用于涂布设备的装配机构的制作方法

1.本公开涉及一种用于涂布设备的装配机构。


背景技术：

2.目前，随着电子核心产业的高速发展，在半导体集成电路制造过程中在晶圆片的表面形成涂膜的技术越来越得到发展。例如，在晶圆级封装(wafer-level packaging)、晶圆片材表面膜层涂敷、生物医用芯片、微流控芯片等领域，在生产、制造、加工芯片的过程中，可能需要在晶圆片的表面上涂布规定溶液以形成涂膜，而后再对晶圆片进行后续处理。
3.在现有技术中，通常使用具有涂布头的涂布设备在晶圆片的表面形成涂膜。具体而言，使容纳有规定溶液的涂布头从晶圆片的一侧移动至另一侧以将规定溶液分配至晶圆片，并对分布于晶圆片表面的规定溶液进行干燥以在晶圆片的表面形成涂膜。
4.然而，在上述现有技术中，在对涂布头进行安装时，由于涂布头通常具有较大的重量，安装时可能由于例如臂力不足而造成难以稳定地进行安装操作。


技术实现要素：

5.本公开是有鉴于上述现有技术的状况而提出的，其目的在于提供一种用于涂布设备的有助于稳定地进行安装操作的装配机构。
6.为此，本公开提供一种用于涂布设备的装配机构，所述涂布设备包括底座、设置在所述底座上且形成为龙门结构的支承机构、可拆卸地安装在所述支承机构的横梁上的涂布模头、以及布置在所述支承机构的横梁下方且承载涂布对象的基台，所述涂布模头具有容纳浆料的腔室、以及与所述腔室连通且呈狭缝状的出料口，所述出料口朝向承载在所述基台上的涂布对象，所述装配机构包括相对布置且可相对移动的上底部和下底部、以及设置在所述上底部与所述下底部之间的驱动部，所述驱动部驱动所述上底部朝向远离或靠近所述下底部的方向移动，所述上底部具有凹向所述下底部且呈沟状的对接槽，所述上底部的长度不大于所述支承机构的两个支柱的间距并且所述对接槽的长度不小于所述出料口的长度。
7.在本公开所涉及的装配机构中，装配机构具有相对布置且配置为可相对移动的上底部和下底部、以及设置在所述上底部与下底部之间的驱动部，驱动部驱动上底部朝向远离或靠近下底部的方向移动。在这种情况下，当对涂布设备的涂布模头进行装配时，涂布模头可以被置于上底部上且通过驱动部的驱动而被抬升，由此能够减少对人为作用力的需要从而有助于稳定地进行安装操作。另外，上底部具有呈沟状的对接槽，涂布模头可以以出料口对接于对接槽的方式而被置于上底部，由此能够便于在安装时进行对位。
8.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述对接槽的正交于长度方向的剖面呈梯形状，所述对接槽的底面的长度基本上等于所述出料口的长度且所述对接槽的底面的宽度基本上等于所述出料口的宽度。由此，能够便于涂布模头与对接槽对接。
9.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，当所述装配机构在使用时，所述上
底部定位为沿着重力方向高于所述下底部，所述驱动部驱动所述上底部沿着重力方向移动。由此，通过上底部沿着重力方向进行移动能够便于对涂布模头进行顶升或降低。
10.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述上底部还包括液槽、以及与所述液槽连通的引流槽，所述引流槽配置为引导流体流出所述液槽。由此，通过液槽能够便于承接涂布模头中流出的废液，并且能够引流槽能够便于将液槽内的流体引导流出。
11.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述驱动部包括旋转电机、设置在所述下底部上的十字轴、以及经由所述十字轴而与所述旋转电机联动的丝杆，当所述装配机构在使用时，所述旋转电机的输出轴沿着水平方向并且所述丝杆沿着竖直方向。由此，能够提供一种升降机制。
12.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述十字轴的数量为4个并且各个十字轴经由传动轴连接而被布置为矩形状或u字状，所述旋转电机的输出轴与其中一个十字轴连接，所述丝杆的数量为4个并且分别与各个十字轴连接。在这种情况下，通过将十字轴布置为矩形状或u字状并通过分别设置在十字轴上的丝杆对上底部进行支承，由此能够更稳定地对上底部进行抬升。
13.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，还包括设置在所述驱动部与所述上底部之间或所述驱动部与所述下底部之间的压力传感器。在这种情况下，当置于上底部上的涂布模头上升并抵接于支承机构的横梁时，压力传感器将感测到更大的压力，从而能够方便提供一种反馈机制来控制驱动部的起停。
14.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述装配机构还包括设置在所述上底部上的固定部，所述固定部包括相对布置在所述对接槽两侧且配置为能够相向移动的第一夹持件和第二夹持件。由此，能够更稳定地将涂布模头置于上底部上。
15.另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述上底部和所述下底部呈板状且所述上底部与所述下底部平行布置。
16.此外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述底座包括并排布置的两个导轨，所述支承机构的两个支柱分别设置在所述两个导轨上。
17.根据本公开的装配机构，能够有助于稳定地进行安装操作。
附图说明
18.现在将仅通过参考附图的例子进一步详细地解释本公开，其中：
19.图1是示出了本实施方式示例所涉及的涂布设备的整体示意图。
20.图2是示出了本实施方式示例所涉及的涂布模头的示意图。
21.图3a是示出了本实施方式示例所涉及的装配机构在第一状态下的示意图；图3b是示出了本实施方式示例所涉及的装配机构在第二状态下的示意图。
22.图4是示出了本实施方式示例所涉及的装配机构的分解示意图。
具体实施方式
23.以下，参考附图，详细地说明本公开的优选实施方式。在下面的说明中，对于相同的部件赋予相同的符号，省略重复的说明。另外，附图只是示意性的图，部件相互之间的尺寸的比例或者部件的形状等可以与实际的不同。
24.需要说明的是，本公开中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，例如所包括或所具有的一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可以包括或具有没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
25.本实施方式涉及一种用于涂布设备的装配机构，是用于辅助安装涂布设备的涂布模头的装配机构。本实施方式所涉及的装配机构，能够有助于更稳定地进行涂布模头的安装操作。
26.需要说明的是，在本公开中，“一侧”、“相对的另一侧”、“向上”、“向下”、“上表面”、“下表面”等相对方位术语或相对方向术语，是参考通常操作姿态，并且不应当被理解为限定性的。
27.图1是示出了本实施方式示例所涉及的涂布设备100的整体示意图。
28.在本实施方式中，涂布设备100可以包括底座110、支承机构120、涂布模头130和基台140(参见图1)。支承机构120可以设置在底座110上且可以沿着底座110进行移动。涂布模头130可以由支承机构120支承。基台140可以布置在支承机构120的下方，并且基台140可以承载涂布对象(未图示)。涂布模块130可以向承载在基台140上的涂布对象分配浆料。
29.在一些示例中，支承机构120可以被形成为龙门结构(参见图1)。支承机构120可以包括横梁121、以及分别设置在横梁121相对两侧的第一支柱122和第二支柱123。在一些示例中，底座110可以包括并排布置的第一导轨111和第二导轨112(参见图1)。支承机构120的两个支柱可以分别设置在底座110的两个导轨上，即第一支柱122可以设置在第一导轨111上，第二支柱123可以设置在第二导轨112上。
30.在一些示例中，支承机构120可以沿着第一导轨111和第二导轨112移动。
31.图2是示出了本实施方式示例所涉及的涂布模头130的示意图。
32.在一些示例中，涂布模头130可以可拆卸地安装在支承机构120的横梁121上(参见图1)。在本实施方式中，涂布模头130可以具有容纳浆料的腔室131、以及与腔室131连通的出料口132(参见图2)。在一些示例中，出料口132可以朝向承载在基台140上的涂布对象，并向承载在基台140上的涂布对象施加浆料。另外，在一些示例中，出料口132可以呈狭缝状。
33.图3a是示出了本实施方式示例所涉及的装配机构200在第一状态下的示意图；图3b是示出了本实施方式示例所涉及的装配机构200在第二状态下的示意图。
34.在本实施方式中，装配机构200可以包括相对布置且可相对移动的上底部210和下底部220、以及设置在上底部210与下底部220之间的驱动部230(参见图3a和图3b)。在本实施方式中，驱动部230可以驱动上底部210朝向远离或靠近下底部220的方向移动，例如，驱动部230可以驱动上底部220朝向远离下底部220的方向(即，图3a和图3b中d1所指示的方向)由图3a所示的状态移动至图3b所示的状态。
35.在一些示例中，当装配机构200在使用时，上底部210可以定位为沿着重力方向高于下底部220，并且驱动部230可以驱动上底部210沿着重力方向移动，例如沿着图3a和图3b中d所指示的方向进行移动。由此，通过上底部210沿着重力方向进行移动能够便于对涂布模头130进行顶升或降低。
36.在一些示例中，上底部210和下底部220可以呈板状。在一些示例中，上底部210与下底部220可以平行布置(参见图3a和图3b)。
37.另外，在一些示例中，上底部210可以具有凹向下底部220且呈沟状的对接槽211(参见图3a和图3b)。另外，上底部210的长度可以不大于支承机构120的两个支柱的间距，并且对接槽211的长度可以不小于出料口132的长度。在这种情况下，装配机构200可以被置于第一支柱122与第二支柱123之间而被使用，并且涂布模头130靠近出料口132的一端可以卡接至对接槽211中。
38.另外，在一些示例中，对接槽211的正交于长度方向的剖面可以呈梯形状。例如，对接槽211的形状可以与涂布模头130靠近出料口132的一端的形状相近或相同。在一些示例中，对接槽211的底面的长度可以基本上等于出料口132的长度并且对接槽211的底面的宽度可以基本上等于出料口132的宽度。由此，能够便于涂布模头130与对接槽211对接。涂布模头130可以以出料口132对接于对接槽211的方式而被置于上底部210，由此能够便于在安装时对涂布模头130和上底部210进行对位。
39.另外，在一些示例中，上底部210还可以包括液槽212(参见图3a和图3b)。在一些示例中，液槽212可以与对接槽211并排布置。
40.在一些示例中，液槽212的长度可以不小于出料口132的长度。另外，在一些示例中，上底部210还可以包括与液槽212连通的引流槽213(参见图3a和图3b)。引流槽213可以配置为引导流体流出液槽212。
41.在一些示例中，引流槽213可以为环形槽。在一些示例中，引流槽213可以沿着上底部210的周缘布置。另外，在一些示例中，引流槽213的一端可以从上底部210延伸而出。在一些示例中，引流槽213可以包括与液槽212连通的环形槽、以及与该环形槽连通且从上底部延伸而出的导引槽(参见图3a和图3b)。
42.在对涂布模头130进行例如清洁、保养等操作时，容纳在腔室131中的浆料可以流出并由液槽212承接。由此，能够便于承接涂布模头130中溢出的液体。另外，液槽212中的液体可以通过引流槽213而被导出。在这种情况下，通过设置引流槽213，由此能够便于将由涂布模头130外溢至液槽212内的流体引导流出。
43.图4是示出了本实施方式示例所涉及的装配机构200的分解示意图。
44.在一些示例中，驱动部230可以包括旋转电机231、设置在下底部220上的十字轴232、以及经由十字轴232而与旋转电机231联动的丝杆233。在本实施方式中，当装配机构200在使用时，旋转电机231的输出轴(未图示)可以沿着水平方向并且丝杆233可以沿着竖直方向。由此，能够提供一种升降机制。
45.在本实施方式中，“十字轴”又称“十字节”、“万向接头”等，其通常是指一种在动力传递过程中改变角度或改变传动轴线的方向的机构。例如，将沿着水平方向的传动轴线改变为沿着竖直方向等。本实施方式所涉及的十字轴232可以具有多个彼此正交的接口。
46.在本实施方式中，沿着水平方向的旋转电机231的输出轴通过十字轴232可以将动力传递至沿着竖直方向的丝杆233(参见图4)。
47.在一些示例中，十字轴232的数量可以为4个，在如图4所示的实施例中，十字轴232可以包括第一十字轴232a、第二十字轴232b、第三十字轴232c和第四十字轴232d。各个十字轴232可以经由传动轴234连接而被布置为矩形状或u字状，在如图4所示的实施例中，第一十字轴232a与第二十字轴232b可以经由第一传动轴234a而连接，第二十字轴232b与第三十字轴232c可以经由第二传动轴234b而连接，第一十字轴232b与第四十字轴232d可以经由
234c第三传动轴而连接。
48.另外，旋转电机231的输出轴可以与其中一个十字轴(第一十字轴232a、第二十字轴232b、第三十字轴232c或第四十字轴232d)连接，在如图4所示的实施例中，旋转电机231与第一十字轴232a连接。在这种情况下，旋转电机231的动力可以通过各个传动轴234而传递至各个十字轴232。
49.在一些示例中，丝杆233的数量可以为4个，在如图4所示的实施例中，丝杆233可以包括第一丝杆233a、第二丝杆233b、第三丝杆233c和第四丝杆233d。另外，各个丝杆233可以分别与各个十字轴232连接，在如图4所示的实施例中，第一丝杆233a可以与第一十字轴232a连接，第二丝杆233b可以与第二十字轴232b连接，第三丝杆233c可以与第三十字轴232c连接，第四丝杆233d可以与第四十字轴232d连接。在这种情况下，通过将多个十字轴232布置为矩形状或u字状并通过分别设置在十字轴232上的丝杆233对上底部210进行支承，由此能够更稳定地对上底部210进行抬升。
50.另外，在一些示例中，装配机构200还可以包括设置在驱动部230与上底部210之间或驱动部230与下底部210之间的压力传感器(未图示)。在一些示例中，压力传感器的数量可以为4个，并分别设置在各个丝杆233与上底部210之间，或者分别设置在各个十字轴232与下底部220之间。在这种情况下，当置于上底部210上的涂布模头130上升并抵接于支承机构120的横梁121时，压力传感器将感测到更大的压力，例如比涂布模头130和上底部210的重力更大的压力。在这种情况下，通过该压力指示来控制驱动部230对上底部210的抬升，从而能够方便提供一种反馈机制来控制驱动部230的起停。
51.另外，在一些示例中，装配机构200还可以包括设置在上底部210上的固定部240(参见图4)。在一些示例中，固定部240包括相对布置在对接槽211两侧的第一夹持件241和第二夹持件242。在一些示例中，第一夹持件241和第二夹持件242可以配置为能够相向移动，例如第一夹持件241沿着图4中d2所指示的方向移动并且第二夹持件242沿着图4中d3所指示的方向进行移动。在这种情况下，当涂布模头130被置于上底部210上时，通过第一夹持件241和第二夹持件242相向移动，由此能够更稳定地将涂布模头130置于上底部210上。
52.在本公开所涉及的装配机构200中，装配机构200具有相对布置且配置为可相对移动的上底部210和下底部220、以及设置在上底部210与下底部220之间的驱动部230，驱动部230驱动上底部210朝向远离或靠近下底部220的方向移动。在这种情况下，当对涂布设备200的涂布模头130进行装配时，涂布模头130可以被置于上底部210上且通过驱动部230的驱动而被抬升，由此能够减少对人为作用力的需要从而有助于稳定地进行安装操作。
53.另外，上底部210具有呈沟状的对接槽211，涂布模头130可以以出料口132对接于对接槽211的方式而被置于上底部210，由此能够便于在安装时进行对位。
54.虽然以上结合附图和示例对本公开进行了具体说明，但是可以理解，上述说明不以任何形式限制本公开。本领域技术人员在不偏离本公开的实质精神和范围的情况下可以根据需要对本公开进行变形和变化，这些变形和变化均落入本公开的范围内。

技术特征：
1.一种用于涂布设备的装配机构，其特征在于，所述涂布设备包括底座、设置在所述底座上且形成为龙门结构的支承机构、可拆卸地安装在所述支承机构的横梁上的涂布模头、以及布置在所述支承机构的横梁下方且承载涂布对象的基台，所述涂布模头具有容纳浆料的腔室、以及与所述腔室连通且呈狭缝状的出料口，所述出料口朝向承载在所述基台上的涂布对象，所述装配机构包括相对布置且可相对移动的上底部和下底部、以及设置在所述上底部与所述下底部之间的驱动部，所述驱动部驱动所述上底部朝向远离或靠近所述下底部的方向移动，所述上底部具有凹向所述下底部且呈沟状的对接槽，所述上底部的长度不大于所述支承机构的两个支柱的间距并且所述对接槽的长度不小于所述出料口的长度。2.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述对接槽的正交于长度方向的剖面呈梯形状，所述对接槽的底面的长度基本上等于所述出料口的长度且所述对接槽的底面的宽度基本上等于所述出料口的宽度。3.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，当所述装配机构在使用时，所述上底部定位为沿着重力方向高于所述下底部，所述驱动部驱动所述上底部沿着重力方向移动。4.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述上底部还包括液槽、以及与所述液槽连通的引流槽，所述引流槽配置为引导流体流出所述液槽。5.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述驱动部包括旋转电机、设置在所述下底部上的十字轴、以及经由所述十字轴而与所述旋转电机联动的丝杆，当所述装配机构在使用时，所述旋转电机的输出轴沿着水平方向并且所述丝杆沿着竖直方向。6.根据权利要求5所述的装配机构，其特征在于，所述十字轴的数量为4个并且各个十字轴经由传动轴连接而被布置为矩形状或u字状，所述旋转电机的输出轴与其中一个十字轴连接，所述丝杆的数量为4个并且分别与各个十字轴连接。7.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，还包括设置在所述驱动部与所述上底部之间或所述驱动部与所述下底部之间的压力传感器。8.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述装配机构还包括设置在所述上底部上的固定部，所述固定部包括相对布置在所述对接槽两侧且配置为能够相向移动的第一夹持件和第二夹持件。9.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述上底部和所述下底部呈板状且所述上底部与所述下底部平行布置。10.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述底座包括并排布置的两个导轨，所述支承机构的两个支柱分别设置在所述两个导轨上。

技术总结
本公开描述一种用于涂布设备的装配机构，涂布设备包括底座、设置在底座上且形成为龙门结构的支承机构、可拆卸地安装在支承机构的横梁上的涂布模头、以及布置在支承机构的横梁下方且承载涂布对象的基台，涂布模头具有容纳浆料的腔室、以及与腔室连通且呈狭缝状的出料口，出料口朝向承载在基台上的涂布对象，装配机构包括相对布置且可相对移动的上底部和下底部、以及设置在上底部与下底部之间的驱动部，驱动部驱动上底部朝向远离或靠近下底部的方向移动，上底部具有凹向下底部且呈沟状的对接槽，上底部的长度不大于支承机构的两个支柱的间距并且对接槽的长度不小于出料口的长度。的间距并且对接槽的长度不小于出料口的长度。的间距并且对接槽的长度不小于出料口的长度。


技术研发人员：郑新峰 王锦山
受保护的技术使用者：上海德沪涂膜设备有限公司
技术研发日：2022.03.14
技术公布日：2023/9/23