掩膜板及其使用方法、掩膜板组件与流程

1.本技术属于显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其使用方法、掩膜板组件。


背景技术：

2.目前oled显示技术在显示屏行业已得到广泛应用，制作oled显示屏有蒸镀技术、喷墨打印技术、旋涂技术等，但蒸镀技术是目前最为成熟的技术。蒸镀技术采用精密掩膜板(fmm)将有机发光材料蒸镀至衬底指定位置。
3.行业中会通过传统的条状掩膜板起到支撑精密掩膜板的作用，沿行或列方向延伸的条状掩膜板可交叉设置，形成矩形的蒸镀区域，但对于外形不规则的oled屏，考虑到传统的条状掩膜板遮挡精度和支撑效果较差，无法满足使用需求，此时就需采用面状掩膜版(一种类似将传统的沿行或列方向延伸的条状掩膜板合在一起做成一个整体的网面)来支撑遮挡精密掩膜板(fmm)。但是面状的掩膜板张网过程中容易产生不良，影响蒸镀良率。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供了一种掩膜板及其使用方法、掩膜板组件，可降低掩膜板与精密掩膜板之间的缝隙，同时可改善掩膜板与精密掩膜板之间的褶皱，有助于提升蒸镀质量。
5.本技术实施例第一方面的实施例提供了一种掩膜板，包括：
6.本体部，所述本体部内形成有多个间隔排布的预设区域，所述预设区域内设有蒸镀开口；
7.第一减重部，位于所述预设区域内，且围绕所述蒸镀开口的边缘中的至少部分设置，所述第一减重部与所述蒸镀开口的边缘相接触；
8.第一支撑部，位于所述预设区域内，且围绕所述蒸镀开口设置，所述第一支撑部位于所述第一减重部远离所述蒸镀开口一侧；
9.第二减重部，位于所述预设区域内，所述第二减重部位于所述第一支撑部远离所述蒸镀开口一侧且为围绕所述第一支撑部一圈设置的环形；
10.其中，所述第一减重部、所述第二减重部的厚度小于所述第一支撑部的厚度。
11.根据本发明第一方面的实施方式，所述第一减重部为围绕所述蒸镀开口的边缘的环状；或者，
12.所述第一减重部的数量为多个，且沿所述蒸镀开口的边缘均匀分布，所述第一支撑部中的部分延伸至相邻所述第一减重部之间；
13.优选的，所述蒸镀开口的边缘包括转角区，所述第一减重部设置于所述转角区背离所述蒸镀开口的一侧边缘位置处。
14.根据本发明第一方面前述任一实施方式，所述第一减重部和所述第二减重部的厚度相等，或者，所述第一减重部的厚度大于所述第二减重部的厚度；
15.所述第一支撑部的厚度等于所述本体部的厚度。
16.根据本发明第一方面前述任一实施方式，所述预设区域呈行列排布，所述本体部
内还形成有第三减重部和/或第四减重部，所述第三减重部设置于沿行方向相邻的所述预设区域之间，所述第四减重部设置于沿列方向相邻的所述预设区域之间；
17.优选的，所述本体部整面连续设置。
18.根据本发明第一方面前述任一实施方式，沿行方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有一个所述第三减重部，沿列方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有一个所述第四减重部；或者；
19.沿行方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有多个所述第三减重部，多个所述第三减重部沿列方向或行方向排列，沿列方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有多个所述第四减重部，多个所述第四减重部沿行方向或列方向排列；
20.优选的，还包括第五减重部，所述第五减重部设置于相邻所述第三减重部和/或相邻所述第四减重部之间。
21.根据本发明第一方面前述任一实施方式，沿行方向或列方向相邻的第一预设区和第二预设区之间的最小距离为预设值，其中，所述第一预设区为所述预设区域、所述第三减重部、所述第四减重部、所述第五减重部中的任意一者，所述第二预设区为所述预设区域、所述第三减重部、所述第四减重部、所述第五减重部中的任意一者。
22.根据本发明第一方面前述任一实施方式，所述掩膜板包括第一表面和第二表面，在所述第一表面和/或所述第二表面刻蚀后形成所述第一减重部和/或所述第二减重部；
23.优选地，位于所述第一表面刻蚀后形成的所述第一减重部和位于所述第二表面刻蚀后形成的所述第一减重部沿所述掩膜板厚度方向的尺寸相同；位于所述第一表面刻蚀后形成的所述第二减重部和位于所述第二表面刻蚀后形成的所述第二减重部沿所述掩膜板厚度方向的尺寸相同。
24.根据本发明第一方面前述任一实施方式，所述蒸镀开口的边缘包括平直区和转角区，所述第一减重部包括与所述转角区相对设置的第一弧角区，所述第二减重部朝向所述蒸镀开口的一侧包括与所述第一弧角区相对设置的第二弧角区。
25.本技术第二方面的实施例还提供了一种掩膜板组件，其特征在于，包括本技术第一方面提供的任意一种掩膜板；还包括精密掩膜板，所述精密掩膜板叠放于所述掩膜板中设置有所述第一减重部的一侧表面。
26.本技术第三方面的实施例还提供了一种掩膜板的使用方法，其特征在于，包括：
27.提供待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括显示区；
28.提供本技术第一方面提供的任意一种掩膜板，所述掩膜板包括蒸镀开口，所述蒸镀开口与所述显示区中心重合的状态下，所述蒸镀开口边缘的平直区与所述显示区边缘之间的最小间距为a，所述蒸镀开口边缘的转角区与所述显示区边缘之间的最小间距为a，a《a；
29.将所述待蒸镀基板的蒸镀侧与所述掩膜板贴合设置，使得所述显示区与所述蒸镀开口对位，由所述掩膜板背离所述待蒸镀基板侧向所述待蒸镀基板喷射蒸镀材料；
30.优选地，0.12mm≤a《0.2mm，0.12mm《a≤0.2mm。
31.本技术提供的掩膜板用于对精密掩膜板进行支撑，该掩膜板包括本体部、第一减重部、第一支撑部和第二减重部。本体部内形成有多个间隔排布的预设区域，每个预设区域内设有蒸镀开口，每个蒸镀开口可用于与一个显示面板的显示区对应，蒸镀开口的形状与
显示区的形状相匹配，本体部内多个相同的预设区域间隔设置，从而可使得应力分布均匀。预设区域可为规则的区域，从而可当蒸镀开口为异形时，对各个异形的蒸镀开口的周围区域进行规则化，有助于提升本体部各区域的应力分布均一性。每个预设区域内包括第一减重部、第一支撑部和第二减重部，其中，第一减重部围绕蒸镀开口的边缘中的至少部分设置，且第一减重部与蒸镀开口的边缘相接触，即第一减重部紧邻蒸镀开口设置，且第一减重部的厚度小于第一支撑部的厚度，一方面可降低掩膜板的重量，改善其下沉的现象，同时降低张网时出现褶皱的概率；另一方面可改善掩膜板与精密掩膜板贴合过紧的问题，从而有助于掩膜板进行延展，改善褶皱；同时，第一减重部的厚度小于第一支撑部的厚度，从而可形成容纳空间，可用于容纳异物，改善由于异物位于掩膜板与精密掩膜板之间而造成二者的划伤现象，从而有助于保护精密掩膜板和掩膜板。第一支撑部位于第一减重部远离蒸镀开口一侧，且第一支撑部围绕蒸镀开口设置，第一支撑部可在蒸镀开口的周向为精密掩膜板提供良好的支撑，同时有助于提升掩膜板与精密掩膜板之间的贴合压力，从而保证二者之间的贴合紧密度，从而可降低由于掩膜板下沉使得掩膜板与精密掩膜板之间产生缝隙或褶皱的概率。第二减重部位于第一支撑部远离蒸镀开口一侧，第二减重部围绕第一支撑部的一圈呈环状设置，即第二减重部由第一减重部背离蒸镀开口的一侧边缘包围第一减重部，并呈围绕第一减重部以及蒸镀开口的环状结构，从而可实现蒸镀开口周围方向的均匀减重，可降低掩膜板的重量，改善掩膜板下沉的现象，同时降低张网时出现褶皱的概率。即本技术提供的掩膜板可降低掩膜板与精密掩膜板之间的缝隙，同时可改善掩膜板与精密掩膜板之间的褶皱，有助于提升蒸镀质量，提升显示良率。
附图说明
32.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
33.图1是本技术实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；
34.图2是图1中p-p’的剖视图；
35.图3是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
36.图4是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
37.图5是图1中p-p’的另一种剖视图；
38.图6是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
39.图7是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
40.图8是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
41.图9是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
42.图10是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
43.图11是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
44.图12是图1中p-p’的另一种剖视图；
45.图13是本技术实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；
46.图14是本技术实施例提供的一种掩膜板组件的结构示意图；
47.图15是本技术实施例提供的一种掩膜板组件的使用状态参考图；
48.图16是本技术实施例提供的一种掩膜板组件的使用状态下对位示意图。
49.附图中：
50.1-掩膜板；11-本体部；111-预设区域；112-蒸镀开口；121-第一弧角区；141-第二弧角区；1121-平直区；1122-转角区；12-第一减重部；13-第一支撑部；14-第二减重部；15-第三减重部；16-第四减重部；17-第五减重部；x-行方向；y-列方向；a1-第一表面；a2-第二表面；2-掩膜板组件；21-精密掩膜板；3-待蒸镀基板；31-显示区；41-磁吸部；42-蒸镀源。
具体实施方式
51.下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本技术的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术的更好的理解。
52.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
53.发明人经研究发现，面状的掩膜板张网过程中容易产生不良，影响蒸镀良率的原因在于：面状掩膜板面积较大，由于自身的重量影响，实体区的中部容易下沉，在张网过程中容易产生褶皱，或者面状掩膜板的中部与衬底之间的缝隙大于面状掩膜板的边缘与衬底之间的缝隙，从而使得在将有机发光材料蒸镀至衬底上的指定位置的同时，有机发光材料容易通过面状掩膜板的中部与衬底之间的缝隙或者褶皱位置处蒸镀至衬底，使得指定位置的周边新增一部分有机发光材料，从而出现蒸镀不良，且这部分新增的有机发光材料位于相邻的指定位置之间，从而使得相邻的指定位置处的有机发光材料之间容易产生混色，造成显示不良，影响显示良率。基于对上述问题的研究，发明人提供了一种掩膜板及其使用方法、掩膜板组件，以提升蒸镀良率。
54.为了更好地理解本技术，下面结合图1至图16根据本技术实施例的掩膜板及其使用方法、掩膜板组件进行详细描述。
55.请参阅图1和图2，本技术实施例提供了一种掩膜板1，包括本体部11、第一减重部12、第一支撑部13和第二减重部14。本体部11内形成有多个间隔排布的预设区域111，预设区域111内设有蒸镀开口112。第一减重部12位于预设区域111内，且围绕蒸镀开口112的边缘中的至少部分设置，第一减重部12与蒸镀开口112的边缘相接触。第一支撑部13位于预设区域111内，且围绕蒸镀开口112设置，第一支撑部13位于第一减重部12远离蒸镀开口112一侧。第二减重部14位于预设区域111内，第二减重部14位于第一支撑部13远离蒸镀开口112一侧且为围绕第一支撑部13设置的环形；其中，第一减重部12、第二减重部14的厚度小于第一支撑部13的厚度。
56.本技术提供的掩膜板1用于对精密掩膜板21进行支撑，该掩膜板1包括本体部11、第一减重部12、第一支撑部13和第二减重部14。本体部11内形成有多个间隔排布的预设区域111，每个预设区域111内设有蒸镀开口112，每个蒸镀开口112可用于与一个显示面板的显示区对应，蒸镀开口112的形状与显示区的形状相匹配，本体部11内多个相同的预设区域111间隔设置，从而可使得应力分布均匀。预设区域111可为规则的区域，从而可当蒸镀开口112为异形时，对各个异形的蒸镀开口112的周围区域进行规则化，有助于提升本体部11各区域的应力分布均一性。每个预设区域111内包括第一减重部12、第一支撑部13和第二减重部14，其中，第一减重部12围绕蒸镀开口112的边缘中的至少部分设置，且第一减重部12与蒸镀开口112的边缘相接触，即第一减重部12紧邻蒸镀开口112设置，且第一减重部12的厚度小于第一支撑部13的厚度，一方面可降低掩膜板1的重量，改善其下沉的现象，同时降低张网时出现褶皱的概率；另一方面可改善掩膜板1与精密掩膜板21贴合过紧的问题，从而有助于掩膜板1进行延展，改善褶皱；同时，第一减重部12的厚度小于第一支撑部13的厚度，从而可形成容纳空间，可用于容纳异物，改善由于异物位于掩膜板1与精密掩膜板21之间而造成二者的划伤现象，从而有助于保护精密掩膜板21和掩膜板1。第一支撑部13位于第一减重部12远离蒸镀开口112一侧，且第一支撑部13围绕蒸镀开口112设置，第一支撑部13可在蒸镀开口112的周向为精密掩膜板21提供良好的支撑，同时有助于提升掩膜板1与精密掩膜板21之间的贴合压力，从而保证二者之间的贴合紧密度，从而可降低由于掩膜板1下沉使得掩膜板1与精密掩膜板21之间产生缝隙或褶皱的概率。第二减重部14位于第一支撑部13远离蒸镀开口112一侧，第二减重部14围绕第一支撑部13的一圈呈环状设置，即第二减重部14由第一减重部13背离蒸镀开口的一侧边缘包围第一减重部13，并呈围绕第一减重部14以及蒸镀开口的环状结构，从而可实现蒸镀开口112周围方向的均匀减重，可降低掩膜板1的重量，改善掩膜板1下沉的现象，同时降低张网时出现褶皱的概率。即本技术提供的掩膜板1可降低掩膜板1与精密掩膜板21之间的缝隙，同时可改善掩膜板1与精密掩膜板21之间的褶皱，有助于提升蒸镀质量，提升显示良率。
57.在一种可行的实施方式中，如图1所示，第一减重部12为围绕蒸镀开口112的边缘的环状。
58.在上述实施方式中，将第一支撑部12设计为围绕蒸镀开口112边缘的环状，从而可在蒸镀开口112边缘方向上提供均匀的减重效果，有助于沿蒸镀开口112的周向使得掩膜板1进行延展，从而精密掩膜板21降低出现褶皱的概率，避免由于掩膜板1与精密掩膜板贴合过紧而使得掩膜板1无法延展从而出现褶皱并在紧密的贴合作用下使得褶皱固定，从而影响张网效果。
59.在另一种可行的实施方式中，如图3所示，第一减重部12的数量为多个，且沿蒸镀开口112的边缘均匀分布，第一支撑部13中的部分延伸至相邻第一减重部12之间。
60.在上述实施方式中，第一减重部12的数量为多个，且沿蒸镀开口112的边缘均匀分布，第一支撑部13中的部分延伸至相邻第一减重部12之间从而使得第一支撑部13在蒸镀开口112的周向为精密掩膜板21提供较为均匀的支撑，防止出现倾斜的现象，有助于提升对位精度，从而提升蒸镀效果。同时第一减重部12的数量为多个，且沿蒸镀开口112的边缘均匀分布，从而可提升掩膜板1在靠近蒸镀开口112位置处的延展性，并使得延展位置较为均一，从而降低褶皱产生的概率。
61.在上述实施方式中，蒸镀开口112的边缘包括转角区1122，转角区1122更易产生褶皱，第一减重部12设置于转角区1122背离蒸镀开口112的一侧边缘位置处，可进一步降低转角区1122产生褶皱的概率。
62.在上述实施方式中，第一减重部12可部分位于转角区，部分位于平直区1121，或者也可均位于平直区1121，本技术不做特别限定，仅使得第一减重部12沿蒸镀开口112的边缘均匀分布即可。
63.在另一种可行的实施方式中，如图4所示，第一减重部12的数量为多个，且对应蒸镀开口112的转角区1122设置，转角区1122较平直区1121在张网过程中更容易产生褶皱，第一减重部12对应转角区1122设置，可降低转角区1122与精密掩膜板21之间的贴合紧密度，从而提升掩膜板1在转角区1122的延展性，以降低张网过程中的褶皱。
64.在一种可行的实施方式中，如图2所示，第一减重部12和第二减重部14的厚度相等，或者，如图5所示，第一减重部12的厚度大于第二减重部14的厚度。
65.在上述实施方式中，如图2所示，第一减重部12与第二减重部14的厚度相等，从而可采用相同工艺同一道工艺制备，可节省制备成本。
66.或者，如图5所示，第一减重部12的厚度大于第二减重部14的厚度，即第一减重部12的厚度较大，第二减重部14的厚度较小。第一减重部12的厚度较大，从而可使得第一减重部12可在蒸镀开口112的周向提供更强的支撑力，提升张网效果。第二减重部14的厚度较小，从而可进一步降低掩膜板1的重量，以进一步改善由于掩膜板1自身重量造成的下沉现象，从而有助于提升张网效果。
67.上述实施方式中，第一减重部12和第二减重部14的厚度可为本体部11厚度的50％-85％，本技术不做特别限定。
68.上述实施方式中，第一减重部12的宽度可为0.5mm-4mm；第一支撑部13的宽度可为1mm-4mm；第二减重部14的宽度可为1mm-8mm。上述宽度为每个部分朝向蒸镀开口112的一侧边缘与背离蒸镀开口112的一侧边缘之间的距离。
69.在一种可行的实施方式中，如图2和图5所示，第一支撑部13沿掩膜板厚度方向的尺寸等于本体部11沿掩膜板厚度方向的尺寸。从而可提升掩膜板1的支撑效果。
70.在一种可行的实施方式中，预设区域111呈行列排布，本体部11内还形成有第三减重部15和/或第四减重部16，第三减重部15设置于沿行方向x相邻的预设区域111之间，第四减重部16设置于沿列方向y相邻的预设区域111之间。
71.在上述实施方式中，预设区域111呈行列排布，从而可提升掩膜板1中应力分布的均匀度，提升张网的平展度。
72.在上述实施方式中，如图6所示，本体部11内还可形成有第三减重部15，第三减重部15设置于沿行方向x相邻的预设区域111之间，从而可进一步降低掩膜板1的重量，同时，可进一步提升掩膜板1中应力分布的均匀度，即降低掩膜板1中单位面积内体积的大小差异，从而改善张网过程中出现褶皱的现象。
73.在上述实施方式中，如图7所示，本体部11内还可形成有第四减重部16，第四减重部16设置于沿列方向y相邻的预设区域111之间。从而可进一步降低掩膜板1的重量，同时，可进一步提升掩膜板1中应力分布的均匀度，即降低掩膜板1中单位面积内体积的大小差异，从而改善张网过程中出现褶皱的现象。
74.在上述实施方式中，本体部11整面连续设置，第三减重部15和第四减重部16位于本体部11内部，第三减重部15与相邻预设区域111之间保留有本体部11，第四减重部16与相邻的预设区域111之间保留有本体部11，即保留了相邻预设区域111行间以及列间的本体部11，掩膜板1中本体部11起重要的支撑作用，使得本体部11整面连续设置从而一方面可提升掩膜板1对精密掩膜板21的支撑效果，另一方面，掩膜板1在张网过程中，对预设区域111行间以及列间的位置进行拉伸并与支撑框架固定，保留位于相邻预设区域111行间以及列间的本体部11从而可在拉伸过程中有利于张网拉力的传输。
75.在一种可行的实施方式中，如图8所示，沿行方向x相邻的任意两个预设区域111之间形成有一个第三减重部15，沿列方向y相邻的任意两个预设区域111之间形成有一个第四减重部16。
76.在上述实施方式中，第三减重部15和第四减重部16在掩膜板1中均匀分布，从而有助于提升掩膜板1的应力分布均匀性，提升其张网后的平展度。
77.在上述实施方式中，第三减重部15与预设区域111之间的间距可大于或等于2mm，第三减重部15沿相邻预设区域111之间方向的宽度可小于或等于相邻预设区域111之间间距减去4mm。第四减重部16与预设区域111之间的间距可大于或等于2mm，第四减重部16沿相邻预设区域111之间方向的宽度可小于或等于相邻预设区域111之间间距减去4mm。一方面可保证制备良率，另一方面可保证本体部11的支撑效果。
78.在一种可行的实施方式中，如图9所示，沿行方向x相邻的任意两个预设区域111之间形成有多个第三减重部15，多个第三减重部15沿列方向y或行方向x排列。如图10和图11所示，沿列方向y相邻的任意两个预设区域111之间形成有多个第四减重部16，多个第四减重部16沿行方向x或列方向y排列。
79.在上述实施方式中，第三减重部15和第四减重部16的形状可为矩形、圆形、椭圆形等，本技术不做特别限定。
80.在上述实施方式中，当沿行方向x相邻的任意两个预设区域111之间形成有多个第三减重部15，多个第三减重部15沿列方向y或行方向x排列，即将位于沿行方向x相邻两个预设区域111之间的多个第三减重部15设置为规则排列，有助于提升掩膜板1的应力分布均匀性，提升其张网后的平展度。同时，相邻第三减重部15之间保留有本体部11，从而可提升掩膜板1对精密掩膜板21的支撑效果，同时有利于张网拉力沿列方向y的传输。
81.在上述实施方式中，当沿列方向y相邻的任意两个预设区域111之间形成有多个第四减重部16，多个第四减重部16沿行方向x或列方向y排列，即将位于沿行方向x相邻两个预设区域111之间的多个第四减重部16设置为规则排列，有助于提升掩膜板1的应力分布均匀性，提升其张网后的平展度。同时，相邻第四减重部16之间保留有本体部11，从而可提升掩膜板1对精密掩膜板21的支撑效果，同时有利于张网拉力沿行方向x的传输。
82.在一种可行的实施方式中，如图8所示，还包括第五减重部17，第五减重部17设置于相邻第三减重部15和/或相邻第四减重部16之间。即第五减重部17设置于呈田字型排列的四个预设区域111的中心位置处，从而可对位于上述中心位置处进行减重，进一步提升掩膜板1的应力分布均匀性。
83.在一种可行的实施方式中，如图4、图6、图7、图8、图9、图10和、图11所示，沿行方向或列方向相邻的第一预设区和第二预设区之间的最小距离为预设值d，其中，第一预设区为
预设区域111、第三减重部15、第四减重部16、第五减重部17中的任意一者，第二预设区为预设区域111、第三减重部15、第四减重部16、第五减重部17中的任意一者。在同一块掩膜板中，不同位置处测得的上述预设值d为相同。从而有助于提升掩膜板1各位置的应力分布均一性。
84.在一种可行的实施方式中，如图2和图12所示，掩膜板1包括第一表面a1和第二表面a2，在第一表面a1和/或第二表面a2刻蚀后形成有第一减重部12和/或第二减重部14。
85.在上述实施方式中，第一减重部12经第一表面a1和/或第二表面a2刻蚀后形成于掩膜板上，第二减重部14形成于第一表面a1和/或第二表面a2，第一减重部12和第二减重部14可经掩膜板不同表面刻蚀形成，本技术不做特别限定。
86.第一减重部12起到降低掩膜板1与精密掩膜板21贴合紧密度，同时容纳杂质的作用，因此精密掩膜板21与掩膜板1中设置有第一减重部12的一侧表面接触。当第一表面a1和第二表面a2均设置有第一减重部12时，可防止在将精密掩膜板21与掩膜板1对位贴合的过程中出现错误，可起到防呆效果，节省装配时间。
87.当第一表面a1设置第一减重部12/第二减重部14、第二表面a2设置第一减重部12/第二减重部14时，可提升掩膜板1两侧的均匀性，降低掩膜板1向一侧卷曲的概率，有助于保持掩膜板1的平展，提升张网效果。
88.在一种可行的实施方式中，位于第一表面a1刻蚀后形成的第一减重部12和位于第二表面a2刻蚀后形成的第一减重部12沿掩膜板厚度方向的尺寸相同；位于第一表面a1刻蚀后形成的第二减重部14和位于第二表面a2刻蚀后形成的第二减重部14沿掩膜板厚度方向的尺寸相同。从而可进一步提升掩膜板1两侧的均匀性，降低掩膜板1向一侧卷曲的概率，有助于保持掩膜板1的平展，提升张网效果。
89.在一种可行的实施方式中，蒸镀开口112的形状为正多边形或不规则形状。其中，不规则形状包括不规则的多边形或者异形。
90.即蒸镀开口112的形状可为异形，从而可用于异形显示面板的制备。例如：带有notch(放置前置摄像头、传感器的区域)的显示面板或者外形不规则(手环、vr和ar)的显示面板，本技术不做特别限定。
91.在一种可行的实施方式中，如图13所示，蒸镀开口112的边缘包括平直区1121和转角区1122，第一减重部12包括与转角区1122相对设置的第一弧角区121，第二减重部14朝向蒸镀开口112的一侧包括与第一弧角区121相对设置的第二弧角区141。
92.在上述实施方式中，将第一减重部12中与蒸镀开口112的转角区1122相对的区域形成第一弧角区121，将第二减重部14朝向蒸镀开口112的一侧形成于第一弧角区121相对设置的第二弧角区141，一方面可降低应力集中问题，避免掩膜板1在张网过程中转角区1122出现裂纹，从而有助于提高掩膜板1的使用寿命，另一方面，实际蒸镀使用后，需对掩膜板1进行超声波清洗和风干，将第一减重部12中与蒸镀开口112的转角区1122相对的区域形成第一弧角区121，将第二减重部14朝向蒸镀开口112的一侧形成于第一弧角区121相对设置的第二弧角区141可降低清洗损伤率，从而有助于提升掩膜板1的使用寿命、降低掩膜板1的更换成本。
93.其中，第一弧角区121和第二弧角区141的半径可选择大于或等于0.25mm，从而可保证制备良率，并起到良好的圆滑过度作用。
94.本技术提供了一种掩膜板组件2，如图14所示，包括本技术上述实施方式中提供的任意一种掩膜板1；还包括精密掩膜板21，精密掩膜板21叠放于掩膜板1中设置有第一减重部12的一侧表面。
95.在上述实施方式中，掩膜板组件2包括掩膜板1以及精密掩膜板21，精密掩膜板21设置于掩膜板1设置有第一减重部12的一侧表面层，可改善掩膜板1与精密掩膜板21贴合过紧的问题，从而有助于掩膜板1进行延展，改善褶皱；同时，第一减重部12的厚度小于第一支撑部13的厚度，从而可形成容纳空间，可用于容纳异物，改善由于异物位于掩膜板1与精密掩膜板21之间而造成二者的划伤现象，从而有助于保护精密掩膜板21和掩膜板1。
96.本技术还提供了一种掩膜板1的使用方法，如图15和图16所示，包括：
97.s100，提供待蒸镀基板3，待蒸镀基板3包括显示区31。
98.其中，待蒸镀基板3可用于形成多个显示面板，因此可包括多个显示区31。
99.s200，提供本技术上述实施方式中提供的任一种掩膜板1，掩膜板1包括蒸镀开口112，蒸镀开口112与显示区31中心重合的状态下，蒸镀开口112边缘的平直区1121与显示区31边缘之间的最小间距为a，蒸镀开口112边缘的转角区1122与显示区31边缘之间的最小间距为a，a《a，且0.12mm≤a《0.2mm，0.12mm《a≤0.2mm。
100.其中，蒸镀开口112大于显示区31面积，从而可保证蒸镀到显示区31的良率，避免蒸镀开口112遮挡显示区31而出现蒸镀不良问题。同时蒸镀开口112大于显示区31面积可提升二者对位时的容错率。且在蒸镀开口112与显示区31中心重合的情况下，由蒸镀开口112边缘的平直区1121与显示区31边缘之间的最小间距为a，蒸镀开口112边缘的转角区1122与显示区31边缘之间的最小间距为a，a《a，由于转角区1122的加工难度大，将a设置为小于a可降低由于加工误差造成的不良问题。
101.其中，0.12mm≤a《0.2mm，0.12mm《a≤0.2mm。具体地，a可为0.12mm、0.13mm、0.15mm、0.16mm、0.17mm、0.19mm等等，本技术不做特别限定。a可为0.13mm、0.14mm、0.15mm、0.16mm、0.17mm、0.19mm、0.20mm等等，本技术不做特别限定。只需要保证a《a即可。
102.s300，将待蒸镀基板3的蒸镀侧与掩膜板1贴合设置，使得显示区31与蒸镀开口112对位，由掩膜板1背离待蒸镀基板3侧向待蒸镀基板3喷射蒸镀材料。
103.在蒸镀过程中，如图15所示，蒸镀装置包括磁吸部41和蒸镀源42，蒸镀过程中，精密掩膜板21位于掩膜板1与磁吸部之间，待蒸镀基板3位于磁吸部41与精密掩膜板21之间，磁吸部41与掩膜板1磁吸固定，从而将待蒸镀基板3与精密掩膜板21夹紧固定。蒸镀源位于掩膜板1背离磁吸部一侧。
104.本技术上述实施方式中，掩膜板1的张网平展性更好，可降低褶皱产生的概率，以及降低掩膜板1自重造成的掩膜板1与精密掩膜板21之间的缝隙，从而可提升蒸镀质量，降低混色不良。
105.依照本技术如上文的实施例，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本技术以及在本技术基础上的修改使用。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

技术特征：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：本体部，所述本体部内形成有多个间隔排布的预设区域，所述预设区域内设有蒸镀开口；第一减重部，位于所述预设区域内，且围绕所述蒸镀开口的边缘中的至少部分设置，所述第一减重部与所述蒸镀开口的边缘相接触；第一支撑部，位于所述预设区域内，且围绕所述蒸镀开口设置，所述第一支撑部位于所述第一减重部远离所述蒸镀开口一侧；第二减重部，位于所述预设区域内，所述第二减重部位于所述第一支撑部远离所述蒸镀开口一侧且为围绕所述第一支撑部一圈设置的环形；其中，所述第一减重部、所述第二减重部的厚度小于所述第一支撑部的厚度。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一减重部为围绕所述蒸镀开口的边缘的环状；或者，所述第一减重部的数量为多个，且沿所述蒸镀开口的边缘均匀分布，所述第一支撑部中的部分延伸至相邻所述第一减重部之间；优选的，所述蒸镀开口的边缘包括转角区，所述第一减重部设置于所述转角区背离所述蒸镀开口的一侧边缘位置处。3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一减重部和所述第二减重部的厚度相等，或者，所述第一减重部的厚度大于所述第二减重部的厚度；所述第一支撑部的厚度等于所述本体部的厚度。4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述预设区域呈行列排布，所述本体部内还形成有第三减重部和/或第四减重部，所述第三减重部设置于沿行方向相邻的所述预设区域之间，所述第四减重部设置于沿列方向相邻的所述预设区域之间；优选的，所述本体部整面连续设置。5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，沿行方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有一个所述第三减重部，沿列方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有一个所述第四减重部；或者；沿行方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有多个所述第三减重部，多个所述第三减重部沿列方向或行方向排列，沿列方向相邻的任意两个所述预设区域之间形成有多个所述第四减重部，多个所述第四减重部沿行方向或列方向排列；优选的，还包括第五减重部，所述第五减重部设置于相邻所述第三减重部和/或相邻所述第四减重部之间。6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，沿行方向或列方向相邻的第一预设区和第二预设区之间的最小距离为预设值，其中，所述第一预设区为所述预设区域、所述第三减重部、所述第四减重部、所述第五减重部中的任意一者，所述第二预设区为所述预设区域、所述第三减重部、所述第四减重部、所述第五减重部中的任意一者。7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括第一表面和第二表面，在所述第一表面和/或所述第二表面刻蚀后形成所述第一减重部和/或所述第二减重部；优选地，位于所述第一表面刻蚀后形成的所述第一减重部和位于所述第二表面刻蚀后形成的所述第一减重部沿所述掩膜板厚度方向的尺寸相同；位于所述第一表面刻蚀后形成
的所述第二减重部和位于所述第二表面刻蚀后形成的所述第二减重部沿所述掩膜板厚度方向的尺寸相同。8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述蒸镀开口的边缘包括平直区和转角区，所述第一减重部包括与所述转角区相对设置的第一弧角区，所述第二减重部朝向所述蒸镀开口的一侧包括与所述第一弧角区相对设置的第二弧角区。9.一种掩膜板组件，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的掩膜板；还包括精密掩膜板，所述精密掩膜板叠放于所述掩膜板中设置有所述第一减重部的一侧表面。10.一种掩膜板的使用方法，其特征在于，包括：提供待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括显示区；提供如权利要求1-8任一项所述的掩膜板，所述掩膜板包括蒸镀开口，所述蒸镀开口与所述显示区中心重合的状态下，所述蒸镀开口边缘的平直区与所述显示区边缘之间的最小间距为a，所述蒸镀开口边缘的转角区与所述显示区边缘之间的最小间距为a，a<a，将所述待蒸镀基板的蒸镀侧与所述掩膜板贴合设置，使得所述显示区与所述蒸镀开口对位，由所述掩膜板背离所述待蒸镀基板侧向所述待蒸镀基板喷射蒸镀材料；优选地，0.12mm≤a<0.2mm，0.12mm<a≤0.2mm。

技术总结
本申请公开了一种掩膜板及其使用方法、掩膜板组件，掩膜板包括本体部，本体部内形成有多个间隔排布的预设区域，预设区域内设有蒸镀开口；还包括位于预设区域内的第一减重部、第一支撑部和第二减重部，第一减重部围绕蒸镀开口的边缘中的至少部分设置，第一减重部与蒸镀开口的边缘相接触；第一支撑部围绕蒸镀开口设置，第一支撑部位于第一减重部远离蒸镀开口一侧；第二减重部位于第一支撑部远离蒸镀开口一侧且为围绕第一支撑部一圈设置的环形；第一减重部、第二减重部的厚度小于第一支撑部的厚度。本申请提供的掩膜板可降低掩膜板与精密掩膜板之间的缝隙，同时可改善掩膜板与精密掩膜板之间的褶皱，有助于提升蒸镀质量。有助于提升蒸镀质量。有助于提升蒸镀质量。


技术研发人员：杨泽明 葛一飞 赵栋 徐玉枫 范柳彬 冯士振 李妍妍
受保护的技术使用者：云谷（固安）科技有限公司
技术研发日：2023.06.28
技术公布日：2023/9/22