蒸发装置、真空镀膜设备及电池生产系统的制作方法
未命名
09-24
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1.本技术涉及一种镀膜设备,具体涉及一种蒸发装置、真空镀膜设备及电池生产系统。
背景技术:
2.真空镀膜指在真空条件下,通过对镀膜材料(简称膜料)加热蒸发使之气化,使气化后的粒子飞至待镀基体的表面凝聚成膜的工艺方法。目前存在的问题是膜料熔化成液体后出现沸腾而产生大颗粒高温液滴,大颗粒高温液滴会飞溅到基体(待镀件)的表面,使基体的表面的热量不能及时散出,从而造成基体的损伤而影响镀膜效果。
技术实现要素:
3.鉴于上述问题,本技术提供一种蒸发装置、真空镀膜设备及电池生产系统,通过对气化后的粒子进行多次蒸发,可以减小大颗液滴飞溅至基体的表面造成基体损伤的概率,从而提高镀膜效果。
4.第一方面,本技术提供了一种蒸发装置,包括:
5.第一加热件,第一加热件形成有蒸发池,蒸发池用于承托并蒸发膜料;
6.至少一个第二加热件,位于第一加热件的蒸发池的一侧,第二加热件与蒸发池相对并沿第一方向间隔设置,第二加热件朝向蒸发池的表面设有多个沿第二方向贯通的通孔,第一方向与第二方向之间的夹角小于90
°
。
7.第一加热件的蒸发池对膜料进行加热使之气化后,气化的颗粒会从第二加热件的通孔通过,当蒸发池内的膜料熔化沸腾出现大颗粒液滴飞溅时,大颗粒液滴可以飞溅至第二加热件上,第二加热件对大颗粒液滴进行阻挡并再次对大颗粒液滴加热使之气化,气化后的膜料从第二加热件的通孔通过,并最终附着在基体的表面,通过第二加热件的设置,可以实现多级加热,以减小大颗粒液滴从第一加热件直接飞溅至基体的概率,使膜料附着在基体的表面更加均匀,提高了基体表面的膜层的均一性。
8.在一些实施例中,第二加热件的数量为多个,多个第二加热件均设置于第一加热件的蒸发池的一侧,多个第二加热件沿第一方向或第二方向排列。
9.由此,可以根据大颗粒液滴的飞溅数量设置多个第二加热件对大颗粒液滴进行加热,以进一步减小大颗粒液滴飞溅至基体的概率,从而提高镀膜效果。
10.在一些实施例中,通孔为圆孔,圆孔的直径的范围为1μm-1cm;或者,通孔为异形孔,在通孔的同一横截面上,通孔的轮廓上间距最大的两点的尺寸范围为1μm-1cm,通孔的横截面的面积的范围为0.0001mm
2-100mm2之间。
11.当通孔为圆孔时,通孔的直径过小小于1μm,或者,通孔为异形孔时,通孔的轮廓上间距最大的两点的尺寸小于1μm,其横截面的面积过小小于0.0001mm2时,气态膜料不易从通孔通过,容易改变气态膜料的流向,而通孔为圆孔时,通孔的直径过大大于1cm,或者,通孔为异形孔时,通孔的轮廓上间距最大的两点的尺寸大于1cm,其横截面的面积过大大于
100mm2,容易使高温大颗粒液滴从通孔内直接飞溅至基体的表面,造成基体的损伤。因此,通孔为圆孔时,将圆孔的直径的范围设置在1μm-1cm之间,通孔为异形孔时,将通孔的轮廓上间距最大的两点的尺寸范围设置为1μm-1cm,通孔的横截面的面积的范围设置为0.0001mm
2-100mm2之间,可以减小大颗粒液滴直接飞溅至基体的表面的概率,同时可以更好地使气态的膜料从通孔通过附着在基体的表面,而使附着在基体表面的膜层更加均匀。
12.在一些实施例中,第一加热件和第二加热件均为导电件。
13.由此,通过直接向第一加热件和第二加热件通电实现对膜料的加热气化,与在第一加热件和第二加热件设置加热装置通过热传递的方式将膜料熔化的方式相比,结构更简单。
14.在一些实施例中,第二加热件包括导电陶瓷件、石墨加热件、钼加热件或钨加热件。
15.由此,通过采用较大电阻率的导电陶瓷件、石墨加热件、钼加热件或钨加热件对膜料进行加热,可以产生较高的温度,以使膜料沸腾并气化。
16.在一些实施例中,第二加热件为网格结构。
17.第二加热件采用网格结构,由于网格的孔密度较大,可以使大量的气态的膜料更容易从网格结构中通过,将基体设置在第二加热件的顶部时,可以使气态的膜料更均匀地附着在基体的表面,以提高基体表面的膜层的均一性。
18.在一些实施例中,蒸发装置包括图像采集装置,第一加热件和第二加热件沿第三方向的同一侧设有图像采集装置,第三方向与第一方向垂直,图像采集装置用于采集膜料被加热的图像。
19.由此,可以实现对膜料加热过程的实时监控,以判断第一加热件和第二加热件是否有大颗粒液滴产生,从而可以根据实际情况确定是否要开启第二加热件对产生的大颗粒液滴进行再次加热。
20.在一些实施例中,蒸发装置还包括控制器,控制器用于接收图像采集装置所采集的图像,并根据图像采集装置的图像控制第二加热件是否加热。
21.由此,可以根据图像采集装置采集的图像,利用控制器控制第二加热件是否开启加热模式。例如,可以利用图像识别技术识别第二加热件的表面是否有高温大颗粒液滴产生,当识别出第二加热件的表面有高温大颗粒液滴产生时,控制器控制相应的第二加热件工作。
22.在一些实施例中,第一加热件包括坩埚或蒸发舟。
23.通过坩埚或蒸发舟可以实现对膜料的加热蒸发,且坩埚或蒸发舟电阻率较大,向坩埚或蒸发舟通电可以产生较高的热量,使膜料气化。
24.第二方面,本技术提供了一种真空镀膜设备,包括:
25.真空室;
26.第一方面的蒸发装置,蒸发装置位于真空室内。
27.由于真空镀膜设备包括上述第一方面的蒸发装置的全部技术特征,所起效果与上述相同,在此不在赘述。
28.第三面,本技术提供了一种电池生产系统,包括第二方面的真空镀膜设备,真空镀膜设备用于对电池的负极镀膜。
29.由于电池生产系统包括上述第二方面的真空镀膜设备的全部技术特征,所起效果与上述相同,在此不在赘述。
30.上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本技术的具体实施方式。
附图说明
31.通过阅读对下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本技术的限制。而且在全部附图中,用相同的附图标号表示相同的部件。在附图中:
32.图1为本技术一实施例的一种蒸发装置的侧视图;
33.图2为本技术一实施例的一种蒸发装置的俯视图;
34.图3为本技术一实施例的一种蒸发装置的第一加热件的轴测图;
35.图4为本技术一实施例的一种蒸发装置的第二加热件的轴测图;
36.图5为本技术一实施例的一种蒸发装置的控制器控制第二加热件的控制逻辑结构框图;
37.图6为本技术一实施例的一种真空镀膜设备的蒸发装置位于真空室内的示意图。
38.具体实施方式中的附图标号如下:
39.100、蒸发装置;10、第一加热件;11、蒸发池;20、第二加热件;21、通孔; 30、图像采集装置;40、控制器;a、第一方向;b、第二方向;c、第三方向;200、真空室;300、基体。
具体实施方式
40.下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本技术的保护范围。
41.除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同;本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术;本技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。
42.在本技术实施例的描述中,技术术语“第一”“第二”等仅用于区别不同对象,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量、特定顺序或主次关系。在本技术实施例的描述中,“多个”的含义是两个以上,除非另有明确具体的限定。
43.在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
44.在本技术实施例的描述中,术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如a和/或b,可以表示:单独存在a,同时存在a和b,单独存在b这三种情况。另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
45.在本技术实施例的描述中,术语“多个”指的是两个以上(包括两个),同理,“多组”指的是两组以上(包括两组),“多片”指的是两片以上(包括两片)。
46.在本技术实施例的描述中,技术术语“中心”“纵向”“横向”“长度”“宽度”“厚度”“上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术实施例的限制。
47.在本技术实施例的描述中,除非另有明确的规定和限定,技术术语“安装”“相连”“连接”“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;也可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
48.在真空镀膜的过程中,需要将膜料放置在真空室的蒸发器皿中,基体放置在蒸发器皿的上方,通过蒸发器皿加热膜料使膜料熔化沸腾,并转化成气态,气态的膜料向上漂至基体的四周,通过对基体的冷却降温使气态的膜料固化而附着在基体的表面。目前存在的问题是蒸发器皿直接对基体加热沸腾时,容易产生高温大颗粒液滴,且会从蒸发器皿中飞溅至基体的表面,在对一些不耐高温基体(例如塑料)镀膜时,大颗粒液滴直接飞溅至基体的表面容易造成基体的损伤,影响镀膜的效果。
49.鉴于此,本技术提供的一种蒸发装置,在第一加热件的蒸发池的一侧设置至少一个第二加热件,可以减小高温大颗粒液滴直接飞溅至基体的表面的概率,且在第二加热件设置多个通孔,可以使气态的膜料通过附着在基体的表面更加均匀,提高了基体表面的膜层的均一性。
50.本技术提供的一种真空镀膜设备可以应用于电池负极的镀膜,也可以应用于其它材质的镀膜,如塑料或金属等镀膜。
51.以下实施例为了方便说明,请参照图1-图6,以本技术一些实施例的一种蒸发装置100为例进行说明。
52.蒸发装置100包括第一加热件10和至少一个第二加热件20。其中,第一加热件10形成有蒸发池11,蒸发池11用于承托并蒸发膜料。至少一个第二加热件20位于第一加热件10的蒸发池11的一侧,第二加热件20与蒸发池11相对并沿第一方向a间隔设置,第二加热件20朝向蒸发池11的表面设有多个沿第二方向b贯通的通孔21,第一方向a与第二方向b之间的夹角小于90
°
。
53.第一方向a与第二方向b之间的夹角可以大于或等于0
°
。第一方向a与第二方向b之间的夹角等于0
°
,即第一方向a与第二方向b重合较好,可以使气态的膜料从通孔21通过并且不容易改变气态膜料的流向。
54.可选的,第一加热件10和第二加热件20可以采用电阻率较大的加热材料制作而成,通过向第一加热件10和第二加热件20通电可以产生较大的热量。
55.第一方向a与蒸发池11的底面可以垂直,也可以不垂直,具体可以根据实际需要合理设定。
56.蒸发池11的形状包括但不限于长方形、圆形或多边形等,可以根据实际需求合理
设定。
57.第一加热件10的蒸发池11对膜料进行加热使之气化后,气化的颗粒会从第二加热件20的通孔21通过,当蒸发池11内的膜料熔化沸腾出现大颗粒液滴飞溅时,大颗粒液滴可以飞溅至第二加热件20上,第二加热件20对大颗粒液滴进行阻挡并再次对大颗粒液滴加热使之气化,气化后的膜料从第二加热件20的通孔21通过,并最终附着在基体300的表面,通过第二加热件20的设置,可以实现多级加热,以减小大颗粒液滴从第一加热件10直接飞溅至基体300的概率,使膜料附着在基体300的表面更加均匀,提高了基体300表面的膜层的均一性。
58.在一些实施例中,请参照图1和图4,第二加热件20的数量为多个,多个第二加热件20均设置于第一加热件10的蒸发池11的一侧,多个第二加热件20沿第一方向a或第二方向b排列。
59.可选的,全部的第二加热件20可以沿第一方向a或第二方向b间隔设置,也可以是一部分数量的第二加热件20沿第一方向a或第二方向b叠设在一起,一部分数量的第二加热件20沿第一方向a或第二方向b间隔设置,还可以是全部数量的第二加热件20沿第一方向a或第二方向b叠设在一起。
60.由此,可以根据大颗粒液滴的飞溅数量设置多个第二加热件20对大颗粒液滴进行加热,以进一步减小大颗粒液滴飞溅至基体300的概率,从而提高镀膜效果。
61.在一些实施例中,请参照图4,通孔21为圆孔,圆孔的直径的范围为1μm-1cm。
62.在一些实施例中,请参照图2,通孔21为异形孔,通孔21为异形孔,在通孔21的同一横截面上,通孔21的轮廓上间距最大的两点的尺寸范围为1μm-1cm,通孔21的横截面的面积的范围为0.0001mm
2-100mm2之间。
63.可以理解地是,异形孔指孔的内壁轮廓为非圆的孔。
64.可选的,异形孔包括但不限于三角形孔、方形孔、椭圆孔、锥形孔或多边形孔等。
65.横截面指垂直于通孔21的深度方向的截面。
66.当通孔21为圆孔时,通孔21的直径过小小于1μm,或者,通孔21为异形孔时,通孔21的轮廓上间距最大的两点的尺寸小于1μm,其横截面的面积过小小于0.0001mm2时,气态膜料不易从通孔21通过,容易改变气态膜料的流向,而通孔21为圆孔时,通孔21的直径过大大于1cm,或者,通孔21为异形孔时,通孔21的轮廓上间距最大的两点的尺寸大于1cm,其横截面的面积过大大于100mm2,容易使高温大颗粒液滴从通孔21内直接飞溅至基体的表面,造成基体的损伤。因此,通孔21为圆孔时,将圆孔的直径的范围设置在1μm-1cm之间,通孔21为异形孔时,将通孔21的轮廓上间距最大的两点的尺寸范围设置为1μm-1cm,通孔21的横截面的面积的范围设置为0.0001mm
2-100mm2之间,可以减小大颗粒液滴直接飞溅至基体的表面的概率,同时可以更好地使气态的膜料从通孔21通过附着在基体的表面,而使附着在基体表面的膜层更加均匀。
67.在一些实施例中,第一加热件10和第二加热件20均为导电件。
68.导电件可以为金属导电件,也可以为非金属导电件,具体可以根据镀膜材料的物理属性合理选择。
69.由此,通过直接向第一加热件10和第二加热件20通电实现对膜料的加热气化,与在第一加热件10和第二加热件20设置加热装置通过热传递的方式将膜料熔化的方式相比,
结构更简单。
70.在一些实施例中,第二加热件20包括导电陶瓷件、石墨加热件、钼加热件或钨加热件。
71.示例性地,第二加热件20可以为具有多孔的导电陶瓷件,第二加热件20的工作电压可以为12v,其工作电流可以为100a-150a之间。
72.示例性地,第二加热件20可以为钨丝网加热结构,其工作电压可以为12v,其工作电流可以为120a。
73.由此,通过采用较大电阻率的导电陶瓷件、石墨加热件、钼加热件或钨加热件对膜料进行加热,可以产生较高的温度,以使膜料沸腾并气化。
74.在一些实施例中,第二加热件20为网格结构。
75.可选的,第二加热件20可以采用电阻率较大的网格结构件,如钼网或钨网,一方面可以产生较大的热量,另一方面可以耐高温。
76.第二加热件20采用网格结构,由于网格的孔密度较大,可以使大量的气态的膜料更容易从网格结构中通过,将基体300设置在第二加热件20的顶部时,可以使气态的膜料更均匀地附着在基体300的表面,以提高基体300的表面的膜层的均一性。
77.在一些实施例中,请参照图1,蒸发装置100包括图像采集装置30,第一加热件10和第二加热件20沿第三方向c的同一侧设有图像采集装置30,第三方向c与第一方向a垂直,图像采集装置30用于采集膜料被加热的图像。
78.可选的,图像采集装置30包括但不限于相机、摄像机或视觉传感器等。
79.可选的,第一加热件10和第二渐热件沿第三方向c的同一侧的图像采集装置30的数量可以为一个或多个,具体可以根据第二加热件20的数量进行设定。例如,当第二加热件20的数量为一个时,图像采集装置30的数量可以为一个,图像采集装置30能够采集到第一加热件10和第二加热件20之间的图像即可。当第二加热件20的数量为多个时,图像采集装置30的数量可以为多个,图像采集装置30可以沿第三方向c设置在多个第二加热件20的同一侧,且相邻两个第二加热件20设置一个图像采集装置30,可以对多个第二加热件20的加热情况进行监控。
80.由此,可以实现对膜料加热过程的实时监控,以判断第一加热件10和第二加热件20是否有大颗粒液滴产生,从而可以根据实际情况确定是否要开启第二加热件20对产生的大颗粒液滴进行再次加热。
81.在一些实施例中,请参照图1和图5,蒸发装置100还包括控制器40,控制器40用于接收图像采集装置30所采集的图像,并根据图像采集装置30的图像控制第二加热件20是否加热。
82.控制器40包括但不限于plc可编程控制器40、单片机或集成处理器和存储器于一体的计算机等。
83.可选的,控制器40可以根据图像单独控制每个第二加热件20进行工作,这可以更好地控制真空室200内的温度,以达到较好的镀膜效果,同时还可以尽可能地节省电能。
84.由此,可以根据图像采集装置30采集的图像,利用控制器40控制第二加热件20是否开启加热模式。例如,可以利用图像识别技术识别第二加热件20的表面是否有高温大颗粒液滴产产生,可以根据大颗粒液滴的图像的颜色、大小等特征进行特征识别。 当控制器
40识别出第二加热件20的表面有高温大颗粒液滴产生时,控制器40控制相应的第二加热件20工作对膜料进行加热。
85.在一些实施例中,第一加热件10包括坩埚或蒸发舟。
86.示例性地,第一加热件10可以为陶瓷蒸发舟,蒸发舟的工作电压可以为12v,蒸发舟的工作电流可以为500a-700a之间。
87.示例性地,第一加热件10可以为坩埚加热件,其工作电压可以为220v,50hz的交流电,其额定功率可以为5kw。
88.将第一加热件10设置为坩埚或蒸发舟可以实现对膜料的加热蒸发,且坩埚或蒸发舟电阻率较大,向坩埚或蒸发舟通电可以产生较高的热量,使膜料气化。
89.以下实施例为了方便说明,请参照图1-图5,以本技术一些实施例的一种真空镀膜设备为例进行说明。
90.真空镀膜设备包括真空室200和上述实施例的蒸发装置100。其中,蒸发装置100位于真空室200内。
91.可选的,真空室200内设置有至少两组电极,每组电极的数量为两个,第一加热件10与一组电极中的两个电极电连接。第二加热件20与另一组电极中的两个电极电连接。
92.可选的,蒸发池11朝上设置。
93.在镀膜的过程中,将基体300放置在真空室200内,并固定在蒸发装置100的上方,在蒸发池11内放入膜料,当向第一加热件10和第二加热件20通电时,膜料熔化并气化,气态的膜料穿过第二加热件20的通孔21附着在基体300的表面以形成膜层,而高温大颗粒液滴被第二加热件20加热使之气化。
94.由于真空镀膜设备包括上述实施例的蒸发装置100的全部技术特征,所起效果与上述相同,在此不在赘述。
95.以下实施例为了方便说明,以本技术一些实施例的一种电池生产系统为例进行说明。
96.请参照图6,电池生产系统包括上述实施例的真空镀膜设备,真空镀膜设备用于对电池的负极镀膜。
97.由于电池生产系统包括上述实施例的真空镀膜设备的全部技术特征,所起效果与上述相同,在此不在赘述。
98.以下实施例为了方便说明,以本技术一些实施例的一种蒸发装置100为例进行说明。
99.蒸发装置100包括控制器40、图像采集装置30、第一加热件10和至少一个第二加热件20。其中,第一加热件10形成有蒸发池11,蒸发池11用于承托并蒸发膜料。至少一个第二加热件20位于第一加热件10的蒸发池11的一侧,第二加热件20与蒸发池11相对并沿第一方向a间隔设置,第二加热件20朝向蒸发池11的表面设有多个沿第一方向a贯通的通孔21。第一加热件10和第二加热件20沿第三方向c的同一侧设有图像采集装置30,第三方向c与第一方向a垂直,图像采集装置30用于采集膜料被加热的图像。控制器40用于接收图像采集装置30所采集的图像,并根据图像采集装置30的图像控制第二加热件20是否加热。
100.通孔21包括圆孔或异形孔。异形孔包括但不限于三角形孔、方形孔、椭圆孔、锥形孔或多边形孔等。
101.通孔21为圆孔,圆孔的直径的范围为1μm-1cm。通孔21为异形孔,
102.在通孔21的同一横截面上,通孔21的轮廓上间距最大的两点的尺寸范围为1μm-1cm,通孔21的横截面的面积的范围为0.0001mm
2-100mm2之间。
103.第一加热件10可以为蒸发舟或坩埚,第二加热件20可以为网格结构。
104.第二加热件20包括导电陶瓷件、石墨加热件、钼加热件或钨加热件。
105.在镀膜的过程中,图像采集装置30可以根据第二加热件20是否有大颗粒液滴,以控制相应的第二加热件20工作将大颗粒液滴加热气化,气化后的膜料通过第二加热件20的通过附着至基体300的表面。第二加热件20的设置,实现膜料的多级加热,从而减小大颗粒液滴从第一加热件10直接飞溅至基体300的概率,使膜料附着在基体300的表面更加均匀,提高了基体300的表面的膜层的均一性。
106.最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本技术的权利要求和说明书的范围当中。尤其是,只要不存在结构冲突,各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本技术并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
技术特征:
1.一种蒸发装置,其特征在于,包括:第一加热件,所述第一加热件形成有蒸发池,所述蒸发池用于承托并蒸发膜料;至少一个第二加热件,位于所述第一加热件的所述蒸发池的一侧,沿第一方向,所述第二加热件与所述蒸发池相对并间隔设置,所述第二加热件朝向所述蒸发池的表面设有多个沿第二方向贯通的通孔,所述第一方向与所述第二方向之间的夹角小于90
°
。2.根据权利要求1所述的蒸发装置,其特征在于,所述第二加热件的数量为多个,多个所述第二加热件均设置于所述第一加热件的所述蒸发池的所述一侧,多个所述第二加热件沿所述第一方向或所述第二方向排列。3.根据权利要求1所述的蒸发装置,其特征在于,所述通孔为圆孔,所述圆孔的直径的范围为1μm-1cm;或者,所述通孔为异形孔,在所述通孔的同一横截面上,所述通孔的轮廓上间距最大的两点的尺寸范围为1μm-1cm,所述通孔的横截面的面积的范围为0.0001mm
2-100mm2之间。4.根据权利要求1所述的蒸发装置,其特征在于,所述第一加热件和所述第二加热件均为导电件。5.根据权利要求4所述的蒸发装置,其特征在于,所述第二加热件包括导电陶瓷件、石墨加热件、钼加热件或钨加热件。6.根据权利要求1-5任一项所述的蒸发装置,其特征在于,所述第二加热件为网格结构。7.根据权利要求1-5任一项所述的蒸发装置,其特征在于,所述蒸发装置包括图像采集装置,所述第一加热件和所述第二加热件沿第三方向的同一侧设有所述图像采集装置,所述第三方向与所述第一方向垂直,所述图像采集装置用于采集所述膜料被加热的图像。8.根据权利要求7所述的蒸发装置,其特征在于,所述蒸发装置还包括控制器,所述控制器用于接收所述图像采集装置所采集的图像,并根据所述图像采集装置的所述图像控制所述第二加热件是否加热。9.根据权利要求1-5任一项所述的蒸发装置,其特征在于,所述第一加热件包括坩埚或蒸发舟。10.一种真空镀膜设备,其特征在于,包括:真空室;如权利要求1-9任一项所述的蒸发装置,所述蒸发装置位于所述真空室内。11.一种电池生产系统,其特征在于,包括权利要求10所述的真空镀膜设备,所述真空镀膜设备用于对电池的负极镀膜。
技术总结
本申请公开了一种蒸发装置、真空镀膜设备及电池生产系统。蒸发装置,包括:第一加热件,第一加热件形成有蒸发池,蒸发池用于承托并蒸发膜料;至少一个第二加热件,位于第一加热件的蒸发池的一侧,第二加热件与蒸发池相对并沿第一方向间隔设置,第二加热件朝向蒸发池的表面设有多个沿第二方向贯通的通孔,第一方向与第二方向之间的夹角小于90
技术研发人员:伍平生 王岳利 尚鲲鹏 王伟 张如成
受保护的技术使用者:宁德时代新能源科技股份有限公司
技术研发日:2023.06.20
技术公布日:2023/9/23
版权声明
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