一种无油衬套万向节的制作方法

1.本实用新型涉及一种半导体制造领域，特别是关于一种半导体设备用的无油衬套万向节。


背景技术：

2.目前，市场上有各种各样的万向节装置，大部分都是采用有油润滑的工作方式，在工作时万向球心与上下衬套之间要使用润滑脂润滑，由于润滑脂多少会影响润滑效果，会导致万向节的摩擦力变化，这种变化会严重影响半导体行业中抛光设备的性能，导致坏片和碎片的频率升高，同时频繁的加注润滑脂会降低设备运行效率和维护工作量增加。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种无油衬套万向节，其能解决现有技术中的上述不足，具有不用加注润滑脂，不停机维护也能稳定工作。
4.为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：一种无油衬套万向节，其包括：包括压盖、上无油衬套、万向球心、下无油衬套和基座；所述基座的顶部设置有所述压盖，所述压盖将所述上无油衬套、所述万向球心和所述下无油衬套压装在所述基座内；位于所述万向球心与所述基座之间空隙处上部设置有所述上无油衬套，位于所述万向球心与所述基座之间空隙处下部设置有所述下无油衬套；所述上无油衬套和所述下无油衬套都与所述万向球心紧密贴合；所述上无油衬套和所述下无油衬套中至少一个设置有自润滑件。
5.进一步，所述上无油衬套和所述下无油衬套均包括套体；所述自润滑件内嵌在所述套体的承载端面上，该承载端面与所述万向球心贴合。
6.进一步，所述自润滑件的材料采用固体自润滑材料。
7.进一步，所述自润滑件的材料为二硫化钼、石墨、氟化石墨、氮化硼、氮化硅、聚四氟乙烯、尼龙、聚甲醛、聚酰亚胺、聚对羟基苯甲酸酯和软金属中的一种。
8.进一步，所述软金属包括金、银、锡、铅、镁和铟。
9.进一步，所述套体的材料包括铜合金。
10.进一步，所述套体的承载端面上设置有至少一个孔，所述自润滑件一端设置在所述孔中，所述自润滑件另一端裸露在所述承载端面上。
11.进一步，所述孔设置为环形或放射状沟槽结构。
12.进一步，所述自润滑件以形成结构层的方式设置在所述套体的承载端面上。
13.本实用新型由于采取以上技术方案，其具有以下优点：
14.1、本实用新型具有免润滑油，也可保持平稳摩擦力。
15.2、本实用新型的上下衬套采用硬质耐磨的铜合金加多孔填充石墨材料、表面有特氟龙涂层结构，使万向节达到耐磨寿命长、且摩擦力恒定平稳，大大降低设备不合格品的数量，降低停机保养工作量，提高了设备运行效率。
附图说明
16.图1是本实用新型实施例提供的无油衬套万向节结构示意图；
17.图2是本实用新型实施例提供的无油衬套万向节剖视图；
18.图3是本实用新型实施例提供的一种套体结构示意图；
19.图4是本实用新型实施例提供的一种套体结构剖视图；
20.图5是本实用新型实施例提供的另一种套体结构剖视图；
21.附图标记：1.压盖，2.压紧螺栓，3.上无油衬套，4.万向球心，5.下无油衬套，6.基座，7.套体，8.自润滑件，9.放射状沟槽结构。
具体实施方式
22.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
24.在本实用新型的一个实施例中，提供一种无油衬套万向节。本实施例中，如图1、图2所示，该无油衬套万向节包括压盖1、上无油衬套3、万向球心4、下无油衬套5和基座6。
25.基座6的顶部设置有压盖1，由压盖1将上无油衬套3、万向球心4和下无油衬套5压装在基座6内。位于万向球心4与基座6之间空隙处上部设置有上无油衬套3，位于万向球心4与基座6之间空隙处下部设置有下无油衬套5；且上无油衬套3和下无油衬套5都与万向球心4紧密贴合，在进行角度调节时与万向球心4之间产生摩擦力。
26.使用时，可以在不使用润滑油脂情况下，通过与万向球心4紧密贴合的上无油衬套3和下无油衬套5获得良好的耐磨效果及恒定的摩擦力，提高了设备的成品合格率及降低设备的停机维护次数。
27.上述实施例中，万向球心4与驱动机构连接，基座6与抛光机上盘连接，以实现驱动机构与抛光机上盘同步运转，并实现万向调节抛光机上盘与驱动机构之间的角度。
28.上述实施例中，上无油衬套3和下无油衬套5中至少一个设置有自润滑件8。当上无油衬套3和下无油衬套5中的一个设置有自润滑件8时，通过与万向球心4摩擦将自润滑件8的磨损碎屑作为润滑剂，进而实现上无油衬套3和下无油衬套5与万向球心4之间的润滑。
29.其中，上无油衬套3和下无油衬套5均包括套体7。自润滑件8内嵌在套体7的承载端面上，该承载端面用于与万向球心4贴合，以使自润滑件8对套体7的承载端面进行润滑。
30.可选的，自润滑件8的材料可以采用固体自润滑材料。例如，采用二硫化钼、石墨、氟化石墨、氮化硼、氮化硅、聚四氟乙烯、尼龙、聚甲醛、聚酰亚胺、聚对羟基苯甲酸酯和软金属中的一种。
31.其中，软金属包括金、银、锡、铅、镁和铟。
32.可选的，套体7的材料包括耐磨的铜合金。
33.上述实施例中，如图3、图4所示，套体7的承载端面上设置有至少一个孔，自润滑件8一端设置在孔中，自润滑件8另一端裸露在承载端面上，以与万向球心4贴合。
34.其中，承载端面上的孔设置为环形或放射状沟槽结构9，自润滑件8填充在环形或放射状沟槽结构9中。
35.如图5所示，自润滑件8以形成结构层的方式设置在套体7的承载端面上，该自润滑件8的材料为特氟龙。
36.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种无油衬套万向节，其特征在于，包括：包括压盖、上无油衬套、万向球心、下无油衬套和基座；所述基座的顶部设置有所述压盖，所述压盖将所述上无油衬套、所述万向球心和所述下无油衬套压装在所述基座内；位于所述万向球心与所述基座之间空隙处上部设置有所述上无油衬套，位于所述万向球心与所述基座之间空隙处下部设置有所述下无油衬套；所述上无油衬套和所述下无油衬套都与所述万向球心紧密贴合；所述上无油衬套和所述下无油衬套中至少一个设置有自润滑件。2.如权利要求1所述无油衬套万向节，其特征在于，所述上无油衬套和所述下无油衬套均包括套体；所述自润滑件内嵌在所述套体的承载端面上，该承载端面与所述万向球心贴合。3.如权利要求1所述无油衬套万向节，其特征在于，所述自润滑件的材料采用固体自润滑材料。4.如权利要求3所述无油衬套万向节，其特征在于，所述自润滑件的材料为二硫化钼、石墨、氟化石墨、氮化硼、氮化硅、聚四氟乙烯、尼龙、聚甲醛、聚酰亚胺、聚对羟基苯甲酸酯和软金属中的一种。5.如权利要求4所述无油衬套万向节，其特征在于，所述软金属包括金、银、锡、铅、镁和铟。6.如权利要求2所述无油衬套万向节，其特征在于，所述套体的材料包括铜合金。7.如权利要求2所述无油衬套万向节，其特征在于，所述套体的承载端面上设置有至少一个孔，所述自润滑件一端设置在所述孔中，所述自润滑件另一端裸露在所述承载端面上。8.如权利要求7所述无油衬套万向节，其特征在于，所述孔设置为环形或放射状沟槽结构。9.如权利要求2所述无油衬套万向节，其特征在于，所述自润滑件以形成结构层的方式设置在所述套体的承载端面上。

技术总结
本实用新型涉及一种无油衬套万向节，其包括：包括压盖、上无油衬套、万向球心、下无油衬套和基座；所述基座的顶部设置有所述压盖，所述压盖将所述上无油衬套、所述万向球心和所述下无油衬套压装在所述基座内；位于所述万向球心与所述基座之间空隙处上部设置有所述上无油衬套，位于所述万向球心与所述基座之间空隙处下部设置有所述下无油衬套；所述上无油衬套和所述下无油衬套都与所述万向球心紧密贴合；所述上无油衬套和所述下无油衬套中至少一个设置有自润滑件。本实用新型具有不用加注润滑脂，不停机维护也能稳定工作的功能，可以在半导体制造领域中应用。导体制造领域中应用。导体制造领域中应用。


技术研发人员：蒋德胜 及卫涛
受保护的技术使用者：北京特思迪设备制造有限公司
技术研发日：2023.05.24
技术公布日：2023/9/26