真空蒸镀设备的制作方法

1.本发明涉及真空蒸镀技术领域，尤其涉及一种真空蒸镀设备。


背景技术：

2.真空蒸镀装置在可形成真空气氛的真空室(主腔室)内，从基材行进装置的送出辊连续送出片状的基材，该送出的基材卷绕在冷却用的辊筒上，并对该辊筒从在其径向上留出规定间隔设置的蒸镀单元进行蒸镀物质的蒸镀，用基材行进装置的卷取辊卷取已蒸镀的片状的基材。此时，真空室由配置在辊筒周围的隔板划分为两室，分别在一侧的室(蒸镀室)中配置基材行进装置，在另一侧的室(相邻室)中配置蒸镀单元。通过加热使坩埚内收纳的蒸镀物质升华或气化，使该升华或气化了的蒸镀粒子附着堆积在辊筒上卷绕的片状的基材的部分上并对其进行蒸镀(成膜)。
3.经检索，经检索，中国专利cn112368413b公开了“一种真空蒸镀装置”，其在对辊筒上卷绕的片状的基材的部分进行蒸镀时，可确保设置有蒸镀单元的蒸镀室和与其相邻的主腔室内的相邻室气氛分离。其具有：主腔室(1)，其具有基材行进装置和辊筒(2)；以及蒸镀单元(vu)，其对卷绕在辊筒上的片状的基材(sw)的部分进行蒸镀。主腔室内还具有第一隔壁(75)和第二隔壁(7a、7b)，所述第一隔壁(75)划分容纳有蒸镀单元的蒸镀室，所述第二隔壁(7a、7b)与第一隔壁相连设置并间隔以上述曲率弯曲的第一间隙(gp1)覆盖位于蒸镀单元的周向两侧的辊筒的外筒部分，蒸镀室(vs)和与该蒸镀室相邻的主腔室内的相邻室(as)以第一间隙为边界彼此连通，以第二隔壁确定蒸镀室和相邻室之间的电导。
4.但是，采用上述对蒸镀物质进行升华或气化时，并没有对其进行均匀的混合，无法使该升华或气化了的蒸镀粒子均匀的堆积在卷筒上，导致蒸镀的质量和效果较差，降低了蒸镀装置的蒸镀效果。


技术实现要素：

5.本发明的目的是提供一种真空蒸镀设备，该真空蒸镀设备能够多次对蒸镀物质进行均匀混合，并对蒸镀物质进行多次过滤，有效改善了蒸镀物质的混合效果以及蒸镀颗粒的一致性，从而提高了装置的蒸镀质量。
6.为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种真空蒸镀设备，包括：底板，在所述底板的上方设置有一蒸镀箱，此蒸镀箱的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐，所述气化罐与蒸镀箱之间设置有一净化箱、导气泵，所述净化箱与气化罐之间通过一第一导管连通连接，所述净化箱与导气泵的进气端之间通过一第二导管连通连接，所述导气泵的出气端与所述蒸镀箱之间通过一第三导管连通连接，所述底板的顶部外壁四角均设置有一支撑杆，且四个所述支撑杆的外壁之间设置有一支撑板，所述蒸镀箱固定安装在所述支撑板的顶部；在所述气化罐的内部转动安装有一第二转杆，在所述第二转杆的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的第二搅拌杆，若干个所述第二搅拌杆相互交错分布，且
所述第二搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，所述搅拌柱设置在所述连接杆端部的中央位置，所述搅拌针以搅拌柱为圆心呈环形等距间隔分布，在所述气化罐的内部且位于所述第二转杆的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔的过滤板；在所述净化箱的内部一侧转动安装有一第三转杆，所述第三转杆的外壁设置有若干个弧形结构的第三搅拌杆，所述第三搅拌杆等距间隔分布，且所述第三搅拌杆的外壁相对设置有搅拌块、具有波浪形结构的搅拌板，所述搅拌块、搅拌板均倾斜设置；在所述净化箱的内部另一侧且垂直于第三转杆设置有一具有若干旋转板的连接轴，等距离分布的所述旋转板与连接轴的外壁活动连接。
7.上述技术方案中进一步改进的方案如下：1. 上述方案中，在所述净化箱的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽的隔板、上部开设有第二通风槽的弧形板，位于所述隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且所述活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布。
8.2. 上述方案中，位于所述活性炭吸附层的上方设置有一通风框，此通风框的内部填充有若干个火山石。
9.3. 上述方案中，所述过滤板的四个拐角与所述气化罐的内壁之间均设置一弹簧。
10.4. 上述方案中，所述净化箱的外壁设置有一第三电机，且第三电机的输出轴通过联轴器连接有所述第三转杆。
11.5. 上述方案中，位于同一侧的两个所述支撑杆的顶部之间设置有一横板，其中一个所述横板的顶部安装有一固定杆，另一个所述横板的顶部安装有所述导气泵。
12.6. 上述方案中，所述气化罐的一侧外壁设置有一内壁设置有第二电机的电机架，此电机架与所述固定杆固定连接，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有所述第二转杆。
13.7. 上述方案中，所述蒸镀箱的顶部内壁相对设置有第一蒸镀盘、第二蒸镀盘，且第一蒸镀盘、第二蒸镀盘的倾斜方向相反。
14.8. 上述方案中，所述蒸镀箱的内壁设置有上下相互交错分布的第二传动辊，且支撑杆的一侧外壁活动连接有第一传动辊。
15.由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：1、本发明真空蒸镀设备，其第二转杆具有若干个波浪形结构的第二搅拌杆，若干个第二搅拌杆相互交错分布，且第二搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，搅拌针以搅拌柱为圆心呈环形等距间隔分布，在气化罐的内部且位于第二转杆的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔的过滤板，通过第二搅拌杆进行转动时产生较大的旋涡，有利于蒸镀物质混合均匀，且过滤板可以对聚团的蒸镀物质进行过滤，改善了蒸镀颗粒的一致性，同时，过滤板与本体内壁之间弹性连接，通过旋涡带动过滤板弹性震动，也大大减少了过滤板堵塞的情况，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性；进一步的，其具有弧形结构的第三搅拌杆在第三转杆的外壁等距间隔分布，且第三搅拌杆的外壁相对设置有搅拌块、具有波浪形结构的搅拌板，搅拌块、搅拌板均倾斜设置，在净化箱的内部另一侧且垂直于第三转杆设置有一具有若干旋转板的连接轴，等距离分布的旋转板与连接轴的外壁活动连接，在气化管对蒸镀物质进行混合、过滤的基础上，通过第三转杆进行转动，进而带动第三搅拌杆、搅拌块和搅拌板转动，对蒸镀物质再次进行均匀混合，且搅拌块和搅拌板均为倾斜搅拌且
为不同的形状可产生不同大小和角度的旋涡，进一步提高了蒸镀物质的混合效果。
16.2、本发明真空蒸镀设备，其净化箱的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽的隔板、上部开设有第二通风槽的弧形板，位于隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布，通过设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，将升华和气化后的蒸镀物质通过粗过滤网、细过滤网和活性炭吸附层进行有效的过滤和吸附，提高了过滤效果，大大降低了蒸镀物质中的杂质含量，提升了蒸镀物质的质量。
附图说明
17.附图1为本发明真空蒸镀设备的整体结构示意图；附图2为本发明真空蒸镀设备的内部结构示意图；附图3为本发明真空蒸镀设备中气化罐的内部结构示意图；附图4为本发明真空蒸镀设备中气化罐的局部结构示意图；附图5为本发明真空蒸镀设备中过滤板的结构示意图；附图6为本发明真空蒸镀设备中净化箱的内部结构示意图；附图7为本发明附图6的a处放大图；附图8为本发明真空蒸镀设备中净化箱的局部结构示意图；附图9为本发明真空蒸镀设备中净化箱的局部结构剖视图。
18.以上附图中：1、底板；2、第一电机；3、支撑板；4、支撑杆；5、收卷辊；7、横板；8、固定杆；9、电机架；10、第二电机；11、气化罐；12、减震外壳；13、第一导管；14、净化箱；15、第二导管；16、第三导管；17、导气泵；18、蒸镀箱；19、第一蒸镀盘；20、第二蒸镀盘；21、第一传动辊；22、第二传动辊；23、过滤板；24、第二转杆；25、第二搅拌杆；26、搅拌针；27、搅拌槽；28、连接杆；29、搅拌柱；30、过滤孔；31、弹簧；32、第三电机；33、隔板；34、连接轴；35、活性炭吸附层；36、细过滤网；37、粗过滤网；38、弧形板；39、减重槽；40、第三转杆；41、旋转板；42、搅拌块；43、第三搅拌杆；44、搅拌板；45、第一通风槽；46、通风框；47、火山石；48、第二通风槽。
实施方式
19.通过下面给出的具体实施例可以进一步清楚地了解本专利，但它们不是对本专利的限定。
20.实施例1：一种真空蒸镀设备，包括：底板1，在所述底板1的上方设置有一蒸镀箱18，此蒸镀箱18的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐11，所述气化罐11与蒸镀箱18之间设置有一净化箱14、导气泵17，所述净化箱14与气化罐11之间通过一第一导管13连通连接，所述净化箱14与导气泵17的进气端之间通过一第二导管15连通连接，所述导气泵17的出气端与所述蒸镀箱18之间通过一第三导管16连通连接，所述底板1的顶部外壁四角均设置有一支撑杆4，且四个所述支撑杆4的外壁之间设置有一支撑板3，所述蒸镀箱18固定安装在所述支撑板3的顶部；将设备连接电源，打开第一电机，第一电机带动第一转杆进行转动，进而收卷辊开始转动可带动薄膜进行传动，调节第一电机的转速即可调节薄膜的传动速度，通过将第一蒸镀盘和第二蒸镀盘的倾斜方向相反设置，通过第二转动辊对薄膜进行快速的传动，可以
对薄膜的外壁进行快速且均匀的蒸镀，提高蒸镀效果；在所述气化罐11的内部转动安装有一第二转杆24，在所述第二转杆24的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的第二搅拌杆25，若干个所述第二搅拌杆25相互交错分布，且所述第二搅拌杆25的端部设置有一具有搅拌针26、搅拌柱29的连接杆28，所述搅拌柱29设置在所述连接杆28端部的中央位置，所述搅拌针26以搅拌柱29为圆心呈环形等距间隔分布，在所述气化罐11的内部且位于所述第二转杆24的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔30的过滤板23；打开第二电机，第二电机带动第二转杆进行转动，进而第二搅拌杆开始旋转，相互交错分布的第二搅拌杆和搅拌针在旋转时，可以对蒸镀物质进行充分的混匀，可以有效的使升华或气化了的蒸镀粒子均匀的导出，通过打开导气泵可以快速的将气化或升华后的蒸镀物质的气体快速导入到净化箱和蒸镀箱中；在所述净化箱14的内部一侧转动安装有一第三转杆40，所述第三转杆40的外壁设置有若干个弧形结构的第三搅拌杆43，所述第三搅拌杆43等距间隔分布，且所述第三搅拌杆43的外壁相对设置有搅拌块42、具有波浪形结构的搅拌板44，所述搅拌块42、搅拌板44均倾斜设置；在所述净化箱14的内部另一侧且垂直于第三转杆40设置有一具有若干旋转板41的连接轴34，等距离分布的所述旋转板41与连接轴34的外壁活动连接；打开第三电机，第三电机带动第三转杆进行转动，进而第三搅拌杆、搅拌块和搅拌板均开始转动，可以继续对蒸镀物质进行均匀混合。
21.在上述净化箱14的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽45的隔板33、上部开设有第二通风槽48的弧形板38，位于上述隔板33与弧形板38之间设置有活性炭吸附层35、细过滤网36和粗过滤网37，且上述活性炭吸附层35、细过滤网36和粗过滤网37自上而下依次分布；通过设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，将升华和气化后的蒸镀物质通过粗过滤网、细过滤网和活性炭吸附层进行有效的过滤和吸附，提高了过滤效果，大大降低了蒸镀物质中的杂质含量，提升了蒸镀物质的质量。
22.上述过滤板23的四个拐角与所述气化罐11的内壁之间均设置一弹簧31。
23.上述净化箱14的外壁设置有一第三电机32，且第三电机32的输出轴通过联轴器连接有所述第三转杆40。
24.上述位于同一侧的两个支撑杆4的顶部之间设置有一横板7，其中一个所述横板7的顶部安装有一固定杆8，另一个所述横板7的顶部安装有所述导气泵17。
25.上述气化罐11的一侧外壁设置有一内壁设置有第二电机10的电机架9，此电机架9与所述固定杆8固定连接，所述第二电机10的输出端通过联轴器连接有所述第二转杆24。
26.上述蒸镀箱18的顶部内壁相对设置有第一蒸镀盘19、第二蒸镀盘20，且第一蒸镀盘19、第二蒸镀盘20的倾斜方向相反。
27.上述第三导管16的另一端通过三通管连接有两个第四导管，且两个第四导管的另一端分别连接于第一蒸镀盘19的一侧内壁和第二蒸镀盘20的一侧内壁。
28.上述罐体11的外壁设置有一减震壳12。
29.实施例2：一种真空蒸镀设备，包括：底板1，在所述底板1的上方设置有一蒸镀箱
18，此蒸镀箱18的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐11，所述气化罐11与蒸镀箱18之间设置有一净化箱14、导气泵17，所述净化箱14与气化罐11之间通过一第一导管13连通连接，所述净化箱14与导气泵17的进气端之间通过一第二导管15连通连接，所述导气泵17的出气端与所述蒸镀箱18之间通过一第三导管16连通连接，所述底板1的顶部外壁四角均设置有一支撑杆4，且四个所述支撑杆4的外壁之间设置有一支撑板3，所述蒸镀箱18固定安装在所述支撑板3的顶部；在所述气化罐11的内部转动安装有一第二转杆24，在所述第二转杆24的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的第二搅拌杆25，若干个所述第二搅拌杆25相互交错分布，且所述第二搅拌杆25的端部设置有一具有搅拌针26、搅拌柱29的连接杆28，所述搅拌柱29设置在所述连接杆28端部的中央位置，所述搅拌针26以搅拌柱29为圆心呈环形等距间隔分布，在所述气化罐11的内部且位于所述第二转杆24的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔30的过滤板23；通过第二搅拌杆进行转动时产生较大的旋涡，有利于蒸镀物质混合均匀，且过滤板可以对聚团的蒸镀物质进行过滤，改善了蒸镀颗粒的一致性，同时，过滤板与本体内壁之间弹性连接，通过旋涡带动过滤板弹性震动，也大大减少了过滤板堵塞的情况，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性；在所述净化箱14的内部一侧转动安装有一第三转杆40，所述第三转杆40的外壁设置有若干个弧形结构的第三搅拌杆43，所述第三搅拌杆43等距间隔分布，且所述第三搅拌杆43的外壁相对设置有搅拌块42、具有波浪形结构的搅拌板44，所述搅拌块42、搅拌板44均倾斜设置；在所述净化箱14的内部另一侧且垂直于第三转杆40设置有一具有若干旋转板41的连接轴34，等距离分布的所述旋转板41与连接轴34的外壁活动连接；通过第三转杆进行转动，进而带动第三搅拌杆、搅拌块和搅拌板转动，对蒸镀物质进行均匀混合，且搅拌块和搅拌板均为倾斜搅拌且为不同的形状可产生不同大小和角度的旋涡，有效地提高了蒸镀物质的混合效果。
30.在上述净化箱14的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽45的隔板33、上部开设有第二通风槽48的弧形板38，位于上述隔板33与弧形板38之间设置有活性炭吸附层35、细过滤网36和粗过滤网37，且上述活性炭吸附层35、细过滤网36和粗过滤网37自上而下依次分布；搅拌块和搅拌板均为倾斜搅拌且为不同的形状可产生不同大小和角度的旋涡，将升华和气化后的蒸镀物质通过粗过滤网、细过滤网和活性炭吸附层进行有效的过滤和吸附。
31.上述位于活性炭吸附层35的上方设置有一通风框46，此通风框46的内部填充有若干个火山石47；通过设置有通风框和火山石，进一步的提高蒸镀颗粒的过滤效果。
32.上述过滤板23的四个拐角与所述气化罐11的内壁之间均设置一弹簧31。
33.上述净化箱14的外壁设置有一第三电机32，且第三电机32的输出轴通过联轴器连接有所述第三转杆40。
34.上述位于同一侧的两个支撑杆4的顶部之间设置有一横板7，其中一个所述横板7
的顶部安装有一固定杆8，另一个所述横板7的顶部安装有所述导气泵17。
35.上述气化罐11的一侧外壁设置有一内壁设置有第二电机10的电机架9，此电机架9与所述固定杆8固定连接，所述第二电机10的输出端通过联轴器连接有所述第二转杆24。
36.上述蒸镀箱18的顶部内壁相对设置有第一蒸镀盘19、第二蒸镀盘20，且第一蒸镀盘19、第二蒸镀盘20的倾斜方向相反。
37.上述蒸镀箱18的内壁设置有上下相互交错分布的第二传动辊22，该第二传动辊22用于传输基布。
38.位于一侧的两个支撑杆4之间活动连接有第一传动辊21，位于另一侧的两个支撑杆4之间活动连接有收卷辊5。
39.在所述支撑杆4的外壁设置有第一电机2，且所述第一电机2的输出轴通过联轴器连接有第一转杆，所述第一转杆的外壁设置有收卷辊5。
40.上述第二搅拌杆25外壁开设有搅拌槽27。
41.上述旋转板41的外壁开设有减重槽39。
42.工作原理为：使用时，将设备连接电源，打开第一电机，第一电机带动第一转杆进行转动，进而收卷辊开始转动可带动薄膜进行传动，调节第一电机的转速即可调节薄膜的传动速度，通过将第一蒸镀盘和第二蒸镀盘的倾斜方向相反设置，通过第二转动辊对薄膜进行快速的传动，可以对薄膜的外壁进行快速且均匀的蒸镀，提高蒸镀效果；打开第二电机，第二电机带动第二转杆进行转动，进而第二搅拌杆开始旋转，相互交错分布的第二搅拌杆和搅拌针在旋转时，可以对蒸镀物质进行充分的混匀，可以有效的使升华或气化了的蒸镀粒子均匀的导出，通过打开导气泵可以快速的将气化或升华后的蒸镀物质的气体快速导入到净化箱和蒸镀箱中，打开第三电机，第三电机带动第三转杆进行转动，进而第三搅拌杆、搅拌块和搅拌板均开始转动，可以继续对蒸镀物质进行均匀混合，搅拌块和搅拌板均为倾斜搅拌且为不同的形状可产生不同大小和角度的旋涡，将升华和气化后的蒸镀物质通过粗过滤网、细过滤网和活性炭吸附层进行有效的过滤和吸附，通过设置有通风框和火山石，进一步的提高蒸镀颗粒的过滤效果。
43.采用上述真空蒸镀设备时，其通过第二搅拌杆进行转动时产生较大的旋涡，有利于蒸镀物质混合均匀，且过滤板可以对聚团的蒸镀物质进行过滤，改善了蒸镀颗粒的一致性，同时，过滤板与本体内壁之间弹性连接，通过旋涡带动过滤板弹性震动，也大大减少了过滤板堵塞的情况，从而提高了蒸镀物质附着的均匀性；进一步的，其在气化管对蒸镀物质进行混合、过滤的基础上，通过第三转杆进行转动，进而带动第三搅拌杆、搅拌块和搅拌板转动，对蒸镀物质再次进行均匀混合，且搅拌块和搅拌板均为倾斜搅拌且为不同的形状可产生不同大小和角度的旋涡，进一步提高了蒸镀物质的混合效果；还有，其净化箱的内部设置有一下部开设有通风槽的隔板，位于通风槽的上方且在隔板与弧形板之间设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，且活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网自上而下依次分布，通过设置有活性炭吸附层、细过滤网和粗过滤网，将升华和气化后的蒸镀物质通过粗过滤网、细过滤网和活性炭吸附层进行有效的过滤和吸附，提高了过滤效果，大大降低了蒸镀物质中的杂质含量，提升了蒸镀物质的质量。
44.上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种真空蒸镀设备，包括：底板（1），其特征在于：在所述底板（1）的上方设置有一蒸镀箱（18），此蒸镀箱（18）的顶部固定安装有一内部具有蒸镀物质的气化罐（11），所述气化罐（11）与蒸镀箱（18）之间设置有一净化箱（14）、导气泵（17），所述净化箱（14）与气化罐（11）之间通过一第一导管（13）连通连接，所述净化箱（14）与导气泵（17）的进气端之间通过一第二导管（15）连通连接，所述导气泵（17）的出气端与所述蒸镀箱（18）之间通过一第三导管（16）连通连接，所述底板（1）的顶部外壁四角均设置有一支撑杆（4），且四个所述支撑杆（4）的外壁之间设置有一支撑板（3），所述蒸镀箱（18）固定安装在所述支撑板（3）的顶部；在所述气化罐（11）的内部转动安装有一第二转杆（24），在所述第二转杆（24）的外壁上且沿其长度方向设置有若干个波浪形结构的第二搅拌杆（25），若干个所述第二搅拌杆（25）相互交错分布，且所述第二搅拌杆（25）的端部设置有一具有搅拌针（26）、搅拌柱（29）的连接杆（28），所述搅拌柱（29）设置在所述连接杆（28）端部的中央位置，所述搅拌针（26）以搅拌柱（29）为圆心呈环形等距间隔分布，在所述气化罐（11）的内部且位于所述第二转杆（24）的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔（30）的过滤板（23）；在所述净化箱（14）的内部一侧转动安装有一第三转杆（40），所述第三转杆（40）的外壁设置有若干个弧形结构的第三搅拌杆（43），所述第三搅拌杆（43）等距间隔分布，且所述第三搅拌杆（43）的外壁相对设置有搅拌块（42）、具有波浪形结构的搅拌板（44），所述搅拌块（42）、搅拌板（44）均倾斜设置；在所述净化箱（14）的内部另一侧且垂直于第三转杆（40）设置有一具有若干旋转板（41）的连接轴（34），等距离分布的所述旋转板（41）与连接轴（34）的外壁活动连接。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：在所述净化箱（14）的内部间隔设置有一下部开设有第一通风槽（45）的隔板（33）、上部开设有第二通风槽（48）的弧形板（38），位于所述隔板（33）与弧形板（38）之间设置有活性炭吸附层（35）、细过滤网（36）和粗过滤网（37），且所述活性炭吸附层（35）、细过滤网（36）和粗过滤网（37）自上而下依次分布。3.根据权利要求2所述的真空蒸镀设备，其特征在于：位于所述活性炭吸附层（35）的上方设置有一通风框（46），此通风框（46）的内部填充有若干个火山石（47）。4.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述过滤板（23）的四个拐角与所述气化罐（11）的内壁之间均设置一弹簧（31）。5.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述净化箱（14）的外壁设置有一第三电机（32），且第三电机（32）的输出轴通过联轴器连接有所述第三转杆（40）。6.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：位于同一侧的两个所述支撑杆（4）的顶部之间设置有一横板（7），其中一个所述横板（7）的顶部安装有一固定杆（8），另一个所述横板（7）的顶部安装有所述导气泵（17）。7.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述气化罐（11）的一侧外壁设置有一内壁设置有第二电机（10）的电机架（9），此电机架（9）与所述固定杆（8）固定连接，所述第二电机（10）的输出端通过联轴器连接有所述第二转杆（24）。8.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱（18）的顶部内壁相对设置有第一蒸镀盘（19）、第二蒸镀盘（20），且第一蒸镀盘（19）、第二蒸镀盘（20）的倾斜方向相反。9.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱（18）的内壁设置有上
下相互交错分布的第二传动辊（22）。

技术总结
本发明公开一种真空蒸镀设备，其蒸镀箱的顶部固定安装有气化罐，气化罐与蒸镀箱之间设置有一净化箱，在气化罐的内部转动安装有一第二转杆，在第二转杆的外壁上设置有第二搅拌杆，第二搅拌杆的端部设置有一具有搅拌针、搅拌柱的连接杆，在气化罐的内部且位于第二转杆的上方弹性安装有一具有若干个过滤孔的过滤板，在净化箱的内部一侧转动安装有一第三转杆，第三转杆的外壁设置有若干个的第三搅拌杆，第三搅拌杆的外壁相对设置有搅拌块、具有波浪形结构的搅拌板。本发明真空蒸镀设备能够多次对蒸镀物质进行均匀混合，并对蒸镀物质进行多次过滤，有效改善了蒸镀物质的混合效果以及蒸镀颗粒的一致性，从而提高了装置的蒸镀质量。量。量。


技术研发人员：谢洪涛 徐杰
受保护的技术使用者：苏州义铠轩电子科技有限公司
技术研发日：2023.06.28
技术公布日：2023/9/22