一种用于TOPCON电池LPCVD双插工艺的碱抛添加剂及其加工设备的制作方法

一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂及其加工设备
技术领域
1.本发明涉及硅片电池制备技术领域，具体来说，涉及一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂及其加工设备。


背景技术：

2.隧穿氧化层钝化接触太阳能电池即topcon电池，主流生产技术路线分为pecvd和lpcvd；lpcvd路线有单插和双插工艺(在lpcvd工序段)，双插工艺产能翻倍设备成本和运营成本均可大幅降低，双插工艺如下问题存在：1、背面poly磷扩散时，绕扩到正面的磷会使bsg变成bpsg；2、hf对bpsg的腐蚀速率很快，hf去除正面psg时bpsg会被快速的腐蚀；3、碱抛去绕镀时，较薄的bpsg的区域无法阻挡碱腐蚀，导致绒面发白。lpcvd沉积膜不具备方向性，因电池片立于石英舟之上，氧化层及本征多晶硅层也同样会附着在电池片的侧面及正面，形成包裹，即“绕镀”现象。多余的隧穿层、掺杂多晶硅层必须被去除，因此后续需要引入“去绕镀”工艺，但lpcvd绕镀成为痛点的根本原因在于去绕镀较难控制，影响电池良率，清洗绕镀，可能导致去除不完全、或者掺杂多晶硅层遭刻蚀，影响电池效率。
3.针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂及其加工设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
6.一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂，其各组分的含量为：经过纳米均质机处理的0.01-0.1质量份的纳米材料催化剂、3-8质量份的络合分散剂、1-5质量份的无机盐、5-8质量份的表面活性剂、78.9-90.99质量份的去离子水。
7.进一步的，所述的纳米材料催化剂为纳米二氧化钛、纳米氧化锌、纳米硫化锌中的一种或两种以上组合。纳米材料催化剂能够起到光亮剂效果、分散均匀的目的，有助于后期清洗；所述的络合分散剂为苯甲酸钠、海藻酸钠、柠檬酸钠、乙二酸、酒石酸钠中的一种或两种以上组合。络合分散剂能够起到调节的作用；所述的无机盐为硫酸钠、硫酸钾、焦硫酸钠中的一种或两种以上组合；所述的表面活性剂为十二烷基二甲基甜菜碱、烷基萘磺酸钠盐、烷基糖苷十二烷基硫酸钠中的一种或两种以上组合。表面活性剂能够起到有效的保护效果。
8.采用上述添加剂抛光的topcon电池，清洗干净绕镀过来的polysi和少量bpsg，选择性保护了bsg，控制了碱腐蚀速率，均匀清洗腐蚀绕镀，没有色差外观不良等问题，实现了双插工艺与单插工艺电池效率持平，而产能翻倍，成本降低，本发明重点有选择性保护了bsg的效果，从而解决双插工艺和外观问题。
9.一种使用上述的碱抛添加剂的应用工艺，包括如下步骤：
10.a.将准备好的topcon电池硅片进行上料，对硅片外表面进行保护；
11.b.将完成步骤a的硅片放入碱性溶液进行预清洗，去除硅片表面酸残留物及其它溶于碱的杂质；
12.c.将完成步骤b的硅片放入去离子水中清洗；
13.d.将完成步骤c的硅片放入配置好的去绕镀槽液中进行抛光；
14.e.将完成步骤d的硅片放入去离子水中清洗；
15.f.将完成步骤e的硅片放入放入酸性溶液中进行清洗，去除硅片正面psg和硅片表面碱残留；
16.g.将完成步骤f的硅片放入去离子水中清洗；
17.h.将完成步骤g的硅片进行烘干，然后下料。
18.一种用于生产上述碱抛添加剂的加工设备，包括底座板，所述底座板的顶部设有搅拌桶和立柱，所述立柱的顶端端部固定安装有横杆，所述横杆的端部设有动力机构，所述动力机构的输出端连接有传动机构，所述传动机构设于搅拌桶上方，所述传动机构的底端端部安装有旋转板，所述旋转板的底部安装有搅拌机构，所述搅拌机构设于搅拌桶内部，所述横杆的端部固定安装有竖板，所述竖板的顶端端部固定安装有横板，所述横板的底部设有加强筋，所述横板的顶部固定安装有加强杆，所述加强杆朝向动力机构的一端固定安装有机座，所述传动机构固定安装在竖板的侧壁上，所述动力机构包括固定安装在机座上的电机，所述电机的底部动力连接有减速器，所述减速器的输出轴与传动机构相连接，所述搅拌机构包括第一搅拌桨和第二搅拌桨，所述第一搅拌桨固定安装在旋转板的底端中心上，所述第二搅拌桨安装在旋转板的底部外侧，所述第二搅拌桨环绕第一搅拌桨设置，所述第二搅拌桨旋转安装在旋转板底部，所述旋转板的顶部还安装有用于对第二搅拌桨进行转动调节的调节机构。
19.进一步的，所述传动机构包括外壳，所述外壳的顶部固定安装有顶盖板，所述外壳的内部一侧设有第一转轴，所述第一转轴与减速器的输出轴动力连接，所述第一转轴外部固定安装有第一齿轮，所述外壳的内部远离第一转轴的一侧设有第二转轴，所述第二转轴的外部固定安装有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合，所述外壳的底部转动安装有旋转底壳，所述旋转底壳固定安装在第二转轴的底端端部，所述旋转底壳与第二转轴同轴心设置，所述旋转底壳的内部一侧转动安装有第三转轴，所述第三转轴的顶部固定安装有第三齿轮，所述外壳的底部还固定安装有内齿圈，所述内齿圈套设与第二转轴的外部，所述第三齿轮与内齿圈相啮合，所述旋转板固定安装在第三转轴的底端端部上。
20.进一步的，所述第一搅拌桨包括第一搅拌轴，所述第一搅拌轴固定安装在旋转板的底部中心上，所述第一搅拌轴的侧壁上固定安装有搅拌杆，所述第一搅拌轴的侧壁上螺旋设置有内桨叶，所述第一搅拌轴的外部环绕有螺旋设置的外桨叶，外桨叶与搅拌杆的端部固定连接，且搅拌轴的底端端部还设有底部桨叶，所述第二搅拌桨包括连接块，所述连接块安装在调节机构底部，所述连接块的底部固定安装有安装架，所述安装架的底部固定安装有桨叶板，所述桨叶板上开设有安装孔，所述安装孔内转动安装有辅助搅拌桨，相邻两个安装孔之间开设有长条孔，所述长条孔内安装有斜插板，所述桨叶板远离第一搅拌桨的一侧设有刮板，所述刮板通过连接柱固定安装在桨叶板外侧。
21.进一步的，所述旋转板的外侧绕着中心均匀开设有装配孔，所述调节机构包括转
动块，所述转动块贯穿装配孔设置，所述转动块转动安装在装配孔内，所述第二搅拌桨通过连接块固定安装在转动块底部，所述转动块的顶部固定安装有曲柄杆，所述曲柄杆远离转动块的一端端部铰接连接有连接杆，所述连接杆远离曲柄杆的一端铰接有连接臂，所述旋转板的顶部中心固定安装有固定环板，所述固定环板的顶部转动安装有旋转块，所述连接臂远离连接杆的一端端部固定安装在旋转块上，所述旋转块的侧壁上还固定安装有调节杆，所述调节杆远离旋转块的一端设有调节块，所述调节块上开设有通孔，所述调节杆贯穿通孔设置，所述调节机构还包括调节组件，所述调节块通过安装柱固定安装在调节组件上。
22.进一步的，所述调节组件包括底部环板，所述底部环板设于旋转板的顶部中心正上方，所述底部环板的顶部设有安装槽，所述安装柱转动安装在安装槽内，所述底部环板的底部通过支撑杆固定安装有顶部环板，所述顶部环板的顶部固定安装有调节把手，所述顶部环板的正上方设有固定板，所述固定板固定安装在第三转轴的外部，所述固定板上开设有限位孔，所述调节把手贯穿限位孔设置，所述固定板上安装有用于对调节把手进行锁定的锁定组件，所述锁定组件包括固定安装在调节把手侧壁上的固定块，所述固定块远离调节把手的一侧通过三角杆安装有卡环，所述固定板上固定安装有锁定杆，所述卡环卡设于锁定杆上。
23.进一步的，所述卡环的两端端部固定安装有锁止头，所述锁定杆的两端端部固定安装有挡头，所述挡头的底部固定安装有支撑块，所述支撑块的底部通过连接垫固定安装在固定板上。
24.与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
25.(1)与现有技术相比本添加剂可以清洗干净绕镀过来的polysi和少量bpsg，选择性保护了bsg，控制了碱腐蚀速率，均匀清洗腐蚀绕镀，没有色差外观不良等问题，实现了双插工艺与单插工艺电池效率持平，而产能翻倍，降低了成本，本发明中的添加剂可以解决双插工艺去绕镀的问题。
26.(2)传动机构能够带动旋转板实现自转的同时还能绕着第二转轴进行公转，将搅拌桶与第二转轴设置成同轴心的时候，便可以使旋转板带动第一搅拌桨和第二搅拌桨在搅拌桶内实现偏心搅拌，同时旋转板还能相对第三转轴进行自转，继而使第一搅拌桨与第二搅拌桨实现更好的搅拌效果，确保搅拌无死角，同时第二搅拌桨上设置的刮板还能够对搅拌桶的内侧壁进行清洁，降低了后期清洁的繁琐。
27.(3)可以很方便的通过调节机构对第二搅拌桨的角度进行转动调节，使第二搅拌桨起到更好的搅拌效果，调节机构的转动调节还能实现自锁，能够同时同步的对所有的第二搅拌桨进行同角度的调节，确保调节的同步性。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备的结构示意图；
30.图2是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中搅拌机构的底部结构示意图结构示意图；
31.图3是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中搅拌机构的顶部结构示意图结构示意图；
32.图4是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中传动机构与搅拌结构的装配图；
33.图5是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中传动机构的结构示意图；
34.图6是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中传动机构的内部结构示意图；
35.图7是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中调节机构的装配图；
36.图8是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中第一搅拌桨的结构示意图；
37.图9是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中第二搅拌桨的结构示意图；
38.图10是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中调节机构的结构示意图；
39.图11是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中旋转板的结构示意图；
40.图12是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中调节机构的零部件组装图；
41.图13是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中调节组件的结构示意图；
42.图14是根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备中锁定组件的结构示意图。
43.附图标记：
44.1、底座板；2、立柱；3、横杆；4、动力机构；41、电机；42、减速器；5、传动机构；50、内齿圈；51、外壳；52、顶盖板；53、第一转轴；54、第一齿轮；55、第二转轴；56、第二齿轮；57、旋转底壳；58、第三转轴；59、第三齿轮；6、旋转板；61、固定环板；62、装配孔；63、装配套；7、搅拌机构；71、第一搅拌桨；711、第一搅拌轴；712、搅拌杆；713、内桨叶；714、外桨叶；715、底部桨叶；72、第二搅拌桨；721、连接块；722、安装架；723、桨叶板；724、安装孔；725、辅助搅拌桨；726、长条孔；727、斜插板；728、连接柱；729、刮板；8、调节机构；81、转动块；82、曲柄杆；83、连接杆；84、连接臂；85、旋转块；86、调节杆；87、调节块；88、通孔；89、安装柱；9、搅拌桶；10、竖板；11、横板；12、加强筋；13、加强杆；14、机座；15、调节组件；16、底部环板；17、安装槽；18、支撑杆；19、顶部环板；20、调节把手；21、固定板；22、限位孔；23、锁定组件；24、固定块；25、三角杆；26、卡环；27、锁止头；28、锁定杆；29、挡头；30、支撑块；31、连接垫。
具体实施方式
45.下面，结合附图以及具体实施方式，对发明做出进一步的描述：
46.实施例一：
47.根据本发明实施例的一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂，其各组分的含量为：经过纳米均质机处理的0.01-0.1质量份的纳米材料催化剂、3-8质量份的络合分散剂、1-5质量份的无机盐、5-8质量份的表面活性剂、其余组分为去离子水；
48.以上原料的含量总和为100质量份。
49.将以上原料按顺序加入搅拌罐中搅拌溶解均匀，即可制成所需添加剂。
50.本发明所述的纳米材料催化剂为纳米二氧化钛、纳米氧化锌、纳米硫化锌中的一种或两种以上组合。纳米材料催化剂能够起到光亮剂效果、分散均匀的目的，有助于后期清洗。
51.本发明所述的络合分散剂为苯甲酸钠、海藻酸钠、柠檬酸钠、乙二酸、酒石酸钠中的一种或两种以上组合。络合分散剂能够起到调节的作用。
52.本发明所述的无机盐为硫酸钠、硫酸钾、焦硫酸钠中的一种或两种以上组合。
53.本发明所述的表面活性剂为十二烷基二甲基甜菜碱、烷基萘磺酸钠盐、烷基糖苷十二烷基硫酸钠中的一种或两种以上组合。表面活性剂能够起到有效的保护效果。
54.采用上述添加剂抛光的topcon电池，清洗干净绕镀过来的polysi和少量bpsg，选择性保护了bsg，控制了碱腐蚀速率，均匀清洗腐蚀绕镀，没有色差外观不良等问题，实现了双插工艺与单插工艺电池效率持平，而产能翻倍，成本降低，本发明重点有选择性保护了bsg的效果，从而解决双插工艺和外观问题。
55.本发明还公开了一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂的应用工艺，包括如下步骤：
56.i.将准备好的topcon电池硅片进行上料，对硅片外表面进行保护；
57.j.将完成步骤a的硅片放入碱性溶液进行预清洗，去除硅片表面酸残留物及其它溶于碱的杂质；
58.k.将完成步骤b的硅片放入去离子水中清洗；
59.l.将完成步骤c的硅片放入配置好的去绕镀槽液中进行抛光；
60.m.将完成步骤d的硅片放入去离子水中清洗；
61.n.将完成步骤e的硅片放入放入酸性溶液中进行清洗，去除硅片正面psg和硅片表面碱残留；
62.o.将完成步骤f的硅片放入去离子水中清洗；
63.p.将完成步骤g的硅片进行烘干，然后下料。
64.上述中的去绕镀槽液的配置方法为：0.5％-4％无机碱(氢氧化钠或氢氧化钾)、0.5％-3％碱抛添加剂、其余组分为离子水，且上述原料的含量总和为100％上述中的无机碱为氢亚化钠、氢氧化钾中的一种或两种结合。
65.上述步骤d中的抛光处理的温度控制在60-75℃，时间控制在100s-300s。
66.通过本发明的上述方案，与现有技术相比清洗干净绕镀过来的polysi和少量bpsg，选择性保护了bsg，控制了碱腐蚀速率，均匀清洗腐蚀绕镀，没有色差外观不良等问题，实现了双插工艺与单插工艺电池效率持平，而产能翻倍，降低了成本。
67.本发明还公开了一种topcon电池lpcvd工艺流程，包括如下步骤：
68.1)碱制绒；
69.2)硼扩散；
70.3)去psg同时背面抛光；
71.4)lpcvd背钝化，sio2+polysi；
72.5)管式磷掺杂/晶化；
73.6)去psg+去polysi绕镀；
74.7)正背膜表面钝化；
75.8)丝网印刷。
76.实施例二：
77.为了方便实施例一种的添加剂的配置，请参阅图1-4，本实施例中公开了一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂加工设备，包括底座板1，所述底座板1的顶部设有搅拌桶9，底座板1的顶部还固定安装有位于搅拌桶9一侧的立柱2，立柱2的顶端端部固定安装有横杆3，横杆3的端部设有动力机构4，动力机构4的输出端连接有传动机构5，传动机构5设于搅拌桶9上方，且传动机构5的底端端部安装有旋转板6，旋转板6的底部安装有搅拌机构7，搅拌机构7设于搅拌桶9内部。将碱抛添加剂的各组分以此加入搅拌桶9内，然后启动动力机构4，动力机构4会通过传动机构5带动旋转板6旋转，当旋转板6旋转时会带动其底部的搅拌机构7在搅拌桶9内部进行搅拌，从而使碱抛添加剂的各组分进行充分溶解。
78.为了使动力机构4和传动机构5能够稳定的安装在横杆3端部，本实施例中，所述横杆3的端部固定安装有竖板10，竖板10的顶端端部固定安装有横板11，横板11的底部设有加强筋12，横板11的顶部固定安装有加强杆13，加强杆13朝向动力机构4的一端固定安装有机座14，传动机构5固定安装在竖板10的侧壁上，动力机构4包括固定安装在机座14上的电机41，电机41的底部动力连接有减速器42，减速器42的输出轴与传动机构5相连接。
79.为了使搅拌机构7能够对搅拌桶9内的碱抛添加剂组分进行有效的搅拌，本实施例中，所述搅拌机构7包括第一搅拌桨71和第二搅拌桨72，第一搅拌桨71固定安装在旋转板6的底端中心上，第二搅拌桨72安装在旋转板6的底部外侧，第二搅拌桨72环绕第一搅拌桨71设置，且第二搅拌桨72可旋转调节的安装在旋转板6底部，旋转板6的顶部还安装有用于对第二搅拌桨72进行转动调节的调节机构8。调节机构8能够改变第二搅拌桨72相对第一搅拌桨71的角度，使第二搅拌桨72配合第一搅拌桨71实现更好的搅拌效果。
80.请参阅图5-6，为了使传动机构5能够更好的带动旋转板6转动，从而起到搅拌机构7的更好搅拌效果，本实施例中，所述传动机构5包括外壳51，外壳51的顶部固定安装有顶盖板52，外壳51的内部一侧设有第一转轴53，第一转轴53与减速器42的输出轴动力连接，第一转轴53外部固定安装有第一齿轮54，外壳51的内部远离第一转轴53的一侧设有第二转轴55，第二转轴55的外部固定安装有第二齿轮56，第二齿轮56与第一齿轮54相啮合，所述外壳51的底部转动安装有旋转底壳57，旋转底壳57固定安装在第二转轴55的底端端部，旋转底壳57与第二转轴55同轴心设置，旋转底壳57的内部一侧转动安装有第三转轴58，第三转轴58的顶部固定安装有第三齿轮59，外壳51的底部还固定安装有内齿圈50，内齿圈50套设与第二转轴55的外部，且第三齿轮59与内齿圈50相啮合，旋转板6固定安装在第三转轴58的底端端部上。
81.当电机41启动时，电机41会带动减速器42工作，减速器42便会带动第一转轴53旋转，第一转轴53此时会通过第一齿轮54和第二齿轮56带动第二转轴55工作旋转，当第二转轴55转动时会带动其底端端部固定安装的旋转底壳57旋转，而旋转底壳57的转动会带动第三转轴58旋转，第三转轴58转动的同时还会通过第三齿轮59和内齿圈50的作用实现自转，因此第三转轴58便可以通过旋转板6带动搅拌机构7在搅拌桶9内实现偏心转动，同时还能实现自转，有效的提高搅拌的效率。
82.请参阅图7-9，为了使第一搅拌桨71能够实现良好的搅拌效果，本实施例中，所述第一搅拌桨71包括第一搅拌轴711，第一搅拌轴711固定安装在旋转板6的底部中心上，第一搅拌轴711的侧壁上固定安装有搅拌杆712，第一搅拌轴711的侧壁上螺旋设置有内桨叶713，第一搅拌轴711的外部环绕有螺旋设置的外桨叶714，外桨叶714与搅拌杆712的端部固定连接，且第一搅拌轴711的底端端部还设有底部桨叶715。
83.为了使第二搅拌桨72能够实现良好的搅拌效果，本实施例中，所述第二搅拌桨72包括连接块721，连接块721安装在调节机构8底部，连接块721的底部固定安装有安装架722，安装架722的底部固定安装有桨叶板723，桨叶板723上开设有安装孔724，安装孔724内转动安装有辅助搅拌桨725，辅助搅拌桨725能够对搅拌桶9内的添加剂进行有效的辅助搅拌，相邻两个安装孔724之间开设有长条孔726，长条孔726内安装有斜插板727，斜插板727可以对搅拌桶9内的添加剂进行有效的导流，配合辅助搅拌桨725实现更好的扰流，提高搅拌效果。
84.因为第二搅拌桨72设于第一搅拌桨71外部，且第二搅拌桨72的角度还可以通过调节机构8进行调节，因此为了使第二搅拌桨72能够具有更好的实用性，本实施例中，所述桨叶板723远离第一搅拌桨71的一侧设有刮板729，刮板729通过连接柱728固定安装在桨叶板723外侧。在实际使用过程中，可以通过调节机构8调节桨叶板723的角度，使刮板729能够根据搅拌桶9的内壁位置进行调节，使刮板729能够对搅拌桶9的内侧壁进行刮除清洁，降低物料在搅拌桶9内侧壁的粘黏。
85.通过本发明的上述方案，传动机构5能够带动旋转板6实现自转的同时还能绕着第二转轴55进行公转，将搅拌桶9与第二转轴55设置成同轴心的时候，便可以使旋转板6带动第一搅拌桨71和第二搅拌桨72在搅拌桶9内实现偏心搅拌，同时旋转板6还能相对第三转轴58进行自转，继而使第一搅拌桨71与第二搅拌桨72实现更好的搅拌效果，确保搅拌无死角，同时第二搅拌桨72上设置的刮板729还能够对搅拌桶9的内侧壁进行清洁，降低了后期清洁的繁琐。
86.实施例三：
87.请参阅图10-14，对于实施例二来说，为了使调节机构8能够对第二搅拌桨72进行有效的调节，本实施例中，所述旋转板6的外侧绕着中心均匀开设有装配孔62，所述调节机构8包括转动块81，转动块81贯穿装配孔62设置，且转动块81转动安装在装配孔62内，第二搅拌桨72通过连接块721固定安装在转动块81底部。当转动转动块81时，便可以对安装在转动块81底部的第二搅拌桨72进行旋转，继而改变第二搅拌桨72的角度。所述旋转板6的顶端中心固定安装有装配套63，第三转轴58的底端端部固定安装在装配套63内。
88.为了能够对所有的转动块81进行同时调节，本实施例中，所述转动块81的顶部固定安装有曲柄杆82，曲柄杆82远离转动块81的一端端部铰接连接有连接杆83，连接杆83远
离曲柄杆82的一端铰接有连接臂84，所述旋转板6的顶部中心固定安装有固定环板61，固定环板61的顶部转动安装有旋转块85，连接臂84远离连接杆83的一端端部固定安装在旋转块85上，旋转块85的侧壁上还固定安装有调节杆86，调节杆86远离旋转块85的一端设有调节块87，调节块87上开设有通孔88，调节杆86贯穿通孔88设置，调节机构8还包括调节组件15，且调节块87通过安装柱89固定安装在调节组件15上。转动调节组件15，调节组件15会通过安装柱89带动调节块87同步移动，当调节块87移动时会通过通孔88给调节杆86施力，调节杆86便会带动其端部的旋转块85转动，旋转块85的转动会通过连接臂84和连接杆83牵引曲柄杆82移动，而曲柄杆82又与转动块81固定连接，因此曲柄杆82便会转动转动块81，继而实现对所有的转动块81实现同步调节。
89.为了使调节组件15能够对调节块87进行有效的调节，本实施例中，所述调节组件15包括底部环板16，底部环板16设于旋转板6的顶部中心正上方，底部环板16的顶部设有安装槽17，安装柱89转动安装在安装槽17内，当通过外力旋转底部环板16时，便可以通过安装槽17带动所有的安装柱89同步移动，继而使安装柱89带动调节块87同步调节。
90.为了能够方便调节底部环板16的转动，本实施例中，所述底部环板16的底部通过支撑杆18固定安装有顶部环板19，顶部环板19的顶部固定安装有调节把手20，通过调节把手20转动顶部环板19，顶部环板19再通过支撑杆18转动底部环板16。为了使调节把手20在调节之后能够实现定位，本实施例中，所述顶部环板19的正上方设有固定板21，固定板21固定安装在第三转轴58的外部，固定板21上开设有限位孔22，调节把手20贯穿限位孔22设置，固定板21上安装有用于对调节把手20进行锁定的锁定组件23，所述锁定组件23包括固定安装在调节把手20侧壁上的固定块24，固定块24远离调节把手20的一侧通过三角杆25安装有卡环26，固定板21上固定安装有锁定杆28，卡环26卡设于锁定杆28上。卡环26与锁定杆28的配合可以对调节把手20进行锁定避免调节之后自我移动。
91.为了使卡环26与锁定杆28之间实现更加稳定的锁定，本实施例中，所述卡环26的两端端部固定安装有锁止头27，当卡环26卡设于锁定杆28外部时，锁止头27可以对锁定杆28的夹持，确保卡环26不会自我移动，所述锁定杆28的两端端部固定安装有挡头29，挡头29可以避免卡环26滑出锁定杆28，挡头29的底部固定安装有支撑块30，支撑块30的底部通过连接垫31固定安装在固定板21上。
92.通过本发明的上述方案，可以很方便的通过调节机构8对第二搅拌桨72的角度进行转动调节，使第二搅拌桨72起到更好的搅拌效果，调节机构8的转动调节还能实现自锁，能够同时同步的对所有的第二搅拌桨72进行同角度的调节，确保调节的同步性。
93.为了方便理解本发明的上述技术方案，以下就本发明在实际过程中的工作原理或者操作方式进行详细说明。
94.在实际应用时，当电机41启动时，电机41会带动减速器42工作，减速器42便会带动第一转轴53旋转，第一转轴53此时会通过第一齿轮54和第二齿轮56带动第二转轴55工作旋转，当第二转轴55转动时会带动其底端端部固定安装的旋转底壳57旋转，而旋转底壳57的转动会带动第三转轴58旋转，第三转轴58转动的同时还会通过第三齿轮59和内齿圈50的作用实现自转，因此第三转轴58便可以通过旋转板6带动搅拌机构7在搅拌桶9内实现偏心转动，同时还能实现自转，有效的提高搅拌的效率。
95.传动机构5能够带动旋转板6实现自转的同时还能绕着第二转轴55进行公转，将搅
拌桶9与第二转轴55设置成同轴心的时候，便可以使旋转板6带动第一搅拌桨71和第二搅拌桨72在搅拌桶9内实现偏心搅拌，同时旋转板6还能相对第三转轴58进行自转，继而使第一搅拌桨71与第二搅拌桨72实现更好的搅拌效果，确保搅拌无死角，同时第二搅拌桨72上设置的刮板729还能够对搅拌桶9的内侧壁进行清洁，降低了后期清洁的繁琐，可以很方便的通过调节机构8对第二搅拌桨72的角度进行转动调节，使第二搅拌桨72起到更好的搅拌效果，调节机构8的转动调节还能实现自锁，能够同时同步的对所有的第二搅拌桨72进行同角度的调节，确保调节的同步性。
96.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
97.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
98.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
99.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂，其特征在于，其各组分的含量为：经过纳米均质机处理的0.01-0.1质量份的纳米材料催化剂、3-8质量份的络合分散剂、1-5质量份的无机盐、5-8质量份的表面活性剂、78.9-90.99质量份的去离子水。2.根据权利要求1所述的用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂，其特征在于，所述纳米材料催化剂为纳米二氧化钛、纳米氧化锌、纳米硫化锌中的一种或两种以上组合，所述络合分散剂为苯甲酸钠、海藻酸钠、柠檬酸钠、乙二酸、酒石酸钠中的一种或两种以上组合。3.根据权利要求1所述的用于topcon电池lpcvd双插工艺的碱抛添加剂，其特征在于，所述无机盐为硫酸钠、硫酸钾、焦硫酸钠中的一种或两种以上组合，所述表面活性剂为十二烷基二甲基甜菜碱、烷基萘磺酸钠盐、烷基糖苷十二烷基硫酸钠中的一种或两种以上组合。4.一种使用权利要求1所述的碱抛添加剂的应用工艺，其特征在于，包括如下步骤：a.将准备好的topcon电池硅片进行上料，对硅片外表面进行保护；b.将完成步骤a的硅片放入碱性溶液进行预清洗，去除硅片表面酸残留物及其它溶于碱的杂质；c.将完成步骤b的硅片放入去离子水中清洗；d.将完成步骤c的硅片放入配置好的去绕镀槽液中进行抛光；e.将完成步骤d的硅片放入去离子水中清洗；f.将完成步骤e的硅片放入放入酸性溶液中进行清洗，去除硅片正面psg和硅片表面碱残留；g.将完成步骤f的硅片放入去离子水中清洗；h.将完成步骤g的硅片进行烘干，然后下料。5.一种用于生产权利要求1或2所述碱抛添加剂的加工设备，其特征在于，包括底座板(1)，所述底座板(1)的顶部设有搅拌桶(9)和立柱(2)，所述立柱(2)的顶端端部固定安装有横杆(3)，所述横杆(3)的端部设有动力机构(4)，所述动力机构(4)的输出端连接有传动机构(5)，所述传动机构(5)设于搅拌桶(9)上方，所述传动机构(5)的底端端部安装有旋转板(6)，所述旋转板(6)的底部安装有搅拌机构(7)，所述搅拌机构(7)设于搅拌桶(9)内部，所述横杆(3)的端部固定安装有竖板(10)，所述竖板(10)的顶端端部固定安装有横板(11)，所述横板(11)的底部设有加强筋(12)，所述横板(11)的顶部固定安装有加强杆(13)，所述加强杆(13)朝向动力机构(4)的一端固定安装有机座(14)，所述传动机构(5)固定安装在竖板(10)的侧壁上，所述动力机构(4)包括固定安装在机座(14)上的电机(41)，所述电机(41)的底部动力连接有减速器(42)，所述减速器(42)的输出轴与传动机构(5)相连接。6.根据权利要求5所述的碱抛添加剂的加工设备，其特征在于，所述搅拌机构(7)包括第一搅拌桨(71)和第二搅拌桨(72)，所述第一搅拌桨(71)固定安装在旋转板(6)的底端中心上，所述第二搅拌桨(72)安装在旋转板(6)的底部外侧，所述第二搅拌桨(72)环绕第一搅拌桨(71)设置，所述第二搅拌桨(72)旋转安装在旋转板(6)底部，所述旋转板(6)的顶部还安装有用于对第二搅拌桨(72)进行转动调节的调节机构(8)。7.根据权利要求5或6所述的碱抛添加剂加工设备，其特征在于，所述传动机构(5)包括外壳(51)，所述外壳(51)的顶部固定安装有顶盖板(52)，所述外壳(51)的内部一侧设有第一转轴(53)，所述第一转轴(53)与减速器(42)的输出轴动力连接，所述第一转轴(53)外部
固定安装有第一齿轮(54)，所述外壳(51)的内部远离第一转轴(53)的一侧设有第二转轴(55)，所述第二转轴(55)的外部固定安装有第二齿轮(56)，所述第二齿轮(56)与第一齿轮(54)相啮合，所述外壳(51)的底部转动安装有旋转底壳(57)，所述旋转底壳(57)固定安装在第二转轴(55)的底端端部，所述旋转底壳(57)与第二转轴(55)同轴心设置，所述旋转底壳(57)的内部一侧转动安装有第三转轴(58)，所述第三转轴(58)的顶部固定安装有第三齿轮(59)，所述外壳(51)的底部还固定安装有内齿圈(50)，所述内齿圈(50)套设与第二转轴(55)的外部，所述第三齿轮(59)与内齿圈(50)相啮合，所述旋转板(6)固定安装在第三转轴(58)的底端端部上。8.根据权利要求7所述的碱抛添加剂加工设备，其特征在于，所述第一搅拌桨(71)包括第一搅拌轴(711)，所述第一搅拌轴(711)固定安装在旋转板(6)的底部中心上，所述第一搅拌轴(711)的侧壁上固定安装有搅拌杆(712)，所述第一搅拌轴(711)的侧壁上螺旋设置有内桨叶(713)，所述第一搅拌轴(711)的外部环绕有螺旋设置的外桨叶(714)，外桨叶(714)与搅拌杆(712)的端部固定连接，且搅拌轴(711)的底端端部还设有底部桨叶(715)，所述第二搅拌桨(72)包括连接块(721)，所述连接块(721)安装在调节机构(8)底部，所述连接块(721)的底部固定安装有安装架(722)，所述安装架(722)的底部固定安装有桨叶板(723)，所述桨叶板(723)上开设有安装孔(724)，所述安装孔(724)内转动安装有辅助搅拌桨(725)，相邻两个安装孔(724)之间开设有长条孔(726)，所述长条孔(726)内安装有斜插板(727)，所述桨叶板(723)远离第一搅拌桨(71)的一侧设有刮板(729)，所述刮板(729)通过连接柱(728)固定安装在桨叶板(723)外侧。9.根据权利要求8所述的碱抛添加剂加工设备，其特征在于，所述旋转板(6)的外侧绕着中心均匀开设有装配孔(62)，所述调节机构(8)包括转动块(81)，所述转动块(81)贯穿装配孔(62)设置，所述转动块(81)转动安装在装配孔(62)内，所述第二搅拌桨(72)通过连接块(721)固定安装在转动块(81)底部，所述转动块(81)的顶部固定安装有曲柄杆(82)，所述曲柄杆(82)远离转动块(81)的一端端部铰接连接有连接杆(83)，所述连接杆(83)远离曲柄杆(82)的一端铰接有连接臂(84)，所述旋转板(6)的顶部中心固定安装有固定环板(61)，所述固定环板(61)的顶部转动安装有旋转块(85)，所述连接臂(84)远离连接杆(83)的一端端部固定安装在旋转块(85)上，所述旋转块(85)的侧壁上还固定安装有调节杆(86)，所述调节杆(86)远离旋转块(85)的一端设有调节块(87)，所述调节块(87)上开设有通孔(88)，所述调节杆(86)贯穿通孔(88)设置，所述调节机构(8)还包括调节组件(15)，所述调节块(87)通过安装柱(89)固定安装在调节组件(15)上。

技术总结
本发明公开了一种用于TOPCON电池LPCVD双插工艺的碱抛添加剂，其各组分的含量为：经过纳米均质机处理的0.01-0.1质量份的纳米材料催化剂、3-8质量份的络合分散剂、1-5质量份的无机盐、5-8质量份的表面活性剂、78.9-90.99质量份的去离子水。有益效果：采用上述添加剂抛光的TOPCON电池，可以清洗干净绕镀过来的polySi和少量BPSG，选择性保护了BSG，控制了碱腐蚀速率，均匀清洗腐蚀绕镀，没有色差外观不良等问题，实现了双插工艺与单插工艺电池效率持平，而产能翻倍，成本降低，本发明重点有选择性保护了BSG的效果，从而解决双插工艺和外观问题。问题。问题。


技术研发人员：丁锋 张益荣 黄燕飞 金惠峰 邱云兵 刘元海
受保护的技术使用者：海宁森安新材料科技有限公司
技术研发日：2023.06.29
技术公布日：2023/10/5