一种硅片片篮治具的制作方法

1.本实用新型属于硅片制备设备技术领域，具体涉及一种硅片片篮治具。


背景技术：

2.在硅片制备工序中，需要对硅片进行插片，目前对硅片进行插片生产过程中容易出现片篮固定不稳的情况，引起片篮位移，造成插片不良，影响生产质量。
3.因此，基于以上需求，本实用新型提供一种硅片片篮治具，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。该治具结构简单，定位稳定，工作精准，通用性好。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为解决上述背景技术中提出的目前对硅片进行插片生产过程中容易出现片篮固定不稳的情况，引起片篮位移，造成插片不良，影响生产质量的问题，提供了一种硅片片篮治具，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。该治具结构简单，定位稳定，工作精准，通用性好。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
6.一种硅片片篮治具，包括：
7.主支撑板；
8.若干检测件安装板，所述检测件安装板为形状厚度均一致的平板，间隔设置于所述主支撑板上，每个所述检测件安装板上均设置有检测件；
9.若干片篮限位装置，每个所述片篮限位装置对应地设置于一个所述检测件安装板上方，所述片篮限位装置用于对放置的片篮进行限位。
10.进一步地，所述检测件包括：
11.平衡传感器，所述平衡传感器设置于所述检测件安装板一侧，片篮放置时与所述片篮接触，用于检测所述片篮是否平衡并进行反馈；
12.低频读写器，所述低频读写器设置于所述检测件安装板一侧，用于在对所述片篮中的插片进行信息读取并进行反馈。
13.进一步地，每个所述检测件安装板上设置有一对所述平衡传感器。
14.进一步地，所述片篮限位装置包括：
15.片篮限位板，所述片篮限位板上设置有与所述片篮尺寸相对应的凹槽，用于使所述片篮卡入所述片篮限位板，对所述片篮进行限位。
16.进一步地，所述检测件安装板之间为等距设置。
17.进一步地，每个所述片篮可放置硅片的最大数量为25片。
18.与现有技术相比，本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型设计的一种硅片片篮治具，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。该治具结构简单，定位稳定，工作精准，通用性好。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是本实用新型一实施例的硅片片篮治具的结构示意图。
21.图中：
22.1-主支撑板，2-检测件安装板，21-平衡传感器，22-低频读写器，3-片篮，4-片篮限位板,41-凹槽。
具体实施方式
23.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，均为相对位置，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
25.请参见附图1，在本实用新型实施例中，本实用新型提供了一种硅片片篮治具，包括：
26.主支撑板1；
27.若干检测件安装板2，检测件安装板2为形状厚度均一致的平板，间隔设置于主支撑板1上，每个检测件安装板2上均设置有检测件；
28.片篮限位装置，每个片篮限位装置对应地设置于一个检测件安装板2上方，片篮限位装置用于对放置的片篮3进行限位。
29.具体地，每个主支撑板1上设置的检测件安装板2与片篮限位装置的数量可以根据实际生产需求确定。
30.具体地，检测件包括：
31.平衡传感器21，平衡传感器21设置于检测件安装板2一侧，片篮3放置时与片篮3接触，用于检测片篮3是否平衡并进行反馈；在本实施例中，平衡传感器21可采用光电传感器，型号可采用cx-411。
32.低频读写器22，低频读写器22设置于检测件安装板2一侧，用于读写片篮3上记载的硅片信息，硅片信息包括但不限于硅片的尺寸、品质以及重量等，并对片篮3内的硅片信息是否准确进行反馈；在本实施例中，低频读写器22的型号可采用h13。
33.具体地，平衡传感器21与低频读写器22均与插片控制系统连接，系统启动时，片篮3下落，放置于检测件安装板2上，平衡传感器21与片篮3接触，对片篮3平衡度进行检测，若片篮3检测结果为平衡，则进入下一步，若片篮3检测结果为不平衡，平衡传感器21将检测结果反馈至控制系统，系统对此情况进行处理，发出警报提示工作人员进行调整。
34.若片篮3检测结果为平衡，则进行插片操作，在插片后，片篮3上记载的硅片信息不匹配或不准确时，低频读写器22将检测结果反馈至控制系统，系统对此情况进行处理，停止插片并发出警报。
35.优选地，每个检测件安装板2上设置有一对平衡传感器21。
36.具体地，片篮限位装置包括：
37.片篮限位板4，片篮限位板4上设置有与片篮3尺寸相对应的凹槽41，用于使片篮3卡入片篮限位板4，对片篮3进行限位。具体地，当放置下片篮3时，片篮3落在检测件安装板2上，对应部位卡入凹槽41中，被片篮限位板4固定位置，防止发生位移而引起插片时跑偏，影响插片质量。
38.优选地，检测件安装板2之间为等距设置。
39.具体地，每个片篮3可放置硅片的最大数量为25片。
40.具体地，该片篮治具可以根据生产时的具体需求进行设置和制作，如5、6、8寸硅片尺寸，都可以制作相应尺寸的此治具。如前所述，每个主支撑板1上设置的检测件安装板2与片篮限位装置的数量可以根据实际生产需求确定。
41.下面以4组片篮为例，对该片篮治具的使用方法进行说明。
42.主支撑板1上等距间隔设置有4块检测件安装板2，每个检测件安装板2上均设置有一个片篮限位板4，每个检测件安装板2的一侧设置有一对平衡传感器21以及一个低频读写器22，平衡传感器21与低频读写器22均与插片控制系统连接。使用时，启动控制系统，4个空的片篮3下落，放置于检测件安装板2上，被片篮限位板4上的凹槽41卡住而固定，平衡传感器21与片篮3接触，对片篮3平衡度进行检测，若片篮3检测结果为平衡，则进行插片操作，在插片后，片篮3上记载的硅片信息不匹配或不准确时，低频读写器22将检测结果反馈至控制系统，系统对此情况进行处理，停止插片并发出警报。插片过程中，若有片篮满载，系统会发出提示，提示将满载的片篮3移走，在继续插片的同时再放置下新的空片篮3，如此进行循环插片操作。
43.本实用新型产生的优点和积极效果是：
44.本实用新型设计的一种硅片片篮治具，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。该治具结构简单，定位稳定，工作精准，通用性好。
45.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，
本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

技术特征：
1.一种硅片片篮治具，其特征在于，包括：主支撑板；若干检测件安装板，所述检测件安装板为形状厚度均一致的平板，间隔设置于所述主支撑板上，每个所述检测件安装板上均设置有检测件；若干片篮限位装置，每个所述片篮限位装置对应地设置于一个所述检测件安装板上方，所述片篮限位装置用于对放置的片篮进行限位。2.根据权利要求1所述的一种硅片片篮治具，其特征在于，所述检测件包括：平衡传感器，所述平衡传感器设置于所述检测件安装板一侧，片篮放置时与所述片篮接触，用于检测所述片篮是否平衡并进行反馈；低频读写器，所述低频读写器设置于所述检测件安装板一侧，用于在对所述片篮中的插片进行信息读取并进行反馈。3.根据权利要求2所述的一种硅片片篮治具，其特征在于：每个所述检测件安装板上设置有一对所述平衡传感器。4.根据权利要求1-3任一所述的一种硅片片篮治具，其特征在于，所述片篮限位装置包括：片篮限位板，所述片篮限位板上设置有与所述片篮尺寸相对应的凹槽，用于使所述片篮卡入所述片篮限位板，对所述片篮进行限位。5.根据权利要求4所述的一种硅片片篮治具，其特征在于：所述检测件安装板之间为等距设置。6.根据权利要求1-3任一所述的一种硅片片篮治具，其特征在于：所述检测件安装板之间为等距设置。7.根据权利要求4所述的一种硅片片篮治具，其特征在于：每个所述片篮可放置硅片的最大数量为25片。8.根据权利要求6所述的一种硅片片篮治具，其特征在于：每个所述片篮可放置硅片的最大数量为25片。

技术总结
本实用新型提供一种硅片片篮治具，包括主支撑板；若干检测件安装板，检测件安装板为形状厚度均一致的平板，间隔设置于主支撑板上，每个检测件安装板上均设置有检测件；若干片篮限位装置，每个片篮限位装置对应地设置于一个检测件安装板上方，片篮限位装置用于对放置的片篮进行限位。本实用新型的有益效果是有效解决目前对硅片进行插片生产过程中容易出现片篮固定不稳的情况，引起片篮位移，造成插片不良，影响生产质量的问题，能够实现片篮自动插片，且能够对片篮进行限位固定，避免了在插片过程中片篮移动引起插片不良的问题，且可以根据实际生产需求灵活选择治具尺寸，降低了劳动力需求，提高效率，降低误差，节省人工成本。节省人工成本。节省人工成本。


技术研发人员：靳立辉 杨骅 杜晨朋 杨亮 王德智
受保护的技术使用者：天津环博科技有限责任公司
技术研发日：2023.03.30
技术公布日：2023/9/26