片叉和晶片传输设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，特别涉及一种片叉和一种晶片传输设备。


背景技术：

2.晶片传输设备一般由机械手来完成晶片在各工位的传输。片叉就是机械手上与晶片直接接触的一种结构。片叉采用真空(或者说负压)方案实现晶片的吸附功能。为了使片叉能适应小翘曲晶片，片叉上设计有橡胶吸盘；橡胶吸盘易变形，与晶片接触可以起到很好的密封效果。在片叉工作工程中，橡胶吸盘需要不断吸附与释放晶片，此过程中橡胶吸盘不断承受交变载荷作用。随着时间的积累，橡胶吸盘会发生疲劳而产生破损，因而需要定期更换。
3.目前，大部分片叉采用粘合胶将吸盘粘接到片叉本体上。更换吸盘过程中，在扯下破损吸盘后，粘合胶仍残留在片叉本体上，需要将残留的粘合胶去除干净后，才能将新吸盘粘接到片叉上，使得吸盘的更换效率较低，设备的线上维护时间较长。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种片叉和一种晶片传输设备，可以提高片叉上吸盘的更换效率，降低设备的线上维护时间。
5.为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种片叉。所述片叉包括片叉本体、垫片和吸盘；所述吸盘固定在所述垫片上，所述垫片通过螺钉可拆卸地固定在所述片叉本体上。
6.可选的，所述片叉本体上具有螺纹孔，所述垫片上具有第一通孔，所述第一通孔与所述螺纹孔位置对应，所述螺钉安装在位置对应的所述第一通孔和所述螺纹孔中。
7.可选的，所述片叉本体上具有若干个垫片安装区，一个所述垫片安装区对应安装一个所述垫片。
8.可选的，所述螺纹孔设置在所述垫片安装区内；一个所述垫片安装区内所述螺纹孔的数量为m个，每个所述垫片上所述第一通孔的数量为n个，m和n均为大于或等于3的正整数，n个所述第一通孔和m个所述螺纹孔至少具有三对位置对应的第一通孔和螺纹孔，固定所述垫片的螺钉数量大于或等于三个。
9.可选的，所述螺钉的数量为三个，三个所述螺钉的中心连线构成等腰三角形。
10.可选的，一个所述垫片安装区内所述螺纹孔的数量大于所述垫片上所述第一通孔的数量。
11.可选的，所述片叉本体内具有气道，所述垫片中具有第二通孔，所述第二通孔与所述气道连通。
12.可选的，n个所述第一通孔环绕所述第二通孔设置。
13.可选的，所述吸盘粘贴在所述垫片上。
14.可选的，所述垫片顶面具有吸盘粘贴槽，所述吸盘的底部粘贴在所述吸盘粘贴槽内，所述吸盘粘贴槽设置在所述垫片的边缘区域。
15.本实用新型另一方面提供一种晶片传输设备。所述晶片传输设备包括上述的片叉。
16.本实用新型提供的片叉和晶片传输设备中，片叉包括片叉本体、垫片和吸盘，吸盘固定在垫片上，垫片通过螺钉可拆卸地固定在片叉本体上，从而在更换破损吸盘时，可以拆卸螺钉并将破损吸盘及其连接的垫片一起取下，再将固定有合格吸盘的垫片安装在片叉本体上，如此即完成了吸盘线上的保养，而破损吸盘与其连接的垫片的分离、以及合格吸盘的固定均可以在线下进行，进而可以大大提高吸盘的更换效率，降低设备的线上维护时间。此外，垫片是可回收再利用的，可以降低维护成本，提高产品竞争力。
附图说明
17.为了更好地描述和说明这里公开的那些实用新型的实施例和/或示例，可以参考一幅或多幅附图。用于描述附图的附加细节或示例不应当被认为是对所公开的实用新型、目前描述的实施例和/或示例以及目前理解的这些实用新型的最佳模式中的任何一者的范围的限制。
18.图1为本实用新型一实施例提供的片叉的局部剖面示意图。
19.图2为本实用新型一实施例提供的片叉的立体示意图。
20.图3为本实用新型一实施例提供的片叉本体的垫片安装区的平面示意图。
21.图4为本实用新型一实施例提供的垫片的平面示意图。
22.图5为本实用新型一实施例提供的片叉本体内气道的示意图。
23.附图标记说明：100-片叉本体；101-螺纹孔；102-气道；102a-气道开口；103-垫片安装区；200-垫片；201-第一通孔；202-第二通孔；203-吸盘粘贴槽；300-吸盘；400-螺钉。
具体实施方式
24.以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
25.为了提高片叉上吸盘的更换效率，降低设备的维护时间，本实施例提供一种片叉。图1为本实用新型一实施例提供的片叉的局部剖面示意图。如图1所示，片叉包括片叉本体100、垫片200和吸盘300；吸盘300固定在垫片200上，垫片200通过螺钉400可拆卸地固定在片叉本体100上。
26.优选的，吸盘300粘贴在垫片200上，如此可以简便的将吸盘300固定在垫片200上，且吸盘300与垫片200间的密封效果较好。在其它实施例中，吸盘300也可以通过其它机械固定的方式固定在垫片200上。
27.本实施例中，吸盘300的材质可以为橡胶。吸盘300可以通过粘合胶粘贴在垫片200上，粘合胶例如为瞬干胶，参考图1所示，粘合胶涂布在吸盘300与垫片200的粘接位置。
28.如图1所示，垫片200的顶面可以具有吸盘粘贴槽203，吸盘300的底部粘贴在吸盘粘贴槽203内。示例性的，吸盘粘贴槽203可以设置在垫片300的边缘区域，吸盘粘贴槽203的
纵截面可以为l形，且l形的开口背向垫片200的中心，这样在去除垫片200上的吸盘300后，便于去除垫片200上的残胶。
29.片叉本体100上具有螺纹孔101，所述垫片200上具有第一通孔201，所述第一通孔201与所述螺纹孔101位置对应，所述螺钉400安装在位置对应的所述第一通孔201和所述螺纹孔101中以固定垫片200和片叉本体100。
30.图2为本实用新型一实施例提供的片叉的立体示意图。如图1和图2所示，片叉本体100上设置有若干个垫片安装区103，垫片安装区103的数量包括但不限于3个，一个垫片安装区103对应安装一个垫片200，且每个垫片安装区103内，垫片200均可以通过螺丝400可拆卸地固定在片叉本体100上。
31.参考图1和图2所示，片叉本体100上的垫片安装区103可以为一凹槽，但不限于此。垫片安装区103的形状可以与垫片200的形状相同，例如均为圆形，但不限于此。
32.图3为本实用新型一实施例提供的片叉本体的垫片安装区的平面示意图。图4为本实用新型一实施例提供的垫片的平面示意图。本实施例中，如图1和图3所示，螺纹孔101设置在垫片安装区103内。本实施例中，参考图3和图4所示，一个垫片安装区103内螺纹孔101的数量可以为m个，每个垫片200上第一通孔201的数量可以为n个，m和n均为大于或等于3的正整数。将垫片200与垫片安装区103对准后，n个第一通孔201和m个螺纹孔101至少具有三对位置对应的第一通孔201和螺纹孔101，螺钉400安装在位置对应的第一通孔201和螺纹孔101中，从而固定一个垫片200的螺钉400的数量可以大于或等于三个，设置三个以上的螺钉400能够保证垫片200牢固地固定在片叉本体100上。
33.本实施例中，m个螺纹孔101的中心轴到垫片安装区103的中心的距离可以相等；n个第一通孔201到垫片200中心的距离可以相等。
34.本实施例中，一个垫片安装区103内螺纹孔101的数量可以大于垫片200上第一通孔201的数量，如此可以使得螺钉400的安装选择方案较多，当个别螺纹孔101损坏后，还可以使用多配的螺纹孔替代，能够保证垫片200可以牢固地固定在片叉本体100上，可以延长片叉本体100的使用寿命。
35.示例性的，如图3所示，一个垫片安装区103内，螺纹孔101的数量为7个，但不限于此；如图4所示，一个垫片200上第一通孔201的数量为6个，但不限于此。
36.参考图3所示，将7个螺纹孔101分别编号为1、2、3、4、5、6、7，以垫片200与垫片安装区103对准后，6个第一通孔201和7个螺纹孔101具有三对位置对应的第一通孔201和螺纹孔101为例，与第一通孔101对位的螺纹孔101组合可以146、136、147、247、257、125、126、135、137、145、156、157、236、237、246、256、347、357、367等组合，需要说明的是，146表示1号、4号和6号的组合，136表示1号、3号和6号的组合，其它数字组合的表示可以以此类推，在此不再赘述。
37.其中，与第一通孔101对位的螺纹孔101组合优选为146、136、147、247和257，这样将三个螺钉400安装在这些螺纹孔中后，三个螺钉400的中心连线构成等腰三角形，如此三个螺钉400的受力较为均匀，有助于提高螺钉400、螺纹孔101和第一通孔201的使用寿命。
38.图5为本实用新型一实施例提供的片叉本体内气道的示意图。如图1和图5所示，片叉本体100内具有气道102，气道102可以具有多个气道开口102a。
39.示例性的，参考图2和图5所示，片叉本体100可以为y形，片叉本体100的枝干底端
具有气路进/出口；片叉本体100上的若干个垫片安装区103可以沿着片叉本体100的两个枝丫布置，以3个垫片安装区为例，3个垫片安装区103分别布置在两个枝丫的连接处以及枝丫远离连接处的端部；参考图1、图3和图5所示，一个垫片安装区103可以具有一个气道开口102a。
40.参考图1和图4所示，每个垫片200中可以具有第二通孔202，垫片200安装在片叉本体100上后，第二通孔202与一气道开口102a位置相对，从而第二通孔202与气道102连通。
41.参考图3和图5所示，每个垫片安装区103内，m个螺纹孔101可以环绕气道开口102a设置；参考图4所示，每个垫片200中，n个第一通孔201可以环绕第二通孔202设置。
42.需要说明的是，参考图1至图5所示，本实施例的片叉在工作时，晶片放在吸盘300上，此时片叉本体100、垫片200、吸盘300和晶片形成一个密闭的腔体，通过气道102的气路进/出口进行抽真空，可以将晶片吸附到垫片200上，晶片上表面和下表面的压力差以及垫片200和晶片间的摩擦力使得片叉运动时，晶片也不会掉落；需要释放晶片时，停止抽真空，从气道102的气路进/出口通入压缩空气，此时真空环境被破坏，晶片与垫片200间不存在明显的压力差，可以轻易将晶片取走。
43.更换片叉上破损的吸盘300时，首先拆掉破损吸盘处的螺钉400，将垫片200和吸盘300一起取下；然后，将粘结有合格吸盘的垫片200安装在片叉本体100上；接着，将拆下来的垫片200上的破损吸盘扯掉，还可以用去胶溶剂将垫片200上的残胶去除干净；之后，将合格吸盘粘贴在清洗干净的垫片上，用于下次更换破损吸盘。
44.本实施例中，吸盘300粘贴在垫片200上，垫片200通过螺钉400可拆卸地固定在片叉本体100上，从而在更换破损吸盘时，可以拆卸螺钉400并将破损吸盘及其粘贴的垫片200一起取下，再将粘贴有合格吸盘的垫片200安装在片叉本体100上，如此即完成了吸盘线上的保养，而破损吸盘与其粘贴的垫片的分离、粘贴过吸盘的垫片上的残胶的去除、以及合格吸盘的粘贴均可以在线下进行，进而可以大大提高吸盘的更换效率，降低设备的线上维护时间。此外，垫片是可回收再利用的，可以降低维护成本，提高产品竞争力。
45.本实施例还提供一种晶片传输设备，该晶片传输设备包括上述的片叉。
46.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型权利范围的任何限定，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。

技术特征：
1.一种片叉，其特征在于，包括片叉本体、垫片和吸盘；所述吸盘固定在所述垫片上，所述垫片通过螺钉可拆卸地固定在所述片叉本体上。2.如权利要求1所述的片叉，其特征在于，所述片叉本体上具有螺纹孔，所述垫片上具有第一通孔，所述第一通孔与所述螺纹孔位置对应，所述螺钉安装在位置对应的所述第一通孔和所述螺纹孔中。3.如权利要求2所述的片叉，其特征在于，所述片叉本体上具有若干个垫片安装区，一个所述垫片安装区对应安装一个所述垫片。4.如权利要求3所述的片叉，其特征在于，所述螺纹孔设置在所述垫片安装区内；一个所述垫片安装区内所述螺纹孔的数量为m个，每个所述垫片上所述第一通孔的数量为n个，m和n均为大于或等于3的正整数，n个所述第一通孔和m个所述螺纹孔至少具有三对位置对应的第一通孔和螺纹孔，固定所述垫片的螺钉数量大于或等于三个。5.如权利要求4所述的片叉，其特征在于，所述螺钉的数量为三个，三个所述螺钉的中心连线构成等腰三角形。6.如权利要求4所述的片叉，其特征在于，一个所述垫片安装区内所述螺纹孔的数量大于所述垫片上所述第一通孔的数量。7.如权利要求4所述的片叉，其特征在于，所述片叉本体内具有气道，所述垫片中具有第二通孔，所述第二通孔与所述气道连通。8.如权利要求7所述的片叉，其特征在于，n个所述第一通孔环绕所述第二通孔设置。9.如权利要求1至8任一项所述的片叉，其特征在于，所述吸盘粘贴在所述垫片上。10.如权利要求9所述的片叉，其特征在于，所述垫片顶面具有吸盘粘贴槽，所述吸盘的底部粘贴在所述吸盘粘贴槽内，所述吸盘粘贴槽设置在所述垫片的边缘区域。11.一种晶片传输设备，其特征在于，包括如权利要求1至10任一项所述的片叉。

技术总结
本实用新型提供一种片叉。该片叉包括片叉本体、垫片和吸盘，吸盘固定在垫片上，垫片通过螺钉可拆卸地固定在片叉本体上。如此在更换片叉本体上的破损吸盘时，可以拆卸螺钉并将破损吸盘及其连接的垫片一起取下，再将固定有合格吸盘的垫片安装在片叉本体上，如此即完成了吸盘线上的保养，而破损吸盘与其连接的垫片的分离、以及合格吸盘的固定均可以在线下进行，进而可以大大提高吸盘的更换效率，降低设备的线上维护时间。此外，垫片是可回收再利用的，可以降低维护成本，提高产品竞争力。本实用新型还提供一种包括上述片叉的晶片传输设备。提供一种包括上述片叉的晶片传输设备。提供一种包括上述片叉的晶片传输设备。


技术研发人员：张向飞 解奇军
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2023.03.01
技术公布日：2023/9/3