对应侧的定位孔601内部，之后将抵触杆402一侧的定位盖603与对应定位孔601外部的定位环602螺纹转动安装，从而将抵触杆402整体进行安装。
56.在对抵触杆402进行拆卸时，只需将抵触杆402一侧的定位盖603与对应定位孔601
外部的定位环602螺纹转动拆卸，之后将抵触杆402从定位孔601内部抽出即可。
57.整体在对抵触杆402进行拆装时，整体结构简单，拆装方便。
58.本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行定制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
59.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种洁净室车间amc气体采样装置，包括引导轨道(1)，其特征在于：所述引导轨道(1)的一侧滑动卡合安装有轨道小车(2)，所述轨道小车(2)的一侧安装有气体分析仪器(3)；抽气采样机构(4)，所述抽气采样机构(4)设于所述气体分析仪器(3)的顶端一侧，且抽气采样机构(4)的作用是能够对车间进行自动多点采样；所述抽气采样机构(4)包括抵触杆(402)、接触块(403)、挤压杆(404)、限位齿条(409)、微动控制开关一(4010)、微动控制开关二(4011)和抽气泵(4012)，所述抵触杆(402)等间距设在引导轨道(1)的一侧，所述接触块(403)设置在抵触杆(402)的一侧，所述挤压杆(404)滑动贯穿设置在接触块(403)的一侧内部，所述限位齿条(409)一侧安装在挤压杆(404)的一端外部，所述微动控制开关一(4010)和微动控制开关二(4011)对称设置在限位齿条(409)的一侧外部，所述微动控制开关一(4010)与轨道小车(2)内部电机电性控制连接，所述微动控制开关二(4011)与所述抽气泵(4012)电性控制连接，以使得所述轨道小车(2)移动时所述挤压杆(404)受到抵触杆(402)抵触移动带动所述限位齿条(409)移动抵触一侧的微动控制开关一(4010)和微动控制开关二(4011)以控制所述轨道小车(2)定点停止和所述抽气泵(4012)定点启动抽气采样。2.根据权利要求1所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述抽气采样机构(4)还包括预存罐(401)、辅助杆(405)、阀门(406)、导气管(407)、限位齿轮(408)和单向阀(4013)，所述预存罐(401)安装在气体分析仪器(3)顶端一侧，所述预存罐(401)的一端与抽气泵(4012)输出端通过管道导通固定安装，所述预存罐(401)与抽气泵(4012)输出端导通安装的管道一侧贯穿导通有单向阀(4013)，且单向阀(4013)的输出端朝向预存罐(401)的内部，以使得所述抽气泵(4012)抽入排出的气体只能够进入所述预存罐(401)的内部不会反流。3.根据权利要求2所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述阀门(406)导通安装在预存罐(401)靠近抽气泵(4012)的一侧顶端外部，所述阀门(406)顶端阀杆外部固定有限位齿轮(408)，所述限位齿轮(408)的一侧与限位齿条(409)一侧啮合连接，以使得所述挤压杆(404)移动带动所述限位齿条(409)移动同时带动所述阀门(406)内部阀杆转动打开或关闭，所述阀门(406)的输出端导通安装有导气管(407)，且导气管(407)的输出端与气体分析仪器(3)检测进气端导通。4.根据权利要求2所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述接触块(403)的一侧外部固定有辅助杆(405)，且挤压杆(404)的一侧内部贯穿滑动安装在辅助杆(405)的一侧外部，以使得所述挤压杆(404)定向稳定移动。5.根据权利要求2所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述预存罐(401)的一侧内部设置有检测触发机构(5)，所述检测触发机构(5)包括限位滑杆(501)、活塞块(502)、抵触板(503)、连接板(504)、复位弹簧(505)、拉伸弹簧(506)、辅助弹簧(507)和报警器(508)，所述检测触发机构(5)的作用是在所述抽气采样机构(4)对其中1个区域气体采样结束后能够自动触发所述轨道小车(2)继续移动对下一区域进行气体采样。6.根据权利要求5所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述限位滑杆(501)贯穿滑动安装在预存罐(401)远离抽气泵(4012)的一侧内部，所述限位滑杆(501)位于预存罐(401)内部一端安装有活塞块(502)，且活塞块(502)与预存罐(401)内壁滑动密
封安装，以使得所述抽气泵(4012)向所述预存罐(401)内部充气时能够抵触所述活塞块(502)和所述限位滑杆(501)向远离抽气泵(4012)一侧移动。7.根据权利要求6所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述限位滑杆(501)远离活塞块(502)一端固定安装有抵触板(503)，所述抵触杆(402)远离接触块(403)的一端固定安装有连接板(504)，以使得所述限位滑杆(501)移动带动所述抵触板(503)同时移动对所述连接板(504)抵触使得所述连接板(504)带动所述抵触杆(402)移动脱离接触块(403)一侧。8.根据权利要求7所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述挤压杆(404)远离抵触杆(402)的一侧外表面固定安装有复位弹簧(505)，所述复位弹簧(505)的另一端嵌入式安装在接触块(403)的一侧内部，以使得所述抵触杆(402)移动脱离接触块(403)内部后所述复位弹簧(505)回弹带动所述挤压杆(404)和一侧限位齿条(409)复位，以使得所述微动控制开关一(4010)和微动控制开关二(4011)失去抵触压力控制所述轨道小车(2)启动和所述抽气泵(4012)停止抽气，同时所述限位齿条(409)复位带动所述阀门(406)打开使得所述预存罐(401)内部气体能够顺着所述导气管(407)进入所述气体分析仪器(3)内部进行气体分析。9.根据权利要求8所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述预存罐(401)远离抽气泵(4012)的一侧内壁与活塞块(502)的一侧内壁之间固定安装有拉伸弹簧(506)，以使得所述阀门(406)打开后所述拉伸弹簧(506)回弹带动所述活塞块(502)和所述限位滑杆(501)向抽气泵(4012)的一侧移动从而快速将预存罐(401)内部气体快速挤压进所述气体分析仪器(3)内部，所述气体分析仪器(3)的一侧电性控制连接安装有报警器(508)。10.根据权利要求5所述的一种洁净室车间amc气体采样装置，其特征在于：所述抵触杆(402)外部设有拆装机构(6)，所述拆装机构(6)包括定位孔(601)、定位环(602)和定位盖(603)，所述定位孔(601)等间距贯穿安装在引导轨道(1)靠近抵触杆(402)一侧内部，且抵触杆(402)贯穿滑动卡合安装在定位孔(601)内部，所述定位环(602)一侧均固定安装在引导轨道(1)靠近定位孔(601)的一侧外部，所述抵触杆(402)靠近定位孔(601)一侧外部贯穿滑动套设有定位盖(603)，所述抵触杆(402)位于定位盖(603)和连接板(504)之间的外部套设有辅助弹簧(507)，且辅助弹簧(507)的两端分别嵌入式转动卡合安装在定位盖(603)和连接板(504)的一侧外部，所述定位盖(603)的一侧与定位环(602)螺纹连接。

技术总结
本发明公开了一种洁净室车间AMC气体采样装置，包括引导轨道，所述引导轨道的一侧滑动卡合安装有轨道小车，所述轨道小车的一侧安装有气体分析仪器；所述抽气采样机构设于所述气体分析仪器的顶端一侧。该洁净室车间AMC气体采样装置，该洁净室车间AMC气体采样装置在使用时，通过引导轨道和轨道小车的安装配合，使得顶端的抽气采样机构能够在车间任意区域进行自动移动，同时通过抽气采样机构内部结构的配合运行，从而使得抽气采样机构到达指定位置后，能够自动控制轨道小车停止，同时控制一侧的抽气泵启动开始进行抽气取样，从而使得本装置能够在较大的车间区域内部进行自动多点取样检测，整体操作较为方便，提高整体的采样效率。率。率。


技术研发人员：龚旻祈 龚柏睿
受保护的技术使用者：上海艺旻科技有限公司
技术研发日：2023.08.07
技术公布日：2023/10/15