密封连接装置的制作方法

1.本发明属于精密设备技术领域，尤其涉及一种密封连接装置。


背景技术：

2.在科技日益发展的今天，随着科研实力稳步提升和科学技术手段的不断更迭，在重大科学基础设施建设及运行调试的过程中，有些实验对真空度的条件要求非常苛刻。为了实验的顺利进行，需要精密科学仪器彼此之间不仅保持仪器真空度的相对恒定，还必须具备一定程度的调节灵活性。但是现有技术中的精密仪器大多采用密封法兰刚性对接的方式连接，在密封状态下不可以进行两个相互连接的精密一起的相对位置调节，除非进行真空破坏后才能进行位置调节，并且在位置调节后再进行二次抽真空将仪器内重新恢复真空环境，导致精密仪器在保持真空状态下进行调节非常不便。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种密封连接装置，旨在解决现有技术中的密封连接装置存在着在仪器保持真空状态下位置调节非常不便的技术问题。
4.本发明是这样实现的，提供一种密封连接装置，包括：
5.第一法兰件，设置有环形密封槽和连接通道，所述连接通道的第一端与所述环形密封槽连通，所述连接通道的另一端用于与外部负压装置连通；
6.第二法兰件，所述第二法兰件与所述第一法兰件转动连接，且所述第二法兰件与所述第一法兰件同轴设置，所述第二法兰件上设置有环形密封部，所述环形密封部插设于所述环形密封槽内，所述环形密封部通过密封结构与所述环形密封槽转动密封，所述环形密封部的底面与所述环形密封槽的底面之间间隔设置、且两者之间形成密封腔，所述密封腔与所述连接通道的第一端连通；
7.驱动机构，所述驱动机构的驱动端与所述第一法兰件和/或所述第二法兰件相连，用于驱动所述第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动。
8.在一个可选实施例中，所述密封结构包括两组密封圈，两组所述密封圈分别设于所述环形密封部与所述环形密封槽的两侧壁之间。
9.在一个可选实施例中，
10.所述环形密封部上设置有用于卡装所述密封圈的固位凹槽；
11.和/或，所述环形密封槽的内壁上设置有用于卡装所述密封圈的固位凹槽。
12.在一个可选实施例中，所述密封圈与所述固位凹槽相对设置的侧面设置有凸起部，所述凸起部沿所述密封圈的周圈方向设置，所述凸起部的截面高度从靠近所述固位凹槽的一侧向另一侧逐渐减小。
13.在一个可选实施例中，所述密封连接装置还包括转动轴承，且所述转动轴承位于所述第一法兰件与所述第二法兰件之间，所述第一法兰件与所述第二法兰件通过所述转动轴承转动连接。
14.在一个可选实施例中，所述第一法兰件上设置有环形支撑部，所述环形支撑部与所述环形密封部相互间隔且同轴设置，所述转动轴承安装于所述环形密封部和所述环形支撑部之间。
15.在一个可选实施例中，所述驱动机构包括设置在所述第一法兰件或所述第二法兰件上的驱动涡轮、与所述驱动涡轮啮合的转动蜗杆、及与所述转动蜗杆端部连接用于驱动所述转动蜗杆的动力单元。
16.在一个可选实施例中，所述驱动涡轮设置在所述第二法兰件上，所述第一法兰件上设置有安装支架，所述转动蜗杆转动设置在所述安装支架上。
17.在一个可选实施例中，所述密封连接装置还包括真空接口，所述真空接口安装于所述连接通道的出气口处。
18.在一个可选实施例中，
19.所述第一法兰件或所述第二法兰件上设置有角度标尺；
20.和/或，所述密封连接装置还包括用于检测所述密封腔内真空度的测量单元。
21.本发明相对于现有技术的技术效果是：第一法兰件与第二法兰件分别设置在两个需要进行连接管道的端部，通过将第一法兰件与第二法兰件转动连接，并在第一法兰件与第二法兰件连接后，将第二法兰件上的环形密封部插设于到第一法兰件上的环形密封槽内，并且通过密封结构实现与环形密封槽的转动密封。环形密封部的底面与环形密封槽的底面之间间隔设置、且两者之间形成密封腔，环形密封部与环形密封槽的内壁保持密封的同时还能相对滑动。与现有技术中采用密封法兰刚性对接的连接方式相比，可以在两个仪器的连接部位需要调整时候，通过驱动机构驱动第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动来实现调整，同时在第一法兰件与第二法兰件相对转动的同时，密封腔的密封性不被破坏。通过外部负压装置保持密封腔内真空度的恒定，通过密封腔内部真空环境的隔离而在一定程度上避免仪器内部的真空环境在第一法兰件与第二法兰件相对转动时被破坏，使精密仪器在保持真空状态下进行调整更方便。并且本发明结构简单、调节方便可靠性强，可适用于不同指标的精密仪器。
附图说明
22.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1是本发明实施例提供的密封连接装置的结构示意图；
24.图2是本发明实施例提供的密封连接装置的局部剖视结构示意图；
25.图3是本发明实施例所采用的第一法兰件的结构示意图；
26.图4是本发明实施例所采用的第二法兰件的结构示意图；
27.图5是本发明实施例所采用的转动蜗杆与动力单元的结构示意图；
28.图6是本发明实施例所采用的密封腔的结构示意图。
29.附图标记说明：
30.1、第一法兰件；11、环形密封槽；12、环形支撑部；13、连接通道；2、第二法兰件；21、
环形密封部；3、密封腔；4、驱动机构；41、驱动涡轮；42、转动蜗杆；43、动力单元；44、安装支架；45、联轴器；46、减速器；5、密封圈；51、凸起部；6、固位凹槽；7、角度标尺；8、真空接口；9、转动轴承。
具体实施方式
31.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
32.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
33.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
35.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。
36.请参照图1至图6所示，在本发明实施例中，提供一种密封连接装置，包括第一法兰件1、第二法兰件2以及驱动机构4。第一法兰件1上设置有环形密封槽11和连接通道13，连接通道13的第一端与环形密封槽11连通，连接通道13的另一端用于与外部负压装置连通。第二法兰件2与第一法兰件1转动连接，且第二法兰件2与第一法兰件1同轴设置，第二法兰件2上设置有环形密封部21，环形密封部21插设于环形密封槽11内，环形密封部21通过密封结构与环形密封槽11转动密封，环形密封部21的底面与环形密封槽11的底面之间间隔设置、且两者之间形成密封腔3，密封腔3与连接通道13连通。
37.第一法兰件1与第二法兰件2均是指用于连接两个管道的板状构件，在第一法兰件1与第二法兰件2上设置有通过孔，通过孔用于管道内气体或流体通过。第一法兰件1与第二法兰件2的形状可以是圆形、矩形或者三角形等中任意一种，第一法兰件1与第二法兰件2一般都采用圆形。并且第一法兰件1与第二法兰件2的材料，可根据使用环境以及作业强度需求进行选择。
38.环形密封槽11是指凹设在第一法兰件1表面上的凹槽。环形密封部21是指具有一定壁厚的环形构件，环形密封部21与环形密封槽11同轴心设置。环形密封部21可以为单独的部分，并通过紧固件或者其他方式与第二法兰件2密封连接；环形密封部21也可与第二法
兰件2为一体成型结构。
39.密封腔3是指将环形密封部21的一端从环形密封槽11的口部伸入到环形密封槽11内后，环形密封部21的端面与环形密封槽11内壁围设而成的环形腔体，环形密封部21的端部是指环形密封部21远离第二法兰件2的侧面。为了保证密封腔3的密封性以及两个法兰件的相对运动，需要环形密封部21与环形密封槽11的内壁在保持密封连接的同时还能相对转动。密封结构可以采用环形密封部21与环形密封槽11的内壁尽量贴合并减小粗糙度的方式来实现；并且密封结构也可以采用在两者之间设置密封圈5的方式来实现。
40.环形密封槽11与环形密封部21组成的密封腔3以及与密封腔3配套的真空管接口等结构共同组成了密封连接装置的真空系统。其中真空系统的数量可以为多个也可以为一个，真空系统的数量可根据仪器的密封等级来选择。
41.负压装置是指可以将容器内的气体抽出，从而使空间内的气压降低直至接近真空的装置，通常为抽真空设备，并通过管道与指定容器连接。
42.驱动机构4一般是指动力单元43与设置在动力单元43和法兰件之间的传动单元组成的结构。驱动机构4可以是动力单元43与皮带传动方式相互配合；也可以是动力单元43与齿轮传动的方式相互配合；还可以采用动力单元43与涡轮蜗杆配合的方式。驱动机构4可根据调节的精度要求选择。
43.其中驱动机构4的驱动端与第一法兰件1与第二法兰件2中的一个相连，可驱动第一法兰件1与第二法兰件2中的一个转动；也可以与两个同时连接，驱动第一法兰件1与第二法兰件2反向转动；驱动机构4的主体可以设置在第一法兰件1或第二法兰件2上，也可以设置在仪器或者其它部件上。
44.本发明实施例提供的密封连接装置，第一法兰件1与第二法兰件2分别设置在两个需要进行连接管道的端部，通过将第一法兰件1与第二法兰件2转动连接，并在第一法兰件1与第二法兰件2连接后，将第二法兰件2上的环形密封部21插设于到第一法兰件1上的环形密封槽11内，并且通过密封结构实现与环形密封槽11的转动密封。环形密封部21的底面与环形密封槽11的底面之间间隔设置、且两者之间形成密封腔，环形密封部21与环形密封槽11的内壁保持密封的同时还能相对滑动。与现有技术中采用密封法兰刚性对接的连接方式相比，可以在两个仪器的连接部位需要调整时候，通过驱动机构4驱动第一法兰件1与第二法兰件2之间相对转动来实现调整，同时在第一法兰件1与第二法兰件2相对转动的同时，密封腔3的密封性不被破坏。通过外部负压装置的设置保持密封腔3内真空度的恒定，在第一法兰件1与第二法兰件2相对转动的过程中，由于环形密封槽11与环形密封部21产生微小位移差而发生轻微泄露时，可以通过外部负压装置将进入密封腔3的微量气体抽出，从而保证密封腔3内部的真空度。通过密封腔3内部真空环境的隔离而在一定程度上避免仪器内部的真空环境在第一法兰件1与第二法兰件2相对转动时被破坏，使精密仪器在保持真空状态下进行调整更方便。并且本发明结构简单、操作安全稳定，调节方便可靠性强，可适用于不同指标的大型精密仪器。
45.需要说明的是，本发明实施例中，第一法兰件1与所述第二法兰件2可更换材料可以适应不同环境高强度作业需求的问题。本装置可根据不同环境需求组合其他辅助设施联动使用；可通过改变或更换驱动机构4中的部件结构实现进一步高精度调节问题，实现旋转精度升级和标度；还可通过改变第一法兰件1与所述第二法兰件2的尺寸实现不同运动轨迹
调整的需求；还可通过采用多个密封连接装置进行组合使用的方式针对大型精密仪器不同的物理特性及实验目标和实际工程需要，可进一步组合使用本发明，满足特定需求。
46.在一个实施例中，如图2与图6所示，密封结构包括两组密封圈5，两组密封圈5分别设于环形密封部21与环形密封槽11的两侧壁之间。具体的，密封圈5是指具有一定弹性的环形构件，密封圈5的横截面可以为圆形、正方形或者椭圆形等中的任意中。当有密封圈5存在时，环形密封部21与环形密封槽11的两侧壁均相互间隔设置，可以使第一法兰件1与第二法兰件2相对转动时，环形密封部21在环形密封槽11内滑动更加方便。同时由于密封圈5自身具有一定的弹性，因此还可以在环形密封部21与环形密封槽11的侧壁相对运动时，保证环形密封部21与环形密封槽11的侧壁之间的密封性。
47.在一个可选的实施例中，每组密封圈5中的密封圈数量为多个，即环形密封部21与环形密封槽11其中一个侧壁之间的密封圈5数量为多个，当环形密封部21与环形密封槽11其中一个侧壁之间的密封圈5为多个时，多个密封圈5沿环形密封槽11的深度方向依次间隔设置。同理环形密封部21与环形密封槽11其中另一个侧壁之间的密封圈5也为多个，进一步提高环形密封部21与环形密封槽11的侧壁之间的密封性，从而提高密封腔3的密封性。
48.在一个实施例中，如图2所示，为了使密封圈5的安装更加牢固，环形密封部21上设置有用于卡装密封圈5的固位凹槽6。具体的，固位凹槽6是指设置在环形密封部21外壁上的环形凹槽，其中密封圈5的至少一部分位于固位凹槽6内，密封圈5的另一部分位于固位凹槽6的外部且抵靠在环形密封槽11侧壁上。在本实施例中，通过将密封圈5的至少一部分套装在固位凹槽6内，可以在一定程度上避免密封圈5在沿环形密封槽11深度方向产生滑动错位，从而使密封圈5的安装更加稳定。
49.在另一个实施例中，如图6所示，环形密封槽11的内壁上设置有用于卡装密封圈5的固位凹槽6。具体的，固位凹槽6是指凹设在环形密封槽11内壁上的环形凹槽，固位凹槽6的开口朝向环形密封部21设置，密封圈5的至少一部分位于固位凹槽6内，密封圈5的另一部分位于固位凹槽6的外部且抵靠在环形密封部21侧面上。通过将密封圈5的至少一部分套装在固位凹槽6内，可以在一定程度上避免密封圈5在沿环形密封槽11深度方向产生滑动错位，从而使密封圈5的安装更加稳定。
50.在一个具体的实施例中，如图2所示，第二法兰件2上设置有与第一直线相互垂直的环形平面，环形平面位于第二法兰件2上靠近第一法兰件1一侧，环形密封槽11凹设在环形平面上。并且环形密封槽11的深度方向与第一直线相互平行，可以使环形密封槽11的开口朝向第一法兰件1设置，同时环形密封部21也设置在第一法兰件1上靠近环形平面的一侧，使第一法兰件1与第二法兰件2相互连接后，环形密封部21可以直接伸入到环形密封槽11的内部、用以组成密封腔3。使环形密封部21的结构更加简单，从而减小了第一法兰件1与第二法兰件2之间的间隙。
51.在上述特征第二法兰件2的基础上，如图2所示，环形密封部21与环形密封槽11的内壁上设置有用于卡装密封圈5的固位凹槽6；具体的，在环形密封部21与环形密封槽11的内壁上均设置有固位凹槽6。位于环形密封部21上的固位凹槽6设置在环形密封部21的外周圈上，环形密封部21的外周圈指的是环形密封部21远离轴心的周圈面。固位凹槽6位于外周圈上，可以使密封圈5套装在环形密封部21的外部，在通过固位凹槽6的两个侧壁对密封圈5进行限位的同时还能通过固位凹槽6的底面对密封圈5进行支撑，使密封圈5可以通过自身
弹性的作用下套装在固位凹槽6。同理的，固位凹槽6设置在环形密封槽11的内侧壁上，环形密封槽11的内侧壁是指靠近环形密封槽11自身轴心的侧壁，使固位凹槽6的开口朝向环形密封部21设置，可以在密封圈5安装到固位凹槽6内部后，通过固位凹槽6的两个侧壁对密封圈5进行限位的同时还能通过固位凹槽6的底面对密封圈5进行支撑，使密封圈5可以通过自身弹性的作用下套装在固位凹槽6。可以在一定程度上避免了密封圈5有从固位凹槽6中脱出的风险，可以使密封圈5的安装更加稳定，从而也使密封圈5的密封效果更好。
52.在一个实施例中，如图2所示，密封圈5与固位凹槽6相对设置的侧面设置有凸起部51，凸起部51沿密封圈5的周圈方向设置，凸起部51的截面高度从靠近固位凹槽6的一侧向另一侧逐渐减小。具体的，凸起部51的截面是指被凸起部51在通过密封圈轴心的平面所截形成的截面，其中高度是指在上述截面内沿环形密封槽11深度方向上的尺寸，详见图6中的箭头x向。凸起部51是指设置在密封圈5侧面上的不间断的条形构件。凸起部51的截面宽度从靠近固位凹槽6的一侧向另一侧逐渐减小，可以使凸起部51的距离固位凹槽6最远的侧面其宽度尺寸最小。凸起部51采用上述的形状可以减小密封圈5的侧面与其他平面的接触面积，使密封圈5与接触平面之间滑动更方便快捷。
53.在一个可选实施例中，凸起部51的横截面形状可以是三角形、半圆形或梯形等中的任一中，其中凸起部51的横截面是指通过密封圈5轴心的平面；
54.在一个实施例中，如图2所示，密封连接装置还包括转动轴承9，且转动轴承9位于第一法兰件1与第二法兰件2之间，第一法兰件1与第二法兰件2通过转动轴承9转动连接。具体的，转动轴承9是指可以将第一法兰件1与第二法兰件2连接，并使第一法兰件1与第二法兰件2之间可相对转动的装置。在第一法兰件1与第二法兰件2上均设置有用于与转动轴承9连接的结构，可以方便转动轴承9分别与第一法兰件1或第二法兰件2相互连接固定。可以使第一法兰件1与第二法兰件2之间实现转动连接更加方便结构更简单。
55.在一个可选的实施例中，如图2与图5所示，转动轴承9为双列滚柱轴承，双列滚柱轴承主要用于连接和限制第一法兰件1与第二法兰件2的运动路径。其中双列滚柱轴承主要由两圈轴承滚柱和两个轴承支撑壁组成，轴承滚柱主要为了便于增加轴承两侧的轴承支撑壁的接触面，双列轴承滚柱中的两圈轴承滚柱在空间上形成一定夹角，使得轴承不仅能够承受来自轴承壁的上下方向的支撑力，还可以承受左右方向上的剪向力，提高第一法兰件1与第二法兰件2连接的稳定性，可以使仪器之间的连接更加安全牢固。
56.在一个实施例中，如图2与图3所示，在第一法兰件1上设置有环形支撑部12，环形支撑部12与环形密封部21相互间隔且同轴设置，转动轴承9安装于环形密封部21和环形支撑部12之间。具体的，环形支撑部12是指具有一定厚度的环形构件，环形支撑部12与环形密封部21同轴心设置，并且环形支撑部12的内径尺寸大于环形密封部21的外径尺寸，在环形支撑部12与环形密封部21之间相互间隔设置形成容纳转动轴承9的间隙，可以使转动轴承9的安装固定更加方便，也使整个密封连接装置更稳定。
57.在一个可选的实施例中，如图2所示，在环形密封部21外部设置有第一限位圈，在环形密封部21的外壁上还设置有用于安装第一限位圈的台阶面，第一限位圈通过紧固件固定在台阶面上。在环形支撑部12的顶部处还设置有第二限位圈，第二限位圈也通过紧固件固定在环形支撑部12的顶面上。第一限位圈与第二限位圈相互均绕第一直线设置，且第一限位圈与第二限位圈相互间隔设置，第一限位圈与第二限位圈在转动轴承9安装后可以分
别抵靠在转动轴承9的两个端面上，对转动轴承9进行限位，在一定程度上避免转动轴承9在沿第一直线方向上滑动，可以使转动轴承9的安装更加牢固可靠。
58.在一个实施例中，如图1与图5所示，驱动机构4包括设置在第一法兰件1或第二法兰件2上的驱动涡轮41、与驱动涡轮41相互啮合的转动蜗杆42、以及与转动蜗杆42端部连接用于驱动转动蜗杆42的动力单元43。具体的，驱动涡轮41是指周圈设置有驱动齿的盘形构件，转动蜗杆42是指周圈设置有螺纹齿的柱状构件，转动蜗杆42外部的螺纹齿可以与驱动涡轮41外部的驱动齿相互啮合。转动蜗杆42可以在动力单元43的带动下转动，在转动蜗杆42转动时推动驱动涡轮41也同时转动，可以通过驱动涡轮41与转动蜗杆42来改变转动的方向，使驱动机构4的设置更加灵活。
59.在一个实施例中，如图1所示，为了减轻驱动涡轮41的重量驱动涡轮41上通常设置有让位孔，使驱动涡轮41整体为环形。具体的，第二法兰件2也为圆形，驱动涡轮41套装在第二法兰件2的外部，并通过紧固件进行固定。在驱动涡轮41的内壁上还设置有台阶面，可以在驱动涡轮41安装时对驱动涡轮41的安装位置进行限定，使驱动涡轮41在第二法兰件2上位置更精确。
60.在一个可选的实施例中，如图1与图5所示，动力单元43是指可以输出转动扭矩的设备，例如电动机、私服电机或马达等中的任一中。在动力单元43的输出轴与转动蜗杆42或转动齿轮转轴的端部之间可以设置有联轴器45，方便动力单元43与转动蜗杆42或转动齿轮转轴端部之间的连接。在动力单元43的输出轴与转动蜗杆42或转动齿轮转轴的端部之间还可以设置有减速器46，方便对输出的转速进行调节，并增到动力单元43输出的扭矩，使动力单元43驱动转动蜗杆42转动更方便。
61.在另一个实施例中，驱动机构4还可以包括设置在所述第一法兰件1或第二法兰件2上的驱动齿圈、与所述驱动齿圈相互啮合的转动齿轮、以及用于驱动转动齿轮转动的动力单元43，其具体工作方式与涡轮蜗杆相似。
62.在一个具体实施例中，如图1所示，驱动涡轮41设置在第二法兰件2，第一法兰件1上设置有用于安装转动蜗杆42的安装支架44。具体的，转动蜗杆42转动设置在安装支架44，转动蜗杆42与安装支架44之间还设置有固位轴承，使转动蜗杆42的转动更方便。在第一法兰件1与第二法兰件2相对转动时，第一法兰件1保持静止，可以通过转动蜗杆42的转动来带动驱动涡轮41与第二法兰件2转动，从而实现第一法兰件1与第二法兰件2之间相对位置的调整，使密封连接装置整体结构更简单。
63.在一个实施例中，如图2与图3所示，密封连接装置还包括真空接口8，真空接口8安装于连接通道13的出气口处。具体的，真空接口8是指具有一定长度且内部设置有通道的管状构件，真空接口8的一端连接在第一法兰件1上且与连接通道13相互连通，真空接口8的另一端上设置有用于与真空设备相互连接的连接构件，连接构件可以是法兰盘等，使密封腔3与真空设备连接更方便。连接通道13与真空接口8的数量可以为多个，可根据密封腔3的形状与长度来进行设置。
64.在一个实施例中，如图1所示，第一法兰件1或第二法兰件2上设置有角度标尺7；具体的，角度标尺7是指设置在第一法兰件1或第二法兰件2上且轴心沿第一直线设置的环形构件，在角度标尺7表面上设置有绕第一直线设置的刻度。角度标尺7可以随着第一法兰件1或第二法兰件2的转动而一同转动，密封连接装置还包括有与角度标尺7表相互配合的指示
部件，在指示部件上设置有指示标识，用于指出角度标尺7上的刻度变化，使角度标尺7的读数更加简单方便。角度标尺7的设置可以直观的显示出第一法兰件1或第二法兰件2转动角度，使第一法兰件1与第二法兰件2相对位置的调节更加精确。
65.在另一个实施例中，密封腔3内部还设置有用于测量真空度的测量单元。具体的，测量单元是指测量端位于密封腔3内的测量组件，测量单元可以选用机械形式的，如压力表等；也可以选用电子形式的，如电子压力表等。测量单元的设置可以方便的监测密封腔3中的真空度，使密封连接装置使用更安全。
66.需要说明的是，角度标尺7和/或测量单元是与本密封连接装置配套的辅助系统，且辅助系统还可包括角度传感器、其他各类传感器以及示数器等设备。辅助系统可以排列在装置外围用以侦测装置运行状态，进行实时信息回传。
67.以上仅为本发明的较佳实施例而已，仅具体描述了本发明的技术原理，这些描述只是为了解释本发明的原理，不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处解释，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进，及本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其他具体实施方式，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：
1.一种密封连接装置，其特征在于，包括：第一法兰件，设置有环形密封槽和连接通道，所述连接通道的第一端与所述环形密封槽连通，所述连接通道的另一端用于与外部负压装置连通；第二法兰件，所述第二法兰件与所述第一法兰件转动连接，且所述第二法兰件与所述第一法兰件同轴设置，所述第二法兰件上设置有环形密封部，所述环形密封部插设于所述环形密封槽内，所述环形密封部通过密封结构与所述环形密封槽转动密封，所述环形密封部的底面与所述环形密封槽的底面之间间隔设置、且两者之间形成密封腔，所述密封腔与所述连接通道的第一端连通；驱动机构，所述驱动机构的驱动端与所述第一法兰件和/或所述第二法兰件相连，用于驱动所述第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动。2.如权利要求1所述的密封连接装置，其特征在于，所述密封结构包括两组密封圈，两组所述密封圈分别设于所述环形密封部与所述环形密封槽的两侧壁之间。3.如权利要求2所述的密封连接装置，其特征在于，所述环形密封部上设置有用于卡装所述密封圈的固位凹槽；和/或，所述环形密封槽的内壁上设置有用于卡装所述密封圈的固位凹槽。4.如权利要求3所述的密封连接装置，其特征在于，所述密封圈与所述固位凹槽相对设置的侧面设置有凸起部，所述凸起部沿所述密封圈的周圈方向设置，所述凸起部的截面高度从靠近所述固位凹槽的一侧向另一侧逐渐减小。5.如权利要求1所述的密封连接装置，其特征在于，所述密封连接装置还包括转动轴承，且所述转动轴承位于所述第一法兰件与所述第二法兰件之间，所述第一法兰件与所述第二法兰件通过所述转动轴承转动连接。6.如权利要求5所述的密封连接装置，其特征在于，所述第一法兰件上设置有环形支撑部，所述环形支撑部与所述环形密封部相互间隔且同轴设置，所述转动轴承安装于所述环形密封部和所述环形支撑部之间。7.如权利要求1所述的密封连接装置，其特征在于，所述驱动机构包括设置在所述第一法兰件或所述第二法兰件上的驱动涡轮、与所述驱动涡轮啮合的转动蜗杆、及与所述转动蜗杆端部连接用于驱动所述转动蜗杆的动力单元。8.如权利要求7所述的密封连接装置，其特征在于，所述驱动涡轮设置在所述第二法兰件上，所述第一法兰件上设置有安装支架，所述转动蜗杆转动设置在所述安装支架上。9.如权利要求1所述的密封连接装置，其特征在于，所述密封连接装置还包括真空接口，所述真空接口安装于所述连接通道的出气口处。10.如权利要求1所述的密封连接装置，其特征在于，所述第一法兰件或所述第二法兰件上设置有角度标尺；和/或，所述密封连接装置还包括用于检测所述密封腔内真空度的测量单元。

技术总结
本发明适用于精密设备技术领域，提供了一种密封连接装置，包括第一法兰件、第二法兰件以及驱动机构。与现有技术中采用密封法兰刚性对接的连接方式相比，可以在两个仪器的连接部位需要调整时候，通过驱动机构驱动第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动来实现调整，同时在第一法兰件与第二法兰件相对转动的同时，还可以通过外部负压装置保持密封腔内真空度的恒定，通过密封腔内部真空环境的隔离而在一定程度上避免仪器内部的真空环境在第一法兰件与第二法兰件相对转动时被破坏，使精密仪器在保持真空状态下进行调整更方便。并且本发明结构简单、操作安全稳定，调节方便可靠性强，可适用于不同指标的大型精密仪器。适用于不同指标的大型精密仪器。适用于不同指标的大型精密仪器。


技术研发人员：朱庆浩 蔡建栋 仲银鹏
受保护的技术使用者：深圳综合粒子设施研究院
技术研发日：2023.06.19
技术公布日：2023/8/31