片粘贴装置以及片粘贴方法与流程

1.本发明涉及一种片粘贴装置以及片粘贴方法。


背景技术：

2.公知有一种将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
3.专利文献1：日本特开2022-30877号公报


技术实现要素：

(一)要解决的技术问题
4.对于专利文献1所记载的带粘贴系统(片粘贴装置)而言，由于利用侧辊43(按压单元)粘贴于晶圆w(被粘物)的外周侧面(外缘端面)的保护带27(粘接片)的供给方向前端部的粘接区域较少，因此会产生该粘接片的供给方向前端部在到达第一辊46(伸出区域粘贴单元)之前脱离被粘物的不良情况。
5.本发明的目的在于，提供一种片粘贴装置以及片粘贴方法，可尽量防止粘接片的供给方向前端部在利用伸出区域粘贴单元粘贴于被粘物之前脱离被粘物。(二)技术方案
6.本发明采用了权利要求记载的结构。(三)有益效果
7.根据本发明，在利用伸出区域粘贴单元进行粘贴之前，仅将粘接片的供给方向前端部的伸出区域向其他面方向折曲进行粘贴，因此该供给方向前端部与被粘物的粘接区域变多。因此，可尽量防止粘接片的供给方向前端部在利用伸出区域粘贴单元粘贴于被粘物之前脱离被粘物。
附图说明
8.图1是本发明一实施方式的片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。附图标记说明ea-片粘贴装置；10-供给单元；20-按压单元；30-移动单元；40-伸出区域粘贴单元；50-前端部粘贴单元；60-折曲起始部位形成单元；70-张力施加单元；80-能量施加单元；as-粘接片；asc-折曲起始部位；asf-供给方向前端部；ash-伸出区域；as1-一端；as2-另一端；sd-供给方向；wk-被粘物；wk1-一面(其他面)；wk2-另一面(其他面)；wke-外缘端面。
具体实施方式
9.以下，基于附图对本发明一实施方式进行说明。此外，本实施方式的x轴、y轴、z轴分别具有正交的关系，x轴及y轴设定为规定平面
内的轴，z轴设定为与所述规定平面正交的轴。并且，在本实施方式中，以从与y轴平行的图1中的下方观察的情况为基准，当不指定图来表示方向时，“上”是z轴的箭头方向且“下”是其相反方向，“左”是x轴的箭头方向且“右”是其相反方向，“前”是平行于y轴的图1中近前方向且“后”是其相反方向。此外，图1的(d)是图1的(e)的aa方向视图，图1的(f)是图1的(e)的bb方向视图，图1的(g)是图1的(e)的cc方向视图。
10.本发明的片粘贴装置ea具备：供给单元10，其实施供给工序，沿着规定的供给方向sd供给粘接片as；按压单元20，其实施按压工序，以使得利用供给单元10供给的粘接片as的沿着供给方向sd的一端as1侧及另一端as2侧双方形成从被粘物wk的外缘端面wke伸出的伸出区域ash的方式，将该粘接片as按压于外缘端面wke；移动单元30，其实施移动工序，使按压单元20和被粘物wk相对移动，将粘接片as粘贴于外缘端面wke；伸出区域粘贴单元40，其实施伸出区域粘贴工序，将伸出区域ash向与外缘端面wke相邻的作为其他面的一面wk1及另一面wk2方向折曲进行粘贴；前端部粘贴单元50，其位于按压单元20与伸出区域粘贴单元40之间并实施前端部粘贴工序，在利用该伸出区域粘贴单元40进行粘贴之前，仅将粘接片as的供给方向前端部asf的伸出区域ash向一面wk1及另一面wk2方向折曲进行粘贴；折曲起始部位形成单元60，其实施折曲起始部位形成工序，在该粘接片as形成折曲起始部位asc(参照图1的(c))，该折曲起始部位asc是粘接片as的折曲的起始部位；张力施加单元70，其实施张力施加工序，通过对位于供给单元10与按压单元20之间的粘接片as施加沿着供给方向sd的方向的张力，从而将伸出区域ash向一面wk1及另一面wk2方向折曲；以及能量施加单元80，其实施能量施加工序，向粘接片as施加作为规定的能量的热。此外，本实施方式的粘接片设置为能够进行弹性变形，并且利用作为规定的能量的热进行变形。另外，本实施方式的被粘物wk呈以被粘物中心wkr为中心的圆形形状。
11.供给单元10具备：支撑部件11，其对构成该供给单元10的各部件直接或间接地进行支撑；支撑辊12，其对粘接片as临时粘接于带状的剥离片rl的原材料rs进行支撑；引导辊13，其引导原材料rs；剥离板14，其作为剥离单元，使剥离片rl在剥离缘14a折回，从该剥离片rl剥离粘接片as；驱动辊15，其支撑于作为驱动设备的转动马达15a的未图示的输出轴，与夹送辊15b夹持剥离片rl；回收辊16，其作为回收单元，支撑于未图示的驱动设备的输出轴，在片粘贴装置ea进行自动运转的期间，始终对回收辊16与夹送辊15b之间存在的剥离片rl施加规定的张力，并回收该剥离片rl。
12.按压单元20具备按压辊21，该按压辊21可旋转地支撑于未图示的托架。
13.移动单元30具备：作为驱动设备的线性马达31；转动马达32，其作为驱动设备，支撑于线性马达31的滑块31a；以及支撑台33，其支撑于转动马达32的输出轴32a且具有支撑面33a，该支撑面33a能够利用减压泵或真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持。支撑台33为如下结构：利用转动马达32以台中心33r为中心进行旋转。
14.伸出区域粘贴单元40具备第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43可旋转地支撑于未图示的托架。在本实施方式中，如图1的(f)～(h)所示，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43分别上下配置有一对，当被粘物wk的被粘物中心wkr位于辊配置中心40r时，将粘贴于该被粘物wk的外缘端面wke的粘接片as的伸出区域ash配设于能够向一面wk1方向及另一面wk2方向折曲的位置。另外，第一
按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43能够以未图示的旋转轴为中心进行旋转，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43的所述未图示的旋转轴例如相对于z轴而言分别以30度、60度、90度相对于辊配置中心40r方向倾斜。
15.前端部粘贴单元50具备：作为驱动设备的直动马达51；支撑于直动马达51的输出轴51a的第一托架52；双体的第二托架53，其可摆动地支撑于第一托架52且能够每一体分别将夹持辊54可旋转地支撑；以及螺旋弹簧55，其作为施力单元向使夹持辊54相互接近的方向施力。
16.折曲起始部位形成单元60具备：折曲起始部位形成辊61，其可旋转地支撑于剥离板14；直动马达62，其作为驱动设备能够进行转矩控制；以及按压辊63，其可旋转地支撑于直动马达62的输出轴62a，并将原材料rs按压于折曲起始部位形成辊61。折曲起始部位形成辊61是外缘呈前端收缩形状的圆盘形状，通过利用按压辊63按压原材料rs，从而在粘接片as的粘接面侧形成凹槽状的按压痕迹，将该按压痕迹作为折曲起始部位asc。
17.张力施加单元70具备：转动马达71，其作为驱动设备能够进行转矩控制；以及驱动辊72，其支撑于转动马达71的未图示的输出轴，并与夹送辊73夹持原材料rs。
18.能量施加单元80具备热风送风机81，该热风送风机81对利用线圈加热器或热管的加热侧等未图示的加热设备进行了加热的热气进行喷吹。
19.对以上的片粘贴装置ea的动作进行说明。首先，对于在如图1的(a)中实线所示的初始位置配置各部件的片粘贴装置ea而言，该片粘贴装置ea的使用者(以下简称为“使用者”)如图示那样设置原材料rs，之后经由操作面板或个人计算机等未图示的操作单元输入开始自动运转的信号。于是，折曲起始部位形成单元60使直动马达62驱动，如图1的(a)中双点划线所示，利用折曲起始部位形成辊61和按压辊63以规定的按压力夹持原材料rs。此时，原材料rs上的起始的粘接片as未被折曲起始部位形成辊61和按压辊63夹持。接着，供给单元10及张力施加单元70使转动马达15a、71驱动，送出原材料rs，如图1的(a)中双点划线所示，当起始的粘接片as的供给方向前端部asf在剥离板14的剥离缘14a被剥离了规定长度时，则停止转动马达15a、71的驱动。此外，当粘接片as通过折曲起始部位形成辊61与按压辊63之间时，利用折曲起始部位形成辊61在粘接片as的粘接面侧形成沿着供给方向sd的凹槽状的折曲起始部位asc。
20.之后，如图1的(a)所示，当使用者或多关节机器人或带式输送机等未图示的输送单元以使得被粘物中心wkr与台中心33r重合的方式将被粘物wk载置于支撑面33a上时，则移动单元30使未图示的减压单元驱动，开始进行该支撑面33a上的吸附保持。另外，供给单元10及张力施加单元70使转动马达15a、71驱动，送出原材料rs，如图1的(b)所示，使粘接片as的供给方向前端部asf位于按压辊21的前方规定位置。此时，粘接片as的供给方向前端部asf利用未图示的气体喷嘴或电离器等施力单元的施力而成为与按压辊21的前方接触的状态。
21.接着，移动单元30使线性马达31驱动，使被粘物wk向左方移动，如图1的(b)、(c)所示，当台中心33r(被粘物中心wkr)与辊配置中心40r一致时，停止线性马达31的驱动。此时，如图1的(b)、(c)所示，粘接片as在折曲起始部位asc与外缘端面wke对置的状态下，成为供给方向前端部asf被按压辊21和外缘端面wke夹持的状态。此外，通过成为折曲起始部位asc
与外缘端面wke对置的状态，从而使伸出区域ash容易向一面wk1及另一面wk2方向折曲，能够顺利地进行粘接片as的折曲。
22.并且，供给单元10、移动单元30以及张力施加单元70使转动马达15a、32、71驱动，且就从上向下看的俯视角度而言，使被粘物wk向逆时针旋转方向rd旋转并供给粘接片as。由此，粘接片as被按压辊21按压并粘贴于外缘端面wke，当该粘接片as的供给方向前端部asf到达夹持辊54的前方规定位置时，则供给单元10、移动单元30以及张力施加单元70停止转动马达15a、32、71的驱动。此外，当向外缘端面wke粘贴粘接片as时，张力施加单元70使转动马达71驱动，并检测从粘接片as经由驱动辊72施加的转矩，以该转矩始终为规定值的方式来供给粘接片as，从而对粘接片as施加沿着供给方向sd的方向的张力。由此，对于能够弹性变形的粘接片as而言，由于内在的弹性复原力，如图1的(c)所示，成为一端as1侧及另一端as2侧的伸出区域ash向一面wk1侧及另一面wk2侧折曲的姿态。此时，由于在粘接片as形成了折曲起始部位asc，从而使伸出区域ash容易向一面wk1及另一面wk2方向折曲，能够顺利地进行粘接片as的折曲。
23.接着，前端部粘贴单元50使直动马达51驱动，如图1的(d)中双点划线以及图1的(e)所示，使夹持辊54前进并利用该夹持辊54将粘接片as的供给方向前端部asf粘贴于被粘物wk，之后使该夹持辊54恢复到初始位置。之后，供给单元10、移动单元30、张力施加单元70以及能量施加单元80使转动马达15a、32、71以及热风送风机81驱动，俯视来看，使被粘物wk向逆时针旋转方向rd旋转并供给粘接片as。由此，如图1的(e)中双点划线以及图1的(f)、(g)、(h)所示，粘接片as利用第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43使伸出区域ash阶段性地折曲，且最终地使一端as1侧的伸出区域ash粘贴于一面wk1侧，并且使另一端as2侧的伸出区域ash粘贴于另一面wk2侧。此时，也由于在粘接片as形成了折曲起始部位asc，从而使伸出区域ash容易向一面wk1及另一面wk2方向折曲，能够顺利地进行粘接片as的折曲。此外，对于粘接片as而言，以利用由热风送风机81喷吹的热气使两伸出区域ash向被粘物wk方向折曲的方式变形，使该伸出区域ash容易粘贴于被粘物wk。
24.接着，当起始的粘接片as的后续的下一个粘接片as的供给方向前端部asf在剥离板14的剥离缘14a被剥离了规定长度时，则供给单元10及张力施加单元70停止转动马达15a、71的驱动，停止原材料rs的送出。并且，当起始的粘接片as的供给方向后端部asr的两伸出区域ash利用第三按压辊43被粘贴于一面wk1及另一面wk2而形成一体物up时，则移动单元30及能量施加单元80停止转动马达32及热风送风机81的驱动。此外，粘贴于被粘物wk的粘接片as的前端部asf和后端部asr可以相互重合，也可以分离，也可以是以彼此对接的方式接触。
25.接着，移动单元30使线性马达31驱动，使支撑台33恢复到初始位置后，停止未图示的减压单元的驱动，解除支撑面33a上的吸附保持。之后，使用者或未图示的输送单元将一体物up向下一个工序输送，以后重复与上述同样的动作。
26.根据以上那样的实施方式，在利用伸出区域粘贴单元40进行粘贴之前，仅将粘接片as的供给方向前端部asf的伸出区域ash向一面wk1及另一面wk2方向折曲进行粘贴，因此该供给方向前端部asf与被粘物wk的粘接区域变多。因此，可尽量防止粘接片as的供给方向前端部asf在利用伸出区域粘贴单元40粘贴于被粘物wk之前脱离被粘物wk。
27.对于本发明中的单元和工序而言，只要是能够实现对这些单元和工序进行了说明
的动作、功能或工序即可而并无限定，且不限于上述实施方式所示的单纯的一个实施方式的构成物、工序。例如，供给单元只要能够沿着规定的供给方向供给粘接片即可，只要对照起初申请时的技术常识而言在其技术范围内则并无限定(对于其他单元和工序而言也同样如此)。
28.对于供给单元10而言，可以通过在临时粘接于带状的剥离片rl的带状的粘接片基材上形成闭环状或短尺寸宽度方向整体的切口，从将由该切口分隔的规定的区域设定为粘接片as的原材料rs剥离该粘接片as进行供给，也可以采用在带状的剥离片rl上临时粘接有带状的粘接片基材的带状粘接片原材料，在送出该带状粘接片原材料的途中，利用作为切断单元的切断刀在粘接片基材上形成闭环状或短尺寸宽度方向整体的切口，从将由该切口分隔的规定的区域设定为粘接片as的原材料rs剥离该粘接片as进行供给，也可以从在带状的剥离片rl临时粘接有带状的粘接片as的原材料rs剥离该带状的粘接片as进行供给，也可以不进行卷绕，而是例如从扇形折叠的原材料rs剥离粘接片as进行供给，也可以不进行卷绕，而是例如采用扇形折叠、利用碎纸机等进行切割、任意地集聚而将剥离片rl回收的回收单元，也可以不采用回收单元，也可以将未临时粘接于剥离片rl的粘接片as送出进行供给，也可以具备将粘贴于被粘物wk的粘接片as切断成规定的长度的切断单元。
29.对于按压单元20而言，可以是，以仅使利用供给单元10供给的粘接片as的沿着供给方向sd的一端as1侧形成从被粘物wk的外缘端面wke伸出的伸出区域ash的方式，将该粘接片as按压于外缘端面wke，也可以是，以仅使利用供给单元10供给的粘接片as的沿着供给方向sd的另一端as2侧形成从被粘物wk的外缘端面wke伸出的伸出区域ash的方式，将该粘接片as按压于外缘端面wke。
30.移动单元30可以不使被粘物wk移动或者一边使其移动一边使按压单元20移动，在外缘端面wke上粘贴粘接片as，可以没有线性马达31，可以采用不能进行保持面33a上的吸附保持的支撑台33，可以具备与支撑台33夹持被粘物wk的上按压单元。
31.伸出区域粘贴单元40的结构可以是，不使被粘物wk移动或者一边使其移动一边使第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43移动，将伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴，可以仅将一端as1侧的伸出区域ash向一面wk1方向折曲进行粘贴、仅将另一端as2侧的伸出区域ash向另一面wk2方向折曲进行粘贴，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43可以不是上下一对而是仅在一面wk1侧或者另一面wk2侧设置，第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43相对于z轴的倾斜角度例如可以分别是15度、45度、91度等各种倾斜角度，在所述实施方式中，利用第一按压辊41、第二按压辊42、第三按压辊43呈3个阶段将伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴，也可以呈4个阶段以上、2个阶段、1个阶段将伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴，可以取代辊或者与其并用地用导板、回转带、气体的喷吹等将伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴，可以不利用移动单元30与被粘物wk相对移动，而例如利用其他的装置、未图示的驱动设备等与被粘物wk相对移动，将伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴。
32.前端部粘贴单元50的结构还可以是，仅将粘接片as的供给方向前端部asf的一端as1侧的伸出区域ash向一面wk1方向折曲进行粘贴、仅将粘接片as的供给方向前端部asf的另一端as2侧的伸出区域ash向另一面wk2方向折曲进行粘贴，也可以是夹持辊54不是上下一对而是仅在一面wk1侧或者另一面wk2侧设置，也可以取代辊或者与其并用地用导板、回
转带、气体的喷吹等将粘接片as的供给方向前端部asf的伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴，夹持辊54等的材质可以由橡胶、树脂等能够弹性变形的材料构成，也可以由金属、玻璃等不能进行弹性变形的材料构成，可以用卡盘缸、卡盘马达等输出轴等仅将粘接片ss的供给方向前端部asf的伸出区域ash向其他面方向折曲进行粘贴。
33.折曲起始部位形成单元60可以沿着与供给方向sd交叉的方向设置多个折曲起始部位形成辊61，并如图1的(f)～(h)中双点划线所示，形成多个(2个以上)折曲起始部位asc，可以以使设置了多个的折曲起始部位形成辊61相互分离接的方式构成，并扩大、缩小折曲起始部位asc的间隔，可以成为折曲起始部位形成辊61相对于粘接片as分离接近的结构，按压辊63可以不相对于粘接片as分离接近，使用者能够考虑粘接片as的特性、特质、性质、材质、组成、结构、形状、尺寸以及重量、气氛的条件、其他的主要因素等各种条件，任意确定用折曲起始部位形成辊61和按压辊63夹持原材料rs的规定的张力，可以采用不能进行转矩控制的直动马达62，可以取代或者并用折曲起始部位形成辊61而采用在剥离板14上形成的凸状的突起物，或者采用大气、其他气体等气体的喷吹所形成的物质，而在粘接片as上形成按压痕迹，可以将该按压痕迹作为折曲起始部位asc，可以取代按压辊63或者并用地采用板状部件、采用通过喷吹大气、其他气体等气体产生的物质而将粘接片as按压于折曲起始部位形成辊61上形成折曲起始部位asc，可以在没有剥离片rl的状态下在粘接片as上形成折曲起始部位asc，可以在粘接片as的粘接面侧(粘贴有剥离片rl的面侧)形成折曲起始部位asc、在粘接片as的非粘接面侧(粘贴有剥离片rl的面的相反面侧)形成折曲起始部位asc、在粘接片as的粘接面侧及非粘接面侧的双方形成折曲起始部位asc，可以磨削粘接片as、在粘接片as上形成起始部位来形成凹槽状的折曲起始部位asc，但不限于凹槽状的折曲起始部位，例如，可以通过在粘接片as上施加紫外线、红外线、可见光线、声波、x射线或者伽马射线等电磁波、热水、热风等热等的能量，使照射该能量的部分的刚性比其他部分的刚性低，从而将该刚性较低的部分作为折曲起始部位，可以在本发明的片粘贴装置ea中具备，也可以不具备。
34.关于张力施加单元70，使用者能够考虑粘接片as的特性、特质、性质、材质、组成、结构、形状、尺寸以及重量、气氛的条件、其他的主要因素等各种条件来任意确定施加给粘接片as的规定的张力，可以采用不能进行转矩控制的转动马达71，可以成为可滑动地把持原材料rs、粘接片as，并调整该把持力对位于供给单元10与按压单元20之间的粘接片as施加沿着供给方向sd的方向的张力的结构，可以成为位于供给单元10的外部对粘接片as施加沿着供给方向sd的方向的张力的结构，可以在本发明的片粘贴装置ea中具备，也可以不具备。
35.能量施加单元80可以是作为规定的能量而施加紫外线、红外线、可见光线、声波、x射线或者伽马射线等电磁波、热水、热风等热等的单元，能够考虑粘接片as的特性、特质、性质、材质、组成以及结构等任意地确定，可以在本发明的片粘贴装置ea中具备，也可以不具备。
36.片粘贴装置ea可以在一个被粘物wk上粘贴一张粘接片as、在一个被粘物wk上粘贴多张粘接片as，可以在一面wk1侧及另一面wk2侧的至少一方上配置金属、玻璃、树脂、其他的粘接片等支撑部件，可以用粘接片as使被粘物wk和支撑部件一体化。
37.粘接片可以是将紫外线、红外线、可见光线、声波、x射线或者伽马射线等电磁波、
热水、热风等的热等作为规定的能量进行变形的物质，可以采用不进行弹性变形的物质，也可以采用不利用规定的能量而变形的物质。作为利用规定的能量进行变形的粘接片as，可以伴随着收缩进行变形、伴随着膨胀进行变形、及不伴随着收缩也不伴随着膨胀进行变形。被粘物wk可以在一面wk1侧及另一面wk2侧的至少一方上形成有环状或者非环状的凸部，可以在一面wk1侧及另一面wk2侧的至少一方上安装有金属、玻璃、树脂、其他的粘接片等支撑部件。
38.对于本发明中的粘接片as、支撑部件及被粘物wk的材质、种类、形状等，没有特别限定。例如，粘接片as、支撑部件和被粘物wk可以是圆形、椭圆形、三角形、四边形等多边形、或者其他形状，粘接片as可以是压敏粘接性、热敏粘接性等粘接方式的粘接片，在采用热敏粘接性的粘接片as的情况下，只要通过设置对该粘接片as进行加热的适当的线圈加热器或热管的加热侧等加热单元这样适当的方法进行粘接即可。另外，对于这样的粘接片as而言，例如可以是仅有粘接剂层的单层；层叠有基材和粘接剂层的2层；在基材和粘接剂层之间层叠有一个或多个中间层的3层或者3层以上；在基材的上表面层叠有一个或多个罩盖层的3层或者3层以上；以能够剥离的方式设置基材、中间层或罩盖层；仅由粘接剂层构成的单层的双面粘接片；在一个或多个中间层的两最外表面层叠有粘接剂层的双面粘接片等任意的方式。并且，被粘物wk例如可以是食品、树脂容器、硅半导体晶圆或者化合物半导体晶圆等半导体晶圆、电路基板、光盘等信息记录基板、玻璃板、钢板、陶瓷、木板或者树脂等单体物，也可以是由这些其中的两种以上形成的复合物，任意形态的部件、物品等都能够成为对象。另外，粘接片as、其他的粘接片可以基于功能、用途进行改称，例如可以是信息记载用标签、装饰用标签、保护片、切割带、芯片粘接膜、芯片接合带、记录层形成树脂片等任意的片、膜、带等。
39.所述实施方式中的驱动设备可以单独采用转动马达、直动马达、线性马达、单轴机器人、具备双轴或者三轴以上的关节的所谓多关节机器人等电动设备、气缸、液压缸、无杆缸以及旋转缸等致动器等，可以采用由这些电动设备、致动器等直接或者间接组合而成之物，可以采用能够或者不能针对这些电动设备、致动器等的输出部进行转矩控制、速度控制等的设备。
40.在上述实施方式中，在采用辊等旋转部件的情况下，可以具备使该旋转部件旋转驱动的驱动设备，可以由橡胶、树脂等可变形的部件构成旋转部件的表面或者旋转部件本身，也可以由不变形的部件构成旋转部件的表面或者旋转部件本身，也可以代替辊而采用进行旋转或者不进行旋转的轴、叶片等其他部件，在采用按压辊、按压头等按压单元、按压部件对被按压物进行按压的情况下，可以代替上述例示的方式或与其并用地采用：辊、圆棒、叶片材料、刷状部件，此外也可以采用通过喷射大气、其他气体等气体进行按压的方式，进行按压的部件可以由橡胶、树脂或海绵等可变形的部件构成，也可以由金属、玻璃等不变形的部件构成，在采用剥离板、剥离辊等剥离单元、剥离部件来剥离被剥离物的情况下，可以代替上述例示的方式或者与其并用地采用：板状部件、圆棒、辊等部件，进行剥离的部件可以由橡胶或树脂等可变形的部件构成，也可以由不变形的部件构成，在采用支撑(保持)单元、支撑(保持)部件等对被支撑部件(被保持部件)进行支撑(保持)的情况下，可以采用通过机械卡盘、卡盘缸等把持单元、库仑力、粘接剂(粘接片、粘接带)、粘合剂(粘合片、粘合
带)、磁力、伯努利吸附、抽吸吸附、驱动设备等支撑(保持)被支撑部件的结构，在采用切断单元、切断部件等将被切断部件切断或者在被切断部件上形成起始部位、切断线的情况下，可以代替上述例示的方式或者与其并用地采用：通过切刀、激光切割器、离子束、火力、热能、水压、电热丝、喷射气体或液体等来进行切断的方式，或者通过组合了适当的驱动设备而构成的装置使进行切断的物体移动来进行切断，在采用施力单元的情况下，可以由弹簧、橡胶、树脂或者驱动设备等构成。

技术特征：
1.一种片粘贴装置，其特征在于，具备：供给单元，其沿着规定的供给方向供给粘接片；按压单元，其以使得利用所述供给单元供给的所述粘接片的沿着所述供给方向的一端侧及另一端侧至少一方形成从被粘物的外缘端面伸出的伸出区域的方式将该粘接片按压于所述外缘端面；移动单元，其使所述按压单元和所述被粘物相对移动，将所述粘接片粘贴于所述外缘端面；以及伸出区域粘贴单元，其将所述伸出区域向与所述外缘端面相邻的其他面方向折曲进行粘贴，所述片粘贴装置还具备前端部粘贴单元，其位于所述按压单元与所述伸出区域粘贴单元之间，在利用该伸出区域粘贴单元进行粘贴之前，仅将所述粘接片的供给方向前端部的所述伸出区域向所述其他面方向折曲进行粘贴。2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，具备折曲起始部位形成单元，其在该粘接片形成折曲起始部位，该折曲起始部位是所述粘接片的折曲的起始部位。3.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，所述粘接片利用规定的能量进行变形，所述片粘贴装置具备能量施加单元，其对所述粘接片施加所述规定的能量。4.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，所述粘接片设置为能够进行弹性变形，所述片粘贴装置具备张力施加单元，该张力施加单元通过对位于所述供给单元与所述按压单元之间的所述粘接片施加方向沿着所述供给方向的张力，从而将所述伸出区域向所述其他面方向折曲。5.根据权利要求4所述的片粘贴装置，其特征在于，所述粘接片利用规定的能量进行变形，所述片粘贴装置具备能量施加单元，其对所述粘接片施加所述规定的能量。6.一种片粘贴方法，其特征在于，实施：供给工序，沿着规定的供给方向供给粘接片；按压工序，以使得通过所述供给工序供给的所述粘接片的沿着所述供给方向的一端侧及另一端侧至少一方形成从被粘物的外缘端面伸出的伸出区域的方式，利用按压单元将该粘接片按压于所述外缘端面；移动工序，使所述按压单元和所述被粘物相对移动，将所述粘接片粘贴于所述外缘端面；以及伸出区域粘贴工序，将所述伸出区域向与所述外缘端面相邻的其他面方向折曲进行粘贴，在所述按压工序与所述伸出区域粘贴工序之间还进行前端部粘贴工序，该前端部粘贴工序是在通过所述伸出区域粘贴工序进行粘贴之前，仅将所述粘接片的供给方向前端部的所述伸出区域向所述其他面方向折曲进行粘贴。

技术总结
提供一种片粘贴装置及片粘贴方法，可尽量防止粘接片的供给方向前端部在利用伸出区域粘贴单元粘贴于被粘物之前脱离被粘物。具备：供给单元，其沿规定的供给方向供给粘接片；按压单元，其以使得利用供给单元供给的粘接片的沿供给方向的一端侧及另一端侧至少一方形成从被粘物的外缘端面伸出的伸出区域的方式将粘接片按压于外缘端面；移动单元，其使按压单元和被粘物相对移动，将粘接片粘贴于外缘端面；伸出区域粘贴单元，其将伸出区域向与外缘端面相邻的其他面方向折曲进行粘贴。还具备前端部粘贴单元，其位于按压单元与伸出区域粘贴单元之间，在伸出区域粘贴单元进行粘贴之前，仅将粘接片的供给方向前端部的伸出区域向其他面方向折曲进行粘贴。他面方向折曲进行粘贴。他面方向折曲进行粘贴。


技术研发人员：丸山政徳
受保护的技术使用者：琳得科株式会社
技术研发日：2022.12.16
技术公布日：2023/9/25