使用真空带的线性分拣机的制作方法

使用真空带的线性分拣机
1.背景
2.领域
3.本公开内容的实施方式总体涉及太阳能基板检查装备。更具体地，本文公开的实施方式涉及用于基板的高速分拣的系统和方法。
4.相关技术描述
5.基板(诸如半导体基板或太阳能基板)在处理期间在单独的检查站处被例行地检查以确保符合预定品质控制标准。不同的检查技术提供关于产品和工艺的综合数据。然而，由于所需的检查站的数量和在检查站之间移动基板造成的传送时间，综合检查可能是耗时的，由此降低处理量。因此，装置制造商通常面临是选择用难以负担的检查/传送时间进行全面检查还是选择前述某些检查工艺的决策。
6.典型的分拣系统以线性布置每小时分拣大约3,600个基板。这些常规系统在单个平面中使用单个线性输送机，并且所检查的基板存放在与单个输送机略偏移的箱中。为了防止在单个平面中的输送机上行进的相邻基板之间的碰撞，在这些基板之间存在大的间距。然而，大间距限制了处理量并还可能增加工具占地面积。此外，随着检查工艺不断减少完成所需的检查步骤所需的时间，需要能够跟上更快的分拣速度的分拣设备来提高处理量。
7.如前所述，需要一种改善的基板检查系统来以提高的速度分拣所检查的基板并且允许更高的处理量。因此，本领域需要一种高速线性分拣机。


技术实现要素：

8.本公开内容的实施方式总体涉及一种用于分拣多个基板的设备。在一个实施方式中，所述设备包括：第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中布置，所述第一输送机道经适配以从计量单元接收基板；和至少第二输送机道，所述至少第二输送机道部分地设置在所述第一输送机道之上，所述第二输送机道相对于所述第一方向取向在第二方向上，所述第二方向经选择以允许从所述第一输送机道传送到所述第二输送机道的基板侧向地移动离开所述第一输送机道，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。
9.在另一个实施方式中，公开一种经适配以检查和分拣基板的设备。所述设备包括：计量单元；第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中布置，所述第一输送机道被配置为从所述计量单元接收基板；和至少第二输送机道，所述至少第二输送机道部分地设置在所述第一输送机道之上，所述第二输送机道相对于所述第一方向取向在第二方向上，所述第二方向经选择以允许从所述第一输送机道传送到所述第二输送机道的基板侧向地移动离开所述第一输送机道，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。
10.在又一个实施方式中，公开一种操作用于检查和分拣多个基板的设备的方法。所述方法包括：在主输送机道上运输所述多个基板，所述主输送机道在第一方向上离开计量
单元；将所述多个基板中的第一基板从第一分拣道的所述主输送机道真空拾取，所述第一分拣道在多个箱之上延伸；将所述第一基板侧向地运输离开所述第一输送机；和基于所述第一基板的检查特性来将所述第一基板释放到所述箱中所选择的一个箱中。
附图说明
11.为了可详细地理解本公开内容的上文陈述的特征，可参考实施方式来得到上文简要地概述的本公开内容的更特别的描述，附图中图示这些实施方式中的一些。然而，需注意，附图仅图示本公开内容的示例性实施方式，并且因此，不应当被视为对本公开内容的范围的限制，因为本公开内容可适用于其他等效实施方式。
12.图1图示根据一个实施方式的检查系统的俯视平面图。
13.图2是图1的检查系统沿线2-2的一部分的侧视图。
14.图3是可在图1的检查系统中使用的侧向传送单元的一个实施方式的等距仰视图。
15.图4是根据一个实施方式的侧向传送单元的示意性侧视图，示出基板分拣序列。
16.图5是分拣单元的另一个实施方式的示意性俯视图，该分拣单元可与图1的检查系统中所示的分拣单元结合使用或代替图1的检查系统中所示的分拣单元使用。
17.为了便于理解，已经尽可能使用相同的参考数字标示各图共有的相同要素。设想的是，一个实施方式的要素和特征可有益地结合在其他实施方式中，而无需进一步陈述。
具体实施方式
18.本公开内容的实施方式总体涉及可扩展基板检查系统，该可扩展基板检查系统具有分析基板并且基于在分析期间确定的特性来对所分析的基板进行分拣的能力。检查系统包括经适配以分析基板的一个或多个特性的多个计量单元。检查系统可用于识别基板上的缺陷并且在处理基板之前估计单元效率(cell efficiency)。基板可通过检测系统且/或在线性轨道或输送机系统(即主道)上的计量单元之间传送，并且然后基于检查数据使用主道的延伸和/或以相对于主道的角度放置的一个或多个线性输送机系统来分拣到相应的箱中。分拣设备维持高达每小时5,400个基板或更高的分拣能力，这比常规的线性分拣系统显著提高。
19.图1示出了根据一个实施方式的检查系统100的俯视平面图。检查系统100包括装载单元102、模块化检查单元104和分拣单元106。装载单元102可以是例如将未分析的(即，未检查的)基板提供到检查系统100中的装载站。模块化检查单元104例如可以是使用一个或多个计量工具来检查和/或分析基板的计量站。分拣单元106可以是例如用于基于由模块化检查单元104识别的某些特性来将来自模块化检查单元104的所分析的基板分拣到箱中的分拣站。仅作为示例，装载单元102、模块化检查单元104和分拣单元106可相对于彼此线性地设置。
20.在一个实施方式中，装载单元102、模块化检查单元104和分拣单元106以串联(serial)布置连接，使得基板可由输送机系统108容易地且快速地在装载单元102、模块化检查单元104和分拣单元106间传送，而不离开检查系统100。在此示例中，装载单元102、模块化检查单元104和分拣单元106以线性布置连接。
21.装载单元102、模块化检查单元104和分拣单元106中的每一者具有设置在其中的
输送机系统108(主输送机)。输送机系统108可包括一个或多个输送机，使得基板110从装载单元102移动，通过模块化检查单元104，到达分拣单元106。例如，输送机系统108可包括定位在装载单元102中的输送机、从装载单元102延伸到模块化检查单元104中的输送机和从模块化检查单元104延伸到分拣单元106的输送机。替代地，输送机系统108可以是至少部分地延伸到装载单元102中通过模块化检查单元104到达分拣单元106的单个输送机。
22.检查系统100的装载单元102包括主要或第一道109a(主要或第一道109a具有与主要或第一道109a大体上对准的输送机系统108)和从第一道109a侧向偏移的次要或第二道109b。侧向传送单元111对接在第一道109a与第二道109b之间。侧向传送单元111被配置为将基板从第二道109b移动到第一道109a。
23.装载单元102接收多个盒，诸如第一盒112a和第二盒112b。第一盒112a和第二盒112b中的每一者容纳呈堆叠配置的多个基板110。盒112a和112b可定位成使得基板110在第一盒112a和第二盒112b中的每一者内堆叠在彼此之上。每个盒能相对于第一输送机113a和/或第二输送机113b独立地枢转和/或线性地移动(至少在x/y平面和z方向上)，以便从所述盒传送基板。
24.第一道109a和第二道109b两者包括输送机，诸如分别为第一输送机113a和第二输送机113b。在一些实施方式中，第一输送机113a和第二输送机113b两者与输送机系统108分离且不同。然而，第一输送机113a与输送机系统108对准，使得基板可从第一输送机113a无缝地直接传送到输送机系统108。侧向传送单元111相对于第一道109a和第二道109b中的每一者取向在横穿机器(即，正交)方向上。侧向传送单元111用于将基板从第二道109b传送到第一道109a。第一输送机113a、第二输送机113b和输送机系统108中的任一者包括带或其他连续传送介质，所述带或其他连续传送介质使用真空、静电力、夹持或重力来保持基板而同时在所述带或其他连续传送介质上传送基板。
25.在操作中，基板110从定位在第一道109a处的第一盒112a传送到输送机系统108，直到第一盒112a内的所有基板110都被传送(即，清空)为止。然后，来自定位于第二道109b处的第二盒112b的基板110被传送到第二输送机113b。来自第二输送机113b的基板110使用侧向传送单元111行进到第一输送机113a和/或输送机系统108。当装载来自第二盒112b的基板110时，现在空的第一盒112a可被具有新的(未检查的)基板的另一个盒替换，同时输送机系统108接收来自第二盒112b的基板110。类似地，当第二盒112b内的基板110已经全部传送到第二输送机113b时，第二盒112b可用具有新的(未检查的)基板的另一个盒替换，同时输送机系统108经由侧向传送单元111接收来自第一盒112a的基板110。
26.模块化检查单元104可包括一个或多个计量站。在图1的实施方式中，模块化检查单元104包括五个计量站116a至116e。设想的是，如果空间准许，还可通过向模块化检查单元104添加或减少计量站来修改检查系统100，而不是添加第二模块化单元，由此增加处理量和/或所执行的计量工艺的数量。
27.计量站可包括(仅作为示例)以下中的任一者：微裂(micro-crack)检查单元、厚度测量单元、电阻率测量单元、光致发光单元、几何形状检查单元、锯痕(saw mark)检测单元、色斑(stain)检测单元、芯片检测单元和/或晶体分数(crystal fraction)检测单元。微裂检查单元可被配置为(仅作为示例)检查基板是否存在开裂和可选地确定基板的晶体分数。几何形状检查单元可被配置为(仅作为示例)分析基板的表面性质。锯痕检测单元可被配置
为(仅作为示例)标识基板上的锯痕，包括沟槽、阶梯和双阶梯痕迹。除了以上所列那些之外，计量站还可包括其他示例。
28.作为另外的示例并且仅出于说明目的，计量站116b可以是经适配以测量基板厚度的厚度测量单元。计量站116b可以还测量或替代地测量基板110的电阻率。计量站116b接收在计量站116a中的检查之后沿输送机系统114传送的基板110，计量站116a可以是任何类型的计量站。计量站116b沿由输送机系统114限定的基板110的直列(in-line)路径设置在计量站116a的位置下游。计量站116b在基板110上执行一个或多个检查工艺。发生在计量站116b处的检查工艺可在基板处于运动中时执行；然而，预期可停止基板110的运动以促成检查的提高的准确性。
29.作为另外的示例并且仅出于说明目的，计量站116c可以是被配置为检测缺陷和/或执行杂质测量的光致发光单元，并且计量站116d可以是被配置为分析基板110的几何形状和表面性质的几何形状检查单元。
30.计量站116c接收在基板110在计量站116b中的检查之后沿输送机系统114传送的基板110。计量站116d接收在基板110在计量站116c中的检查之后沿输送机系统114传送的基板110。计量站116e接收在基板110在计量站116d中的检查之后沿输送机系统114传送的基板110，并且如果在如图所示的线性路径中使用附加计量单元，则依此类推。另外地，在一些实施方式中，可利用非线性路径检查。照此，基板110可在计量站116a至116e之间以非线性方式传送，诸如以圆形方式或以弓形方式。
31.输送机系统108将所检查的基板110从模块化检查单元104输送到分拣单元106。输送机系统108可将所检查的基板110递送到分拣单元106中而到容纳有分拣单元106的线性分拣系统120可达到的位置。另外地，输送机系统108可继续通过分拣单元106到达连接器125。照此，如果分拣单元106不分拣基板110，则所检查的基板110可越过分拣单元106的线性分拣系统120。此外，如果所检查的基板110没有被线性分拣系统120分拣到指派的分拣箱中，则基板可沿输送机系统114朝连接器125继续输送。在某些实施方式中，分拣单元106可经由连接器125进一步与附加单元(诸如，仅作为示例，附加检查系统、附加分拣单元、附加计量单元等)连接。连接器125可进一步允许输送机系统114与附加单元(诸如，仅作为示例，附加检查系统、附加分拣单元、附加计量单元、封装系统等)的输送机系统对准。替代地，连接器125可将所检查的基板传送到储存箱(类似于下文描述的箱150)。
32.线性分拣系统120包括输送机系统108或可包括专用输送机或轨道。分拣单元106内的输送机系统108在下文中可称为第一输送机道130。第一输送机道130线性地定位在分拣单元106中。第一输送机道130设置在分拣单元106内的x/y平面中。至少一个输送机系统(在图1中被示出为第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145)被示出为至少部分地与第一输送机道130重叠。第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者相对于第一输送机道130的方向成角度α定位。角度α可以是相对于第一输送机道130的线性方向约45度至约90度(即，正交)。选择角度α以允许从第一输送机道130传送的基板110通过第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145从第一输送机道130侧向地移动到离开第一输送机道130的位置。例如，到由第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的一者侧向传送的基板110可从第一输送机道130移除(即，拾取)的位置。
33.第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者可以是专用输送机或轨道，或者包括经适配以从第一输送机道130选择性地移除一个或多个基板110的机器人装置。第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者包括一个或多个箱150。箱150中的每一者经适配以接收来自第一输送机道130的一个或多个所检查的基板。在一个示例中，第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145各自包括真空输送机带，所述真空输送机带经适配以选择性地从第一输送机道130移除一个或多个所检查的基板并且将相应的基板释放到指派的分拣箱(即，箱150)中。虽然下文将以定位第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145的操作为例进行描述，但是本公开内容的实施方式包括机器人装置，诸如如拾取和放置装置，以代替真空输送机带使用。
34.第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者在x/y平面中的取向类似于第一输送机道130的取向，但是偏离第一输送机道130的平面。在一个示例中，第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145定位在第一输送机道130的平面上方的平面中。在此示例中，在第一输送机道130上输送的基板110可在相对于第一输送机道130的方向成角度α定位的第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者之下通过。
35.图1中所示的线性分拣系统120包括第一输送机道130的第一侧155a和第二侧155b，并且第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145定位在第一侧155a中。然而，虽然未示出，但是附加输送机道可定位在第二侧155b上。此外，虽然示出了三个输送机道，但是本公开内容不限于此，并且可包括多于三个、多于四个或多于五个输送机道。而且，与每个输送机道对接的箱150的数量不限于三个，并且可以是任何数量的箱。
36.在一些实施方式中，第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145侧向地间隔(在第一输送机道130的方向上)。相邻的输送机道之间的进入空间(access space)160允许人员进入第一输送机道130的区域以进行维修或检查。在一些实施方式中，进入空间160允许人员或自动装备(即，机器人)取回箱150以进行移除或更换。在分拣单元106操作时，箱150中的每一者可以是可移动的和/或可以更换。进入空间160可以是约1.5英尺至约3英尺。
37.检查系统100还可包括控制器170。控制器促进系统100的控制和自动化。控制器170可耦接到以下中的一者或多者或与以下中的一者或多者通信：输送机系统108、装载单元102、模块化检查单元104、分拣单元106和/或计量站116a至116e。检查系统100可向控制器170提供关于基板移动、基板传送、基板分拣和/或执行的计量的信息。控制器170还可控制第一输送机道130、第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145的移动以确定检查的基板要被传送到哪个箱150。
38.控制器170可包括中央处理单元(cpu)(未示出)、存储器(未示出)和支持电路(或i/o)(未示出)。cpu可以是是用在工业环境中以控制各种工艺和硬件(例如，图案发生器、马达和其他硬件)和监测工艺(例如，处理时间和基板位置或定位)的任何形式的计算机处理器中的一者。存储器(未示出)连接到cpu，并且可以是易获得的存储器中的一者或多者，诸如随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、软盘、硬盘或任何其他形式的数字储存装置(本地或远程)。软件指令和数据可被编码并且储存在存储器内来指示cpu。支持电路(未示出)还以常规方式连接到cpu以支持处理器。支持电路可包括常规高速缓存、电源、时钟电
路、输入/输出电路、子系统和类似物。能由控制器170读取的程序(或计算机指令)确定能在基板上执行的任务。程序可以是能由控制器170读取的软件，并且可包括代码以监测和控制例如处理时间和基板在检查系统100内的定位或位置。
39.第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145的箱150中的每一者是分立的容器(receptacle)175a至175c，容器175a至175c经适配以基于由模块化检查单元104确定的预定特性来接收来自第一输送机道130的特定基板110。例如，基于模块化检查单元104中的计量分析而具有一个特性(例如，第一特性)的所分析(即，检查)的基板将被路由(route)到第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的一者的第一容器175a。在另一个示例中，基于模块化检查单元104中的计量分析而具有另一个特性(例如，第二特性)的所检查的基板将被路由到第二输送机道135、第三输送机道140和四输送机道145中的一者的第二容器175b。在另一个示例中，基于模块化检查单元104中的计量分析而具有另一个特性(例如，第三特性)的所检查的基板将被路由到第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的一者的第三容器175c。第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者的第一容器175a(以及第二容器175b和第三容器175c)被配置用于基于计量分析具有不同特性的基板。因此，如图1中所示的线性分拣系统120将能够基于12种不同的特性来分类和/或接收/保持所检查的基板。然而，线性分拣系统120中的容器的数量不限于所示的数量，并且可包括十六个容器、十八个容器或多达二十个(或更多)容器。
40.图2是图1的检查系统100沿线2-2的一部分的侧视图。具体地，图1的线性分拣系统120以侧视图示出。
41.第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的每一者包括侧向传送单元200。每个侧向传送单元200被配置为选择性地从第一输送机道130移除基板110。然后，每个侧向传送单元200被配置为将从第一输送机道130移除的相应基板110移动到第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的相应一者中所指派的箱150。
42.每个侧向传送单元200的至少一部分通过间隙210远离第一输送机道130的最上表面并且在该最上表面的正上方与该最上表面隔开。间隙210是竖直间距(z方向)，这允许基板110沿第一输送机道130(在第一平面215中)不受阻碍地移动。因此，每个侧向传送单元200的最下表面在与第一平面215竖直地间隔开的第二平面220中。这允许基板110在第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的任一者的侧向传送单元200下方移动而不受侧向传送单元200中的任一者的干扰。然而，当要从第一输送机道130移除特定基板以传送到第二输送机道135、第三输送机道140或第四输送机道145的箱150中的一者时，相应的侧向传送单元200将所述基板从第一输送机道130移除并且沿相应的第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145将基板释放到箱150中所选择的箱中。
43.箱150被示出为位于检查系统100的底板上的第三容器175c中。箱150经适配以接收来自第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145的多个基板110。箱150可移动地附接在第三容器175c中的每一者中，使得单独的箱150可被人移除或更换。在一个示例中，箱150通过盒225可移除地附接到第三容器175c，该盒被配置为在y方向上可移动的抽屉，如在第四输送机道145上所示。每个盒225包括柄230，从而允许容易地移动和/或搬运所选择的盒225。如上所述，当检查系统100操作时，每个箱150(即，每个盒225)可被移除和/或
更换。例如，当箱150满时，可移除盒225并且用空盒225替换。进入空间160允许人进出盒225。
44.在一个实施方式中，每个侧向传送单元200包括真空输送机235。每个真空输送机235包括驱动马达240和真空设备245。真空设备245被配置为选择性地施加负压，由此使单独基板110能够从第一输送机道130移除并且通过真空压力暂时固定到侧向传送单元200。驱动马达240用于在x方向上移动基板110，基板110附接到侧向传送单元200。然后，选择性地停用真空设备245以允许附接到侧向传送单元200的基板110落入指派的箱150中。下面更详细地描述侧向传送单元200的操作。盒225的基部部分可成角度，使得接收在盒225中的基板110以不平行于侧向传送单元200的第二平面220的取向堆叠。这将在图4中更详细地进行解释。
45.图3是侧向传送单元200的等距仰视图。侧向传送单元200包括支撑构件300，该支撑构件用于将侧向传送单元200安装到线性分拣系统120(图1和图2中所示)。真空设备245被示出为与带305相邻。真空设备245流体耦接到泵307，泵促成将负压(即，真空)施加到真空设备245内的一个或多个气室(plenum)或腔室，其中真空压力可被选择性地控制或施加到形成在带305(即，真空带)中的孔或穿孔310。泵307耦接到控制器170，使得可控制沿带305的最下表面312(即，基板接收表面)的吸力(来自泵307)。真空被选择性地施加到带305的最下表面312。替代地，泵307可以是文丘里装置或其他真空产生装置。
46.带305被支撑在定位在侧向传送单元200的相对端处的至少两个辊330上。驱动马达240可操作地连接到辊330中的一者以在方向335(例如，x方向)上移动带115。驱动马达240可被操作使得辊330(和带305)在线性分拣系统120的操作期间不断地移动。真空设备245通常跨越带305的最下表面312的长度325，但是在线性分拣系统120的操作期间可改变沿带305的最下表面312的真空施加。
47.真空设备245包括多个区段，诸如第一区段315a、第二区段315b、第三区段315c和第四区段315d。第一区段315a大致对应于如下位置：第一输送机道130在该位置之下通过。第二区段315b、第三区段315c和第四区段315d大致对应于分立的箱150沿第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145(图1中所示)的长度的位置。例如，第二区段315b、第三区段315c和第四区段315d中的每一者大致分别对应于容器175a至175c(图1中所示)的位置。区段315a至315d中的每一者对应于在真空设备245中形成的气室或腔室，在该气室或腔室中，可通过在带305中形成的穿孔310来控制或施加真空压力。
48.侧向传送单元200包括在第一输送机道130(图1和图2中所示)之上延伸的主要端320。通过从真空设备245向第一区段315a中的穿孔310施加真空，基板110被抬离第一输送机道130并且固定到带305，从而允许基板110侧向地移动到所选择的箱150而没有干扰第一输送机道130上的其他基板110的运动。基于来自控制器170的指令，粘附的基板在方向335上行进到第二区段315b、第三区段315c或第四区段315d中的一者。控制器170包括用于真空设备245中断真空施加(通过泵307)的指令，使得粘附的基板在第二区段315b、第三区段315c或第四区段315d中的一者中选择性地释放。
49.在一个示例中，如果要从带305的最下表面312卸下(即，释放)粘附的基板并且将基板存放到第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的一者的第二容器175b中的一者中，停止对第三区段315c(对应于第二容器175b的位置)的真空施加(或减小
该真空施加，使得基板的重量克服真空力)。这允许先前粘附的基板从带305释放并且落入(大致竖直地落入)第二容器175b中。
50.在另一个示例中，如果粘附的基板要从带305的最下表面312释放并且存放到第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的一者的第三容器175c中的一者中，减少或停止对第四区段315d(对应于第三容器175c的位置)的真空施加。这允许先前粘附的基板从带305释放并且落入(大致竖直地落入)到第三容器175c中。
51.图4是根据一个实施方式的侧向传送单元200的示意性侧视图，示出了基板分拣序列。输送机道400可以是其他图中描述和示出的第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道145中的任一者。
52.在此示例中，基板110从模块化检查单元104(图1中所示)在y方向上在第一输送机道130(仅显示一个基板)的运输表面403上行进。通过形成在带305中的穿孔310施加的真空将基板110从运输表面403抬起并且将基板110固定到带305的最下表面312，如箭头所示。第一基板405、第二基板410和第三基板415被示出为在被侧向传送单元200的第一区段315a从第一输送机道130移除之后在输送机道400中。第一基板405、第二基板410和第三基板415侧向地(在方向335上)移动离开(而不干涉)第一输送机道130的运输表面403。
53.具体地，第三基板415被示出为粘附到对应于侧向传送单元200的第一容器175a和第二区段315b的位置的带305的最下表面312。第二基板410被示出为在通过停止施加真空来从带305(从第三区段315c)释放之后处于到第二容器175b中的下落位置。第一基板405被示出为在先前从带305(从第四区段315d)释放之后搁置在第三容器175c内的多个堆叠基板110上。因此，基于在模块化检查单元104中确定的特性，第一基板405和第二基板410被传送(即，分拣)到指派的箱(容器)中。仍粘附到带305的第三基板415也基于计量分析特性运送到指派的容器。基于计量分析，第三基板415可从带305的最下表面312释放到第一容器175a、第二容器175b或第三容器175c中。可通过控制(即，停止或减少)对定位在期望的箱之上的区段315b至315d中的任一者中的带305的部分的真空施加来实现释放到期望容器中。在一个示例中，可以选择性地中断(停止或减少)一个区段中的负压而不中断其他区段中的负压，以便将基板110释放到期望容器中。
54.如上所述，在一个实施方式中，被接收在第一容器175a、第二容器175b或第三容器175c中的基板110至少在方向335(例如，x方向)上相对于第二平面220成角度。堆叠基板110的堆角(stack angle)可与所释放基板110的落角(fall angle)420(诸如第二基板410的取向)大体上相同。落角420可在约0度至约10度之间。堆角可用于使下落基板的主表面和堆叠基板的主表面大体上平行。主表面的平行取向有助于形成“气垫”以防止基板破裂。在其他实施方式中，可提供气体喷射器(未示出)以从水平取向旋转下落基板，使得下落基板变得大体上平行于设置在箱中的堆叠基板。下落基板和堆叠基板在箱内的平行度产生气垫，气垫大体上防止对下落基板和/或堆叠基板的损坏。
55.图5是分拣单元500的另一个实施方式的示意性俯视图，分拣单元500可与图1的检查系统100中所示的分拣单元106结合使用或代替分拣单元106而使用。
56.在该实施方式中，分拣单元500包括如上所述的第一(主)输送机道130，以及第一分拣道505和第二分拣道510。第一分拣道505和第二分拣道510两者可相对于其他图中描述和示出的第一输送机道130而类似于第二输送机道135、第三输送机道140和第四输送机道
145中的任一者。例如，第一分拣道505和第二分拣道510中的每一者包括侧向传送单元200和多个箱150。然而，第一分拣道505包括四个箱150，而第二分拣道510包括八个箱150。因此，在所示的实施方式中，基板110可根据十二个特性分拣。如果需要更多的箱，则第一输送机道130可根据需要扩展以包括任何数量的附加箱。另外，可将多于两个分拣道添加到分拣单元500以便具有附加分拣能力。
57.所公开的基板分拣系统基于接收的计量检查数据来将基板分拣到适当的分拣箱中。所公开的检查系统是可扩展的并且可用于在处理之前检测各种基板缺陷。所述系统可使用如本文所述的线性分拣器系统来分拣从计量单元接收的所检查的基板。在一个实施方式中，提供真空带以将基板分拣到相应的箱中。由于“气垫”(即气枕)或在下落基板与分拣箱之间的空气阻力，从真空带释放的基板将温和地落入分拣箱中。可选地，可在下落基板之下提供气体(诸如空气)，气体可旋转下落基板，从而防止对基板的任何附加损坏。
58.本领域技术人员将了解，前述示例是示例性的而非限制性的。预期的是，本领域技术人员在阅读说明书并研究附图后将清楚的其所有排列、增补、等效物和改善被包括在本公开内容的真实精神和范围内。因此，预期的是，所附权利要求书包括落在这些教导内容的真实精神和范围内的所有这样的修改、排列和等效物。

技术特征：
1.一种用于分拣多个基板的设备，所述设备包括：第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中布置，所述第一输送机道经适配以从计量单元接收基板；和至少第二输送机道，所述至少第二输送机道部分地设置在所述第一输送机道之上，所述第二输送机道相对于所述第一方向取向在第二方向上，所述第二方向经选择以允许从所述第一输送机道传送到所述第二输送机道的基板侧向地移动离开所述第一输送机道，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。2.如权利要求1所述的设备，其中所述第二输送机道包括真空带。3.如权利要求2所述的设备，其中所述真空带包括多个区段，在所述多个区段中，能选择性地中断一个区段中的负压而不中断其他区段中的负压。4.如权利要求3所述的设备，其中所述第二输送机道包括多个箱。5.如权利要求4所述的设备，其中所述真空带的所述区段中的每一者对应于所述多个箱中的一者的位置。6.如权利要求1所述的设备，其中所述第二输送机道包括多个箱。7.如权利要求6所述的设备，其中所述多个箱中的每一者相对于所述第二输送机道能移除。8.如权利要求1所述的设备，进一步包括第三输送机道，所述第三输送机道被定位成在所述第一方向上从所述第二输送机道侧向地偏移。9.如权利要求8所述的设备，其中所述第三输送机道定位在所述第一输送机道的相对侧上。10.一种用于检查和分拣多个基板的设备，所述设备包括：计量单元；第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中布置，所述第一输送机道被配置为从所述计量单元接收基板；和至少第二输送机道，所述至少第二输送机道部分地设置在所述第一输送机道之上，所述第二输送机道相对于所述第一方向取向在第二方向上，所述第二方向经选择以允许从所述第一输送机道传送到所述第二输送机道的基板侧向地移动离开所述第一输送机道，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。11.如权利要求10所述的设备，其中所述第一输送机道具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，并且所述第二输送机道定位在所述第一侧上。12.如权利要求11所述的设备，其中所述第二输送机道定位在所述第一侧上。13.如权利要求10所述的设备，其中所述第二输送机道包括真空带。14.如权利要求13所述的设备，其中所述真空带包括多个区段，在所述多个区段中，负压被单独地控制。15.如权利要求14所述的设备，其中所述第二输送机道包括多个箱。16.如权利要求15所述的设备，其中所述真空带的所述区段中的每一者对应于所述多个箱中的一者的位置。17.一种用于分拣多个基板的方法，所述方法包括：在主输送机道上运输所述多个基板，所述主输送机道在第一方向上离开计量单元；
将所述多个基板中的第一基板从所述主输送机道真空拾取到第一分拣道，所述第一分拣道在多个箱之上延伸；将所述第一基板侧向地运输离开所述主输送机道；和基于所述第一基板的检查特性来将所述第一基板释放到所述箱中所选择的箱中。18.如权利要求17所述的方法，其中所述第一分拣道至少部分地覆盖在所述主输送机道上。19.如权利要求17所述的方法，其中所述第一分拣道包括真空带，并且其中所述真空带包括多个区段，在所述多个区段中，负压被单独地控制。20.如权利要求19所述的方法，其中能选择性地中断一个区段中的负压而不中断其他区段中的负压。

技术总结
本公开内容的实施方式总体涉及一种用于检查和分拣多个基板的设备。所述设备包括：分拣单元；第一输送机道，所述第一输送机道在第一方向上且在第一平面中设置在所述分拣单元内；和至少第二输送机道，所述第二输送机道设置在所述分拣单元内，所述第二输送机道在第二方向上相对于所述第一方向以大于约45度的角度定位，其中所述第二输送机道定位在不同于所述第一平面的第二平面中。述第一平面的第二平面中。述第一平面的第二平面中。


技术研发人员：阿萨夫
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2022.07.08
技术公布日：2023/9/22