半导体的在制品选取方法及系统、装置、设备和介质与流程

1.本公开涉及半导体生产制造
技术领域：
：，具体而言，涉及一种半导体生产过程中的在制品选取方法、半导体生产过程中的在制品选取装置、电子设备以及计算机可读存储介质。
背景技术：
：：2.在半导体生产制造过程中，在采用流水线车间加工的生产系统中，一个传送系统沿着工作台运送在制品(workinprocess，wip)，在每个工作台处，完成wip的一道不同工序。3.在现有的线上挑选wip方案中，生产系统工作人员根据申请者提供的资料，包含半导体生产流程的站点编号，所需的线上wip分支(wipbranch)的百分比及对应的产品批次(lot)的尾码编码等，使用固定lot尾码或lot到站点的批数定义线上wipbranch的比例，使用申请者提供的资料在制造规格设定系统(specificationmanager，简称sm系统)中设定相应脚本(script)代码逻辑并生成一份对应代码标识，并通过传送流将该代码标识关联至对应站点，然后将相关配置发送到物料管理系统(materialmanager，mm系统)。此时，生产系统工程师便可在mm系统中直观的看到设定的相应尾码的lot切进对应下游分支(subroute)。4.需要说明的是，在上述
背景技术：
：部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。技术实现要素：5.本公开的目的在于提供一种半导体生产过程中的在制品选取方法、半导体生产过程中的在制品选取装置、电子设备以及计算机可读存储介质，进而至少在一定程度上克服采用人工挑选线上wip所导致的造成大量时间耗费以及人工挑选分配可能存在遗漏所造成的晶圆浪费的问题。6.本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本发明的实践而习得。7.根据本公开的第一方面，提供一种半导体生产过程中的在制品选取方法，包括：获取产品生产需求，根据所述产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定所述目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；基于所述选取方案在所述第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。8.在本公开的一种示例性实施方案中，在所述获取产品生产需求之前，所述方法还包括：获取半导体生产过程中的制程需求；根据所述制程需求确定当前产品的产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及所述在制品的需求比例；根据所述产品标识、所述制程站点信息、所述制程分支信息以及所述在制品的需求比例生成所述产品生产需求。9.在本公开的一种示例性实施方案中，根据所述产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例，包括：从所述产品生产需求中获取当前产品的产品标识；基于所述产品标识确定所述当前产品是否为指定类型产品；若是，则根据所述产品生产需求确定所述当前产品对应的在制品的目标尾码范围与需求比例。10.在本公开的一种示例性实施方案中，根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定所述目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案，包括：根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定各所述尾码所对应的在制品的分配比例；将已到达第一制程站点的产品批次作为候选产品批次；根据所述候选产品批次与各所述分配比例确定各所述尾码所对应的在制品的选取方案。11.在本公开的一种示例性实施方案中，所述方法还包括：所述目标尾码范围中所有尾码所对应的在制品的分配比例之和等于所述需求比例。12.在本公开的一种示例性实施方案中，根据所述候选产品批次与各所述分配比例确定各所述尾码所对应的在制品的选取方案，包括：根据所述候选产品批次与各所述分配比例，对各所述尾码所对应的在制品依次执行批次选取步骤，以得到各所述尾码对应的批次选取方案；基于得到的所述批次选取方案生成所述选取方案。13.在本公开的一种示例性实施方案中，所述批次选取步骤，包括：获取所述尾码对应的数值分布，根据所述尾码的分配比例与所述数值分布确定对应的可选批次数量；根据所述可选批次数量，从所述候选产品批次中确定与所述尾码对应的产品批次，作为所述尾码对应的目标产品批次。14.在本公开的一种示例性实施方案中，根据所述尾码的分配比例与所述数值分布确定对应的可选批次数量，包括：获取所述候选产品批次的候选批次数量；根据所述候选批次数量与所述数值分布确定所述尾码对应的最小选取比例；根据所述最小选取比例与所述分配比例确定所述可选批次数量。15.在本公开的一种示例性实施方案中，所述批次选取方案的数量为多个，基于得到的所述批次选取方案生成所述选取方案，包括：确定各所述批次选取方案分别对应的批次选取执行逻辑；将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成所述选取方案。16.在本公开的一种示例性实施方案中，将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成所述选取方案，包括：将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以得到初始选取方案；为所述初始选取方案配置对应的方案执行标识，将所述方案执行标识与所述初始选取方案进行关联映射，以得到所述选取方案。17.在本公开的一种示例性实施方案中，基于所述选取方案在所述第一制程站点选取对应的在制品，包括：获取所述选取方案对应的方案执行标识；将所述方案执行标识添加至所述第一制程站点中的目标栏位，以触发生成可执行选取方案；根据所述可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品。18.在本公开的一种示例性实施方案中，所述方法还包括：获取第二制程站点；所述第二制程站点为所需在制品的尾码与所述第一制程站点具有相同尾码的制程站点；确定所述第一制程站点与所述第二制程站点对应的相同尾码；确定所述相同尾码对应的未选在制品，由所述第二制程站点根据产品生产需求从所述未选在制品中选取相应的在制品。19.根据本公开的第二方面，提供一种半导体生产过程中的在制品选取系统，包括：生产需求生成模块，用于根据半导体的生产制程需求生成对应的产品生产需求；在制品尾码确定模块，用于根据所述产品生产需求确定生产过程中所需在制品的目标尾码范围和需求比例；尾码选取模块，用于根据所述目标尾码范围和需求比例确定各尾码对应的在制品的分配比例，以根据所述分配比例生成所述在制品对应的初始选取方案；多个所述分配比例之和等于所述需求比例；方案生成模块，用于对所述初始选取方案配置对应的方案执行标识，将所述选取方案与所述方案执行标识进行关联映射，以生成选取方案；方案执行模块，用于将所述选取方案写入至第一制程站点的目标栏位，触发生成可执行选取方案，根据所述可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。20.根据本公开的第三方面，提供一种半导体生产过程中的在制品选取装置，包括：选取需求确定模块，用于获取产品生产需求，根据所述产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；选取方案确定模块，用于根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定所述目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；在制品选取模块，用于基于所述选取方案在所述第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。21.在本公开的一种示例性实施方案中，半导体生产过程中的在制品选取装置还包括产品需求确定模块，用于获取半导体生产过程中的制程需求；根据所述制程需求确定当前产品的产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及所述在制品的需求比例；根据所述产品标识、所述制程站点信息、所述制程分支信息以及所述在制品的需求比例生成所述产品生产需求。22.在本公开的一种示例性实施方案中，选取需求确定模块包括选取需求确定单元，用于从所述产品生产需求中获取当前产品的产品标识；基于所述产品标识确定所述当前产品是否为指定类型产品；若是，则根据所述产品生产需求确定所述当前产品对应的在制品的目标尾码范围与需求比例。23.在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案确定模块包括选取方案确定单元，用于根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定各所述尾码所对应的在制品的分配比例；将已到达第一制程站点的产品批次作为候选产品批次；根据所述候选产品批次与各所述分配比例确定各所述尾码所对应的在制品的选取方案。24.在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案确定单元包括选取方案生成单元，用于根据所述候选产品批次与各所述分配比例，对各所述尾码所对应的在制品依次执行批次选取步骤，以得到各所述尾码对应的批次选取方案；基于得到的所述批次选取方案生成所述选取方案。25.在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案生成单元包括批次选取子单元，用于获取所述尾码对应的数值分布，根据所述尾码的分配比例与所述数值分布确定对应的可选批次数量；根据所述可选批次数量，从所述候选产品批次中确定与所述尾码对应的产品批次，作为所述尾码对应的目标产品批次。26.在本公开的一种示例性实施方案中，批次选取子单元被配置为执行：获取所述候选产品批次的候选批次数量；根据所述候选批次数量与所述数值分布确定所述尾码对应的最小选取比例；根据所述最小选取比例与所述分配比例确定所述可选批次数量。27.在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案生成单元包括第一方案生成子单元，用于确定各所述批次选取方案分别对应的批次选取执行逻辑；将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成所述选取方案。28.在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案生成单元还包括第二方案生成子单元，用于将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以得到初始选取方案；为所述初始选取方案配置对应的方案执行标识，将所述方案执行标识与所述初始选取方案进行关联映射，以得到所述选取方案。29.在本公开的一种示例性实施方案中，在制品选取模块包括第一在制品选取单元，用于获取所述选取方案对应的方案执行标识；将所述方案执行标识添加至所述第一制程站点中的目标栏位，以触发生成可执行选取方案；根据所述可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品。30.在本公开的一种示例性实施方案中，在制品选取模块还包括第二在制品选取单元，用于获取第二制程站点；所述第二制程站点为所需在制品的尾码与所述第一制程站点具有相同尾码的制程站点；确定所述第一制程站点与所述第二制程站点对应的相同尾码；确定所述相同尾码对应的未选在制品，由所述第二制程站点根据产品生产需求从所述未选在制品中选取相应的在制品。31.根据本公开的第四方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，所述存储器上存储有计算机可读指令，所述计算机可读指令被所述处理器执行时实现根据上述任意一项所述的半导体生产过程中的在制品选取方法。32.根据本公开的第五方面，提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现根据上述任意一项所述的半导体生产过程中的在制品选取方法。33.本公开提供的技术方案可以包括以下有益效果：34.本公开的示例性实施例中的半导体生产过程中的在制品选取方法，一方面，通过产品生产需求可以自动确定wip的选取方案，实现了自动进行在制品的线上挑选方案，避免人工挑选wip造成的时间大量耗费的问题，大大提升了wip挑选效率。另一方面，通过目标尾码范围与需求比例进行wip选取，可以选取出满足需求比例的wip，避免人工选取时可能造成的疏漏，可以提高资源利用率和产品有效率。35.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。附图说明36.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：37.图1示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的半导体生产过程中的在制品选取方法的流程图；38.图2示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的生成在制品选取方案的流程图；39.图3示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的相同尾码范围的在制品在不同制程站点中的流转图；40.图4示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的相同尾码的在制品在冲突站点区间的站点中重复使用的效果图；41.图5示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的半导体生产过程中的在制品选取系统的方框图；42.图6示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的半导体生产过程中的在制品选取装置的方框图；43.图7示意性示出了根据本公开一示例性实施例的电子设备的框图；44.图8示意性示出了根据本公开一示例性实施例的计算机可读存储介质的示意图。具体实施方式45.现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。46.此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作以避免模糊本公开的各方面。47.附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个软件硬化的模块中实现这些功能实体或功能实体的一部分，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。48.现有的线上挑选wip方案，通常通过人工挑选进行，因lot尾码(0～9)数量有限，导致wip按指定比例branch的工程临时变动公告(temporaryengineeringchangenotice，tecn)时，lot尾码集中分布，且根据目前最新的挑选原则，将部分尾码的lot固定为tecn实验需求使用，若仍沿用旧有线上wip挑选方案，将容易产生一方使用的该实验lot尾码，另一方不可使用的情形，造成冲突，影响线上生产实验，随之将影响后续制程实验的进行。49.基于此，在本示例实施例中，首先提供了一种半导体生产过程中的在制品选取方法，可以利用服务器来实现本公开的半导体生产过程中的在制品选取方法，也可以利用终端设备来实现本公开所述的方法，其中，本公开中描述的终端可以包括诸如手机、平板电脑、笔记本电脑、掌上电脑、个人数字助理(personaldigitalassistant，pda)等移动终端，以及诸如台式计算机等固定终端。图1示意性示出了根据本公开的一些实施例的半导体生产过程中的在制品选取方法流程的示意图。参考图1，该半导体生产过程中的在制品选取方法可以包括以下步骤：50.步骤s110，获取产品生产需求，根据产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；51.步骤s120，根据目标尾码范围与需求比例，确定目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；52.步骤s130，基于选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。53.根据本示例实施例中的半导体生产过程中的在制品选取方法，一方面，通过产品生产需求可以自动确定wip的选取方案，实现了自动进行在制品的线上挑选方案，避免人工挑选wip造成的时间大量耗费的问题，大大提升了wip挑选效率。另一方面，通过目标尾码范围与需求比例进行wip选取，可以选取出满足需求比例的wip，避免人工选取时可能造成的疏漏，可以提高资源利用率和产品有效率。54.下面，将对本示例实施例中的半导体生产过程中的在制品选取方法进行进一步的说明。55.在步骤s110中，获取产品生产需求，根据产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例。56.在本公开的一些示例性实施方式中，产品生产需求可以是半导体生产制造过程中所依据的需求文件。第一制程站点可以是当前确定在制品选取方案的制程站点。目标尾码范围可以是进行在制品选取时wip对应的尾码所对应的范围。需求比例可以是产品生产过程中所需wip的比例。57.在半导体生产制造过程中，通常需要产生多种不同类型的产品，因此可以包含多种不同的生产线，不同的生产线对应的不同的产品生产需求。在进行半导体生产制造之前，可以先获取产品生产需求，产品生产需求中通常包含各个制程站点所需在制品的尾码范围和需求比例。本实施例以确定第一制程站点的wip选取方案为例进行说明。在获取到产品生产需求后，可以从产品生产需求中确定第一制程站点所需在制品对应的目标尾码范围和需求比例。目标尾码范围通常是对已经到达第一制程站点的在制品的尾码分布情况确定，需求比例通常是根据申请者的需求确定。58.在本公开的一种示例性实施方案中，获取半导体生产过程中的制程需求；根据制程需求确定当前产品的产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及在制品的需求比例；根据产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及在制品的需求比例生成产品生产需求。59.其中，制程需求可以是半导体生产制造过程中所有制程站点对应的需求文件，例如，制程需求可以是申请者根据制程所需提出的线上tecn需求。当前产品的产品标识可以是用于标识某一产品的唯一标识。制程站点信息可以是半导体生产制造过程中所涉及的制程站点的基本信息。制程分支信息可以是制程站点包含的下属分支站点对应的基本信息。60.参考图2，图2示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的生成在制品选取方案的流程图。在步骤s210中，获取申请者提供的需求文件。在进行产品生产之前，申请者可以根据不同制程站点的生产特点提出线上tecn需求，即包含所有制程指点需求信息的制程需求的相关文件。61.在获取到制程需求后，可以从制程需求确定当前所生产的产品的产品标识，每一个产品具有唯一的产品标识，用于与其他待生产产品进行区分。制程需求中还包括生产线中所有制程站点的相关信息，即route信息，制程站点信息可以包括该制程站点所需wip的相关信息。另外，制程需求中还可以包括制程分支信息，制程分支信息可以包括第一制程站点所包含的下属分支(branch)站点的相关信息。在制品的需求比例可以是第一制程站点以及与其对应的制程分支站点分别对应的所需在制品的比例信息。从制程需求中确定出产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及在制品的需求比例之后，可以根据上述信息生成产品生产需求，以作为后续的wip选取依据。62.在本公开的一种示例性实施方案中，从产品生产需求中获取当前产品的产品标识；基于产品标识确定当前产品是否为指定类型产品；若是，则根据产品生产需求确定当前产品对应的在制品的目标尾码范围与需求比例。63.其中，指定类型产品可以是预先定义的产品类型，例如，在半导体生产制造过程中，可以通过产品映射表(mappingtable)配置指定类型产品。64.继续参考图2，在步骤s220中，查看是否处于指定类型产品范围之内。获取生成的产品生产需求，从产品生产需求中确定出当前产品的产品标识，基于当前产品的产品标识在mappingtable中查询，判断当前产品是否为指定类型产品。如果当前产品的产品标识包含于mappingtable中，则继续执行后续操作；如果当前产品的产品标识不在mappingtable中，则结束整体流程。通过上述处理，满足产品在挑选线上wip作为生产实验时，符合预先设定的规则，以实现产品信息控制。65.参考表1，表1示出了通过mappingtable定义产品组1对应的指定类型产品。具体的，表1中定义了产品组1对应的目标尾码范围中包含的尾码，包括2、3、5、9以及1、7；且2、3、5、9这四个尾码wip的需求比例为30％，1、7这两个尾码的需求比例为50％。66.表1[0067][0068]继续参考表2，表2中示出了通过mappingtable定义产品组2对应的指定类型产品。具体的，表2中定义了产品组2对应的目标尾码范围中包含的尾码，包括2、3、1、5、7、9以及0、6；且2、3、1、5、7、9这六个尾码wip的需求比例为50％，0、6这两个尾码的需求比例为70％。[0069]表2[0070][0071]在步骤s120中，根据目标尾码范围与需求比例，确定目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案。[0072]在本公开的一些示例性实施方式中，在制品的选取方案可以是根据需求比例确定出的目标尾码范围中的每个尾码的wip的选取方案，包括每个尾码的wip的选取比例等。[0073]继续参考图2，在步骤s230中，根据需求比例挑选对应的尾码lot。在根据产品生产需求确定出第一制程站点进行在制品选取时所对应的目标尾码范围以及wip的需求比例之后，可以根据需求比例确定出目标尾码范围中每个尾码的选取比例，具体的，可以根据产品的生产需求进行选取比例确定操作。例如，可以按照平均分配的方式确定选取比例，当目标尾码范围中包含4个尾码时，由于需求比例是第一制程站点中目标尾码范围中所有尾码wip的需求比例，因此，可以采用平均分配的方式将需求比例平均分配至目标尾码范围中的各个尾码中，以确定出各个尾码对应的选取比例，进而根据确定出的选取比例生成对应的在制品选取方案。在本公开的其他示例性实施例中，还可以按照其他分配方式确定选取比例。[0074]在本公开的一种示例性实施方案中，根据目标尾码范围与需求比例，确定各尾码所对应的在制品的分配比例；将已到达第一制程站点的产品批次作为候选产品批次；根据候选产品批次与各分配比例确定各尾码所对应的在制品的选取方案。[0075]其中，分配比例可以是在为第一制程指点分配wip时，目标尾码范围中各个尾码对应的wip的比例。候选产品批次可以是已经到达第一制程站点的产品批次。[0076]继续参考图2，在步骤s240中，确定各个尾码的挑选比例确定方案。在确定出目标尾码范围和需求比例后，可以统计目标尾码范围中包含的尾码数量，根据需求比例以及尾码数量配置每个尾码的在制品的分配比例。在确定出目标尾码范围(即lot尾码)以及需求比例后，可以人为计算出目标尾码范围中各个尾码的选取比例。[0077]在步骤s250中，确定各个尾码lot的比例占比，人为分配各个尾码的比例使其总和为需求比例。也就是说，在配置各个尾码的选取比例时，需要满足如下约束条件：目标尾码范围中所有尾码所对应的在制品的分配比例之和等于需求比例，以满足生产实验要求。例如，按照平均分配的方式确定出目标尾码范围中每个尾码对应的在制品的分配比例。当需求比例为20％，且目标尾码范围中包括4个尾码时，则4个尾码对应的wip的选取比例可以分别配置为5％、5％、5％、5％。还例如，当目标尾码范围中的尾码wip的需求比例为10％时，可以将4个尾码对应的wip的选取比例可以分别配置为2％、2％、3％、3％。[0078]参考表3，表3示出了根据本公开的在制品选取方案确定各尾码的分配比例的分配方案。具体的，第一制程站点的需求比例为10％且目标尾码范围中包含2,3,5,9四个尾码，则“2,3,5,9”这4个尾码对应的wip的选取比例可以分别配置为2％、2％、3％、3％。[0079]表3[0080][0081]由于根据需求比例和mappingtable的设定，可以认为计算每个尾码的lot的比例分布，使其总和等于需求比例，近似达到指定范围(lot尾码)的线上wip的随机分布，并将确定出的分配比例关联至对应制程站点进行线上动态控制，可以避免因人为计算操作不当导致比例不满足所需，延误产线进程的问题。在确定出每个尾码的分配比例后，可以进一步获取已经到达第一制程站点的产品批次，并将其确定为候选产品批次，根据每个尾码的选取比例和候选产品批次，可以确定出与第一制程站点对应的在制品选取方案。[0082]在本公开的一种示例性实施方案中，根据候选产品批次与各分配比例，对各尾码所对应的在制品依次执行批次选取步骤，以得到各尾码对应的批次选取方案；基于得到的批次选取方案生成选取方案。[0083]其中，批次选取步骤可以根据候选产品批次进行在制品选取的操作步骤。批次选取方案可以从候选产品批次中选取出需要分配至第一制程站点的wip的产品批次的方案。[0084]在确定出已经到达第一制程站点的候选产品批次后，可以根据候选产品批次以及目标尾码范围中各个尾码的分配比例，针对每个尾码依次执行批次选取步骤，以从候选产品批次中选取出分配至第一制程站点的产品批次，生成对应的批次选取方案。在确定出每个尾码对应的批次选取方案之后，可以根据批次选取方案生成各个尾码对应的在制品选取方案，以将各个尾码的wip分配至第一制程站点中。[0085]在本公开的一种示例性实施方案中，批次选取步骤，包括：获取尾码对应的数值分布，根据尾码的分配比例与数值分布确定对应的可选批次数量；根据可选批次数量，从候选产品批次中确定与尾码对应的产品批次，作为尾码对应的目标产品批次。[0086]其中，尾码对应的数值分布可以是半导体生产制造过程中包含的所有尾码对应的分布情况。例如，数值分布可以是均匀分布。可选批次数量可以是能够选取的产品批次的数量，可选批次数量可以根据最小分配比例和尾码的分配比例确定。目标产品批次可以是从可选产品批次中选取出的每个尾码对应的产品批次。[0087]批次选取步骤的计算过程可以根据表4进行说明。参考表4可知，当前到达第一制程站点的wip尾码包含0,1,2,3,4,5,6,7,8,9等10个尾码，且wip尾码服从近似均匀分布，则选中单个尾码的概率为10％。[0088]在本公开的一种示例性实施方案中，获取候选产品批次的候选批次数量；根据候选批次数量与数值分布确定尾码对应的最小选取比例；根据最小选取比例与分配比例确定可选批次数量。[0089]其中，最小选取比例可以是每个尾码wip在进行选取操作时对应的最小比例。[0090]根据表4中的数据可知，到达第一制程站点的候选产品批次为0～9，即候选批次数量为10个。并且，由于wip尾码服从近似均匀分布，对同一尾码的wip进行抽样，则可实现单个尾码概率的随机分配，例如从10个相同尾码的wip中抽取一个的概率为1％，即最小选取比例为1％。由于本公开中可以实现最少为1％的比例需求，该比例相比于之前挑选单个指定尾码的概率(如10％)更加精确，可进一步提高生产实验精度与效率。[0091]表4[0092][0093]根据最小选取比例与分配比例可以进一步确定出可选批次数量，根据可选批次数量实现随机分配各个尾码的概率，使其尾码总和为所需比例。参考表4，第一制程站点的wip需求比例为10％，且目标尾码范围中包含2,3,5,9四个尾码，在确定出目标尾码范围中包含的尾码数量后，可以根据需求比例10％配置每个尾码对应的选取比例，例如，2,3,5,9四个尾码对应的选取比例分别为2％、2％、3％和3％。在确定出各个尾码的选取比例后，可以根据选取比例从到达第一制程站点的0～9个候选产品批次中确定可选批次数量，例如，2,3,5,9四个尾码对应的可选批次数量分别为2、2、3、3。[0094]在选取目标产品批次时，可以根据可选批次数量并按照尾码的序号排序依次进行产品批次的选取操作；还可以根据可选批次数量并随机进行产品批次的选取操作。例如，在采用依次选取方式时，对于尾码2而言，可以挑选1和2这两个产品批次作为目标产品批次；对于尾码5而言，可以挑选1、2和3这三个产品批次作为目标产品批次。在采用随机选取方式时，对于尾码2而言，可以挑选“3和5”或者“1和4”或者“3和9”等多种产品批次组合作为目标产品批次。通过上述处理，按照指定比例挑选指定范围(lot尾码)内的wip，可满足在一定的比例区间，如目标尾码范围内的wip可被使用，该范围之外的wip可不被使用，满足生产指定一部分lot作为生产实验的设定。[0095]在本公开的一种示例性实施方案中，批次选取方案的数量为多个，确定各批次选取方案分别对应的批次选取执行逻辑；将多个批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成选取方案。[0096]其中，批次选取执行逻辑可以是每个尾码进行产品批次选取操作所采用的执行逻辑。[0097]由于目标尾码范围中可以包含多个不同的尾码，对于每一个尾码，均具有对应的批次选取方案，因此，可以确定出多个批次选取方案。继续参考图2，在步骤s260中，依据算法编写执行代码。在确定出每个尾码的批次选取方案后，可以根据相应的程序算法编写执行代码，例如，可以通过脚本(script)编写每个批次选取方案对应的批次选取执行逻辑。由于第一制程站点中包括多个尾码对应的批次选取执行逻辑，因此，可以将这多个尾码的批次选取执行逻辑进行组合处理，生成第一制程站点对应的wip选取方案，所生成的wip选取方案通常为可以由计算机设备执行的可执行程序。[0098]在本公开的一种示例性实施方案中，将多个批次选取执行逻辑进行组合处理，以得到初始选取方案；为初始选取方案配置对应的方案执行标识，将方案执行标识与初始选取方案进行关联映射，以得到选取方案。[0099]其中，初始选取方案可以是将多个批次选取执行逻辑进行组合处理后得到选取方案，初始选取方案中未包含方案执行标识。方案执行标识可以是计算机设备执行选取方案所依据的唯一标识，用于与其他的方案执行标识进行区分。关联映射可以是方案执行标识与初始选取方案之间的映射关系，通过此操作可以将方案执行标识与初始选取方案关联起来，并将初始选取方案编译为可执行程序。[0100]由于第一制程站点对应的目标尾码范围中可以包含多个尾码，且每个尾码均具有对应的批次选取执行逻辑，因此，为了使得第一制程站点可以统一执行目标尾码范围中所有尾码的批次选取执行逻辑。在确定出每个尾码的批次选取执行逻辑后，可以将所有尾码的批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成计算机设备可以按照代码顺序读取识别的初始选取方案。在生成初始选取方案之后，为了使得第一制程站点可以执行相应的选取方案，可以生成与初始选取方案对应的方案执行标识(scriptid)。[0101]在步骤s130中，基于选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。[0102]在本公开的一些示例性实施方式中，下级生产流程(subroute)可以是第一制程站点下包含的下一级生产流程站点。[0103]在生成wip选取方案后，可以基于wip选取方案并通过第一制程站点选取此站点所需的在制品。例如，与产品产生需求对应的mappingtable中相应尾码的wip到达第一制程站点之后，可以依照随机分配比例将选取出的在制品推送至第一制程站点的下级生产流程subroute中。[0104]本公开的在制品选取方案，通过人工计算制程站点中的lot分配比例，并根据制程站点中的可执行选取方案自动进行wip选取，代替人工线上挑选wip。若为人工线上挑选，还需给定挑选的lot批数(否则无法达到各个wip比例分配)，需工程师每天查看到达该branch站点的wip是否符合管控范围，且需人工计算是否在设定批数范围之内，若是则需人工手动在需要branch的站点进行wip控制操作(hold操作)，手动执行branch后到对应subroute中再执行解hold操作，且需人工一直观察执行，假设每一个小时中需花费20min查看线上wip分布情况，一天就需160min。通过本实施例中的方案可以由script代码实现该功能，无需人工每天观察线上wip分布情况，可以有效提升wip选取效率；另外，由于是通过制程站点根据选取比例自动选取wip，无需给定branch批数，即可满足分配比例，可以避免由于人工挑选wip时造成的疏漏所引起的晶圆浪费的问题，提高了晶圆的利用率。[0105]在本公开的一种示例性实施方案中，获取选取方案对应的方案执行标识；将方案执行标识添加至第一制程站点中的目标栏位，以触发生成可执行选取方案；根据可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品。[0106]其中，目标栏位可以是用于执行wip选取操作的栏位。可执行选取方案可以是第一制程站点中的计算机设备可以执行的代码程序。[0107]继续参考图2，在步骤s270中，将执行代码标识关联至对应的站点。使用者可通过申请sm系统单将该scriptid链接至第一制程站点对应的目标栏位，经模型生成组(modelingteam)在sm系统操作上线之后本script代码功能即生效，即生成对应的可执行选取方案，此时使用者可以在mm系统查看到相应的script代码。当计算机设备读取到方案执行标识时，将调用执行与其对应的可执行选取方案，以通过程序执行选取出第一制程站点所需的在制品。[0108]参考图，图3示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的相同尾码范围的在制品在不同制程站点中的流转图。图3中包含制程站点310、制程站点320以及制程站点330，其中，制程站点310为第一制程站点，对于制程站点310，在根据产品生产需求确定对应的选取方案后，可以从到达该制程站点的目标尾码范围中选取一定比例的wip，并将选取出的wip下发至制程站点310对应的下级生产流程，如，将选取出的wip下发至下级生产流程站点311、312与313中，以进行后续生产流程。[0109]在本公开的一种示例性实施方案中，获取第二制程站点；第二制程站点为所需在制品的尾码与第一制程站点具有相同尾码的制程站点；确定第一制程站点与第二制程站点对应的相同尾码；确定相同尾码对应的未选在制品，由第二制程站点根据产品生产需求从未选在制品中选取相应的在制品。[0110]其中，第二制程站点可以是半导体生产线中与第一制程站点具有相同的所需尾码wip的其他制程站点。未选在制品可以是第二制程站点与第一制程站点所对应的相同需求尾码，且到达第一制程站点时未被第一制程站点选取的尾码wip。[0111]继续参考图3，在半导体生产线中，还包括第二制程站点，第二制程站点是所需wip与第一制程站点中的wip具有重合尾码的制程站点，例如，图3中的制程站点330可以是第二制程站点。由于第二制程站点330与第一制程站点310所需的wip具有相同的尾码，因此，可以确定出该尾码在第一制程站点未被选中的wip，作为未选在制品。例如，第一制程站点310与第二制程站点330均需要尾码“2”对应的wip，根据本公开的在制品选取方案，第一制程站点仅在尾码“2”对应的wip中选取一部分wip，剩余的尾码为“2”的wip将可以用于其他制程站点中。此时，由于第二制程站点330需要尾码为“2”的wip，因此，可以选取第一制程站点310未选取的wip，并将其用于第二制程站点的生产处理过程中。[0112]通过本公开的在制品选取方案，由于即使为不同的申请者在相同route，在冲突的站点区间也可使用同一尾码的lot进行生产实验，参考图4，图4示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的相同尾码的在制品在冲突站点区间的站点中重复使用的效果图。如果半导体生产线中存在如图4中所示的冲突站点区间，即申请者a与申请者b获取的尾码wip存在重叠区间，通过本公开的wip选取方案，可满足选取一部分lot作为制程实验的需求，相同的尾码的wip可重复使用，实现指定范围内的线上wip的随机分布，满足各个申请者所需且不会发生冲突，以保障生产实验的顺利进行。[0113]需要说明的是，本公开所使用的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等，仅是为了区分不同的制程站点，并不应对本公开造成任何限制。[0114]综上所述，获取产品生产需求，根据产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；根据目标尾码范围与需求比例，确定目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；基于选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。一方面，通过产品生产需求可以自动确定wip的选取方案，实现了自动进行在制品的线上挑选方案，避免人工挑选wip造成的时间大量耗费的问题，大大提升了wip挑选效率。另一方面，通过目标尾码范围与需求比例进行wip选取，可以选取出满足需求比例的wip，避免人工选取时可能造成的疏漏，可以提高资源利用率和产品有效率。又一方面，由于在wip选取时每个尾码仅选取部分比例的wip，因此，当存在冲突站点区间时，相同尾码的wip可以重复使用。[0115]需要说明的是，尽管在附图中以特定顺序描述了本发明中方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。[0116]此外，在本示例实施例中，还提供了一种半导体生产过程中的在制品选取系统，参考图5，该半导体生产过程中的在制品选取系统500可以包括：生产需求生成模块510、在制品尾码确定模块520、尾码选取模块530、方案生成模块540以及方案执行模块550。[0117]具体的，生产需求生成模块510，用于根据半导体的生产制程需求生成对应的产品生产需求；在制品尾码确定模块520，用于根据所述产品生产需求确定生产过程中所需在制品的目标尾码范围和需求比例；尾码选取模块530，用于根据所述目标尾码范围和需求比例确定各尾码对应的在制品的分配比例，以根据所述分配比例生成所述在制品对应的初始选取方案；多个所述分配比例之和等于所述需求比例；方案生成模块540，用于对所述初始选取方案配置对应的方案执行标识，将所述选取方案与所述方案执行标识进行关联映射，以生成选取方案；方案执行模块550，用于将所述选取方案写入至第一制程站点的目标栏位，触发生成可执行选取方案，根据所述可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。[0118]进一步地，在本示例实施例中，还提供了一种半导体生产过程中的在制品选取装置。参考图6，该半导体生产过程中的在制品选取装置600可以包括：选取需求确定模块610、选取方案确定模块620以及在制品选取模块630。[0119]具体的，选取需求确定模块610，用于获取产品生产需求，根据产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；选取方案确定模块620，用于根据目标尾码范围与需求比例，确定目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；在制品选取模块630，用于基于选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。[0120]在本公开的一种示例性实施方案中，半导体生产过程中的在制品选取装置还包括产品需求确定模块，用于获取半导体生产过程中的制程需求；根据制程需求确定当前产品的产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及在制品的需求比例；根据产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及在制品的需求比例生成产品生产需求。[0121]在本公开的一种示例性实施方案中，选取需求确定模块包括选取需求确定单元，用于从产品生产需求中获取当前产品的产品标识；基于产品标识确定当前产品是否为指定类型产品；若是，则根据产品生产需求确定当前产品对应的在制品的目标尾码范围与需求比例。[0122]在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案确定模块包括选取方案确定单元，用于根据目标尾码范围与需求比例，确定各尾码所对应的在制品的分配比例；将已到达第一制程站点的产品批次作为候选产品批次；根据候选产品批次与各分配比例确定各尾码所对应的在制品的选取方案。[0123]在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案确定单元包括选取方案生成单元，用于根据候选产品批次与各分配比例，对各尾码所对应的在制品依次执行批次选取步骤，以得到各尾码对应的批次选取方案；基于得到的批次选取方案生成选取方案。[0124]在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案生成单元包括批次选取子单元，用于获取尾码对应的数值分布，根据尾码的分配比例与数值分布确定对应的可选批次数量；根据可选批次数量，从候选产品批次中确定与尾码对应的产品批次，作为尾码对应的目标产品批次。[0125]在本公开的一种示例性实施方案中，批次选取子单元被配置为执行：获取候选产品批次的候选批次数量；根据候选批次数量与数值分布确定尾码对应的最小选取比例；根据最小选取比例与分配比例确定可选批次数量。[0126]在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案生成单元包括第一方案生成子单元，用于确定各批次选取方案分别对应的批次选取执行逻辑；将多个批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成选取方案。[0127]在本公开的一种示例性实施方案中，选取方案生成单元还包括第二方案生成子单元，用于将多个批次选取执行逻辑进行组合处理，以得到初始选取方案；为初始选取方案配置对应的方案执行标识，将方案执行标识与初始选取方案进行关联映射，以得到选取方案。[0128]在本公开的一种示例性实施方案中，在制品选取模块包括第一在制品选取单元，用于获取选取方案对应的方案执行标识；将方案执行标识添加至第一制程站点中的目标栏位，以触发生成可执行选取方案；根据可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品。[0129]在本公开的一种示例性实施方案中，在制品选取模块还包括第二在制品选取单元，用于获取第二制程站点；第二制程站点为所需在制品的尾码与第一制程站点具有相同尾码的制程站点；确定第一制程站点与第二制程站点对应的相同尾码；确定相同尾码对应的未选在制品，由第二制程站点根据产品生产需求从未选在制品中选取相应的在制品。[0130]上述中各半导体生产过程中的在制品选取装置的虚拟模块的具体细节已经在对应的半导体生产过程中的在制品选取方法中进行了详细的描述，因此此处不再赘述。[0131]应当注意，尽管在上文详细描述中提及了半导体生产过程中的在制品选取装置的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。[0132]此外，在本公开的示例性实施例中，还提供了一种能够实现上述方法的电子设备。[0133]所属
技术领域：
：的技术人员能够理解，本发明的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本发明的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施例、完全的软件实施例(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施例，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。[0134]下面参考图7来描述根据本公开的这种实施例的电子设备700。图7显示的电子设备700仅仅是一个示例，不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。[0135]如图7所示，电子设备700以通用计算设备的形式表现。电子设备700的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理单元710、上述至少一个存储单元720、连接不同系统组件(包括存储单元720和处理单元710)的总线730、显示单元740。[0136]其中，所述存储单元存储有程序代码，所述程序代码可以被所述处理单元710执行，使得所述处理单元710执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本公开各种示例性实施例的步骤。[0137]存储单元720可以包括易失性存储单元形式的可读介质，例如随机存取存储单元(ram)721和/或高速缓存存储单元722，还可以进一步包括只读存储单元(rom)723。[0138]存储单元720可以包括具有一组(至少一个)程序模块725的程序/实用工具724，这样的程序模块725包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。[0139]总线730可以表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储单元总线或者存储单元控制器、外围总线、图形加速端口、处理单元或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。[0140]电子设备700也可以与一个或多个外部设备770(例如键盘、指向设备、蓝牙设备等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与该电子设备700交互的设备通信，和/或与使得该电子设备700能与一个或多个其它计算设备进行通信的任何设备(例如路由器、调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(i/o)接口750进行。并且，电子设备700还可以通过网络适配器760与一个或者多个网络(例如局域网(lan)，广域网(wan)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器760通过总线730与电子设备700的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备700使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、raid系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。[0141]通过以上的实施例的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例实施例可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本公开实施例的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是cd-rom，u盘，移动硬盘等)中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、终端装置、或者网络设备等)执行根据本公开实施例的方法。[0142]在本公开的示例性实施例中，还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有能够实现本说明书上述方法的程序产品。在一些可能的实施例中，本发明的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当所述程序产品在终端设备上运行时，所述程序代码用于使所述终端设备执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本发明各种示例性实施例的步骤。[0143]参考图8所示，描述了根据本发明的实施例的用于实现上述方法的程序产品800，其可以采用便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)并包括程序代码，并可以在终端设备，例如个人电脑上运行。然而，本发明的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。[0144]所述程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。[0145]计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。[0146]可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、rf等等，或者上述的任意合适的组合。[0147]可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本发明操作的程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如java、c++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“c”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网(lan)或广域网(wan)，连接到用户计算设备，或者，可以连接到外部计算设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。[0148]此外，上述附图仅是根据本发明示例性实施例的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。[0149]本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施例。本技术旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本
技术领域：
：中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。[0150]应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限。当前第1页12当前第1页12
技术特征：
1.一种半导体生产过程中的在制品选取方法，其特征在于，包括：获取产品生产需求，根据所述产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定所述目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；基于所述选取方案在所述第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取产品生产需求之前，所述方法还包括：获取半导体生产过程中的制程需求；根据所述制程需求确定当前产品的产品标识、制程站点信息、制程分支信息以及所述在制品的需求比例；根据所述产品标识、所述制程站点信息、所述制程分支信息以及所述在制品的需求比例生成所述产品生产需求。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例，包括：从所述产品生产需求中获取当前产品的产品标识；基于所述产品标识确定所述当前产品是否为指定类型产品；若是，则根据所述产品生产需求确定所述当前产品对应的在制品的目标尾码范围与需求比例。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定所述目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案，包括：根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定各所述尾码所对应的在制品的分配比例；将已到达第一制程站点的产品批次作为候选产品批次；根据所述候选产品批次与各所述分配比例确定各所述尾码所对应的在制品的选取方案。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：所述目标尾码范围中所有尾码所对应的在制品的分配比例之和等于所述需求比例。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述候选产品批次与各所述分配比例确定各所述尾码所对应的在制品的选取方案，包括：根据所述候选产品批次与各所述分配比例，对各所述尾码所对应的在制品依次执行批次选取步骤，以得到各所述尾码对应的批次选取方案；基于得到的所述批次选取方案生成所述选取方案。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述批次选取步骤，包括：获取所述尾码对应的数值分布，根据所述尾码的分配比例与所述数值分布确定对应的可选批次数量；根据所述可选批次数量，从所述候选产品批次中确定与所述尾码对应的产品批次，作为所述尾码对应的目标产品批次。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，根据所述尾码的分配比例与所述数值分布确定对应的可选批次数量，包括：获取所述候选产品批次的候选批次数量；根据所述候选批次数量与所述数值分布确定所述尾码对应的最小选取比例；根据所述最小选取比例与所述分配比例确定所述可选批次数量。9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述批次选取方案的数量为多个，基于得到的所述批次选取方案生成所述选取方案，包括：确定各所述批次选取方案分别对应的批次选取执行逻辑；将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成所述选取方案。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以生成所述选取方案，包括：将多个所述批次选取执行逻辑进行组合处理，以得到初始选取方案；为所述初始选取方案配置对应的方案执行标识，将所述方案执行标识与所述初始选取方案进行关联映射，以得到所述选取方案。11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述选取方案在所述第一制程站点选取对应的在制品，包括：获取所述选取方案对应的方案执行标识；将所述方案执行标识添加至所述第一制程站点中的目标栏位，以触发生成可执行选取方案；根据所述可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品。12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：获取第二制程站点；所述第二制程站点为所需在制品的尾码与所述第一制程站点具有相同尾码的制程站点；确定所述第一制程站点与所述第二制程站点对应的相同尾码；确定所述相同尾码对应的未选在制品，由所述第二制程站点根据产品生产需求从所述未选在制品中选取相应的在制品。13.一种半导体生产过程中的在制品选取系统，其特征在于，包括：生产需求生成模块，用于根据半导体的生产制程需求生成对应的产品生产需求；在制品尾码确定模块，用于根据所述产品生产需求确定生产过程中所需在制品的目标尾码范围和需求比例；尾码选取模块，用于根据所述目标尾码范围和需求比例确定各尾码对应的在制品的分配比例，以根据所述分配比例生成所述在制品对应的初始选取方案；多个所述分配比例之和等于所述需求比例；方案生成模块，用于对所述初始选取方案配置对应的方案执行标识，将所述选取方案与所述方案执行标识进行关联映射，以生成选取方案；方案执行模块，用于将所述选取方案写入至第一制程站点的目标栏位，触发生成可执行选取方案，根据所述可执行选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。14.一种半导体生产过程中的在制品选取装置，其特征在于，包括：
选取需求确定模块，用于获取产品生产需求，根据所述产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；选取方案确定模块，用于根据所述目标尾码范围与所述需求比例，确定所述目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；在制品选取模块，用于基于所述选取方案在所述第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。15.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器；以及存储器，所述存储器上存储有计算机可读指令，所述计算机可读指令被所述处理器执行时实现根据权利要求1至12中任一项所述的半导体生产过程中的在制品选取方法。16.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现根据权利要求1至12中任一项所述的半导体生产过程中的在制品选取方法。

技术总结
本公开是关于一种半导体生产过程中的在制品选取方法及装置、电子设备以及计算机可读存储介质，涉及半导体生产制造技术领域，可以应用于半导体生产制造过程进行在制品WIP选择的场景。该方法包括：获取产品生产需求，根据产品生产需求确定第一制程站点所需在制品的目标尾码范围与需求比例；根据目标尾码范围与需求比例，确定目标尾码范围中每个尾码所对应的在制品的选取方案；基于选取方案在第一制程站点选取对应的在制品，以将选取出的在制品推送至对应的下级生产流程。本公开可以避免人工对线上WIP进行手动挑选分配所造成的大量时间耗费以及人工挑选可能存在的疏漏导致造成晶圆浪费而达不到所需比例。浪费而达不到所需比例。浪费而达不到所需比例。


技术研发人员：马雪华 谢明宏
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2022.03.15
技术公布日：2023/9/22