一种半导体晶圆加工用检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体晶圆加工用检测装置。


背景技术：

2.半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要，很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。
3.半导体晶圆加工时需要用到检测装置，但现有市面上大多数的检测装置不具有进料吸尘的功能，导致半导体晶圆在进入检测装置内部时会携带灰尘，从而造成检测装置容易出现检测故障的情况，需要进行维护，影响了检测装置正常使用。
4.因此，需要对检测装置进行设计改造，有效的防止其携带灰尘进入检测装置内部的现象。


技术实现要素：

5.为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆加工用检测装置，具备进料吸尘功能的优点，解决了现有市面上大多数的检测装置不具有进料吸尘的功能，导致半导体晶圆在进入检测装置内部时会携带灰尘，从而造成检测装置容易出现检测故障的情况，需要进行维护，影响了检测装置正常使用的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆加工用检测装置，包括检测机，所述检测机左侧的顶部固定连接有传动箱，所述传动箱的顶部设置有吸尘器，所述吸尘器的底部输出端贯穿至传动箱的内部并连通有软管，所述软管的输出端连通有集尘罩，所述传动箱内壁的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有蜗杆，所述蜗杆的顶部通过轴承与传动箱内壁的顶部活动连接，所述蜗杆的右侧啮合有蜗轮，所述蜗轮的顶部固定连接有皮带盘，所述皮带盘的顶部通过轴承与传动箱内壁的顶部活动连接，所述皮带盘的底部固定连接有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有传动杆，所述传动杆的底部与集尘罩的顶部固定连接。
7.作为本实用新型优选的，所述电机的右侧固定连接有固定板，所述固定板的底部与传动箱内壁的底部固定连接。
8.作为本实用新型优选的，所述蜗轮的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部通过轴承活动连接有支撑块，所述支撑块的背面与传动箱内壁的后侧固定连接。
9.作为本实用新型优选的，所述传动杆的左侧固定连接有滑块，所述滑块的内部滑动连接有导杆，所述导杆的底部与传动箱内壁的底部固定连接。
10.作为本实用新型优选的，所述传动箱的底部开设有开口，所述开口的宽度大于传动杆和软管的宽度，所述开口与传动杆和软管配合使用。
11.作为本实用新型优选的，所述传动杆和软管的表面套设有密封垫，所述密封垫的顶部与传动箱的底部固定连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
13.1、本实用新型通过设置检测机、传动箱、吸尘器、软管、集尘罩、电机、蜗杆、蜗轮、皮带盘、螺杆和传动杆配合使用，使用时，将半导体晶圆放置在检测机的顶部，然后使用者启动电机，电机通过输出端带动蜗杆转动，蜗杆啮合蜗轮带动蜗轮转动，蜗轮带动皮带盘转动，皮带盘带动螺杆转动，螺杆通过螺纹连接传动杆带动传动杆在螺杆的表面向下移动，传动杆带动集尘罩向下移动，集尘罩移动到适合位置时，然后开启吸尘器，吸尘器通过软管和集尘罩将检测机顶部的半导体晶圆进行吸尘，解决了现有市面上大多数的检测装置不具有进料吸尘的功能，导致半导体晶圆在进入检测装置内部时会携带灰尘，从而造成检测装置容易出现检测故障的情况，需要进行维护，影响了检测装置正常使用的问题，该半导体晶圆加工用检测装置，具备进料吸尘功能的优点。
14.2、本实用新型通过固定板的设置，能够对电机进行辅助支撑，防止电机单点支撑不够稳定，在工作时产生晃动。
附图说明
15.图1为本实用新型结构示意图；
16.图2为本实用新型传动箱剖视图；
17.图3为本实用新型图2中a的局部放大图；
18.图4为本实用新型传动箱立体图。
19.图中：1、检测机；2、传动箱；3、吸尘器；4、软管；5、集尘罩；6、电机；7、蜗杆；8、蜗轮；9、皮带盘；10、螺杆；11、传动杆；12、固定板；13、支撑杆；14、支撑块；15、滑块；16、导杆；17、开口；18、密封垫。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1至图4所示，本实用新型提供的一种半导体晶圆加工用检测装置，包括检测机1，检测机1左侧的顶部固定连接有传动箱2，传动箱2的顶部设置有吸尘器3，吸尘器3的底部输出端贯穿至传动箱2的内部并连通有软管4，软管4的输出端连通有集尘罩5，传动箱2内壁的底部固定连接有电机6，电机6的输出端固定连接有蜗杆7，蜗杆7的顶部通过轴承与传动箱2内壁的顶部活动连接，蜗杆7的右侧啮合有蜗轮8，蜗轮8的顶部固定连接有皮带盘9，皮带盘9的顶部通过轴承与传动箱2内壁的顶部活动连接，皮带盘9的底部固定连接有螺杆10，螺杆10的表面螺纹连接有传动杆11，传动杆11的底部与集尘罩5的顶部固定连接。
22.参考图2，电机6的右侧固定连接有固定板12，固定板12的底部与传动箱2内壁的底部固定连接。
23.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过固定板12的设置，能够对电机6进行辅
助支撑，防止电机6单点支撑不够稳定，在工作时产生晃动。
24.参考图2，蜗轮8的底部固定连接有支撑杆13，支撑杆13的底部通过轴承活动连接有支撑块14，支撑块14的背面与传动箱2内壁的后侧固定连接。
25.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过支撑杆13和支撑块14的设置，能够对蜗轮8进行辅助支撑，防止蜗轮8在移动时出现倾斜的情况。
26.参考图2，传动杆11的左侧固定连接有滑块15，滑块15的内部滑动连接有导杆16，导杆16的底部与传动箱2内壁的底部固定连接。
27.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过滑块15和导杆16的设置，能够对传动杆11进行限位，防止传动杆11在移动时出现跟转的现象。
28.参考图3，传动箱2的底部开设有开口17，开口17的宽度大于传动杆11和软管4的宽度，开口17与传动杆11和软管4配合使用。
29.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过开口17的设置，能够使传动杆11和软管4完整的通过开口17进行机械传动，避免了开口17的宽度过窄导致传动杆11和软管4在开口17处出现卡死的现象。
30.参考图3，传动杆11和软管4的表面套设有密封垫18，密封垫18的顶部与传动箱2的底部固定连接。
31.作为本实用新型的一种技术优化方案，通过密封垫18的设置，能够对传动杆11和软管4与传动箱2的连接处进行密封，提高了传动箱2的内部效果。
32.本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，将半导体晶圆放置在检测机1的顶部，然后使用者启动电机6，电机6通过输出端带动蜗杆7转动，蜗杆7啮合蜗轮8带动蜗轮8转动，蜗轮8带动皮带盘9转动，皮带盘9带动螺杆10转动，螺杆10通过螺纹连接传动杆11带动传动杆11在螺杆10的表面向下移动，传动杆11带动集尘罩5向下移动，集尘罩5移动到适合位置时，然后开启吸尘器3，吸尘器3通过软管4和集尘罩5将检测机1顶部的半导体晶圆进行吸尘。
33.综上所述：该半导体晶圆加工用检测装置，通过检测机1、传动箱2、吸尘器3、软管4、集尘罩5、电机6、蜗杆7、蜗轮8、皮带盘9、螺杆10和传动杆11配合使用，使用时，将半导体晶圆放置在检测机1的顶部，然后使用者启动电机6，电机6通过输出端带动蜗杆7转动，蜗杆7啮合蜗轮8带动蜗轮8转动，蜗轮8带动皮带盘9转动，皮带盘9带动螺杆10转动，螺杆10通过螺纹连接传动杆11带动传动杆11在螺杆10的表面向下移动，传动杆11带动集尘罩5向下移动，集尘罩5移动到适合位置时，然后开启吸尘器3，吸尘器3通过软管4和集尘罩5将检测机1顶部的半导体晶圆进行吸尘，解决了现有市面上大多数的检测装置不具有进料吸尘的功能，导致半导体晶圆在进入检测装置内部时会携带灰尘，从而造成检测装置容易出现检测故障的情况，需要进行维护，影响了检测装置正常使用的问题。
34.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：
1.一种半导体晶圆加工用检测装置，包括检测机(1)，其特征在于：所述检测机(1)左侧的顶部固定连接有传动箱(2)，所述传动箱(2)的顶部设置有吸尘器(3)，所述吸尘器(3)的底部输出端贯穿至传动箱(2)的内部并连通有软管(4)，所述软管(4)的输出端连通有集尘罩(5)，所述传动箱(2)内壁的底部固定连接有电机(6)，所述电机(6)的输出端固定连接有蜗杆(7)，所述蜗杆(7)的顶部通过轴承与传动箱(2)内壁的顶部活动连接，所述蜗杆(7)的右侧啮合有蜗轮(8)，所述蜗轮(8)的顶部固定连接有皮带盘(9)，所述皮带盘(9)的顶部通过轴承与传动箱(2)内壁的顶部活动连接，所述皮带盘(9)的底部固定连接有螺杆(10)，所述螺杆(10)的表面螺纹连接有传动杆(11)，所述传动杆(11)的底部与集尘罩(5)的顶部固定连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用检测装置，其特征在于：所述电机(6)的右侧固定连接有固定板(12)，所述固定板(12)的底部与传动箱(2)内壁的底部固定连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用检测装置，其特征在于：所述蜗轮(8)的底部固定连接有支撑杆(13)，所述支撑杆(13)的底部通过轴承活动连接有支撑块(14)，所述支撑块(14)的背面与传动箱(2)内壁的后侧固定连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用检测装置，其特征在于：所述传动杆(11)的左侧固定连接有滑块(15)，所述滑块(15)的内部滑动连接有导杆(16)，所述导杆(16)的底部与传动箱(2)内壁的底部固定连接。5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用检测装置，其特征在于：所述传动箱(2)的底部开设有开口(17)，所述开口(17)的宽度大于传动杆(11)和软管(4)的宽度，所述开口(17)与传动杆(11)和软管(4)配合使用。6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆加工用检测装置，其特征在于：所述传动杆(11)和软管(4)的表面套设有密封垫(18)，所述密封垫(18)的顶部与传动箱(2)的底部固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体晶圆加工用检测装置，包括检测机，所述检测机左侧的顶部固定连接有传动箱，所述传动箱的顶部设置有吸尘器，所述吸尘器的底部输出端贯穿至传动箱的内部并连通有软管，所述软管的输出端连通有集尘罩，所述传动箱内壁的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有蜗杆，所述蜗杆的顶部通过轴承与传动箱内壁的顶部活动连接。本实用新型解决了现有市面上大多数的检测装置不具有进料吸尘的功能，导致半导体晶圆在进入检测装置内部时会携带灰尘，从而造成检测装置容易出现检测故障的情况，需要进行维护，影响了检测装置正常使用的问题，达到了进料吸尘功能的效果。能的效果。能的效果。


技术研发人员：朱汪龙 朱玲 闾浩
受保护的技术使用者：江苏先进技电半导体设备有限公司
技术研发日：2023.03.01
技术公布日：2023/9/3