带有可移动测量头的感应式位移传感器的制作方法

1.本发明涉及一种如权利要求1的前序所述的感应式位移传感器。


背景技术：

2.us2003/206 007a1中描述了一种具有可移动或可旋转的导磁测量头的感应式位移传感器。所述感应式位移传感器包括：至少一个测量回路，其几何形状响应于测量头的纵向/旋转位移而改变；以及至少一个励磁回路，通过所述励磁回路可在测量头中产生磁通量。磁通量在测量头的纵向/旋转位移的任何点处(实质上在测量头的区域中)穿透至少一个测量回路，并且感应电测量信号。测量头具有无源谐振电路，所述无源谐振电路被形成为向外电解耦振荡电路，并且在多次、优选地10至20次自由振荡之后通过短电压脉冲以正确的相位关系来激励。


技术实现要素：

3.本发明提出了一种此处相关的具有可移动测量头的感应位移传感器，与现有技术相比，所述感应位移传感器具有至少两对测量回路，所述测量回路的几何形状随着所述测量头的纵向/旋转位移而线性或连续地变化。所述测量头另外包括至少一个励磁回路，通过所述励磁回路，可通过产生磁通量来激励在开头提到的测量头的谐振电路。
4.测量回路对的前两个测量回路优选地形成为三角形并且相对于彼此对称地反射。因此实现：当第一测量回路递送增加的电输出信号时，另一个测量回路分别递送对应减小的输出信号。此处两个测量回路的几何形状和位置以使得两个测量回路的输出信号之和基本恒定的方式选择。
5.另一方面，测量回路对的两个第二测量回路具有适合于在纵向/旋转地移位测量头时发出正弦或余弦输出信号的几何形状。此处，两个测量回路的几何形状基本上相同，但是以以下方式布置：使得当纵向/旋转地移位测量头时两个测量回路中的一个发出正弦输出信号并且相应地另一个测量回路递送余弦输出信号。正弦或余弦输出信号优选地具有相对于彼此的固定相移，由此两个测量回路的几何形状周期性地重复。
6.此处，还可规定，测量回路对的第二测量回路的对应正弦或余弦周期的片段在任何范围内、优选地100mm重复。
7.第一优选地三角测量回路对传送测量头的所谓的“粗略位移”，而第二正弦/余弦测量回路对传送测量头的所谓的“精确位移”。因此，以这种方式测量的测量头的偏转由粗略位移和精确位移的测量结果组成。
8.在图2a中通过示例的方式描绘了所述完整的回路布置。
9.具体地，所提出的位移传感器具有悬停或浮动测量头和自调节功能，并且因此能够实现亚微米范围内的测量分辨率。
10.与开头提到的现有技术相比，用于测量测量头的精确位置的这种正弦或余弦测量回路对与测量头的位置和测量回路的长度无关。
11.根据本发明提出的位移传感器(具体地浮动测量头和测量回路)能够通过数字评估电路对相应测量信号进行完全数字处理或评估。因此，在评估中出现的输出值由三角和正弦或余弦测量回路对的测量信号组成。测量信号通过通用adc(模数转换器)和下述数字电路进行处理。
附图说明
12.图1示意性地示出根据现有技术的位移传感器的等距描绘；
13.图2a示意性地示出根据本发明且与此处相关的位移传感器的主要结构，作为侧视图；
14.图2b示意性地描绘图2a中所示的位移传感器的数字正弦/余弦线圈的一个周期；
15.图2c示意性地描绘图2a中所示的位移传感器的双线圈布置；
16.图3a以框图的方式示出图2中描绘的根据本发明的位移传感器的电子控件/评估单元；
17.图3b示出图3a中描绘的电子控件/评估单元的另一视图，其中分别示出或指出了用于信号幅度的第一反馈回路的信号路径；
18.图3c示出图3a中描绘的电子控件/评估单元的另一视图，其中分别示出或指出了用于频率的第二反馈回路的信号路径；
19.图4a、图4b示出在正弦或余弦测量回路对的测量回路上(图4a)以及在三角测量回路对的测量回路(图4b)上测量的信号幅度；
20.图5a示意性地示出要由图3a中描绘的电子控件/评估单元执行的不连续测量方法或过程的基本原理；
21.图5b示出由图3a中描绘的电子控件/评估单元产生的典型突发激励信号。
具体实施方式
22.图1中的等距描绘中所示的位移传感器包括测量头100，所述测量头布置在伸长支撑体103上并且可在支撑体103的纵向方向上移动。无源振荡电路(此处未示出)布置在测量头100上。在所示的情形下，测量头100被定位在支撑体103上的中心位置105。当测量头在纵向方向上移动时，其可呈现仅指示的另外两个位置110、115。
23.此外，当测量头100相对于支撑体103移动时，所述测量头可倾斜，这对应于此处未描绘的附加旋转移动分量。
24.测量头100刚性地连接至推杆120，使得在推杆120在支撑体103的纵向方向上移位的情况下测量头也对应地移动。因此，通过固定地连接到相应对象的推杆120来执行待测量对象的位移测量。
25.延伸跨过支撑体103的整个纵向方向的矩形励磁线圈125被施加到支撑体103，例如，通过固有已知的“压印平版印刷”方法印到所述支撑体。此外，同样延伸跨过支撑体103的整个纵向方向的三角形接收线圈130被应用于支撑体103。
26.图2a示出根据本发明的感应式位移传感器的示例性实施方式，其具有伸长支撑体300，由铁素体材料制得的可位移测量头305在支撑体300的纵向方向上可移动地布置在所述支撑体上。测量头305继而具有固有已知的谐振电路(此处未示出)。
27.与现有技术相比，在本示例性实施方式中，图2a所示的位移传感器具有两对测量回路310、315和320、325。
28.第一测量回路对具有两个三角测量回路310、315，其几何形状在测量头305纵向移位的情况下以使得两个相应导体的间距垂直于测量头的位移方向变化的方式分别相继改变。
29.位移传感器另外具有两个矩形励磁回路330、335，利用这两个矩形励磁回路，可通过在谐振电路中产生磁通量来激励测量头305的谐振电路。具体地，两个励磁回路330、335以使得磁通量穿透两个测量回路310、315的每个点的方式设计。
30.所示的第一测量回路对310、315具有便于获得对磁激励的响应的几何形状，所述响应沿着位移传感器尽可能线性地变化。因此，通过测量回路310，在测量头305从左向右移动的情况下，线性内聚力适用于本描述：
31.输出值(谐振电路)＝a*x+b，
32.其中x＝测量头305在位移传感器的纵向测量方向x上的位置，并且a、b是可凭经验确定的常数。
33.第一测量回路对的两个测量回路310、315彼此对称地形成并且相对于彼此反射。因此，当第一测量回路310产生增加的输出值时，然后第二测量回路315产生减少的输出值。此处两个测量回路310、315的精确几何形状和位置必须以使得两个测量回路310、315的输出值的和恒定的方式选择。
34.此处所示的示例性实施方式中另外提供的第二测量回路对320、325具有与第一测量回路对310、315不同的几何形状，以便响应于测量头305的纵向或旋转位移而发出其正弦或余弦输出值。这两个测量回路320、325的几何形状在此是相同的。然而，第一测量回路320以以下方式处于x位置：使得响应于测量头305在所示的x方向上的纵向或旋转位移，第一测量回路320发出正弦输出值并且第二测量回路325发出余弦输出值。在测量回路对320、325的情况下，几何形状应当以使得输出值的平方和恒定的方式选择。
35.应当提到的是，当上述值处于恒定水平时，可使用反馈回路来实现自动增益控制(agc)。这种反馈回路在图3b中突出显示。
36.在图2a中，两个励磁回路330、335的电端口被标记为“ex1”和“ex2”。第一三角测量回路310的电端口被标记为ta+和ta-，第二三角测量回路315的端口被标记为tb+和tb-。正弦测量回路320的端口被标记为sin+和sin-，并且余弦测量回路325的端口被标记为cos+和cos-。
37.第二测量回路对的第一测量回路320和第二测量回路325相对于彼此相移固定值，即在本示例性实施方式中相移100mm的值。两个测量回路320、325的对应周期路线在位移传感器300的x方向上对应地重复。
38.测量头305沿着位移传感器300在所示的x方向上的粗略位移可通过第一三角测量回路对310、315来确定，而正弦或余弦测量回路对320、325发出测量头305的精确位移。测量回路对320、325的正弦周期和余弦周期的片段周期性地重复，其中周期长度是任意的，但可在任何范围内、优选地100mm。测量头305的实际位移由粗略位移和精确位移的结果组成。
39.图4a和图4b中示出对应的示例性测量信号。因此，图4a示出取决于测量头在图2a中所示的x方向上的位置的正弦和余弦测量回路320、325的测量信号幅度400、405。在x方向
上相对靠近的周期性信号路线使得能够确定测量头305的精确位移。
40.图4b中示出的取决于测量头305的位置的两个三角测量回路310、315的测量信号幅度410、415仅能够粗略地确定测量头305的位移值，因为它们在x方向上相对平坦(即非周期性)的路线(与图4a中的信号路线相反)。
41.图2b示出图2a所示的位移传感器的数字正弦/余弦线圈的一个周期360。在本实例中，周期长度为100mm。具体地，描绘了两个线圈的对应绕组，示例性的并且在cos线圈的情况下，所示出的六个绕组365、370、375、380、385和390。
42.图2c示出图2a所示的位移传感器的双线圈布置，其中提供了至少两个励磁回路(330、335)，其以使得磁通量穿透相应磁回路(310、315、320、325)的每个点的方式形成。
43.图3a示出根据本发明的电子控件或评估单元的框图，所述电子控件或评估单元用于控制图2a中所示的位移传感器200并且用于评估由位移传感器发出的测量信号。
44.图2a中所示的两个励磁回路330、335的励磁通过控制器225来执行，所述控制器通过数模转换器(dac)220提供励磁电压210。在本示例性实施方式中，控制器被制成可编程电压源并且将所谓的“突发”激励信号555发送到励磁回路330、335，即具有先前设置的电压电平和先前测量的振荡器频率。
45.相应的励磁回路330、335在布置在测量头205上的谐振电路(未示出)中产生振荡。由此振荡的谐振电路继而在两个测量回路对(即，在正弦或余弦测量回路对320、325中以及在三角测量回路对310、315中)产生信号。
46.通过测量回路对310、315和320、325测量的信号的解调通过彼此同步工作的相应同步解调器(sd电路)270、280来执行。当激励无效时(“不连续”测量原理)，两个信号(sin/cos和三角信号)通过两个sd电路270、280被整流和解调。两个sd电路270、280的输出信号被分别提供给解调器/电容器(或“dc电路”)275、285，这两个sd电路的输出电压与测量头205的当前位置成比例。此处第一dc电路275的输出电压对应于测量头205的所述粗略位移，并且第二dc电路285的输出电压对应于测量头205的所述精确位移。
47.测量头205的位置的计算通过将两个dc电路275、285的输出电压提供给一个(或多个)模数转换器(adc)290来执行。控制器225读取adc 290并根据以下等式计算测量头205的当前位置值：
48.测量头205的精确位置如下计算：
49.posfine＝lper/2π*tan-1
(sin/cos)
50.其中“lper”表示正弦或余弦测量回路320、325的几何周期，“sin”表示正弦测量回路320的输出结果，并且“cos”表示余弦测量回路的输出结果。
51.另一方面，测量头205的粗略位置如下计算：
52.poscoarse＝inom*[(ta-tb)/(ta+tb)]，
[0053]
其中“ta”和“tb”是两个三角测量回路310、315的输出结果，并且“lnom”表示两个三角测量回路310、315的标称长度。
[0054]
应当指出的是，这里出现的测量头205的粗略位置的“poscoarse”值表示比率计数量，其对应于测量回路的实际长度，但仅从两个参数(ta-tb)和(ta+tb)相对于彼此的比率导出长度值。通过组合两个值“posfine”和“poscoarse”，测量头205的实际绝对位置出现。控制器225将此结果发送到用户选择的接口295，例如模拟、ssi、io-link或任何总线系统。
[0055]
在本示例性实施方式中，信号识别的所述控制通过可编程放大器215来执行。测量头205在此被浮动安装，使得测量头205的高度可改变。此高度和横向位移对测量回路对310、315或320、325的信号幅度具有很大的影响，并且引起相应输出信号260、265的噪声或分辨率问题。
[0056]
为了实现位移传感器200的高位置分辨率或对应的低噪声水平，两个测量回路信号260、265的幅度必须保持在尽可能恒定的信号电平。这可通过利用可编程电压源(pvs)实现的可编程放大器215来实现。此处，pvs的激励驱动器的电压电平以使得在测量回路310、315或320、325中实现足够的信号幅度的方式设置。然而，激励电压210的较高电平还意味着两个测量回路信号260、265的信号幅度较高。
[0057]
此处要指出的是，“突发”激励信号的数量也可替代地改变，以便实现期望的信号电平。可通过改变激励周期的次数而改变激励能量来评估对应的替代信号幅度控制。因为，当pvs已达到其电压极限时，励磁次数的增加扩展了pvs极限。在励磁线圈具有较高的电感(例如长线圈系统)的情况下，此替代方法特别有利。
[0058]
所需的激励电压电平vexc通过所述dac 220产生并且被计算为
[0059]
vfix*k＝vexc，
[0060]
其中“vfix”是固定电压，“k”是由控制器计算的值并且是sqrt(2+cos2)的函数，并且其中“sin”和“cos”表示正弦或余弦测量回路对的结果项。
[0061]
此处应当指出的是，取代"sin2+cos2"，可使用和值“ta+tb”进行简化，其中“ta”和“tb”表示三角测量回路对310、315的结果项。
[0062]
所述k值可与结果项“sin”和“cos”一起使用以用于计算信号质量，即根据下述等式：
[0063]
signal quality＝log2[(√sin2+cos2)/k]。
[0064]
以这种方式计算的信号质量可用于获得可靠的警告和错误信号。此处，以这种方式计算的信号质量的值与测量头205的物理对准具有线性相关性。
[0065]
振荡器的频率通过频率计245记录。由频率发生器250产生的激励信号210包括一个或多个激励脉冲，所述一个或多个激励脉冲是在与布置在测量头205上的谐振电路的频率相同的频率上以高频率分辨率产生的。此激励是强制激励，其中当激励无效时由控制器255循环地测量频率。需要强调的是，如图3a所见，上述信号质量通过控制器255来确定。对应的励磁信号被提供230到过零检测器(zcd)235，其中zcd 235的周期长度确定振荡器的周期。
[0066]
激励频率对应于测量频率连续地更新，以便补偿谐振电路的波动。这些波动是由温度变化、励磁线圈和测量头之间的耦合变化、老化和/或测量头205的活性表面上的金属脊引起的。此外，必须对测量频率进行滤波和平均。
[0067]
此处要指出的是，所描述的频率测量还可用于例如借助频率扫描安全地识别测量头，其中仅接受或呈现有效的(即源自专利申请人的或兼容的)测量头。
[0068]
zcd 235区别地使用励磁线圈的信号，以便获得与位置和温度无关的比较器信号并且尽可能抑制信号噪声。以这种方式，zcd 235具有较低的相位误差。
[0069]
测量头在生产过程中产生的偏差通过自调节自动补偿，即通过pvs对励磁线圈进行频率调整和幅度调节。
[0070]
由位移传感器200发出的两个测量信号260、265的评估通过图3a中描绘的示例性评估电路来执行。此处，两个测量信号260、265首先被提供给彼此并行且同步地工作的两个同步解调器(sd)270、280，测量信号通过这两个同步解调器根据由相应测量回路对310、315和320、325预定的三角形特性以及也预定的正弦或余弦特性被初始解码或解调。
[0071]
要指出的是，在此示例性实施方式中，评估电路不具有前置放大器，以便在评估两个信号260、265时保持尽可能小的相位误差。
[0072]
对应地通过两个同步解调器(sd)270、280提供、解码的信号最终被提供给一个(或多个)ad转换器290，但通过两个多路复用器275、285进行多路复用，以便针对不同的测量信号260、265获得一致的通道链，由此减少线性和温度误差。
[0073]
此处要指出的是，图3a中所示的评估电路270至290的电路频率可由高分辨率频率测量模块245来设置。
[0074]
在本示例性实施方式中，两个同步调制器(sd)270、280以以下两种操作模式(a.及b.)操作：
[0075]
a.两个同步解调器270、280由过零检测器(zcd)235一起控制，由此出现它们之间的自同步；
[0076]
b.两个同步解调器270、280通过控制器225基于测量的频率260、265一起控制，由此出现它们之间的强制同步。
[0077]
自同步(操作模式a.)实现更高的信号电平，其中强制同步(操作模式b.)实现更高水平的emc抑制。在本示例性实施方式中，为了实现最低信号噪声，两个同步解调器270、280自动在两种操作模式a.与b.之间切换。
[0078]
通过适当选择谐振电路的频率，可根据需要改变测量速率，以实现更高的更新速率或更好的稳定性。此处，100khz的频率是一个很好的折衷方案。
[0079]
为了实现》10khz的高测量速率，可使用“现场可编程门阵列”(fpga)，以便能够并行地实时实现所描述的测量事件和测量结果的评估。
[0080]
通过使用所述对称线圈布置和对应地对称操作的解调器270、280，当确定测量头的位置时，可实现非常低的“抖动”值(6σ≤0.4μm)和非常高的测量分辨率(《0.1μm)。
[0081]
与根据印刷出版物us2003/206 007a1的现有技术中已知的位移传感器相比，因此出现以下差异：
[0082]-根据本发明的测量回路布置具有用于对测量头的位置进行附加的精确分辨率测量的至少一个附加的正弦或余弦测量回路对；
[0083]-位移传感器的位置分辨率与其纵向延伸的长度无关；
[0084]-测量头的安装为浮动式；
[0085]-一个测量周期中可存在更多的激励脉冲；
[0086]-通过正弦/余弦线圈执行励磁反馈；
[0087]-评估电路的输出值通过ad转换器和数字电路由三角和正弦波或余弦波测量回路对的测量信号组成。
[0088]
图3b示出图3a中描绘的电子控件或评估单元的另一视图，其中分别指出或突出显示了涉及信号幅度297的第一反馈回路的信号路径296。此外，图3c示出了与图3b中的电子控件/评估单元类似的视图，但是其中还指出了用于频率299的第二反馈回路的信号路径
298。
[0089]
现在参考图5a和图5b，更详细地描述了通过图2a描述的“突发”激励信号和不连续测量原理。
[0090]
因此，图5a通过时序图示出了不连续测量方法或过程，具体地示出了两个连续的测量周期，即测量周期n 502和测量周期n+1 503。所示的处理步骤由图3a中描绘的电子控件/评估单元执行。
[0091]
在第一测量周期n 502期间，由第一激励500产生第一突发激励信号(根据图3a所示的附图标号210)，并且在第二测量周期n+1 503期间，由随后的第二激励505产生第二突发激励信号。在第一激励500期间，先前(即，在图5a中未突出显示的先前测量周期n-1期间)解调的信号使用adc 290测量525，并且在计算步骤530中由控制器225计算位置信息。
[0092]
基于第一激励500，如结合图3a所描述的，当激励无效时，激励线圈的信号被提供230给零交叉检测器(zcd)235，其中zcd 235的周期长度确定上述振荡器的周期。
[0093]
在第一突发激励信号500之后的短禁止时间515之后，与解调步骤520并行，频率计245执行频率测量510，所述频率计在图3a中示出并且作为频率反馈回路240的一部分，所述频率反馈回路在图3c中还由附图标号298描绘。
[0094]
在第二测量周期n+1 503期间，基于第二激励505，激励线圈的信号也被提供230到zcd 235。在解调步骤520之后，使用adc 290测量535解调信号，并且在计算步骤540中由控制器225计算位置信息。
[0095]
最后，图5b在上半部分示出典型的突发激励信号555，并且在下半部分示出了典型的对应响应信号560，所述响应信号由zcd 235输出并且通过在图3a中示出并且在图3c中突出显示的频率反馈回路240递送到频率计245，所述响应信号由图3a中描绘的电子控件/评估单元测量。

技术特征：
1.一种感应式位移传感器，所述感应式位移传感器具有：导磁测量头(100)，所述导磁测量头可移位和/或可旋转地布置在伸长支撑体(103)上；至少一个测量回路(130)，所述至少一个测量回路布置在所述支撑体(103)上，所述至少一个测量回路的几何形状响应于所述测量头(100)沿着所述支撑体(103)的纵向/旋转位移而变化；以及至少一个励磁回路(125)，所述至少一个励磁回路布置在所述支撑体(103)上，可通过所述励磁回路在所述测量头(100)中产生磁通量，其特征在于，提供至少两个测量回路(310、320)，其中至少一个第一测量回路(310)以以下方式在几何上设计：使得对所述测量头(100、305)的磁激励尽可能线性变化的响应随着所述测量头(100、305)沿着所述支撑体(300)的纵向/旋转位移而出现，并且其中至少一个第二测量回路(320)以以下方式在几何上形成：使得对所述测量头(100、305)的磁激励的周期性变化的响应随着所述测量头(100、305)沿着所述支撑体(300)的纵向/旋转位移而出现。2.如权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述至少一个第一测量回路(310)沿着所述支撑体(300)形成为三角形，并且所述至少一个第二测量回路沿着所述支撑体(300)形成为正弦曲线和/或余弦曲线。3.如权利要求1或2所述的位移传感器，其特征在于，提供至少两个测量回路对(310、315、320、325)，其中所述至少一个第一测量回路对(310、315)具有彼此对称布置的至少两个三角测量回路(310、315)，并且所述至少一个第二测量回路对(320、325)具有形成为正弦曲线或余弦曲线的至少两个测量回路(320、325)。4.如权利要求3所述的位移传感器，其特征在于，所述至少两个三角测量回路(310、315)彼此镜像布置。5.如权利要求3或4所述的位移传感器，其特征在于，所述第二测量回路对(320、325)的所述至少一个第一测量回路(320)和所述至少一个第二测量回路(325)布置成相对于彼此相移预定相位值。6.如权利要求5所述的位移传感器，其特征在于，所述至少一个第二测量回路对(320、325)的正弦或余弦周期的片段周期性地重复，其中所述周期长度是任意的并且可在任何范围内、优选地100mm。7.如权利要求3至6中一项或多项所述的位移传感器，其特征在于，所述第一测量回路对(310、315)的所述测量回路的几何形状和位置以使得所述第一测量回路对(310、315)的所述测量回路的输出值之和尽可能恒定的方式选择。8.如权利要求3至7中一项或多项所述的位移传感器，其特征在于，所述第二测量回路对(320、325)的所述测量回路的几何形状和位置以使得所述第二测量回路对(320、325)的所述测量回路的输出值的平方和尽可能恒定的方式选择。9.如权利要求8所述的位移传感器，其特征在于，基于反馈回路的自动增益控制(图3b)。10.如前述权利要求中一项或多项所述的位移传感器，其特征在于，提供至少两个励磁回路(330、335)，所述励磁回路以使得磁通量穿透相应磁回路(310、315、320、325，图2c)的每个点的方式形成。11.如前述权利要求中一项或多项所述的位移传感器，其特征在于，所述测量头(100、305)沿着所述支撑体(300)的粗略位移通过所述第一测量回路对(310、315)确定，并且所述
测量头(100、305)沿着所述支撑体(300)的精确位移通过所述第二测量回路对(320、325)确定。12.如权利要求11所述的位移传感器，其特征在于，所述测量头(100、305)的实际位移由所述粗略位移和所述精确位移的结果确定。13.一种用于操作如前述权利要求中任一项所述的感应式位移传感器的控制/评估单元，其特征在于：控制器(225)，所述控制器用于产生励磁电压(210)，所述磁力机电压用于通过数模转换器(220)来激励所述至少两个励磁回路(330、335)；以及至少两个解调器(270、280)，所述至少两个解调器用于对通过所述至少两个测量回路测量的信号(260、265)进行解码(310、320)，其中至少两个解调器(270、280)被形成为彼此同步工作的同步解调器，通过所述至少两个解调器对所述至少两个测量信号(260、265)进行解码，并且其中所述控制器(225)被形成为可编程电压源。14.如权利要求13所述的控制/评估单元，其特征在于，第一反馈回路(图3b)，所述第一反馈回路用于信号幅度。15.如权利要求13或14所述的控制/评估单元，其特征在于，基于测量的信号幅度并且基于设置的激励电平，计算与所述位移传感器的所述测量头(100、205)的物理对准线性相关的信号质量。16.如权利要求13至15中一项或多项所述的控制/评估单元，其特征在于，第二反馈回路(图3c)，所述第二反馈回路用于信号频率。17.如权利要求13至16中一项或多项所述的控制/评估单元，其特征在于，不连续的信号测量过程，其中所述控制器(225)将“突发”激励信号(555)发送到所述至少两个励磁回路(330、335)，即具有预先设置的电压电平和预先测量的振荡器频率。18.如权利要求15至17中一项或多项所述的控制/评估单元，其特征在于，所述解调器(270、280)的输出信号分别被提供给解调器/电容器(275、285)，所述解调器/电容器的输出电压与所述测量头(100、205)的当前位置成比例，其中所述第一解调器/电容器(275)的所述输出电压对应于所述测量头(100、205)的粗略位移并且所述第二解调器/电容器(285)的输出电压对应于所述测量头(100、205)的精确位移。19.如权利要求13至18中一项或多项所述的控制/评估单元，其特征在于，至少两个多路复用器(275、285)，通过所述至少两个多路复用器对解码信号即所述解调器(270、280)的输出进行多路复用并提供给模数转换器(290)，以便针对所述至少两个测量信号(260、265)获得一致的信道链。

技术总结
一种感应式位移传感器，其具有：导磁测量头(100)，所述导磁测量头可移位和/或可旋转地布置在伸长支撑体(103)上；至少一个测量回路(130)，所述至少一个测量回路的几何形状响应于所述测量头(100)沿着所述支撑体(103)的纵向/旋转位移而变化；以及至少一个励磁回路(125)，可通过所述励磁回路在所述测量头(100)中产生磁通量，具体地，提供了至少两个测量回路(310、320)，其中第一测量回路(310)以以下方式在几何上形成：使得对所述测量头(305)的磁激励尽可能线性变化的响应随着所述测量头(305)沿着所述支撑体(300)的纵向/旋转位移而出现，并且其中至少第二测量回路(320)以以下方式在几何上形成：使得对所述测量头(305)的磁激励的周期性变化的响应随着所述测量头(305)的纵向/旋转位移而出现。(305)的纵向/旋转位移而出现。(305)的纵向/旋转位移而出现。


技术研发人员：安德拉斯
受保护的技术使用者：巴鲁夫公司
技术研发日：2022.02.15
技术公布日：2023/10/15