一种晶圆分选导片机的制作方法

1.本发明属于晶圆分选导片机技术领域，特别涉及一种晶圆分选导片机。


背景技术：

2.在半导体行业生产中，晶圆在制程中采用不同的生产工艺，而不同生产工艺的生产设备所使用的晶圆载盘不同，因此在整个制程中需要频繁地把晶圆在不同载盘之间周转，同时因晶圆需要洁净的环境进行操作，晶圆正面要求不能接触，所以人工进行分选装载比较不便，并容易造成污染，所以多采用人工进行晶圆盒装配后载由机械自动检测分选导片，随着科学技术的飞速发展，也得到了技术改进，但是现有技术发明在使用时，由于会有不同大小的晶圆需要进行分选，制备多台固定型号机器较为不便，而传统的分选机晶圆输送板的负压孔因为晶圆大小的不同，只能采用中间单孔吸附的形式，因为单孔吸附，容易因为吸附时不平稳等情况造成晶圆吸附的不稳定，从而造成危险和不便，且现有技术使用时，晶圆盒在于设备对接时，对接处残留的空气如果含有漂浮物等，在未进行清洁就开启设备对接门则容易造成设备内部和晶圆的污染，从而造成不便。


技术实现要素：

3.(一)要解决的技术问题
4.为了克服现有技术不足，现提出一种晶圆分选导片机，以解决现有技术发明在使用时，由于会有不同大小的晶圆需要进行分选，制备多台固定型号机器较为不便，而传统的分选机晶圆输送板的负压孔因为晶圆大小的不同，只能采用中间单孔吸附的形式，因为单孔吸附，容易因为吸附时不平稳等情况造成晶圆吸附的不稳定，从而造成危险和不便，且现有技术使用时，晶圆盒在于设备对接时，对接处残留的空气如果含有漂浮物等，在未进行清洁就开启设备对接门则容易造成设备内部和晶圆的污染，从而造成不便的效果。
5.(二)技术方案
6.本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种晶圆分选导片机，其结构包括垫座、导片机、控制台，所述导片机扣接于垫座顶端，所述导片机上设有控制台；
7.所述导片机包括检测器、主机体、刀片仓槽、内盖板、运片板、晶圆盒装配槽、定位环、开盖装置、蓄电池、压缩弹簧、第一电磁铁、移动槽、移动座、第一电动伸缩杆、调节板，所述主机体内设有刀片仓槽，所述检测器设于主机体内，所述检测器与刀片仓槽侧端相通，所述晶圆盒装配槽贯穿主机体侧端与刀片仓槽相通，所述晶圆盒装配槽内邻近刀片仓槽端固定连接有定位环，所述内盖板设于主机体内，所述内盖板顶端贯穿定位环底端与定位环顶端扣接，所述内盖板底端通过压缩弹簧与第一电磁铁顶端固定连接，所述开盖装置、蓄电池均设于主机体内，所述开盖装置与晶圆盒装配槽、定位环内相通，所述开盖装置与蓄电池、第一电磁铁相通，所述移动槽设于刀片仓槽底端，所述移动座与移动槽啮合，所述移动座顶端固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆顶端固定连接有调节板，所述调节板顶端与运片板固定连接；
8.所述运片板包括第二电动伸缩杆、主板体、第一气孔、负压控制槽、伸缩顶杆、活塞板、密闭环、吸盘、吸槽、调压连杆、第二气孔，所述主板体与调节板固定连接，所述吸盘顶端设有吸槽，所述吸盘镶嵌设于主板体顶端，所述负压控制槽设于主板体内，所述负压控制槽顶端远离调节板侧通过第二气孔与吸槽相通，所述负压控制槽底端邻近调节板侧通过第一气孔贯穿主板体底部，所述活塞板设于负压控制槽内，所述活塞板邻近调节板端与伸缩顶杆固定连接，所述第二电动伸缩杆设于调节板内，所述伸缩顶杆与第二电动伸缩杆活动连接，所述活塞板远离伸缩顶杆端固定连接有密闭环，所述活塞板远离伸缩顶杆端中部与调压连杆固定连接。
9.进一步的，所述主板体顶端均匀设有吸盘，所述主板体内对应吸盘均匀设有第一气孔、负压控制槽、活塞板、密闭环、第二气孔，所述活塞板与活塞板之间通过调压连杆固定连接。
10.进一步的，所述调节板包括第一板体、第二板体、电机、第一齿轮、第二齿轮、第三板体、转动连杆、运片装配板，所述第一板体底端与第一电动伸缩杆顶端固定连接，所述第一板体内部一侧固定连接有电机，所述电机通过第一齿轮与第二齿轮啮合，所述第二齿轮固定包覆于转动连杆上，所述转动连杆设于第一板体内，所述转动连杆顶端贯穿第一板体与第二板体底端一侧固定连接，所述第二板体内部远离与第一板体内转动连杆连接端也设有电机，所述第二板体同第一板体与第二板体相接方式通过电机、第二齿轮、第三板体、转动连杆与第三板体底端相接，所述第二板体、第三板体底端固定连接端与第一板体、第二板体底端固定连接端方向相反，所述第三板体同第一板体与第二板体相接方式通过电机、第二齿轮、第三板体、转动连杆与运片装配板底端固定连接，所述第三板体、运片装配板固定连接端与第二板体、第三板体底端固定连接端方向相反，所述运片装配板内部固定连接有第二电动伸缩杆。
11.进一步的，所述开盖装置包括第三气孔、第四气孔、滤盒、第五气孔、第一接电板、第一通电槽、第一通电环、检测顶压板、检测顶压头、第一压缩弹簧、第二接电板、第六气孔、流量计、风扇叶轮、风机电机、控制芯片、第二电磁铁、第三接电板、第二通电槽、第二压缩弹簧、通电装配板、第二通电环、第四接电板，所述第一通电槽、第二通电槽均设于主机体内，所述检测顶压板设于第一通电槽内，所述检测顶压板顶端与检测顶压头固定连接，所述检测顶压头顶端贯穿主机体设于晶圆盒装配槽内，所述检测顶压板底端固定镶嵌设有第一通电环，所述检测顶压板底端中部与第一通电槽底端之间设有第一压缩弹簧，所述第一接电板与第一通电槽底端一侧相接，所述第二接电板与第一通电槽底端远离第一接电板侧相接，所述风机电机与风扇叶轮固定连接，所述风扇叶轮、风机电机均设于主机体内，所述风扇叶轮装配处顶端通过第四气孔与定位环内环端底部相通，所述滤盒镶嵌锁接于主机体侧端，所述风扇叶轮装配处底端通过第六气孔与滤盒顶端相通，所述流量计、控制芯片均与主机体内部固定连接，所述流量计与第六气孔内部相接，所述流量计与控制芯片电连接，所述控制芯片与第二电磁铁电连接，所述第二电磁铁设于第二通电槽内部顶端，所述第二电磁铁底端通过第二压缩弹簧与通电装配板顶端固定连接，所述通电装配板侧端镶嵌设有第二通电环，所述第三接电板与第二通电槽侧端上侧相接，所述第四接电板与第二通电槽侧端远离第三接电板上侧相接，所述滤盒底端与第五气孔相通，所述第五气孔通过第三气孔与定位环内环端顶部相通，所述第一接电板与第三接电板电连接，所述第二接电板与蓄电池
电连接，所述第四接电板与第一电磁铁电连接。
12.进一步的，所述检测顶压头为半球体，所述检测顶压头高处晶圆盒装配槽底部的距离与第一通电环底端距离第一接电板或第二接电板顶端的距离一致，所述第一通电环、第二通电环均为金属材料制成，所述晶圆盒装配槽由绝缘材料制成。
13.进一步的，所述密闭环由橡胶材料制成，所述密闭环与负压控制槽过盈配合。
14.(三)有益效果
15.本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：
16.1)、为解决现有技术发明在使用时，由于会有不同大小的晶圆需要进行分选，制备多台固定型号机器较为不便，而传统的分选机晶圆输送板的负压孔因为晶圆大小的不同，只能采用中间单孔吸附的形式，因为单孔吸附，容易因为吸附时不平稳等情况造成晶圆吸附的不稳定，从而造成危险和不便，通过在运片板上设有具有多个分隔小吸盘，小吸盘底部对应多个分隔的小负压控制槽和活塞板，活塞板通过第二电动伸缩杆同一联动控制进行抽压和顶压，使设备使用时能够防止多个吸盘因为晶圆大小而因为吸附不到的孔泄压的问题，同时也防止单吸盘吸附不平稳导致晶圆装配不稳定的情况，更好的进行晶圆分选移动使用。
17.2)、为解决且现有技术使用时晶圆盒在于设备对接时，对接处残留的空气如果含有漂浮物等，在未进行清洁就开启设备对接门则容易造成设备内部和晶圆的污染，从而造成不便，通过在晶圆盒的装配槽处设有顶压检测机构和循环抽吸过滤机构，同时对接的内盖板开启电路受循环抽吸的流量控制，在循环抽吸不达到设定流量时，不会开启内盖板，更好的防止设备内部和晶圆因为对接处残留空气的漂浮颗粒等造成污染。
附图说明
18.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
19.图1为本发明一种晶圆分选导片机的结构示意图；
20.图2为本发明导片机的正剖结构示意图；
21.图3为本发明图2中a的放大结构示意图；
22.图4为本发明图2中b的放大结构示意图；
23.图5为本发明图2中c的放大结构示意图；
24.图6为本发明图3中d的放大结构示意图；
25.图中：垫座-1、导片机-2、控制台-3、检测器-a、主机体-b、刀片仓槽-c、内盖板-d、运片板-e、晶圆盒装配槽-f、定位环-g、开盖装置-h、蓄电池-i、压缩弹簧-j、第一电磁铁-k、移动槽-l、移动座-m、第一电动伸缩杆-n、调节板-o、第二电动伸缩杆-e1、主板体-e2、第一气孔-e3、负压控制槽-e4、伸缩顶杆-e5、活塞板-e6、密闭环-e7、吸盘-e8、吸槽-e9、调压连杆-e10、第二气孔-e11、第一板体-o1、第二板体-o2、电机-o3、第一齿轮-o4、第二齿轮-o5、第三板体-o6、转动连杆-o7、运片装配板-o8、第三气孔-h1、第四气孔-h2、滤盒-h3、第五气孔-h4、第一接电板-h5、第一通电槽-h6、第一通电环-h7、检测顶压板-h8、检测顶压头-h9、第一压缩弹簧-h10、第二接电板-h11、第六气孔-h12、流量计-h13、风扇叶轮-h14、风机电机-h15、控制芯片-h16、第二电磁铁-h17、第三接电板-h18、第二通电槽-h19、第二压缩弹
簧-h20、通电装配板-h21、第二通电环-h22、第四接电板-h23。
具体实施方式
26.请参阅图1-图6，本发明提供一种晶圆分选导片机：其结构包括垫座1、导片机2、控制台3，所述导片机2扣接于垫座1顶端，所述导片机2上设有控制台3；
27.所述导片机2包括检测器a、主机体b、刀片仓槽c、内盖板d、运片板e、晶圆盒装配槽f、定位环g、开盖装置h、蓄电池i、压缩弹簧j、第一电磁铁k、移动槽l、移动座m、第一电动伸缩杆n、调节板o，所述主机体b内设有刀片仓槽c，所述检测器a设于主机体b内，所述检测器a与刀片仓槽c侧端相通，所述晶圆盒装配槽f贯穿主机体b侧端与刀片仓槽c相通，所述晶圆盒装配槽f内邻近刀片仓槽c端固定连接有定位环g，所述内盖板d设于主机体b内，所述内盖板d顶端贯穿定位环g底端与定位环g顶端扣接，所述内盖板d底端通过压缩弹簧j与第一电磁铁k顶端固定连接，所述开盖装置h、蓄电池i均设于主机体b内，所述开盖装置h与晶圆盒装配槽f、定位环g内相通，所述开盖装置h与蓄电池i、第一电磁铁k相通，所述移动槽l设于刀片仓槽c底端，所述移动座m与移动槽l啮合，所述移动座m顶端固定连接有第一电动伸缩杆n，所述第一电动伸缩杆n顶端固定连接有调节板o，所述调节板o顶端与运片板e固定连接；
28.所述运片板e包括第二电动伸缩杆e1、主板体e2、第一气孔e3、负压控制槽e4、伸缩顶杆e5、活塞板e6、密闭环e7、吸盘e8、吸槽e9、调压连杆e10、第二气孔e11，所述主板体e2与调节板o固定连接，所述吸盘e8顶端设有吸槽e9，所述吸盘e8镶嵌设于主板体e2顶端，所述负压控制槽e4设于主板体e2内，所述负压控制槽e4顶端远离调节板o侧通过第二气孔e11与吸槽e9相通，所述负压控制槽e4底端邻近调节板o侧通过第一气孔e3贯穿主板体e2底部，所述活塞板e6设于负压控制槽e4内，所述活塞板e6邻近调节板o端与伸缩顶杆e5固定连接，所述第二电动伸缩杆e1设于调节板o内，所述伸缩顶杆e5与第二电动伸缩杆e1活动连接，所述活塞板e6远离伸缩顶杆e5端固定连接有密闭环e7，所述活塞板e6远离伸缩顶杆e5端中部与调压连杆e10固定连接。
29.其中，所述主板体e2顶端均匀设有吸盘e8，所述主板体e2内对应吸盘e8均匀设有第一气孔e3、负压控制槽e4、活塞板e6、密闭环e7、第二气孔e11，所述活塞板e6与活塞板e6之间通过调压连杆e10固定连接。
30.其中，所述调节板o包括第一板体o1、第二板体o2、电机o3、第一齿轮o4、第二齿轮o5、第三板体o6、转动连杆o7、运片装配板o8，所述第一板体o1底端与第一电动伸缩杆n顶端固定连接，所述第一板体o1内部一侧固定连接有电机o3，所述电机o3通过第一齿轮o4与第二齿轮o5啮合，所述第二齿轮o5固定包覆于转动连杆o7上，所述转动连杆o7设于第一板体o1内，所述转动连杆o7顶端贯穿第一板体o1与第二板体o2底端一侧固定连接，所述第二板体o2内部远离与第一板体o1内转动连杆o7连接端也设有电机o3，所述第二板体o2同第一板体o1与第二板体o2相接方式通过电机o3、第二齿轮o5、第三板体o6、转动连杆o7与第三板体o6底端相接，所述第二板体o2、第三板体o6底端固定连接端与第一板体o1、第二板体o2底端固定连接端方向相反，所述第三板体o6同第一板体o1与第二板体o2相接方式通过电机o3、第二齿轮o5、第三板体o6、转动连杆o7与运片装配板o8底端固定连接，所述第三板体o6、运片装配板o8固定连接端与第二板体o2、第三板体o6底端固定连接端方向相反，所述运片装
配板o8内部固定连接有第二电动伸缩杆e1。
31.其中，所述开盖装置h包括第三气孔h1、第四气孔h2、滤盒h3、第五气孔h4、第一接电板h5、第一通电槽h6、第一通电环h7、检测顶压板h8、检测顶压头h9、第一压缩弹簧h10、第二接电板h11、第六气孔h12、流量计h13、风扇叶轮h14、风机电机h15、控制芯片h16、第二电磁铁h17、第三接电板h18、第二通电槽h19、第二压缩弹簧h20、通电装配板h21、第二通电环h22、第四接电板h23，所述第一通电槽h6、第二通电槽h19均设于主机体b内，所述检测顶压板h8设于第一通电槽h6内，所述检测顶压板h8顶端与检测顶压头h9固定连接，所述检测顶压头h9顶端贯穿主机体b设于晶圆盒装配槽f内，所述检测顶压板h8底端固定镶嵌设有第一通电环h7，所述检测顶压板h8底端中部与第一通电槽h6底端之间设有第一压缩弹簧h10，所述第一接电板h5与第一通电槽h6底端一侧相接，所述第二接电板h11与第一通电槽h6底端远离第一接电板h5侧相接，所述风机电机h15与风扇叶轮h14固定连接，所述风扇叶轮h14、风机电机h15均设于主机体b内，所述风扇叶轮h14装配处顶端通过第四气孔h2与定位环g内环端底部相通，所述滤盒h3镶嵌锁接于主机体b侧端，所述风扇叶轮h14装配处底端通过第六气孔h12与滤盒h3顶端相通，所述流量计h13、控制芯片h16均与主机体b内部固定连接，所述流量计h13与第六气孔h12内部相接，所述流量计h13与控制芯片h16电连接，所述控制芯片h16与第二电磁铁h17电连接，所述第二电磁铁h17设于第二通电槽h19内部顶端，所述第二电磁铁h17底端通过第二压缩弹簧h20与通电装配板h21顶端固定连接，所述通电装配板h21侧端镶嵌设有第二通电环h22，所述第三接电板h18与第二通电槽h19侧端上侧相接，所述第四接电板h23与第二通电槽h19侧端远离第三接电板h18上侧相接，所述滤盒h3底端与第五气孔h4相通，所述第五气孔h4通过第三气孔h1与定位环g内环端顶部相通，所述第一接电板h5与第三接电板h18电连接，所述第二接电板h11与蓄电池i电连接，所述第四接电板h23与第一电磁铁k电连接。
32.其中，所述检测顶压头h9为半球体，所述检测顶压头h9高处晶圆盒装配槽f底部的距离与第一通电环h7底端距离第一接电板h5或第二接电板h11顶端的距离一致，所述第一通电环h7、第二通电环h22均为金属材料制成，所述晶圆盒装配槽f由绝缘材料制成。
33.其中，所述密闭环e7由橡胶材料制成，所述密闭环e7与负压控制槽e4过盈配合。
34.工作原理：使用时，可将晶圆盒从晶圆盒装配槽f装配于设备上，此时，由于晶圆盒的顶压，会使检测顶压头h9带动检测顶压板h8下降，从而使检测顶压板h8底端的第一通电环h7与第一接电板h5、第二接电板h11相接，此时，由于流量计h13还未统计足够流量，使与第一接电板h5电连接的第三接电板h18还处于与第四接电板h23不连通的状态，从而使开启内盖板d的第一电磁铁k处于断电状态，即使内盖板d无法开启，从而防止晶圆盒装配后直接开启内盖板d造成设备内部和晶圆的污染，在启动设备的风机电机h15通过风扇叶轮h14进行导流后，定位环g内和晶圆盒之间的残留空气会顺着第四气孔h2进入第六气孔h12，而后经过滤盒h3过滤后通过第五气孔h4、第三气孔h1从定位环g回到定位环g和晶圆盒之间，实现循坏导流过滤，同时，与第六气孔h12内相接的流量计h13会检测循环的空气流量，并在流量达到设定值后，控制芯片h16会控制第二电磁铁h17通电吸合第二压缩弹簧h20、通电装配板h21，从而使通电装配板h21上设有的第二通电环h22与第三接电板h18、第四接电板h23相接，至此控制内盖板d开启的第一电磁铁k的通电电路完全接通，才会使控制内盖板d开启，更好的防止设备内部和晶圆因为对接处残留空气的漂浮颗粒等造成污染，且设备使用时，
在进行分选过程中，运片板e与晶圆接触后，设备会通过第二电动伸缩杆e1收缩伸缩顶杆e5，使伸缩顶杆e5带动其中一个活塞板e6、密闭环e7在独立的负压控制槽e4内移动，使活塞板e6通过第二气孔e11抽取吸槽e9内空气进行负压吸附，同时，别的负压控制槽e4内的活塞板e6、密闭环e7也会被调压连杆e10同步拉扯，使每个单独吸槽e9的负压都能够受单独的负压控制槽e4、活塞板e6、密闭环e7控制，更好的避免因为晶圆大小导致部分吸盘e8的吸槽e9泄压导致压力不足的情况，同时，也能够解决单吸盘e8吸附不平稳导致晶圆装配不稳定的情况，更好的进行晶圆分选移动使用，设备的三板体调节板o设定，使运片板e能够因为第一板体o1、第二板体o2、、第三板体o6之间通过单独的电机o3、第一齿轮o4、第二齿轮o5控制进行更多不同的方向和距离组合，便于使用。
35.本发明的控制方式是通过人工启动和关闭开关来控制，动力元件的接线图与电源的提供属于本领域的公知常识，并且本发明主要用来保护机械装置，所以本发明不再详细解释控制方式和接线布置。
36.本发明的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本发明主要用来保护机械装置，所以本发明不再详细解释控制方式和电路连接。
37.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
38.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：
1.一种晶圆分选导片机，其结构包括垫座(1)、导片机(2)、控制台(3)，所述导片机(2)扣接于垫座(1)顶端，所述导片机(2)上设有控制台(3)，其特征在于：所述导片机(2)包括检测器(a)、主机体(b)、刀片仓槽(c)、内盖板(d)、运片板(e)、晶圆盒装配槽(f)、定位环(g)、开盖装置(h)、蓄电池(i)、压缩弹簧(j)、第一电磁铁(k)、移动槽(l)、移动座(m)、第一电动伸缩杆(n)、调节板(o)，所述主机体(b)内设有刀片仓槽(c)，所述检测器(a)设于主机体(b)内，所述检测器(a)与刀片仓槽(c)侧端相通，所述晶圆盒装配槽(f)贯穿主机体(b)侧端与刀片仓槽(c)相通，所述晶圆盒装配槽(f)内邻近刀片仓槽(c)端固定连接有定位环(g)，所述内盖板(d)设于主机体(b)内，所述内盖板(d)顶端贯穿定位环(g)底端与定位环(g)顶端扣接，所述内盖板(d)底端通过压缩弹簧(j)与第一电磁铁(k)顶端固定连接，所述开盖装置(h)、蓄电池(i)均设于主机体(b)内，所述开盖装置(h)与晶圆盒装配槽(f)、定位环(g)内相通，所述开盖装置(h)与蓄电池(i)、第一电磁铁(k)相通，所述移动槽(l)设于刀片仓槽(c)底端，所述移动座(m)与移动槽(l)啮合，所述移动座(m)顶端固定连接有第一电动伸缩杆(n)，所述第一电动伸缩杆(n)顶端固定连接有调节板(o)，所述调节板(o)顶端与运片板(e)固定连接；所述运片板(e)包括第二电动伸缩杆(e1)、主板体(e2)、第一气孔(e3)、负压控制槽(e4)、伸缩顶杆(e5)、活塞板(e6)、密闭环(e7)、吸盘(e8)、吸槽(e9)、调压连杆(e10)、第二气孔(e11)，所述主板体(e2)与调节板(o)固定连接，所述吸盘(e8)顶端设有吸槽(e9)，所述吸盘(e8)镶嵌设于主板体(e2)顶端，所述负压控制槽(e4)设于主板体(e2)内，所述负压控制槽(e4)顶端远离调节板(o)侧通过第二气孔(e11)与吸槽(e9)相通，所述负压控制槽(e4)底端邻近调节板(o)侧通过第一气孔(e3)贯穿主板体(e2)底部，所述活塞板(e6)设于负压控制槽(e4)内，所述活塞板(e6)邻近调节板(o)端与伸缩顶杆(e5)固定连接，所述第二电动伸缩杆(e1)设于调节板(o)内，所述伸缩顶杆(e5)与第二电动伸缩杆(e1)活动连接，所述活塞板(e6)远离伸缩顶杆(e5)端固定连接有密闭环(e7)，所述活塞板(e6)远离伸缩顶杆(e5)端中部与调压连杆(e10)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选导片机，其特征在于：所述主板体(e2)顶端均匀设有吸盘(e8)，所述主板体(e2)内对应吸盘(e8)均匀设有第一气孔(e3)、负压控制槽(e4)、活塞板(e6)、密闭环(e7)、第二气孔(e11)，所述活塞板(e6)与活塞板(e6)之间通过调压连杆(e10)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆分选导片机，其特征在于：所述调节板(o)包括第一板体(o1)、第二板体(o2)、电机(o3)、第一齿轮(o4)、第二齿轮(o5)、第三板体(o6)、转动连杆(o7)、运片装配板(o8)，所述第一板体(o1)底端与第一电动伸缩杆(n)顶端固定连接，所述第一板体(o1)内部一侧固定连接有电机(o3)，所述电机(o3)通过第一齿轮(o4)与第二齿轮(o5)啮合，所述第二齿轮(o5)固定包覆于转动连杆(o7)上，所述转动连杆(o7)设于第一板体(o1)内，所述转动连杆(o7)顶端贯穿第一板体(o1)与第二板体(o2)底端一侧固定连接，所述第二板体(o2)内部远离与第一板体(o1)内转动连杆(o7)连接端也设有电机(o3)，所述第二板体(o2)同第一板体(o1)与第二板体(o2)相接方式通过电机(o3)、第二齿轮(o5)、第三板体(o6)、转动连杆(o7)与第三板体(o6)底端相接，所述第二板体(o2)、第三板体(o6)底端固定连接端与第一板体(o1)、第二板体(o2)底端固定连接端方向相反，所述第三板体(o6)同第一板体(o1)与第二板体(o2)相接方式通过电机(o3)、第二齿轮(o5)、第三
板体(o6)、转动连杆(o7)与运片装配板(o8)底端固定连接，所述第三板体(o6)、运片装配板(o8)固定连接端与第二板体(o2)、第三板体(o6)底端固定连接端方向相反，所述运片装配板(o8)内部固定连接有第二电动伸缩杆(e1)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆分选导片机，其特征在于：所述开盖装置(h)包括第三气孔(h1)、第四气孔(h2)、滤盒(h3)、第五气孔(h4)、第一接电板(h5)、第一通电槽(h6)、第一通电环(h7)、检测顶压板(h8)、检测顶压头(h9)、第一压缩弹簧(h10)、第二接电板(h11)、第六气孔(h12)、流量计(h13)、风扇叶轮(h14)、风机电机(h15)、控制芯片(h16)、第二电磁铁(h17)、第三接电板(h18)、第二通电槽(h19)、第二压缩弹簧(h20)、通电装配板(h21)、第二通电环(h22)、第四接电板(h23)，所述第一通电槽(h6)、第二通电槽(h19)均设于主机体(b)内，所述检测顶压板(h8)设于第一通电槽(h6)内，所述检测顶压板(h8)顶端与检测顶压头(h9)固定连接，所述检测顶压头(h9)顶端贯穿主机体(b)设于晶圆盒装配槽(f)内，所述检测顶压板(h8)底端固定镶嵌设有第一通电环(h7)，所述检测顶压板(h8)底端中部与第一通电槽(h6)底端之间设有第一压缩弹簧(h10)，所述第一接电板(h5)与第一通电槽(h6)底端一侧相接，所述第二接电板(h11)与第一通电槽(h6)底端远离第一接电板(h5)侧相接，所述风机电机(h15)与风扇叶轮(h14)固定连接，所述风扇叶轮(h14)、风机电机(h15)均设于主机体(b)内，所述风扇叶轮(h14)装配处顶端通过第四气孔(h2)与定位环(g)内环端底部相通，所述滤盒(h3)镶嵌锁接于主机体(b)侧端，所述风扇叶轮(h14)装配处底端通过第六气孔(h12)与滤盒(h3)顶端相通，所述流量计(h13)、控制芯片(h16)均与主机体(b)内部固定连接，所述流量计(h13)与第六气孔(h12)内部相接，所述流量计(h13)与控制芯片(h16)电连接，所述控制芯片(h16)与第二电磁铁(h17)电连接，所述第二电磁铁(h17)设于第二通电槽(h19)内部顶端，所述第二电磁铁(h17)底端通过第二压缩弹簧(h20)与通电装配板(h21)顶端固定连接，所述通电装配板(h21)侧端镶嵌设有第二通电环(h22)，所述第三接电板(h18)与第二通电槽(h19)侧端上侧相接，所述第四接电板(h23)与第二通电槽(h19)侧端远离第三接电板(h18)上侧相接，所述滤盒(h3)底端与第五气孔(h4)相通，所述第五气孔(h4)通过第三气孔(h1)与定位环(g)内环端顶部相通，所述第一接电板(h5)与第三接电板(h18)电连接，所述第二接电板(h11)与蓄电池(i)电连接，所述第四接电板(h23)与第一电磁铁(k)电连接。5.根据权利要求4所述的一种晶圆分选导片机，其特征在于：所述检测顶压头(h9)为半球体，所述检测顶压头(h9)高处晶圆盒装配槽(f)底部的距离与第一通电环(h7)底端距离第一接电板(h5)或第二接电板(h11)顶端的距离一致，所述第一通电环(h7)、第二通电环(h22)均为金属材料制成，所述晶圆盒装配槽(f)由绝缘材料制成。6.根据权利要求1所述的一种晶圆分选导片机，其特征在于：所述密闭环(e7)由橡胶材料制成，所述密闭环(e7)与负压控制槽(e4)过盈配合。

技术总结
本发明公开了一种晶圆分选导片机，其结构包括垫座、导片机、控制台，本发明具有以下有益效果，通过在运片板上设有具有多个分隔小吸盘，小吸盘底部对应多个分隔的小负压控制槽和活塞板，活塞板通过第二电动伸缩杆同一联动控制进行抽压和顶压，使设备使用时能够防止多个吸盘因为晶圆大小而因为吸附不到的孔泄压的问题，同时也防止单吸盘吸附不平稳导致晶圆装配不稳定的情况，更好的进行晶圆分选移动使用，通过在晶圆盒的装配槽处设有顶压检测机构和循环抽吸过滤机构，同时对接的内盖板开启电路受循环抽吸的流量控制，在循环抽吸不达到设定流量时，不会开启内盖板，更好的防止设备内部和晶圆因为对接处残留空气的漂浮颗粒等造成污染。成污染。成污染。


技术研发人员：郭卫娜
受保护的技术使用者：郭卫娜
技术研发日：2022.12.01
技术公布日：2023/9/22