一种光刻机用晶圆片匀胶机构的制作方法

1.本发明属于晶圆片匀胶机构技术领域，特别涉及一种光刻机用晶圆片匀胶机构。


背景技术：

2.为了确保晶圆表面光刻胶的厚度均匀，通常是需要操作人员通过镊子夹持晶圆，并将晶圆放置于匀胶机吸盘的中心位置，使得晶圆和吸盘的中心重合，再将光刻胶滴在晶圆的中心上，在离心力的作用下，光刻胶从中心向边缘处均匀的铺开，最后在材料表面得到厚度均匀的胶层，随着科学技术的飞速发展，也得到了技术改进，但是现有技术发明在使用时，传统的齿轮定位推杆在进行定位辅助调节过程中，采用多电机单独控制调节，从而导致在调节过程中，需要多次多方向调节确认，而因为齿轮大小和啮合缝隙原因，导致调节精度较难控制，较为不便，同时，传统设备的调节器在设备匀胶过程中只是简单的处于闲置状态，容易出现匀胶过程中机器误触等原因导致调节器顶压晶圆板，从而影响匀胶效果，造成不便，且现有技术使用时，晶圆在匀胶过程中采用负压吸附稳定，而在机器负压吸附出现故障时，设备仍会继续进行晶圆旋转和注胶，容易导致晶圆的损坏，造成不便。


技术实现要素：

3.(一)要解决的技术问题
4.为了克服现有技术不足，现提出一种光刻机用晶圆片匀胶机构，以解决现有技术发明在使用时，传统的齿轮定位推杆在进行定位辅助调节过程中，采用多电机单独控制调节，从而导致在调节过程中，需要多次多方向调节确认，而因为齿轮大小和啮合缝隙原因，导致调节精度较难控制，较为不便，同时，传统设备的调节器在设备匀胶过程中只是简单的处于闲置状态，容易出现匀胶过程中机器误触等原因导致调节器顶压晶圆板，从而影响匀胶效果，造成不便，且现有技术使用时，晶圆在匀胶过程中采用负压吸附稳定，而在机器负压吸附出现故障时，设备仍会继续进行晶圆旋转和注胶，容易导致晶圆的损坏，造成不便的效果。
5.(二)技术方案
6.本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其结构包括匀胶机体、机盖、控制面板，所述匀胶机体上镶嵌设有控制面板吗，所述匀胶机体顶端活动锁接有机盖，
7.所述匀胶机体包括电源、第一齿轮、调节电机、第二齿轮、精准调位装置、匀胶槽、晶圆放置台、防护垫、主机体、抽气孔、负压吸附泵、排气孔、旋转电机、联动防护装置，所述主机体顶端中部镶嵌设有匀胶槽，所述精准调位装置设于主机体内，所述精准调位装置与主机体侧端相通，所述调节电机设于主机体内，所述调节电机通过第二齿轮与精准调位装置侧端啮合，所述晶圆放置台顶端贯穿主机体设于匀胶槽底端中部，所述晶圆放置台顶端固定连接有防护垫，所述旋转电机设于主机体内，所述旋转电机通过第一齿轮与晶圆放置台侧端啮合，所述负压吸附泵设于主机体内，所述负压吸附泵一端与抽气孔一端相接，所述
抽气孔另一端由下而上贯穿晶圆放置台顶端与匀胶槽相通，所述负压吸附泵另一端与排气孔一端相接，所述排气孔另一端贯穿主机体侧端，所述联动防护装置包覆设于抽气孔处，所述联动防护装置与电源、旋转电机、旋转电机、机盖电连接；
8.所述精准调位装置包括驱动齿环、联动齿环、限位滑块、限位滑槽、顶压垫板、限位球、顶压板、调节齿环、限位环、拉伸弹簧、电磁铁、螺杆、活动连杆、螺杆限位块，所述驱动齿环顶端固定连接有联动齿环，所述驱动齿环、联动齿环均设于主机体内，所述联动齿环位于匀胶槽正下方，所述限位滑槽设于匀胶槽底端，所述顶压板一端与匀胶槽相通，所述顶压板邻近匀胶槽端固定连接有顶压垫板，所述顶压板底端固定连接有限位滑块，所述限位滑块活动扣接于限位滑槽内，所述顶压板内部活动扣接有限位球，所述限位球通过活动连杆贯穿顶压板远离匀胶槽端与螺杆一端固定连接，所述调节齿环包覆设于螺杆上，所述调节齿环与螺杆螺纹连接，所述调节齿环底端与联动齿环啮合，所述限位环镶嵌设于调节齿环内，所述限位环邻近顶压板端与调节齿环之间通过拉伸弹簧连接，所述限位环远离拉伸弹簧端贯穿调节齿环，所述电磁铁设于主机体内，所述电磁铁位于限位环贯穿调节齿环处，所述螺杆限位块与螺杆固定连接。
9.进一步的，所述匀胶槽为方形槽，所述匀胶槽侧端四边均设有顶压板。
10.进一步的，所述联动齿环、调节齿环均为梯台形齿环。
11.进一步的，所述联动防护装置包括密封挡板、第一连杆、通电环、检测槽、第二连杆、装配板、压缩弹簧，所述检测槽设于抽气孔处，所述密封挡板镶嵌设于装配板远离负压吸附泵端，所述密封挡板内镶嵌设有通电环，所述第一连杆一端贯穿通电环与主机体固定连接，所述第一连杆另一端与第二连杆固定连接，所述第二连杆另一端与检测槽远离密封挡板端固定连接，所述装配板邻近密封挡板端与密封挡板之间扣接有压缩弹簧，所述装配板与第二连杆固定连接。
12.进一步的，所述通电环、第二连杆均由金属材料制成，所述第一连杆绝缘材料制成。
13.进一步的，所述密封挡板面积比抽气孔大，所述密封挡板面积比检测槽小。
14.进一步的，所述机盖包括储胶筒、压力泵、伸缩调节器、注胶头、注胶装配架、主盖体，所述储胶筒、压力泵均与主盖体顶端固定连接，所述储胶筒通过软管与压力泵相连，所述伸缩调节器镶嵌设于主盖体中部，所述伸缩调节器内部下侧与注胶装配架一端活动连接，所述注胶装配架顶端远离伸缩调节器侧固定连接有注胶头，所述注胶头通过软管与压力泵相连。
15.进一步的，所述第一连杆、第二连杆均设有2个，2个所述第一连杆分别贯穿通电环上下两侧。
16.进一步的，所述电磁铁与压力泵电路并联，2个所述第二连杆串联于旋转电机、压力泵与电源的电力路中。
17.(三)有益效果
18.本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：
19.1)、为解决现有技术发明在使用时，传统的齿轮定位推杆在进行定位辅助调节过程中，采用多电机单独控制调节，从而导致在调节过程中，需要多次多方向调节确认，而因为齿轮大小和啮合缝隙原因，导致调节精度较难控制，较为不便，同时，传统设备的调节器
在设备匀胶过程中只是简单的处于闲置状态，容易出现匀胶过程中机器误触等原因导致调节器顶压晶圆板，从而影响匀胶效果，造成不便，通过设有单电机同步控制的精准调位装置，调位装置采用螺杆进行位移控制，相对齿轮直接调节，能够进行更为精细的位移控制，同时，顶压板的控制齿环在设备的注胶用压力泵通电时会一同通电，从而锁定顶压板的位移控制，更好的防止设备匀胶过程中误触等情况造成顶压运动影响匀胶的情况。
20.2)、为解决现有技术使用时，晶圆在匀胶过程中采用负压吸附稳定，而在机器负压吸附出现故障时，设备仍会继续进行晶圆旋转和注胶，容易导致晶圆的损坏，造成不便，通过在设备的负压吸附通孔中设有联动防护装置，装置在检测设备的吸附负压不足时会自动断开旋转电机和注胶用压力泵的电源，从而使设备在负压故障时能够更好的保护晶圆不会脱离吸附而甩飞损坏等情况。
附图说明
21.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
22.图1为本发明一种光刻机用晶圆片匀胶机构的结构示意图；
23.图2为本发明一种光刻机用晶圆片匀胶机构的正剖结构示意图；
24.图3为本发明图2中a的放大结构示意图；
25.图4为本发明图2中b的放大结构示意图；
26.图5为本发明精准调位装置装配处俯视图的剖面结构示意图；
27.图6为本发明图5中c的放大结构示意图；
28.图中：匀胶机体-1、机盖-2、控制面板-3、电源-a、第一齿轮-b、调节电机-c、第二齿轮-d、精准调位装置-e、匀胶槽-f、晶圆放置台-g、防护垫-h、主机体-i、抽气孔-j、负压吸附泵-k、排气孔-l、旋转电机-m、联动防护装置-n、驱动齿环-e1、联动齿环-e2、限位滑块-e3、限位滑槽-e4、顶压垫板-e5、限位球-e6、顶压板-e7、调节齿环-e8、限位环-e9、拉伸弹簧-e10、电磁铁-e11、螺杆-e12、活动连杆-e13、螺杆限位块-e14、密封挡板-n1、第一连杆-n2、通电环-n3、检测槽-n4、第二连杆-n5、装配板-n6、压缩弹簧-n7、储胶筒-21、压力泵-22、伸缩调节器-23、注胶头-24、注胶装配架-25、主盖体-26。
具体实施方式
29.请参阅图1-图6，本发明提供一种光刻机用晶圆片匀胶机构：其结构包括匀胶机体1、机盖2、控制面板3，所述匀胶机体1上镶嵌设有控制面板3吗，所述匀胶机体1顶端活动锁接有机盖2，
30.所述匀胶机体1包括电源a、第一齿轮b、调节电机c、第二齿轮d、精准调位装置e、匀胶槽f、晶圆放置台g、防护垫h、主机体i、抽气孔j、负压吸附泵k、排气孔l、旋转电机m、联动防护装置n，所述主机体i顶端中部镶嵌设有匀胶槽f，所述精准调位装置e设于主机体i内，所述精准调位装置e与主机体i侧端相通，所述调节电机c设于主机体i内，所述调节电机c通过第二齿轮d与精准调位装置e侧端啮合，所述晶圆放置台g顶端贯穿主机体i设于匀胶槽f底端中部，所述晶圆放置台g顶端固定连接有防护垫h，所述旋转电机m设于主机体i内，所述旋转电机m通过第一齿轮b与晶圆放置台g侧端啮合，所述负压吸附泵k设于主机体i内，所述
负压吸附泵k一端与抽气孔j一端相接，所述抽气孔j另一端由下而上贯穿晶圆放置台g顶端与匀胶槽f相通，所述负压吸附泵k另一端与排气孔l一端相接，所述排气孔l另一端贯穿主机体i侧端，所述联动防护装置n包覆设于抽气孔j处，所述联动防护装置n与电源a、旋转电机m、旋转电机m、机盖2电连接；
31.所述精准调位装置e包括驱动齿环e1、联动齿环e2、限位滑块e3、限位滑槽e4、顶压垫板e5、限位球e6、顶压板e7、调节齿环e8、限位环e9、拉伸弹簧e10、电磁铁e11、螺杆e12、活动连杆e13、螺杆限位块e14，所述驱动齿环e1顶端固定连接有联动齿环e2，所述驱动齿环e1、联动齿环e2均设于主机体i内，所述联动齿环e2位于匀胶槽f正下方，所述限位滑槽e4设于匀胶槽f底端，所述顶压板e7一端与匀胶槽f相通，所述顶压板e7邻近匀胶槽f端固定连接有顶压垫板e5，所述顶压板e7底端固定连接有限位滑块e3，所述限位滑块e3活动扣接于限位滑槽e4内，所述顶压板e7内部活动扣接有限位球e6，所述限位球e6通过活动连杆e13贯穿顶压板e7远离匀胶槽f端与螺杆e12一端固定连接，所述调节齿环e8包覆设于螺杆e12上，所述调节齿环e8与螺杆e12螺纹连接，所述调节齿环e8底端与联动齿环e2啮合，所述限位环e9镶嵌设于调节齿环e8内，所述限位环e9邻近顶压板e7端与调节齿环e8之间通过拉伸弹簧e10连接，所述限位环e9远离拉伸弹簧e10端贯穿调节齿环e8，所述电磁铁e11设于主机体i内，所述电磁铁e11位于限位环e9贯穿调节齿环e8处，所述螺杆限位块e14与螺杆e12固定连接。
32.其中，所述匀胶槽f为方形槽，所述匀胶槽f侧端四边均设有顶压板e7。
33.其中，所述联动齿环e2、调节齿环e8均为梯台形齿环。
34.其中，所述联动防护装置n包括密封挡板n1、第一连杆n2、通电环n3、检测槽n4、第二连杆n5、装配板n6、压缩弹簧n7，所述检测槽n4设于抽气孔j处，所述密封挡板n1镶嵌设于装配板n6远离负压吸附泵k端，所述密封挡板n1内镶嵌设有通电环n3，所述第一连杆n2一端贯穿通电环n3与主机体i固定连接，所述第一连杆n2另一端与第二连杆n5固定连接，所述第二连杆n5另一端与检测槽n4远离密封挡板n1端固定连接，所述装配板n6邻近密封挡板n1端与密封挡板n1之间扣接有压缩弹簧n7，所述装配板n6与第二连杆n5固定连接。
35.其中，所述通电环n3、第二连杆n5均由金属材料制成，所述第一连杆n2绝缘材料制成。
36.其中，所述密封挡板n1面积比抽气孔j大，所述密封挡板n1面积比检测槽n4小。
37.其中，所述机盖2包括储胶筒21、压力泵22、伸缩调节器23、注胶头24、注胶装配架25、主盖体26，所述储胶筒21、压力泵22均与主盖体26顶端固定连接，所述储胶筒21通过软管与压力泵22相连，所述伸缩调节器23镶嵌设于主盖体26中部，所述伸缩调节器23内部下侧与注胶装配架25一端活动连接，所述注胶装配架25顶端远离伸缩调节器23侧固定连接有注胶头24，所述注胶头24通过软管与压力泵22相连。
38.其中，所述第一连杆n2、第二连杆n5均设有2个，2个所述第一连杆n2分别贯穿通电环n3上下两侧。
39.其中，所述电磁铁e11与压力泵22电路并联，2个所述第二连杆n5串联于旋转电机m、压力泵22与电源a的电力路中。
40.工作原理：使用时，将晶圆放置于晶圆放置台g上，而后可通过控制面板3进行放置定位控制，控制时，调节电机c会通过第二齿轮d带动驱动齿环e1进行旋转，从而使驱动齿环
e1通过联动齿环e2带动调节齿环e8旋转，调节齿环e8在旋转过程中，会因为螺纹带动螺杆e12转动，此时，因为螺杆e12被螺杆限位块e14限制转动，使螺杆只能够随螺纹连接的调节齿环e8的转动而进行位移，即使螺杆e12带动顶压板e7进行位移，相对齿轮直接调节，能够进行更为精细的位移控制，而在调位完毕后，在进行注胶匀胶的过程中，随着注胶压力泵22的通电开启，与压力泵22并联的电磁铁e11也会通电，使限位环e9被吸附固定，从而使调节齿环e8不可转动，即使螺杆e12不能够带动顶压板e7进行位移，更好的防止设备匀胶过程中误触等情况造成顶压运动影响匀胶的情况，且设备使用时，在匀胶过程中，如果负压吸附的负压出现故障，使负压消失或减小，设备的密封挡板n1会被压缩弹簧n7顶压脱离与第二连杆n5的接触，从而使2个第二连杆n5之间脱离通电环n3的连通，进而使与2个第二连杆n5串联电路的旋转电机m、压力泵22也会断电停止运行，只有在压力恢复足够时，负压吸附密封挡板n1开启抽气孔j同时，使密封挡板n1的通电环n3会与2个第二连杆n5相接，使2个第二连杆n5之间形成通路才会恢复旋转电机m、压力泵22的通电，更好的保护晶圆不会脱离吸附而甩飞损坏等情况。
41.本发明的控制方式是通过人工启动和关闭开关来控制，动力元件的接线图与电源的提供属于本领域的公知常识，并且本发明主要用来保护机械装置，所以本发明不再详细解释控制方式和接线布置。
42.本发明的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本发明主要用来保护机械装置，所以本发明不再详细解释控制方式和电路连接。
43.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
44.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其结构包括匀胶机体(1)、机盖(2)、控制面板(3)，所述匀胶机体(1)上镶嵌设有控制面板(3)吗，所述匀胶机体(1)顶端活动锁接有机盖(2)，其特征在于：所述匀胶机体(1)包括电源(a)、第一齿轮(b)、调节电机(c)、第二齿轮(d)、精准调位装置(e)、匀胶槽(f)、晶圆放置台(g)、防护垫(h)、主机体(i)、抽气孔(j)、负压吸附泵(k)、排气孔(l)、旋转电机(m)、联动防护装置(n)，所述主机体(i)顶端中部镶嵌设有匀胶槽(f)，所述精准调位装置(e)设于主机体(i)内，所述精准调位装置(e)与主机体(i)侧端相通，所述调节电机(c)设于主机体(i)内，所述调节电机(c)通过第二齿轮(d)与精准调位装置(e)侧端啮合，所述晶圆放置台(g)顶端贯穿主机体(i)设于匀胶槽(f)底端中部，所述晶圆放置台(g)顶端固定连接有防护垫(h)，所述旋转电机(m)设于主机体(i)内，所述旋转电机(m)通过第一齿轮(b)与晶圆放置台(g)侧端啮合，所述负压吸附泵(k)设于主机体(i)内，所述负压吸附泵(k)一端与抽气孔(j)一端相接，所述抽气孔(j)另一端由下而上贯穿晶圆放置台(g)顶端与匀胶槽(f)相通，所述负压吸附泵(k)另一端与排气孔(l)一端相接，所述排气孔(l)另一端贯穿主机体(i)侧端，所述联动防护装置(n)包覆设于抽气孔(j)处，所述联动防护装置(n)与电源(a)、旋转电机(m)、旋转电机(m)、机盖(2)电连接；所述精准调位装置(e)包括驱动齿环(e1)、联动齿环(e2)、限位滑块(e3)、限位滑槽(e4)、顶压垫板(e5)、限位球(e6)、顶压板(e7)、调节齿环(e8)、限位环(e9)、拉伸弹簧(e10)、电磁铁(e11)、螺杆(e12)、活动连杆(e13)、螺杆限位块(e14)，所述驱动齿环(e1)顶端固定连接有联动齿环(e2)，所述驱动齿环(e1)、联动齿环(e2)均设于主机体(i)内，所述联动齿环(e2)位于匀胶槽(f)正下方，所述限位滑槽(e4)设于匀胶槽(f)底端，所述顶压板(e7)一端与匀胶槽(f)相通，所述顶压板(e7)邻近匀胶槽(f)端固定连接有顶压垫板(e5)，所述顶压板(e7)底端固定连接有限位滑块(e3)，所述限位滑块(e3)活动扣接于限位滑槽(e4)内，所述顶压板(e7)内部活动扣接有限位球(e6)，所述限位球(e6)通过活动连杆(e13)贯穿顶压板(e7)远离匀胶槽(f)端与螺杆(e12)一端固定连接，所述调节齿环(e8)包覆设于螺杆(e12)上，所述调节齿环(e8)与螺杆(e12)螺纹连接，所述调节齿环(e8)底端与联动齿环(e2)啮合，所述限位环(e9)镶嵌设于调节齿环(e8)内，所述限位环(e9)邻近顶压板(e7)端与调节齿环(e8)之间通过拉伸弹簧(e10)连接，所述限位环(e9)远离拉伸弹簧(e10)端贯穿调节齿环(e8)，所述电磁铁(e11)设于主机体(i)内，所述电磁铁(e11)位于限位环(e9)贯穿调节齿环(e8)处，所述螺杆限位块(e14)与螺杆(e12)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其特征在于：所述匀胶槽(f)为方形槽，所述匀胶槽(f)侧端四边均设有顶压板(e7)。3.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其特征在于：所述联动齿环(e2)、调节齿环(e8)均为梯台形齿环。4.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其特征在于：所述联动防护装置(n)包括密封挡板(n1)、第一连杆(n2)、通电环(n3)、检测槽(n4)、第二连杆(n5)、装配板(n6)、压缩弹簧(n7)，所述检测槽(n4)设于抽气孔(j)处，所述密封挡板(n1)镶嵌设于装配板(n6)远离负压吸附泵(k)端，所述密封挡板(n1)内镶嵌设有通电环(n3)，所述第一连杆(n2)一端贯穿通电环(n3)与主机体(i)固定连接，所述第一连杆(n2)另一端与第二连杆(n5)固定连接，所述第二连杆(n5)另一端与检测槽(n4)远离密封挡板(n1)端固定连接，所
述装配板(n6)邻近密封挡板(n1)端与密封挡板(n1)之间扣接有压缩弹簧(n7)，所述装配板(n6)与第二连杆(n5)固定连接。5.根据权利要求4所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其特征在于：所述通电环(n3)、第二连杆(n5)均由金属材料制成，所述第一连杆(n2)绝缘材料制成。6.根据权利要求4所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其特征在于：所述密封挡板(n1)面积比抽气孔(j)大，所述密封挡板(n1)面积比检测槽(n4)小。7.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其特征在于：所述机盖(2)包括储胶筒(21)、压力泵(22)、伸缩调节器(23)、注胶头(24)、注胶装配架(25)、主盖体(26)，所述储胶筒(21)、压力泵(22)均与主盖体(26)顶端固定连接，所述储胶筒(21)通过软管与压力泵(22)相连，所述伸缩调节器(23)镶嵌设于主盖体(26)中部，所述伸缩调节器(23)内部下侧与注胶装配架(25)一端活动连接，所述注胶装配架(25)顶端远离伸缩调节器(23)侧固定连接有注胶头(24)，所述注胶头(24)通过软管与压力泵(22)相连。8.根据权利要求4所述的一种光刻机用晶圆片匀胶机构，所述第一连杆(n2)、第二连杆(n5)均设有2个，2个所述第一连杆(n2)分别贯穿通电环(n3)上下两侧。

技术总结
本发明公开了一种光刻机用晶圆片匀胶机构，其结构包括匀胶机体、机盖、控制面板，本发明具有以下有益效果，通过设有单电机同步控制的精准调位装置，调位装置采用螺杆进行位移控制，相对齿轮直接调节，能够进行更为精细的位移控制，同时，顶压板的控制齿环在设备的注胶用压力泵通电时会一同通电，从而锁定顶压板的位移控制，更好的防止设备匀胶过程中误触等情况造成顶压运动影响匀胶的情况，通过在设备的负压吸附通孔中设有联动防护装置，装置在检测设备的吸附负压不足时会自动断开旋转电机和注胶用压力泵的电源，从而使设备在负压故障时能够更好的保护晶圆不会脱离吸附而甩飞损坏等情况。等情况。等情况。


技术研发人员：周倩
受保护的技术使用者：周倩
技术研发日：2022.11.30
技术公布日：2023/9/22