外壳系统的制作方法

1.本发明涉及一种外壳系统，并且更具体地，涉及一种使工人能够在保持外壳内部的气体气氛的同时维护外壳内部的设备的外壳系统。


背景技术：

2.当使用工业喷墨设备时，需要对喷墨头进行维护，例如擦拭喷墨头的表面或将压力施加到不良状态下的喷嘴以喷射墨水以进行清洁。喷墨头维护是定期进行的。
3.在进行喷墨头维护之后，执行检查从喷墨头喷射的墨滴的速度和直线度是否处于良好状态的过程。
4.如上所述，通过喷墨头维护和检查喷墨头的操作状态将需要更换的喷墨头用新的喷墨头更换。
5.在外壳的内部密封空间中执行制造有机发光二极管(oled)和量子点有机发光二极管(qd-oled)的过程，在该内部密封空间中，用特殊气体创建气氛以使导致产品缺陷的杂质颗粒最小化。
6.在喷墨头被安装在外壳的内部密封空间中时，执行该过程，并且在通过连接到外部的前腔室将外壳的内部密封空间用大气环境更换之后更换喷墨头，以通过维护用新的喷墨头更换需要更换的喷墨头。
7.近年来，应用有机发光二极管或量子点有机发光二极管的显示器的尺寸逐渐增大到75英寸或更大，并且通过使用最大第10代玻璃来生产用于制造显示器的设备。
8.由于该原因，外壳的尺寸也逐渐增大，并且如上所述，在用大气环境更换外壳的内部密封空间之后，需要大量时间在外壳的内部密封空间中用特殊气体创建气氛以再次执行该过程。
9.例如，当清洁干燥空气(cda)被供应到外壳中以排放现有气体以便更换喷墨头时，在创建工人可以进入的环境之后，用诸如高纯度氮气或氦气的特殊气体在外壳中形成气氛，通过打开外壳的门来更换喷墨头，并且当完成喷墨头的更换时，在关闭外壳的门之后，特殊气体被供应到外壳中以排放现有的cda，从而创建初始的处理气氛。
10.具体地，为了创建初始的处理气氛，高纯度特殊气体以2000l每分钟被供应到外壳中，使得水分和氧气低于50ppm，并且该过程需要至少5小时。
11.此外，根据用途，需要使用附加净化器减少水分和氧气的附加过程，以使外壳的内部环境低于1ppm，并且该附加过程需要约3小时。
12.如上所述，转换和返回外壳的内部气氛以进行喷墨头维护或更换喷墨头的过程需要相当长的时间。
13.[相关技术文件]韩国专利公开no.2019-0090064(2019年7月31日)


技术实现要素：

[0014]
技术问题
[0015]
本发明提供一种外壳系统，该外壳系统能够以这样的方式提高工作稳定性并减少维护时间，使得当维护安装在外壳中的用于制造大尺寸显示器的工业设备时，工人在保持外壳内部的气体气氛的同时维护外壳内部的设备，以便解决现有技术的问题。
[0016]
技术方案
[0017]
为了解决上述技术问题，本发明的实施方式提供一种外壳系统，所述外壳系统包括：处理单元移动腔室，所述处理单元移动腔室包括第一维护开口孔和第二维护开口孔，通过所述第一维护开口孔暴露处理单元的一个侧部，并且通过所述第二维护开口孔暴露所述处理单元的另一侧部，所述处理单元移动腔室与所述处理单元一体地移动；管理单元移动腔室，所述管理单元移动腔室包括管理开口孔并且与管理单元一体地移动，通过所述管理开口孔暴露所述管理单元的管理部；以及固定腔室，所述固定腔室连接到安装在外壳的一个侧壁部分处的门以形成预定空间，所述固定腔室包括朝向所述外壳的内部延伸的对接开口孔。这里，通过所述处理单元和所述管理单元的移动，所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室彼此紧密接触以允许所述第一维护开口孔和所述管理开口孔彼此连通，所述处理单元移动腔室和所述固定腔室紧密接触以允许所述第二维护开口孔和所述对接开口孔彼此连通，并且由此所述处理单元移动腔室、所述管理单元移动腔室和所述固定腔室形成一个密封空间。
[0018]
优选地，所述处理单元移动腔室可以具有矩形形状，所述第一维护开口孔可以形成在所述处理单元移动腔室的底表面中，所述第二维护开口孔可以形成在所述处理单元移动腔室的一个侧表面中，所述管理单元移动腔室可以具有矩形形状，所述管理开口孔可以形成在所述管理单元移动腔室的顶表面中，所述固定腔室可以具有矩形形状，并且所述对接开口孔可以形成在面向所述第二维护开口孔的方向上。
[0019]
优选地，所述固定腔室可以包括：外框架，所述外框架具有敞开的中央部并且设置在所述固定腔室的空间中；对接框架，所述对接框架具有敞开的中央部并且设置在所述外壳中；多个连接杆，所述多个连接杆穿过所述外壳的内部和外部以一体地连接所述外框架和所述对接框架；引导衬套，所述引导衬套设置在所述外壳中以允许所述多个连接杆沿纵向方向滑动，并且所述多个连接杆被插入到所述引导衬套中；驱动单元，所述驱动单元被构造成提供驱动力，使得所述多个连接杆沿所述纵向方向滑动；所述对接开口孔，所述对接开口孔与所述外框架的开口和所述对接框架的开口对应地形成在所述外壳中；以及柔性连接管，所述柔性连接管被构造成连接所述对接开口孔和所述对接框架的开口。
[0020]
优选地，凸缘部分可以从所述处理单元移动腔室的一个侧表面延伸，至少一个引导孔可以形成在所述凸缘部分和所述对接框架的面向所述凸缘部分的对应表面中的一者中，并且插入到所述引导孔中的引导销可以形成在另一者上。
[0021]
优选地，供插入第一o形圈的第一o形圈凹槽可以形成在所述管理开口孔的外周边和所述第一维护开口孔的外周边中的一者中，并且面向所述第一o形圈凹槽以压缩所述第一o形圈的第一o形圈密封表面可以形成在另一者上。
[0022]
优选地，供插入第二o形圈的第二o形圈凹槽可以形成在所述对接框架的开口的外周边和所述第二维护开口孔的外周边中的一者中，并且面向所述第二o形圈凹槽以压缩所述第二o形圈的第二o形圈密封表面可以形成在另一者上。
[0023]
优选地，可以在所述处理单元移动腔室、所述管理单元移动腔室和所述固定腔室
中的一者上设置有构造成检测压力状态和气体状态的传感器单元。
[0024]
优选地，可以在所述处理单元移动腔室、所述管理单元移动腔室和所述固定腔室中的一者中形成有供应大气气体所穿过的气体供应孔、供应清洁干燥空气cda所穿过的空气供应孔和排出所述大气气体或所述cda所穿过的排气孔。
[0025]
优选地，当所述外壳的平面上的水平方向是x轴、所述外壳的所述平面上的竖直方向是y轴并且所述外壳的高度方向是z轴时，所述处理单元可以沿x轴方向和z轴方向移动，所述管理单元可以沿y轴方向和所述z轴方向移动，在所述处理单元移动腔室与所述管理单元移动腔室的x轴坐标对应地移动并对准并且所述管理单元移动腔室与所述处理单元移动腔室的y轴坐标对应地移动并对准的状态下，当所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室中的至少一者沿所述z轴方向移动时，所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室可以彼此紧密接触，并且在保持所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室彼此紧密接触的状态的同时，所述处理单元移动腔室可以与所述固定腔室的z轴坐标对应地对准。
[0026]
优选地，当所述外壳的平面上的水平方向是x轴、所述外壳的所述平面上的竖直方向是y轴并且所述外壳的高度方向是z轴时，所述处理单元可以沿x轴方向和z轴方向移动，所述管理单元可以沿y轴方向和所述z轴方向移动，并且在所述处理单元移动腔室与所述管理单元移动腔室的x轴坐标和所述固定腔室的z轴坐标对应地移动并对准并且所述管理单元移动腔室与所述处理单元移动腔室的y轴坐标对应地移动并对准的状态下，当所述管理单元移动腔室沿所述z轴方向移动时，所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室可以彼此紧密接触。
[0027]
优选地，设置在所述管理单元移动腔室中的所述管理单元可以包括用于维护所述处理单元的维护视觉检查装置和用于检查所述处理单元的操作状态的操作检查视觉检查装置中的至少一个视觉检查装置。
[0028]
有益效果
[0029]
上述本发明的优点是，当维护安装在外壳内部的用于制造大尺寸显示器的工业设备时，通过使工人能够在保持外壳内部的气体气氛的同时维护外壳内部的设备，从而提高了工作稳定性并减少了维护时间。
[0030]
本发明的目的不限于上述内容，但本领域技术人员将通过以下描述清楚地理解本文未描述的其他目的。
附图说明
[0031]
图1是示出根据本发明的实施方式的外壳系统的立体图。
[0032]
图2是示出安装在根据本发明的实施方式的外壳系统内部的工业设备的立体图。
[0033]
图3是示出根据本发明的实施方式的外壳系统的固定腔室的部件的立体图。
[0034]
图4是示出由根据本发明的实施方式的外壳系统的处理单元移动腔室、管理单元移动腔室和固定腔室形成一个密封空间的状态的立体图。
[0035]
图5是图4的分解立体图。
[0036]
图6至图10是用于说明根据本发明的实施方式的外壳系统的处理单元移动腔室、管理单元移动腔室和固定腔室的操作的图。
具体实施方式
[0037]
在不偏离技术思想或主要特征的情况下，本发明可以在各种实施方式中实施。因此，本发明的实施方式仅仅是说明性的，但不应被限制性地解释。
[0038]
应理解，尽管本文中使用第一和第二的术语来描述各种元件，但这些元件不应受到这些术语的限制。
[0039]
这些术语仅用于区分一个部件和其他部件。例如，在一个实施方式中被称为第一元件的第一元件在另一实施方式中可以被称为第二元件。
[0040]
如本文所使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关列出条目的任何和所有组合。
[0041]
还应理解，当一个元件被称为与另一元件“连接”或“接合”时，它可以直接连接到另一元件，或者也可以存在中间元件。
[0042]
还应理解，当一个元件被称为“直接连接到”另一元件时，不存在中间元件。
[0043]
在以下描述中，技术术语仅用于说明特定的示例性实施方式，而不限制本发明。单数形式的术语可以包括复数形式，除非另有规定。
[0044]“包含”或“包含”的含义在说明书中指定了属性、数量、步骤、过程、元件、部件或其组合，但不排除其他属性、数量、步骤、过程、元件、部件或其组合。
[0045]
除非本公开中使用的术语定义不同，否则这些术语可以被解释为本领域技术人员已知的含义。
[0046]
通常使用并已在词典中出现的术语等术语应被解释为具有与本领域上下文含义相匹配的含义。在本说明书中，除非定义明确，否则术语不应被理想地过度解释为形式含义。
[0047]
在下文中，参考附图描述本说明书中公开的实施方式，并且相同或对应的部件被赋予相同的附图标记，而不管附图标记如何，并且将省略其重复描述。
[0048]
此外，将排除与众所周知的功能或构造相关的详细描述，以免不必要地混淆本发明的主题。
[0049]
如图1至图5所示，根据本发明的实施方式的包括用于创建特定处理环境的外壳1的外壳系统包括处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300。
[0050]
处理单元移动腔室100具有：第一维护开口孔100h1，通过第一维护开口孔100h1暴露处理单元ih的一个侧部；以及第二维护开口孔100h2，通过第二维护开口孔100h2暴露处理单元的其他部分。
[0051]
管理单元移动腔室200具有管理开口孔200h，通过管理开口孔200h暴露管理单元vc的管理部。
[0052]
固定腔室300连接到设置在外壳1的一个侧壁部分w上的门d以形成预定空间，并且具有朝向外壳1的内部空间s'形成的对接开口孔306。
[0053]
处理单元ih和管理单元vc可以被安装成在外壳1的内部空间s'中移动，并且通过处理单元ih和管理单元vc的移动，处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300可以形成一个密封空间。在下文中，将详细地描述每个部件。
[0054]
在实施方式的外壳系统中，处理单元ih可以是喷墨头模块ih，并且管理单元vc可以包括用于检查并维护喷墨头模块ih的喷嘴的状态的维护视觉检查装置和用于检查从喷墨头模块ih的喷嘴喷射的墨滴的操作检查视觉检查装置中的至少一个视觉检查装置。
[0055]
在下文中，将以处理单元包括喷墨头模块ih并且管理单元包括视觉检查装置vc的情况为例进行描述。
[0056]
除上述喷墨头模块ih和视觉检查装置vc之外，处理单元和管理单元可以包括构成各种工业设备的其他装置。
[0057]
首先，将描述处理单元移动腔室100。
[0058]
如图2和图5所示，处理单元移动腔室100可以围绕喷墨头模块ih以在喷墨头模块ih移动时与喷墨头模块ih一体地移动。
[0059]
具体地，如图2所示，当外壳1的平面上的水平方向是x轴、外壳1的平面上的竖直方向是y轴并且外壳1的高度方向是z轴时，z轴轨道部分13可以在x轴方向上沿着x轴轨道部分11滑动移动，移动块15可以在z轴方向上沿着z轴轨道部分13滑动移动，并且处理单元移动腔室100和喷墨头模块ih可以被安装在移动块15上以沿着x轴方向或z轴方向滑动移动。
[0060]
处理单元移动腔室100具有大致矩形形状，暴露喷墨头模块ih的喷嘴部的第一维护开口孔100h1形成在处理单元移动腔室100的底表面中，并且暴露喷墨头模块ih的侧部的第二维护开口孔100h2形成在处理单元移动腔室100的一个侧表面中。
[0061]
如图5所示，第二维护开口孔100h2可以形成在处理单元移动腔室100的与布置喷墨头模块ih的多个头的方向对应的侧部中。
[0062]
凸缘部分100f从处理单元移动腔室100的形成有第二维护开口孔100h2的一个侧表面延伸，并且引导孔101形成在凸缘部分100f的两个侧表面的每个侧表面上。
[0063]
当描述固定腔室300时，将另外描述用于与固定腔室300的对接框架302对接的引导孔101。
[0064]
第一o形圈密封表面103形成在第一维护开口孔100h1的外周边上，并且第二o形圈密封表面105形成在第二维护开口孔100h2的外周边上。第一o形圈密封表面103是在处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200彼此紧密接触时压缩第一o形圈o1的部分，并且第二o形圈密封表面105是在处理单元移动腔室100和固定腔室彼此紧密接触时压缩第二o形圈o2的部分。
[0065]
根据处理单元移动腔室100的上述构造，在处理单元移动腔室100围绕除了喷墨头模块ih的一个侧部和下部之外的其余部分的状态下，处理单元移动腔室100可以在喷墨头模块ih沿x轴或z轴滑动移动时与喷墨头模块ih一体地滑动移动。
[0066]
接下来，将描述管理单元移动腔室200。
[0067]
如图2和图5所示，管理单元移动腔室200可以围绕至少一个视觉检查装置vc，以在视觉检查装置vc移动时与视觉检查装置vc一体地移动。
[0068]
具体地，如图2所示，由于z轴轨道块23可以在y轴方向上沿着y轴轨道部分21滑动移动，并且管理单元移动腔室200可以通过设置在z轴轨道块23上的提升单元(未示出)沿z轴方向被提升，管理单元移动腔室200可以沿y轴方向或z轴方向滑动移动。
[0069]
管理单元移动腔室200具有大致矩形形状，并且在其顶表面中形成有管理开口孔200h，通过管理开口孔200h暴露面向视觉检查装置vc的管理部的相机的部分。
[0070]
凸缘部分200f可以从管理单元移动腔室200的形成有管理开口孔200h的顶表面延伸，并且第一o形圈凹槽201形成并插入到凸缘部分200f上的管理开口孔200h的外周边中。
[0071]
第一o形圈凹槽201的深度小于第一o形圈o1的直径，并且当管理单元移动腔室200
和处理单元移动腔室100彼此紧密接触时，插入到第一o形圈凹槽201中的第一o形圈o1被第一o形圈密封表面103压缩。
[0072]
也就是说，随着管理单元移动腔室200的上部和处理单元移动腔室100的下部以这样的方式彼此紧密接触，使得在形成于处理单元移动腔室100的底表面中的第一维护开口孔100h1的外周边上形成的第一o形圈密封表面103接触插入到第一o形圈凹槽201中的第一o形圈o1，可以形成密封状态。
[0073]
根据管理单元移动腔室200的上述构造，在管理单元移动腔室200围绕除了视觉检查装置vc的上部之外的其余部分的状态下，管理单元移动腔室200可以在视觉检查装置vc沿y轴和z轴滑动移动时与视觉检查装置vc一体地滑动移动。
[0074]
接下来，将描述固定腔室300。
[0075]
如图3或图5所示，固定腔室300连接到安装在外壳1的一个侧壁部分w上的门d，以形成具有大致矩形形状的预定空间。
[0076]
在实施方式中，固定腔室300包括下面描述的所有部件，而不是仅指示空间s。
[0077]
具体地，固定腔室300包括外框架301、对接框架302、多个连接杆303、引导衬套304、驱动单元305、对接开口孔306和柔性连接管307。
[0078]
外框架301是在其中央部中具有矩形开口的矩形框架，设置在固定腔室300的矩形空间中，并且对接框架302是在其中央部中具有矩形开口的矩形框架，设置在外壳1的内部空间s'中。外框架301和对接框架302可以具有基本类似的形状。
[0079]
插入到引导孔101中的引导销302p形成在对接框架302的面向形成在处理单元移动腔室100的一个侧表面上的凸缘部分100f的对应表面上。由此，当处理单元移动腔室100和固定腔室300彼此紧密接触时，它们的相互移动可以由引导孔101和引导销302p引导。
[0080]
由于第二o形圈凹槽302h形成在对接框架302的面向形成在处理单元移动腔室100的一个侧表面上的凸缘部分100f的对应表面上，第二o形圈o2被插入到第二o形圈凹槽302h中。
[0081]
第二o形圈凹槽302h的深度小于第二o形圈o2的直径，并且当处理单元移动腔室100和固定腔室300彼此紧密接触时，插入到第二o形圈凹槽302h中的第二o形圈o2被第二o形圈密封表面105压缩。
[0082]
也就是说，随着处理单元移动腔室100的一个侧表面和固定腔室300的对应部分以这样的方式彼此紧密接触，使得在形成于处理单元移动腔室100的一个侧表面中的第二维护开口孔100h2的外周边上形成的第二o形圈密封表面105接触插入到第二o形圈凹槽302h中的第二o形圈o2，可以形成密封状态。
[0083]
多个连接杆303是一体地连接外框架301和对接框架302的每个角部的构件，使得外框架301和对接框架302彼此平行并且保持它们之间的恒定间隔，多个连接杆303通过引导衬套304穿过外壳1的内部空间s'和固定腔室300的空间s。
[0084]
引导衬套304可以设置在外壳1的壁部分w上，使得多个连接杆303沿着纵向方向滑动移动，并且多个连接杆303可以通过引导衬套304重复地执行纵向方向上的线性移动。
[0085]
引导衬套304可以通过驱动单元305重复地执行线性移动，并且驱动单元305可以设置在外壳1的壁部分w的外侧上并且连接到外框架301。例如，驱动单元305可以包括各种类型的驱动装置，诸如马达(诸如线性马达和螺杆马达)和气缸(诸如气动气缸和液压气
缸)。
[0086]
由此，当外框架301通过驱动单元305的驱动移动靠近外壳1的壁部分w时，通过多个连接杆303连接的对接框架302在与外框架301相同的方向上移动。
[0087]
此外，当外框架301通过驱动单元305的驱动与外壳1的壁部分w间隔开时，通过多个连接杆303连接的对接框架302在与外框架301相同的方向上移动。
[0088]
对接开口孔306是在由固定腔室300形成的空间中朝向外壳1的内部空间s'形成的孔，对接开口孔306可以在对接开口孔306面向处理单元移动腔室100的第二维护开口孔100h2的方向上形成。
[0089]
此外，对接开口孔306可以具有与外框架301的开口和对接框架302的开口对应的矩形形状。
[0090]
外框架301的中央矩形开口、对接框架302的中央矩形开口和矩形对接开口孔306都布置成排。
[0091]
柔性连接管307是用于连接对接开口孔306和对接框架302的开口的部分，柔性连接管307可以包括由诸如橡胶的柔性材料制成的连接管或具有波纹管形状的金属连接管。
[0092]
根据固定腔室300的上述构造，固定腔室300可以连接到外壳的门d安装在其中的部分以形成预定空间并与处理单元移动腔室100选择性地对接。
[0093]
尽管图中未示出，可以在处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300中的一者上设置用于检测压力状态和气体状态的传感器单元。
[0094]
此外，尽管图中未示出，可以在处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300中的一者中限定用于供应大气气体的气体供应孔、用于供应清洁干燥空气(cda)的空气供应孔和用于排出大气气体或cda的排气孔。
[0095]
如上所述，根据本发明的实施方式的包括处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300的外壳系统被构造成使得在通过喷墨头模块ih和视觉检查装置vc的移动处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200彼此紧密接触时，第一维护开口孔100h1和管理开口孔200h彼此连通，并且在处理单元移动腔室100和固定腔室300彼此紧密接触以允许第二维护开口孔100h2和对接开口孔306彼此连通时，处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300形成一个密封空间。将详细地描述处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300的操作。
[0096]
首先，处理单元移动腔室100与管理单元移动腔室200的x轴坐标对应地移动并对准以将图6中的状态转换为图7中的状态。
[0097]
此后，管理单元移动腔室200与处理单元移动腔室100的y轴坐标对应地移动并对准。
[0098]
可以改变处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200的移动顺序。
[0099]
通过上述过程，处理单元移动腔室100的x坐标和y坐标以及管理单元移动腔室200的x坐标和y坐标可以被匹配并对准。
[0100]
此后，如图8所示，随着处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200中的至少一者沿z轴方向移动，处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200彼此紧密接触。
[0101]
此后，在处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200保持紧密接触状态的同时，处理单元移动腔室100与固定腔室300的z轴坐标对应地对准。
[0102]
如上所述，在处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200彼此紧密接触并且处理单元移动腔室100与固定腔室300对准的状态下，驱动单元305被驱动，使得外框架301移动靠近外壳1的壁部分w，并且由此，对接框架302和处理单元移动腔室100彼此紧密接触。
[0103]
通过上述过程，随着在处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200彼此紧密接触时，第一维护开口孔100h1和管理开口孔200h彼此连通，并且在处理单元移动腔室100和固定腔室300彼此紧密接触时，第二维护开口孔100h2和对接开口孔306彼此连通，可以由处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300形成一个密封空间。
[0104]
在由处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300形成一个密封空间的状态下，随着通过空气供应孔供应cda以通过排气孔排放大气气体，同时检测密封空间中的压力状态和气体状态，创建出工人能够工作的环境。
[0105]
当检查到创建了工人能够工作的环境时，工人可以通过打开外壳1的门d以通过外框架301的中央矩形开口、对接框架302的中央矩形开口和矩形对接开口孔306使手进入密封空间中，来进行喷墨头模块ih的维护或更换。
[0106]
当工人的工作完成时，随着外壳1的门d被关闭，并且通过气体供应孔供应大气气体以排放cda，创建初始处理环境。
[0107]
除处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300的上述操作之外，由处理单元移动腔室100、管理单元移动腔室200和固定腔室300形成一个密封空间的方法可以进行各种改变。例如，处理单元移动腔室100可以与管理单元移动腔室200的x轴坐标和固定腔室300的z轴坐标对应地移动并对准，并且在管理单元移动腔室200与处理单元移动腔室100的y轴坐标对应地移动并对准的状态下，当管理单元移动腔室200沿z轴方向移动时，处理单元移动腔室100和管理单元移动腔室200可以彼此紧密接触，然后对接框架302和处理单元移动腔室100可以彼此紧密接触。
[0108]
上述公开的主题被认为是说明性的，而不是限制性的，并且所附权利要求旨在覆盖落入本发明的真正精神和范围内的所有这样的修改、增强和其他实施方式。由此，在法律允许的最大范围内，本发明的范围应由所附权利要求及其等同物的最广泛的允许解释来确定，而不应受到前述详细描述的约束或限制。

技术特征：
1.一种外壳系统，所述外壳系统包括：处理单元移动腔室，所述处理单元移动腔室包括第一维护开口孔和第二维护开口孔，通过所述第一维护开口孔暴露处理单元的一个侧部，并且通过所述第二维护开口孔暴露所述处理单元的另一侧部，所述处理单元移动腔室与所述处理单元一体地移动；管理单元移动腔室，所述管理单元移动腔室包括管理开口孔并且与管理单元一体地移动，通过所述管理开口孔暴露所述管理单元的管理部；以及固定腔室，所述固定腔室连接到安装在外壳的一个侧壁部分处的门以形成预定空间，所述固定腔室包括朝向所述外壳的内部延伸的对接开口孔，其中，通过所述处理单元和所述管理单元的移动，所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室彼此紧密接触以允许所述第一维护开口孔和所述管理开口孔彼此连通，所述处理单元移动腔室和所述固定腔室紧密接触以允许所述第二维护开口孔和所述对接开口孔彼此连通，并且由此所述处理单元移动腔室、所述管理单元移动腔室和所述固定腔室形成一个密封空间。2.根据权利要求1所述的外壳系统，其中，所述处理单元移动腔室具有矩形形状，所述第一维护开口孔形成在所述处理单元移动腔室的底表面中，并且所述第二维护开口孔形成在所述处理单元移动腔室的一个侧表面中，所述管理单元移动腔室具有矩形形状，并且所述管理开口孔形成在所述管理单元移动腔室的顶表面中，并且所述固定腔室具有矩形形状，并且所述对接开口孔形成在面向所述第二维护开口孔的方向上。3.根据权利要求2所述的外壳系统，其中，所述固定腔室包括：外框架，所述外框架具有敞开的中央部并且设置在所述固定腔室的空间中；对接框架，所述对接框架具有敞开的中央部并且设置在所述外壳中；多个连接杆，所述多个连接杆穿过所述外壳的内部和外部以一体地连接所述外框架和所述对接框架；引导衬套，所述引导衬套设置在所述外壳中以允许所述多个连接杆沿纵向方向滑动，并且所述多个连接杆被插入到所述引导衬套中；驱动单元，所述驱动单元被构造成提供驱动力，使得所述多个连接杆沿所述纵向方向滑动；所述对接开口孔，所述对接开口孔与所述外框架的开口和所述对接框架的开口对应地形成在所述外壳中；以及柔性连接管，所述柔性连接管被构造成连接所述对接开口孔和所述对接框架的开口。4.根据权利要求3所述的外壳系统，其中，凸缘部分从所述处理单元移动腔室的一个侧表面延伸，并且至少一个引导孔形成在所述凸缘部分和所述对接框架的面向所述凸缘部分的对应表面中的一者中，并且插入到所述引导孔中的引导销形成在另一者上。5.根据权利要求3所述的外壳系统，其中，供插入第一o形圈的第一o形圈凹槽形成在所述第一维护开口孔的外周边和所述管理开口孔的外周边中的一者中，并且面向所述第一o
形圈凹槽以压缩所述第一o形圈的第一o形圈密封表面形成在另一者上。6.根据权利要求3所述的外壳系统，其中，供插入第二o形圈的第二o形圈凹槽形成在所述第二维护开口孔的外周边和所述对接框架的开口的外周边中的一者中，并且面向所述第二o形圈凹槽以压缩所述第二o形圈的第二o形圈密封表面形成在另一者上。7.根据权利要求1所述的外壳系统，其中，在所述处理单元移动腔室、所述管理单元移动腔室和所述固定腔室中的一者上设置有被构造成检测压力状态和气体状态的传感器单元。8.根据权利要求1所述的外壳系统，其中，在所述处理单元移动腔室、所述管理单元移动腔室和所述固定腔室中的一者中形成有供应大气气体的气体供应孔、供应清洁干燥空气cda的空气供应孔和排出所述大气气体或所述cda的排气孔。9.根据权利要求1所述的外壳系统，其中，当所述外壳的平面上的水平方向是x轴、所述外壳的所述平面上的竖直方向是y轴并且所述外壳的高度方向是z轴时，所述处理单元能够沿x轴方向和z轴方向移动，并且所述管理单元能够沿y轴方向和所述z轴方向移动，在所述处理单元移动腔室与所述管理单元移动腔室的x轴坐标对应地移动并对准并且所述管理单元移动腔室与所述处理单元移动腔室的y轴坐标对应地移动并对准的状态下，当所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室中的至少一者沿所述z轴方向移动时，所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室彼此紧密接触，并且在保持所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室彼此紧密接触的状态的同时，所述处理单元移动腔室与所述固定腔室的z轴坐标对应地对准。10.根据权利要求1所述的外壳系统，其中，当所述外壳的平面上的水平方向是x轴、所述外壳的所述平面上的竖直方向是y轴并且所述外壳的高度方向是z轴时，所述处理单元能够沿x轴方向和z轴方向移动，并且所述管理单元能够沿y轴方向和所述z轴方向移动，并且在所述处理单元移动腔室与所述管理单元移动腔室的x轴坐标和所述固定腔室的z轴坐标对应地移动并对准并且所述管理单元移动腔室与所述处理单元移动腔室的y轴坐标对应地移动并对准的状态下，当所述管理单元移动腔室沿所述z轴方向移动时，所述处理单元移动腔室和所述管理单元移动腔室彼此紧密接触。11.根据权利要求1所述的外壳系统，其中，设置在所述管理单元移动腔室中的所述管理单元包括用于维护所述处理单元的维护视觉检查装置和用于检查所述处理单元的操作状态的操作检查视觉检查装置中的至少一个视觉检查装置。

技术总结
本发明涉及一种外壳系统，其使工人能够在保持外壳内部的气体气氛的同时维护外壳内部的设备。为此，本发明的外壳系统包括：处理单元移动腔室，其包括暴露处理单元的一个侧部的第一维护开口孔和暴露处理单元的另一侧部的第二维护开口孔，处理单元移动腔室与处理单元一体地移动；管理单元移动腔室，其包括暴露管理单元的管理部的管理开口孔并且与管理单元一体地移动；以及固定腔室，其连接到安装在外壳的一个侧壁部分处的门以形成预定空间，固定腔室包括朝向外壳的内部延伸的对接开口孔，其中，通过处理单元和管理单元的移动，处理单元移动腔室和管理单元移动腔室彼此紧密接触以允许第一维护开口孔和管理开口孔彼此连通，处理单元移动腔室和固定腔室紧密接触以允许第二维护开口孔和对接开口孔彼此连通，并且由此处理单元移动腔室、管理单元移动腔室和固定腔室形成一个密封空间。室形成一个密封空间。室形成一个密封空间。


技术研发人员：李星轸 车载正
受保护的技术使用者：UNIJET株式会社
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2023/9/22