散热胶垫贴合方法、装置及设备与流程

1.本发明有关于一种贴合方法、装置及设备，特别是指一种将散热胶垫以自动化方式贴覆在被贴物上的散热胶垫贴合方法、装置及设备。


背景技术：

2.一般的晶片封装工艺中，常会先在一基板上涂覆粘胶，再将一晶粒粘附在该基板上，而该晶粒的上方必须再涂覆一层散热胶液，然后再将一散热片粘附在该散热胶液上，使该散热片罩覆在该晶粒及该基板上方。近来该散热胶液已逐渐被一种具有散热功能的散热胶垫取代，该散热胶垫通常具有上、下两表面呈双面胶的状态，每片该散热胶垫的上、下表面各粘覆一层包膜。使用时，操作者先将其中一侧面的该包膜撕下，再将已无该包膜的该散热胶垫表面贴在该晶粒上表面，然后将另一侧面的该包膜撕下，再将该散热片贴在该散热胶垫上方。
3.该现有技术以该散热胶垫来取代该散热胶液，虽然可以减少该散热胶液的涂覆工艺，但以人为方式进行每片该散热胶垫的粘附，亦无法提升工艺的效益，且每片该散热胶垫贴附的品质不一，在大量生产上不具经济效益。有鉴于此，一种自动化的先将该散热胶垫粘附在该基板上的晶粒上表面，再于该基板上覆盖该散热片的方法及设备曾被采用，例如申请人所申请的公告号码第i716906号「散热胶垫贴合方法及设备」专利案，但该专利案虽能解决植放散热片工艺中的散热胶垫自动贴合问题，惟其采用一贴抵头被驱动以其杆状的轮体滚动间接经由下表面粘附一散热胶垫的一第二包膜接触该散热胶垫的方式，自该散热胶垫相对一被贴物的另一侧，由一固定导杆往一位移导杆方向移辊位移，使该散热胶垫被粘附贴合于该被贴物上，在该散热胶垫粘附贴合完成时，该贴抵头被驱动由该位移导杆往该固定导杆方向回位，在该贴抵头辊去又辊回之间等于走了两次行程，工时相当浪费，在半导体工艺技术讲求工时效益的要求下，仍有可改进的空间。


技术实现要素：

4.因此，本发明的目的即在提供一种具有经济效益的散热胶垫贴合方法。
5.因此，本发明的另一目的在于提供一种具有经济效益的散热胶垫贴合装置。
6.本发明的又一目的在于提供一种用以执行如所述散热胶垫贴合方法的散热胶垫贴合设备。
7.本发明的再一目的在于提供一种设有如所述散热胶垫贴合装置的散热胶垫贴合设备。
8.依据本发明目的的散热胶垫贴合方法，包括：使一被贴物于一输送流路被搬送；使一散热胶垫间隔排列设于一料带上；使一贴合装置以一料带轮设置该料带，该料带绕经一贴抵头并以该贴抵头为界形成一输入侧及一输出侧；使该贴抵头以一枢轴为旋转中心，偏摆至一工作部位；及使该散热胶垫与该料带分离并贴覆于该被贴物上。
9.依据本发明目的的散热胶垫贴合装置，设有：一进位机构及设于该进位机构上受
其驱动位移并执行一散热胶垫贴合的一贴合机构，该贴合机构设有一设置一料带的料带轮，该料带上设有该散热胶垫，该料带绕经一贴抵头并以该贴抵头为界形成一输入侧及一输出侧；该贴抵头以一枢轴为旋转中心偏摆至一工作部位。
10.依据本发明又一目的的散热胶垫贴合设备，用以执行如所述散热胶垫贴合方法。
11.依据本发明再一目的的散热胶垫贴合设备，设有如所述散热胶垫贴合装置。
12.本发明实施例的散热胶垫贴合方法、装置及设备，由于使该贴合装置以该料带轮设置该料带，该料带绕经该贴抵头并以该贴抵头为界形成该输入侧及该输出侧；使该贴抵头以该枢轴为旋转中心，偏摆至该工作部位，并使该散热胶垫与该料带分离而贴覆于该被贴物上，如此使该料带在输送过程中，该贴抵头一次性将该散热胶垫与该料带分离而贴覆于该被贴物，无需该贴抵头如现有技术般往复两次位移辊动浪费工时，可增加贴合效率及经济效益。
附图说明
13.本发明的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：
14.图1是本发明第一实施例中一被贴物位于一膜层的示意图；
15.图2是本发明第一实施例中该被贴物贴附于一散热胶垫的分解示意图；
16.图3是本发明第一实施例中设有该散热胶垫的一料带形成一料卷的立体示意图；
17.图4是本发明第一实施例中一散热胶垫贴合设备的立体示意图；
18.图5是本发明第一实施例中一治具与下方机构示意图；
19.图6是本发明第一实施例中一进给机构与一贴合机构的立体分解示意图；
20.图7是本发明第一实施例中该进给机构的立体分解示意图；
21.图8是本发明第一实施例中该贴合机构的立体示意图；
22.图9是本发明第一实施例该贴合机构另一侧面的立体示意图；
23.图10是本发明第一实施例中该贴合机构的部分立体示意图；
24.图11是本发明第一实施例中该贴合机构卷绕该料带的立体示意图；
25.图12是本发明第一实施例中该贴合机构卷绕该料带的前侧示意图；
26.图13是本发明第一实施例中该料带的一输入流路及一输出流路示意图；
27.图14是本发明第一实施例中一拨杆拨推该料带示意图；
28.图15是本发明第二实施例中一挡件以辊轮压抵绕经一滚贴部的该料带的示意图；
29.图16是本发明第二实施例中该料带受一导引件导引的示意图；及
30.图17是本发明第三实施例中另一散热胶垫贴合设备的立体示意图。
31.【符号说明】
32.a：被贴物
33.a1：晶圆
34.a2：膜层
35.a3：边框
36.a4：散热胶垫
37.a41：料带
38.a411：针孔
39.a412：输入侧
40.a413：输出侧
41.a42：包膜
42.a43：套筒
43.a431：轴孔
44.a44：料卷
45.b：机台
46.c：输送流路
47.c1：第一轨架
48.c11：治具
49.c111：吸附部
50.c112：侧架
51.c113：皮带
52.c114：轨道
53.c12：加热元件
54.c13：底座
55.c131：间隔件
56.c14：连动件
57.c141：枢杆
58.c15：固定件
59.c151：枢套
60.c16：固定座
61.c161：支撑件
62.c17：驱动件
63.c171：转轴
64.d：移送机构
65.d1：龙门轨架
66.d11：立柱
67.d12：横梁
68.d13：y轴向驱动件
69.d2：悬臂
70.d21：x轴向驱动件
71.e：贴合装置
72.e1：进位机构
73.e11：载座
74.e111：滑轨
75.e112：驱动件
76.e113：螺杆
77.e114：操作区间
78.e115：扶架
79.e1151：枢转座
80.e1152：枢转轴
81.e116：上检视单元
82.e1161：取像器
83.e1162：光源
84.e12：轨座
85.e121：滑轨
86.e122：驱动件
87.e123：滑座
88.e124：固定座
89.e13：卷收机构
90.e131：承载件
91.e132：第一卷收轮
92.e133：第二卷收轮
93.e134：驱动件
94.e1341：缸杆
95.e135：悬吊件
96.e14：偏转机构
97.e141：驱动件
98.e142：连杆机构
99.e1421：固定连杆
100.e1422：活动连杆
101.e1423：轴孔
102.e143：固定件
103.e2：贴合机构
104.e21：承载座
105.e211：微调件
106.e22：料带轮
107.e221：枢轴
108.e23：固定座
109.e24：拨杆
110.e241：驱动件
111.e25：载架
112.e251：输入流路
113.e252：输出流路
114.e253：转向轮
115.e254：转向轮
116.e255：传送间距
117.e256：侧架
118.e257：联结件
119.e2571：扣座
120.e2572：扣接座
121.e26：导轮
122.e261：滚针部
123.e262：滚贴部
124.e263：驱动件
125.e27：靠架
126.e271：轮体
127.e272：导轴
128.e273：靠轴
129.e274：联动件
130.e275：滑轨
131.e276：滑座
132.e277：栓销
133.e278：定位孔
134.e28：导架
135.e281：贴抵头
136.e282：工作部位
137.e283：贴合部位
138.f：下检视单元
139.f1：取像器
140.f2：光源
141.f3：基准座
142.g：料带
143.g1：驱动件
144.g2：压抵件
145.g21：辊轮
146.g3：导引件
147.g31：导引道
148.h1：基板
149.h2：晶粒
150.k：机台台面
151.k1：输送流路
152.k11：轨架
153.k111：侧架
154.k112：皮带
155.k113：轨道
156.k114：搬送流路
157.k12：治具
158.k13：吸附部
159.k14：轨座
160.k15：活动轨架
161.k151：侧架
162.k152：皮带
163.k153：轨道
164.k154：搬送流路
165.l：轴线
166.z：轴线
167.θ：角度
具体实施方式
168.在本发明被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
169.请参阅图1，本发明第一实施例中，一被贴物a例如图中所示是以一晶圆a1上的一晶粒为例来说明，但实施上不以此为限。该晶圆a1位于一膜层a2上，该膜层a2外周缘设有一框片状的边框a3，该被贴物a被规划在该晶圆a1上并已被切割成单独个体，各被贴物a呈矩阵排列于该晶圆a1上，呈多数个共同拼靠且呈平面状地相邻铺设；在进行本发明散热胶垫贴合方法时，将如图2所示地在该被贴物a上方各贴覆一片散热胶垫a4。
170.请参阅图3，本发明第一实施例的散热胶垫贴合方法，将使该散热胶垫a4设于长条带状的一料带a41上，并以一包膜a42覆盖在该散热胶垫a4上，该料带a41与该包膜a42共同将该散热胶垫a4包覆，多个该散热胶垫a4在该料带a41上被依序等间隔连续排列，各该散热胶垫a4上、下两面各具粘性而分别与该料带a41与该包膜a42内层粘附，其中，该料带a41的两侧各具有一排等间隔连续排列的多个针孔a411，两排针孔a411间相隔一间距，该间距大于该散热胶垫a4的宽度并供该散热胶垫a4粘置其中，该料带a41可供卷在一设有一轴孔a431的套筒a43外周上而成一环卷状的料卷a44。
171.请参阅图4，本发明第一实施例的散热胶垫贴合设备可以如图所示，其在一机台b上设有：一输送流路c、一移送机构d、一贴合装置e，及一下检视单元f。
172.该输送流路c由一第一轨架c1所构成；该第一轨架c1中设有一治具c11，该治具c11上设有多个同心排列的圆形凹沟状的吸附部c111，每一吸附部c111各提供负压的吸力；该第一轨架c1上设有由相间隔间距的两个侧架c112及二条分别各靠置两个该侧架c112相对的内侧的皮带c113上方所构成的轨道c114，二个该轨道c114间形成所述输送流路c，并可受驱动使如图1所示的具有该边框a3且由该被贴物a构成的该晶圆a1，于所述轨道c114中作x轴向直线位移搬送或定位在该治具c11上方；该治具c11可作上下升降使其上的吸附部c111对该被贴物a吸附作上顶或下降操作。
173.该移送机构d设有相隔间距分别各跨于该输送流路c上方的二个龙门轨架d1，每一该龙门轨架d1包括分别各位于该输送流路c两侧的z轴向的二立柱d11，及位于该二立柱d11
上方呈水平y轴向横设的一横梁d12，各横梁d12上分别各设有例如线码的一y轴向驱动件d13；该二个龙门轨架d1的该二个横梁d12上共同跨设x轴向的一悬臂d2，该悬臂d2两端并受该y轴向驱动件d13所驱动可作y轴向位移，该悬臂d2上设有例如线码的一x轴向驱动件d21。
174.该贴合装置e设于该输送流路c的该第一轨架c1上方，并位于该移送机构d的该悬臂d2上，并可受该x轴向驱动件d21所驱动，可作x轴向位移以执行该散热胶垫a4贴合。
175.该下检视单元f设有由下往上进行检视的一ccd镜头构成的取像器f1，及所对应设置的一光源f2。
176.请参阅图4、5，该治具c11设有一加热元件c12，该加热元件c12可间接加热置于该治具c11上的所述被贴物a(见图1)，该治具c11受一底座c13上的多个间隔件c131架高在一适当高度，该底座c13受该机台b台面下一连动件c14上多个支枢杆c141所支撑连动，该机台b台面设一固定件c15，该固定件c15设有多个分别供所述枢杆c141枢设的枢套c151，该固定件c15下方同时以多个支撑件c161设一固定座c16，并在该固定座c16下方设一例如马达的驱动件c17，该驱动件c17以旋转的驱力经一具有螺纹的转轴c171连动该连动件c14，以连动该底座c13托顶该治具c11作上下位移。
177.请参阅图6，该贴合装置e设有一进位机构e1，及设于该进位机构e1上受其驱动位移并执行该散热胶垫a4贴合的一贴合机构e2。
178.请参阅图6、7，该进位机构e1设有板状的一载座e11、一提供该载座e11作垂直上、下的z轴向位移的一轨座e12、设于该载座e11上可受驱动作x轴向位移的一卷收机构e13、及设于该载座e11上可驱动该载座e11相对该轨座e12作偏转的一偏转机构e14。
179.该载座e11设有供该卷收机构e13设置的上下相隔间距并相互平行的一组x轴向的滑轨e111，及位于该滑轨e111上下之间受一驱动件e112驱动的一螺杆e113；该载座e11并设有一镂空的操作区间e114，该操作区间e114一侧设有一扶架e115，该扶架e115于该操作区间e114上、下侧分别各固设有一个向该载座e11一侧面凸伸的枢转座e1151，并于二个该枢转座e1151上下间枢设一枢转轴e1152；该载座e11上另设有由上往下进行检视的一上检视单元e116，该上检视单元e116设有由一ccd镜头构成的取像器e1161，及其下方所对应设置的一光源e1162。
180.该轨座e12设于图4中该移送机构d的该悬臂d2上，其上设有z轴向的二滑轨e121，该二滑轨e121上设有受马达构成的一驱动件e122驱动而可作z轴向上下位移的一滑座e123，该滑座e123上设置向一侧凸伸的一固定座e124，该固定座e124可伸经该载座e11的该操作区间e114，并位于该扶架e115上、下侧的二个该枢转座e1151间受该枢转轴e1152所枢设，借此使该载座e11受该轨座e12承载并驱动作垂直上、下的z轴向位移。
181.该卷收机构e13设有板状的一承载件e131，并以该承载件e131的一侧设于该载座e11的该滑轨e111上，并受该驱动件e112驱动该螺杆e113所连动而可作x轴向的位移；该承载件e131上设有可受驱动进行旋转卷收的一第一卷收轮e132及一第二卷收轮e133；其中，该第一卷收轮e132用以卷收图3中该料带a41，该第二卷收轮e133用以卷收图3中该包膜a42；该承载件e131上设有由汽压缸所构成由上往下伸设缸杆的一驱动件e134，及由弹簧构成具有弹性的一悬吊件e135。
182.该偏转机构e14设有由马达构成的一驱动件e141，及受该驱动件e141驱动而可作扭动位移的连杆机构e142，该连杆机构e142由呈矩形枢设围成的四个连杆构成，其中一固
定连杆e1421与该驱动件e141的输出端固设连动，与该固定连杆e1421平行对应的一活动连杆e1422以一轴孔e1423枢设于该载座e11的该枢转座e1151上端的该枢转轴e1152上，并以分别各设于该驱动件e141两侧的二固定件e143，分别各固设于该轨座e12上该固定座e124两侧并与其连动。
183.请参阅图8～图9，该贴合机构e2设有板状的一承载座e21，并在该承载座e21的一侧面上设有一料带轮e22，该料带轮e22的一枢轴e221穿经该承载座e21而枢设于该承载座e21另一侧的一固定座e23上，并受该固定座e23一侧所设的马达构成的驱动件e231所驱动可作间歇性旋转，该贴合机构e2并借助该承载座e21以该固定座e23固设于图7中该卷收机构e13的该承载件e131底侧后方并受其连动可作x轴向位移，该承载座e21可以该料带轮e22的枢轴e221为旋转中心相对该固定座e23及图7中该承载件e131作摆动位移，使该承载座e21可相对该承载件e131作相对位移，但该第一卷收轮e132及该第二卷收轮e133不会与该料带轮e22作相对靠近或远离的位移；该承载座e21下方设有一拨杆e24(图9)，该拨杆e24呈y轴向水平伸设地由该承载座e21的一侧前伸至与该料带轮e22相同的一侧，该拨杆e24并受该承载座e21相对该料带轮e22另一侧的一汽压缸构成的驱动件e241所驱动而可作上下位移；该承载座e21一侧设有由下往上螺设的具有外螺纹的微调件e211；该承载座e21上在与该料带轮e22同侧设有一载架e25。
184.请参阅图10，该载架e25下侧提供图3中该料带a41一输入流路e251，上侧提供该料带a41一输出流路e252；该载架e25在该输入流路e251路径上设有多个转向轮e253，在该输出流路e252上设有一转向轮e254；该输出流路e252路径另设有自该承载座e21作y轴向伸设的一导轮e26，该导轮e26两端周缘各设有多个辐射状彼此相隔间距的凸体所构成的一滚针部e261，两端的所述滚针部e261间设有一段周缘呈圆滑周面的滚贴部e262，该导轮e26可受例如马达的一驱动件e263所驱动而作间歇转动，该导轮e26一侧设有一靠架e27，该靠架e27约略呈矩形，其中央设有一导轴e272，及设在该导轴e272上与所述滚针部e261对应的二轮体e271，并在该导轴e272两侧设有呈y轴向并相互平行的二靠轴e273，在两端分别各设有一联动件e274，在其中靠近该承载座e21一端的该联动件e274外侧固设于一滑座e276上，该滑座e276可滑动地设置在相隔间距并相互平行的二滑轨e275上，使该靠架e27可相对该导轮e26被拨推作径向滑动远离或靠近，靠近该承载座e21一端的该联动件e274内侧并设有一栓销e277，该栓销e277具有弹性驱力地朝该联动件e274外侧嵌插入该二滑轨e275间的一定位孔e278，而使该靠架e27获得定位在靠近该导轮e26的位置。
185.该载架e25设有与该承载座e21相隔一传送间距e255的一侧架e256，该侧架e251与该承载座e21间上、下各设有多个杆状的联结件e257及所述转向轮轴e253，图7中该卷收机构e13中的该驱动件e134由上往下伸设一缸杆e1341的一端与该载架e25位于最上端的该联结件e257上的一扣座e2571联结并连动，并借此使该卷收机构e13与该贴合机构e2间联结并连动；图7中该悬吊件e135的另一端与位于最上端的该联结件e257上的一扣接座2572联结并连动，并借此使该卷收机构e13与该贴合机构e2间联结并连动；该载架e25相对该料带轮e22(见图8)的另一端固设有一导架e28，该导架e28上设有一y轴向圆杆状的轴轮所构成的一贴抵头e281，该贴抵头e281对应位于该传送间距e255中，该贴抵头e281位于该载架e25下侧该输入流路e251的末端与上侧该输出流路e252的起始端的转折交汇处，该输入流路e251与该输出流路e252间的夹角为小于九十度的锐角。
186.请参阅图11～13，该贴合机构e2以该料带轮e22的枢轴e221为旋转中心可以作摆动，在常态时，与该枢轴e221相隔一段间距的该贴抵头e281被朝下偏摆至顺时针旋转路径过该枢轴e221垂直的z轴向偏左的部位，使该贴抵头e281与该枢轴e221连接的一轴线l与垂直的z轴向的一轴线z形成一个角度θ，该角度θ最佳为大于四十五度但小于九十度；该驱动件e134的缸杆e1341由上往下在距该枢轴e221一段距离下推抵，等同对该贴合机构e2及该贴抵头e281以该枢轴e221为旋转中心施予一朝下且呈逆时针的力矩，视为一第一方向的力矩，使该微调件e211上方抵于该卷收机构e13的该承载件e131下缘，此时该贴抵头e281所处的位置是仍以该料带轮e22的枢轴e221为旋转中心，顺时针向下旋转偏摆至一工作部位e282，此时该弹簧构成的该悬吊件e135支撑该贴合机构e2部分重量，等同对该贴合机构e2及该贴抵头e281以枢轴e221为旋转中心施予一朝上且呈顺时针的力矩，视为一第二方向的力矩；该第一方向的力矩与第二方向的力矩方向相反，该第一方向的力矩对该贴抵头f281产生的位移量，即决定该工作部位e282的高低位置，其可受该微调件e211微调。
187.在将该料卷a44套装于该料带轮e22时，该包膜a42被剥离并卷绕至该第二卷收轮e133，该料带a41以该散热胶垫a4朝下的方式被牵引经该载架e25下侧该输入流路e251的转向轮e253，并经绕转经该贴抵头e281后，转折循该输出流路e252绕经该导轮e26的所述滚针部e261，而被该第一卷收轮e132所卷收；该料带a41绕经该导轮e26时，被如图10所示的该靠架e27两侧的该靠轴e273所覆靠。
188.请参阅图4、12、13，在进行贴合时，该贴合装置e先以该上检视单元e116由上往下对该被贴物a取像，再位移至该下检视单元f处，使该下检视单元f由下往上进行检视该料带a41下方的该散热胶垫a4，在进行该散热胶垫a4的取像时，如图14所示，该拨杆e24将被驱动向下位移于该料带轮e22与该贴抵头e281间，而拨推位于该输入流路e251的该料带a41向下位移，使在该拨杆e24与该贴抵头e281间的该料带a41由一倾斜状态形成水平状态，以使该下检视单元f检视取得一精准的该散热胶垫a4方位，然后该拨杆e24再被驱动上移回复至原定位，使该料带a41恢复原右上左下的倾斜状态(在特定该被贴物a许可的情况下，该料带a41可维持该水平状态)；在该上检视单元e116与该下检视单元f所检测出的该被贴物a与该散热胶垫a4的方位有偏移误差时，该偏转机构e14将驱动使该载座e11相对该轨座e12作偏转，借以连动该贴抵头e281作偏转，使该被贴物a与该散热胶垫a4的方位对应。
189.请参阅图12、13，随后，该贴合装置e以该进位机构e1的该轨座e12驱动该载座e11，以连动该卷收机构e13及贴合机构e2下移至该被贴物a上方预设定位，此时该料带a41恰被驱动使该散热胶垫a4的一侧恰对应邻抵于位于该工作部位e282处的该贴抵头e281底端下方，该贴抵头e281间隔该料带a41及该散热胶垫a4压抵至该被贴物a的反作用力，使该驱动件e134的缸杆e1341微作上移回升，以缓冲下降的压力，相对的使该贴抵头e281以该料带轮e22的枢轴e221为旋转中心，由该工作部位e282顺时针向上旋转偏摆至使该贴抵头e281微上升位移至一贴合部位e283，此时该微调件e211上方与该卷收机构e13的该承载件e131下缘分离；而该料带a41绕经贴抵头e281并以贴抵头e281为界形成该输入流路e251侧的一输入侧及该输出流路e252侧的一输出侧；
190.在该输入流路e251侧的该料带a41不受驱动位移前进下，续由该卷收机构e13以该承载件e131被驱动于图7中该滑轨e111作x轴向的位移，连动该承载件e131上该第一卷收轮e132、该第二卷收轮e133及该贴合机构e2作位移，使该贴抵头e281自该料带a41上方间接辊
压该料带a41下方的该散热胶垫a4，而由该输出流路e252的一侧往另一侧的该输入流路e251侧辊动位移，此时位于该输出流路e252侧的该导轮e26及该第一卷收轮e132将被驱动卷收该料带a41，使该散热胶垫a4被带经该贴抵头e281底端而在由该输入流路e251转折进入该输出流路e252时，被以同时剥离、贴覆过程下往另一侧使与该料带a41分离并贴覆于该被贴物a上。
191.请参阅图15、16，本发明第二实施例的构造大致相同于该第一实施例，在前述第一实施例图3中该料带a41可能与该散热胶垫a4为一个特定规格，其可能宽度较窄，此时该料带a41与该包膜a42宽度也会选用两侧无多个针孔a411，而如图15中所示第二实施例中较窄规格的料带g，则此时该导轮e26一侧可设置固设于该承载座e21上例如汽压缸的一驱动件g1，以驱动一压抵件g2以所设的辊轮g21压抵绕经该滚贴部e262的料带g，并如图16所示在该输出流路e252中的该导架e28上设置一导引件g3，该导引件g3设有一导引道g31，该导引道g31引导由该输入流路e251经该贴抵头e281底端转折进入该输出流路e252的该料带g。
192.请参阅图17，本发明第三实施例的构造大致相同于该第一实施例，其差别在于：本发明并不限于仅能对图1中尚在该膜层a2上该晶圆a1的晶粒作散热胶垫a4的贴合，相同的该贴合装置e及贴合方法亦可应用于如图17中本发明第三实施例对已放置在基板h1上的晶粒h2作贴合，此时该散热胶垫贴合设备除图4中第一实施例该移送机构d、该贴合装置e相同外(以下不作赘述)，该机台台面k上的一输送流路k1可以二个相隔间距并列平行设置的轨架k11构成；每一该轨架k11中设有一治具k12，该治具k12上设有多个矩形的吸附部k13，每一吸附部k13各提供负压的吸力；每一该轨架k11上设有由相间隔的两个侧架k111及二条分别各靠置两个该侧架k111相对的内侧的皮带k112上方所构成的轨道k113，二个该轨道k113间分别各形成y轴向的一搬送流路k114，并可受驱动盛载具有晶粒h2的基板h1所构成的该被贴物h于所述轨道k113中作位移搬送或定位在该治具k12上方；该治具k12可作上下升降使其上的吸附部k13对该被贴物h吸附作上顶或下降操作；二个该轨架k11所构成的二个该搬送流路k114在相同的一端，对应设有可在x轴向一轨座k14上作位移的一活动轨架k15，该活动轨架k15上设有由相间隔的两个侧架k151及二条分别各靠置两个该侧架k151相对的内侧的皮带k152上方所构成的轨道k153，二个该轨道k153间分别各形成y轴向的一搬送流路k154可在该活动轨架k15位移时选择性对应任一个该轨架k11；而该下检视单元f可位于二个该轨架k11所构成的二个该搬送流路k114间，并设置可作选择性位移对应该光源f1上方的一基准座f2，供该上检视单元e116与该下检视单元f作对位校准。
193.本发明实施例的散热胶垫贴合方法、装置及设备，由于使该贴合装置e以该料带轮e22设置该料带a41，该料带a41绕经该贴抵头e281并以该贴抵头e281为界形成该输入侧及该输出侧；使该贴抵头e281以该枢轴e221为旋转中心，偏摆至该工作部位e282，并使该散热胶垫a4与该料带a41分离而贴覆于该被贴物a上，如此使该料带a41在输送过程中，该贴抵头e281一次性将该散热胶垫a4与该料带a41分离而贴覆于该被贴物a，无需该贴抵头e281如现有技术般往复两次位移辊动浪费工时，可增加贴合效率及经济效益。
194.以上所述仅为本发明的实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，凡是依本发明申请专利范围及专利说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

技术特征：
1.一种散热胶垫贴合方法，包括：使一被贴物于一输送流路被搬送；使一散热胶垫间隔排列设于一料带上；使一贴合装置以一料带轮设置该料带，该料带绕经一贴抵头并以该贴抵头为界形成一输入侧及一输出侧；使该贴抵头以一枢轴为旋转中心，偏摆至一工作部位；及使该散热胶垫与该料带分离并贴覆于该被贴物上。2.如权利要求1所述的散热胶垫贴合方法，其中，该枢轴设于该料带轮中心，该贴抵头压抵至该被贴物时，使该贴抵头以该料带轮的枢轴为旋转中心偏摆至一贴合部位。3.如权利要求1所述的散热胶垫贴合方法，其中，在进行贴合时，该贴合装置先对该散热胶垫取像，取像时使该料带由一倾斜的状态形成水平状态。4.如权利要求1所述的散热胶垫贴合方法，其中，对该贴抵头以该枢轴为旋转中心施予一第一方向的力矩及一第二方向的力矩，该第一方向的力矩与该第二方向的力矩方向相反。5.如权利要求4所述的散热胶垫贴合方法，其中，该第一方向的力矩对该贴抵头产生的位移量可受微调。6.如权利要求1所述的散热胶垫贴合方法，其中，该贴抵头由圆杆状的轴轮所构成，其位于下侧该料带一输入流路的末端及上侧该料带一输出流路的起始端的转折交汇处，该输入流路与该输出流路间的夹角为小于九十度的锐角。7.如权利要求1所述的散热胶垫贴合方法，其中，该贴抵头与该枢轴连接的一轴线与垂直轴向的一轴线形成一个角度θ，该角度θ大于四十五度但小于九十度。8.如权利要求1所述的散热胶垫贴合方法，其中，该贴抵头朝该料带的该输入侧位移，而使该散热胶垫在自一侧从该料带以同时剥离、贴覆过程下往另一侧被完全贴覆至该被贴物上表面。9.一种散热胶垫贴合装置，设有：一进位机构，及设于该进位机构上受其驱动位移并执行一散热胶垫贴合的一贴合机构，该贴合机构设有一设置一料带的料带轮，该料带上设有该散热胶垫，该料带绕经一贴抵头并以该贴抵头为界形成一输入侧及一输出侧；该贴抵头以一枢轴为旋转中心偏摆至一工作部位。10.如权利要求9所述的散热胶垫贴合装置，其中，该枢轴设于该料带轮中心，该料带轮设于该贴合机构的一承载座，该料带轮的枢轴穿经该承载座而枢设于该承载座另一侧的一固定座上，并受该固定座一侧所设的一驱动件所驱动可作间歇性旋转，该贴合机构并借助该承载座以该固定座固设于一卷收机构的一承载件并受其连动可作位移。11.如权利要求9所述的散热胶垫贴合装置，其中，该进位机构设有一卷收机构，该卷收机构设有一承载件，该承载件上设有可受驱动进行旋转卷收该料带的一第一卷收轮及卷收一包膜的一第二卷收轮；该贴合机构设有一承载座，并在该承载座上设有该料带轮；该承载座可相对该承载件作相对位移，但该第一卷收轮及该第二卷收轮不会与该料带轮作相对靠近或远离的位移。12.如权利要求11所述的散热胶垫贴合装置，其中，该卷收机构与该贴合机构间以一驱动件联结并连动。
13.如权利要求11所述的散热胶垫贴合装置，其中，该卷收机构与该贴合机构间以一具有弹性的一悬吊件联结并连动。14.如权利要求9所述的散热胶垫贴合装置，其中，该贴合机构设有受一驱动件所驱动而位移于该料带轮与该贴抵头间拨推该料带位移的一拨杆。15.如权利要求9所述的散热胶垫贴合装置，其中，该进位机构设有一载座，及设于该载座上而可受驱动作位移的一卷收机构。16.一种散热胶垫贴合设备，用以执行如权利要求1至8中任一权利要求所述的散热胶垫贴合方法。17.一种散热胶垫贴合设备，设有如权利要求9至15中任一权利要求所述的散热胶垫贴合装置。

技术总结
本发明提供一种散热胶垫贴合方法、装置及设备，该散热胶垫贴合方法包括：使一被贴物于一输送流路被搬送；使一散热胶垫间隔排列设于一料带上；使一贴合装置以一料带轮设置该料带，该料带绕经一贴抵头并以该贴抵头为界形成一输入侧及一输出侧；使该贴抵头以一枢轴为旋转中心偏摆至一工作部位；使该散热胶垫与该料带分离并贴覆于该被贴物上；借此使该散热胶垫迅速地贴合于该被贴物上，可精简工艺、提升品质，具有较佳经济效益。具有较佳经济效益。具有较佳经济效益。


技术研发人员：蔡俊宏 王安田 程冠霖 李世民
受保护的技术使用者：万润科技股份有限公司
技术研发日：2022.05.17
技术公布日：2023/9/23