可实现低温固化且折射率低的阴性感光性树脂组合物的制作方法
未命名
09-01
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1.本技术主张2020年12月31日申请的韩国专利申请第10-2020-0189889号申请的优先权,相应优先权申请的说明书以及附图中所公开的所有内容将通过引用并入本技术。
2.本发明涉及一种可在150℃以下的低温下实现固化且具有低折射率特性的阴性感光性树脂组合物以及包含该固化物的显示装置。
背景技术:
3.就具有结构化的棱镜的透光性光学薄膜而言,其亮度上升率会根据构成棱镜结构的树脂的折射率发生变化。目前通常用于构成棱镜的树脂,会因为位于上部层以及下部层上的物质的折射率差异而导致光损失。
4.在现有的感光性树脂组合物中,是通过单一薄膜形式确保了低折射率特性,但是具有无法实现图案特性的问题。
5.此外,在通过将现有的液晶显示屏(lcd)以及有机发光二极管(oled)中所使用的玻璃基板替换成柔性薄膜而可以实现折叠的具有柔韧性的柔性显示屏中,由于作为彩色滤光片的平坦化以及层间绝缘膜使用的感光性树脂是在低温下进行工程,因此需要一种可以在低温下实现固化的感光性树脂组合物。
技术实现要素:
6.本发明的目的在于,提供一种低折射感光性树脂组合物,其可以在150℃以下的低温下实现固化且仅由折射率为1.50以下的有机化合物构成。
7.本发明的另一目的在于,提供一种显示装置,其包含所述感光性树脂组合物的固化物。
8.为了解决上述问题,本发明的一实施例的阴性感光性树脂组合物,包含:丙烯酸类共聚物,包含源自于含有热固性官能团的第一不包含化合物的重复单元以及源自于含有氟的第二不饱和化合物的重复单元;光引发剂;以及溶剂。
9.所述丙烯酸类共聚物,可以包含各5至30重量%的源自于所述第一以及第二不饱和化合物的重复单元。
10.所述丙烯酸类共聚物,可以包含10至30重量%的源自于所述第一不饱和化合物的重复单元以及5至30重量%的源自于第二不饱和化合物的重复单元。
11.所述丙烯酸类共聚物,还可以包含源自于不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的重复单元,具体来讲,可以包含1至50重量%。
12.所述丙烯酸类共聚物,可以包含各5至30重量%的源自于所述第一以及第二不饱和化合物的重复单元以及1至50重量%的源自于烯烃不饱和化合物的重复单元。
13.所述第一不饱和化合物,可以包含具有环氧基的直链或支链脂肪族结构或具有环氧基的脂环族结构。
14.所述第一不饱和化合物,可以包含从由下述化学式1至化学式3构成的组中选择的
一种以上的结构。
15.【化学式1】
[0016][0017]
【化学式2】
[0018][0019]
【化学式3】
[0020][0021]
此时,所述化学式2中n为1至10的整数,所述化学式3中的r为具有碳原子数为0至10的烷基、烯基以及烯丙基结构中的一个以上的有机基团。
[0022]
所述第二不饱和化合物,可以包含从由下述化学式4至化学式6构成的组中选择的一种以上的结构。
[0023]
【化学式4】
[0024][0025]
【化学式5】
[0026][0027]
【化学式6】
[0028]
[0029]
此时,所述化学式4中n为0至9的整数,所述化学式5中n为1至10的整数,所述化学式6中n为0至9的整数。
[0030]
所述丙烯酸类共聚物,其重量平均分子量(mw)可以是1000至10000。
[0031]
所述光引发剂,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,可以在感光性树脂组合物中包含0.1至30重量份。
[0032]
所述阴性感光性树脂组合物,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,还可以包含1至50重量份的乙烯性不饱和氨酯低聚物。
[0033]
所述乙烯性不饱和氨酯低聚物,可以包含一个以上的氟原子。
[0034]
所述阴性感光性树脂组合物,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,还可以包含1至50重量份的乙烯性不饱和多官能单体。
[0035]
所述乙烯性不饱和多官能单体,可以包含氟。
[0036]
所述溶剂,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,可以包含10至500重量份,例如,可以是从由二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚、二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚、二乙二醇丁甲醚、二乙二醇丁乙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇丁甲醚、二乙二醇叔丁醚、四乙二醇二甲醚、二乙二醇乙己醚、二乙二醇甲己醚、二丙二醇丁甲醚、二丙二醇乙己醚以及二丙二醇甲己醚构成的组中选择的一种以上。
[0037]
本发明的另一实施例的显示装置,包含所述阴性感光性树脂组合物的固化物。具体来讲,所述显示装置可以包括具有1.5以下的折射率的光学部件,而所述光学部件可以包含所述固化物。
[0038]
发明效果
[0039]
本发明的感光性树脂组合物,可以在150℃以下实现固化,因此可以在低温下通过光刻胶工程形成图案,而且其折射率为1.50以下,因此作为显示屏材料可以减少因为层间折射率而导致的光损失并抑制面板的亮度提升,从而延长电池的使用寿命。
具体实施方式
[0040]
接下来,将参阅附图对本发明进行详细的说明。
[0041]
首先,在本说明书以及权利要求书中所使用的术语或单词不应该限定于一般或词典中的含义做出解释,而是应该立足于发明人可以为了以最佳的方法对自己的发明进行说明而适当地对术语的概念做出定义的原则,以符合本发明的技术思想的含义以及概念做出解释。
[0042]
因此,在本说明书中所记载的实施例以及附图中图示的构成只是本发明的最佳一实施例,并不能代表本发明的所有技术思想,应该理解在本发明的申请时间点上可能会有可替代的其他多种均等物以及变形例。
[0043]
本发明的一实施例的阴性感光性树脂组合物,为了可以在150℃以下实现固化的同时具有低折射率特性,包含:丙烯酸类共聚物,包含源自于含有热固性官能团的第一不包含化合物的重复单元以及源自于含有氟的第二不饱和化合物的重复单元;光引发剂;以及
溶剂,可以对所述组合物进行溶解。
[0044]
所述丙烯酸类共聚物,可以在所述感光性树脂组合物的显影过程中起到防止产生残渣并且易于形成图案的作用。
[0045]
所述丙烯酸类共聚物,可以包含5至30重量%的所述源自于第一不饱和化合物的重复单元,具体来讲,可以包含10至30重量%。在所述源自于第一不饱和化合物的重复单元的含量不足5重量%的情况下,可能会因为组合物的热交联性下降而导致由所述组合物固化而成的薄膜的附着力变得脆弱的问题发生,而在超过30重量%的情况下,可能会导致使用由所述组合物固化而成的薄膜的显示屏产品的分辨率下降且组合物的稳定性下降的问题发生。
[0046]
所述丙烯酸类共聚物,可以包含5至30重量%的所述源自于第二不饱和化合物的重复单元。在所述源自于第二不饱和化合物的重复单元的含量不足5重量%的情况下,可能会导致所述组合物的折射率大于1.50的问题发生,而在超过30重量%的情况下,可能会在所述组合物的显影过程中导致白浊现象的发生,而且可能会在共聚反应过程中导致凝胶化(gelation)的问题发生。
[0047]
所述丙烯酸类共聚物,不仅可以包含所述源自于第一以及第二不饱和化合物的重复单元,还可以包含源自于不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的重复单元。所述源自于不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的重复单元包含在丙烯酸类共聚物中,可以起到提升所述感光性树脂组合物在碱水溶液中的溶解度的效果。
[0048]
所述丙烯酸共聚物,可以包含所述源自于不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的重复单元1至50重量%,更具体来讲,可以包含5至40重量%。在所述丙烯酸共聚物中的所述源自于不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的重复单元的含量不足1重量%的情况下,可能会导致难以溶解于所述感光性树脂组合物的显影剂即碱水溶液中的问题发生,而在含量超过50重量%的情况下,可能会导致在所述感光性树脂组合物的显影剂即碱水溶液中的溶解性过大的问题发生。
[0049]
作为所述不饱和羧酸或不饱和羧酸酐,例如,可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、柠康酸、甲康酸、衣康酸以及所述的不饱和羧酸酐中的一种,所述不饱和羧酸或不饱和羧酸酐可以单独使用,也可以混合使用两种以上。例如,使用丙烯酸、甲基丙烯酸或马来酸酐有利于共聚反应性以及在显影剂即碱水溶液中的溶解性。
[0050]
所述丙烯酸类共聚物,还可以包含源自于烯烃类不饱和化合物的重复单元。包含在所述丙烯酸类共聚物中的所述烯烃类不饱和化合物,可以通过提升所述丙烯酸共聚物的固化物的透明度而在后续过程中进一步起到提升显示屏装置的分辨率的作用。
[0051]
所述丙烯酸共聚物,可以包含所述源自于烯烃不饱和化合物的重复单元1至50重量%。在所述丙烯酸共聚物中的所述源自于烯烃类不饱和化合物的重复单元的含量不足1重量%的情况下,可能会导致在显示屏装置中使用由所述感光性树脂组合物固化而成的薄膜时所述显示屏装置的分辨率下降的问题发生,还可能会导致所述薄膜的耐热性下降的问题发生。此外,在所述丙烯酸共聚物中的所述源自于烯烃类不饱和化合物的重复单元的含量超过50重量%的情况下,可能会导致所述丙烯酸类共聚物难以溶解于显影剂即碱水溶液中的问题发生。
[0052]
作为所述烯烃类不饱和化合物的实例,可以使用甲基甲基丙烯酸酯、乙基甲基丙
烯酸酯、正丁基甲基丙烯酸酯、仲丁基甲基丙烯酸酯、叔丁基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、异丙基丙烯酸酯、环己基甲基丙烯酸酯、2-甲基环己基甲基丙烯酸酯、双环戊烯基丙烯酸酯、双环戊基丙烯酸酯、双环戊烯基甲基丙烯酸酯、双环戊基甲基丙烯酸酯、1-金刚烷基丙烯酸酯、1-金刚烷基甲基丙烯酸酯、双环戊氧基乙基甲基丙烯酸酯、异冰片基甲基丙烯酸酯、环己基丙烯酸酯、2-甲基环己基丙烯酸酯、双环戊氧基乙基丙烯酸酯、异冰片基丙烯酸酯、苯基甲基丙烯酸酯、苯基丙烯酸酯、苄基丙烯酸酯、2-羟乙基甲基丙烯酸酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-环氧丁酯、丙烯酸-6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-环氧庚酯、邻乙烯苄基缩水甘油醚、间乙烯苄基缩水甘油醚、对乙烯苄基缩水甘油醚以及甲基丙烯酸-3,4-环氧环己酯中的一种以上,但是并不限定于所述实例。
[0053]
所述第一不饱和化合物具体可以包含环氧基作为热固性官能团。更具体来讲,可以包含例如氧杂环丁烷(oxane)、四氢呋喃(thf)等,但是并不限定于此。
[0054]
所述第一不饱和化合物包含具体具有环氧基的直链或支链脂肪族结构或具有环氧基的脂环族结构为宜,且不包含芳香族环为宜。在具有芳香族环的情况下,可能会导致折射率增加的问题发生。
[0055]
具体来讲,所述第一不饱和化合物可以包含1个环氧基,在包含2个以上的环氧基的情况下,可能会导致所述丙烯酸类共聚物凝胶化的问题发生。
[0056]
更具体来讲,所述第一不饱和化合物可以包含由下述化学式1至化学式3构成的组中选择的一种以上的结构,但是并不限定于下述化学式1至3的结构,下述化学式1至3的结构中的脂环族烃部分可以被脂肪族替代。但是,下述化学式1至3的结构中的脂环族烃部分被芳香族烃取代的情况下,可能会导致无法实现组合物的低折射率特性的问题发生。
[0057]
【化学式1】
[0058][0059]
【化学式2】
[0060][0061]
【化学式3】
[0062][0063]
所述化学式2中n为1至10的整数,较佳地为1至5的整数,所述化学式3中的r为具有碳原子数为0至10的烷基、烯基以及烯丙基结构中的一种以上的有机基团。在所述化学式2的n为1至5的情况下,具有在由所述感光性树脂组合物固化而成的薄膜的分辨率方面有利的优点,但是并不限定于所述n。
[0064]
所述第二不饱和化合物可以具有含有氟以及1至2个丙烯酸酯基团的结构。包含在丙烯酸共聚物中的所述氟可以起到大幅降低感光性树脂组合物的折射率的作用。在包含3个以上的丙烯酸酯基团的情况下,第二不饱和化合物与第一不饱和化合物可能会发生过度的聚合反应,因此虽然第二不饱和化合物中的氟可以起到所述降低折射率的作用,但是可能会导致图案(分辨率)特性变得脆弱的问题发生。
[0065]
具体来讲,所述第二不饱和化合物可以包含例如从由下述化学式4至化学式6构成的组中选择的一种以上的结构。但是,并不限定于下述结构。
[0066]
【化学式4】
[0067][0068]
【化学式5】
[0069][0070]
【化学式6】
[0071][0072]
所述化学式4中n为0至9的整数,所述化学式5中n为1至10的整数,所述化学式6中n为0至9的整数。
[0073]
所述第二不饱和化合物包含23个以下的氟原子,可以有助于所述感光性树脂组合物的图案形成以及将所述感光性树脂组合物的折射率降低至1.5以下。
[0074]
所述丙烯酸类共聚物的重量平均分子量(mw),具体来讲为聚苯乙烯换算重量平均
分子量(mw)可以是1000至10000。在所述重量平均分子量(mw)不足1000的情况下,可能会导致所述感光性树脂组合物的显影性以及残膜率下降的问题发生,还具有图案显影以及耐热性降低的问题。在所述重量品均分子量(mw)超过10000的情况下,可能会导致图案显影性降低的问题发生。
[0075]
所述光引发剂,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,包含0.1至30重量份为宜。在所述光引发剂的含量不足0.1重量份的情况下,可能会因为灵敏度较低而导致残膜率变差的问题发生,而在超过30重量份的情况下,可能会导致显影性下降以及所述感光性树脂组合物的固化物的分辨率下降的问题发生。
[0076]
具体来讲,所述光引发剂可以包含自由基光引发剂,可以使用如4-苯氧基二氯苯乙酮、4-叔丁基二氯苯乙酮、二乙氧基苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基甲酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮以及2-(二甲氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮等苯乙酮类化合物;如安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香异丙醚以及苄基二甲基缩酮等安息香类化合物;如二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、羟基二苯甲酮、丙烯酸化二苯甲酮、4-苯甲酰基-4'-甲基二苯硫醚以及3,3',4,4'-四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮等二苯甲酮类化合物;如噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮以及2,4-二乙基噻吨酮等的噻吨酮类化合物;如2,4,6-三氯-s-三嗪、2-苯基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲氧苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(对甲基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-胡椒基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘并-1-基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基-萘并-1-基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪以及2,4-三氯甲基(4'-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪等三嗪类化合物;如2-(o-苯甲酰肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、1-(o-乙酰肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-乙酮、o-乙氧羰基-α-羟氨基-1-苯丙烷-1-酮、1,2-辛二酮、2-二甲氨基-2-(4-甲苄基)-1-(4-吗啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮、1-(4-苯硫基苯基)-丁烷-1,2-二酮-2-肟-o-苯甲酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-辛烷-1,2-二酮-2-肟-o-苯甲酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-辛烷-1-酮肟-o-醋酸酯、1-(4-苯硫基苯基)-丁烷-1-酮肟-o-醋酸酯、2-(o-苯甲酰肟)-1-[4-(苯硫基)对甲基苯基]-1,2-辛二酮、2-(o-苯甲酰肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-苯二酮、2-(o-乙酰肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、2-(o-乙酰肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-苯二酮、2-(o-乙酰肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-甲二酮以及o-(乙酰基)-n-(1-苯基-2-氧代-2-(4'-甲氧基-萘基)亚乙基)羟胺等肟酯类化合物;如双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦以及2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦等膦类化合物;如2,2'-双(邻氯苯基)-4,5,4',5'-四苯基-1,2'-联咪唑、2,2'-双(邻甲氧苯基)-4,4',5,5'-四苯基联咪唑以及2,2'-双(邻甲氧苯基)-4,4',5,5'-四(对甲基苯基)联咪唑等咪唑类化合物;如9,10-菲醌、樟脑醌以及乙基蒽醌等醌类化合物;硼酸盐类化合物;卡唑类化合物;以及二茂钛类化合物;可以单独使用或混合使用两种以上,但是并不限定于所述实施例。
[0077]
所述光引发剂为了提升所述感光性组合物在低温工程中的耐化学性以及附着力,可以分别包含一种以上的所述自由基光引发剂以及离子光引发剂。具体来讲,所述离子光
引发剂可以是阳离子光引发剂、阴离子光引发剂或它们的混合物,例如,可以使用苯基(4-甲氧基苯基)六氟化碘鎓、n,n-二甲基-n-苄基三氟甲磺酸、4-甲基苯基(4-(2-甲基丙基苯基))六氟化碘鎓以及苯基(4-甲氧基苯基)六氟化砷碘鎓,而且可以根据需要混合使用一种以上,但是并不限定于所述例示。为了提升所述耐化学性以及附着力,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,所述离子光引发剂使用0.5至10重量份为宜。
[0078]
所述感光性树脂组合物,可以为了确保低折射率特性而进一步包含乙烯性不饱和氨酯低聚物。
[0079]
所述乙烯性不饱和氨酯低聚物,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,包含1至50重量份,尤其是包含5至30重量份为宜。在所述乙烯性不饱和氨酯低聚物的含量不足1重量份的情况下,可能会导致难以确保所述感光性树脂组合物的低折射率特型且残膜率变差的问题发生,而在超过50重量份的情况下,可能会导致显影性下降以及分辨率降低的问题发生。
[0080]
具体来讲,所述乙烯性不饱和氨酯低聚物可以是具有2至10个官能团,更具体来讲,是具有2至6个官能团,且不包含芳香结构的结构。只有所述乙烯性不饱和氨酯低聚物具有2个以上的官能团的情况下,才可以在对所述感光性树脂组合物进行光固化时提升薄膜固化度的效果,在所述官能团为11个以上的情况下,可能会导致分辨率下降的问题发生,而在所述官能团为6个以下的情况下,附着力以及分辨率的提升效果尤其优秀。
[0081]
此外,所述乙烯性不饱和氨酯低聚物,可以包含一个以上的氟原子。在所述乙烯性不包含氨酯低聚物中包含氟原子的情况下,可以有助于所述感光性树脂组合物的图案形成。
[0082]
所述乙烯性不饱和氨酯低聚物,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,可以包含1至50重量份。在所述乙烯性不饱和氨酯低聚物的含量不足1重量份的情况下,可能会因为灵敏度较低而导致残膜率变差的问题发生,而在含量超过50重量份的情况下,可能会导致显影性变差以及分辨率下降的问题发生。
[0083]
所述感光性树脂组合物,还可以包含乙烯性不饱和多官能单体,具体来讲,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,还可以包含1至50重量份的乙烯性不饱和多官能单体。在所述乙烯性不饱和多官能单体的含量不足1重量份的情况下,可能会因为灵敏度较低而导致残膜率变差的问题发生,而在含量超过50重量份的情况下,可能会导致显影性变差以及分辨率下降的问题发生。
[0084]
作为所述乙烯性不饱和多官能单体,例如,可以使用1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六二丙烯酸酯、二季戊四醇三二丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、双酚a二丙烯酸酯衍生物、二季戊四醇聚丙烯酸酯及其甲基丙烯酸酯类、氟基丙烯酸酯、氟基甲基丙烯酸酯类等,可以单独使用或混合使用两种以上,但是并不限定于所述例示。
[0085]
所述乙烯性不饱和多官能单体包含氟,可以有利于所述感光性树脂组合物的图案的形成。
[0086]
所述溶剂,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,可以包含10至500重量份,在不
足10重量份的情况下,可能会导致其他成分无法充分溶解于溶剂中的问题发生,而在超过500重量份的情况下,可能会因为所述感光性树脂组合物过稀而导致显影性以及附着力下降的问题发生。
[0087]
作为所述感光性树脂组合物中所包含的溶剂,可以是在感光性树脂组合物中被普遍使用的公知的溶剂,作为具体的实例,可以使用如丙二醇单乙基丙酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯以及丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚醋酸酯类;如甲醇以及乙醇等醇类;如四氢呋喃等醚类;如乙二醇单甲醚以及乙二醇单乙醚等二醇醚类;如甲基溶纤剂醋酸酯以及乙基溶纤剂醋酸酯等乙二醇烷基醚醋酸酯类;如二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚以及二乙二醇二甲醚等二乙二醇类;如丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚以及丙二醇丁醚等丙二醇单烷基醚类;如丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯以及丙二醇丁醚醋酸酯等丙二醇烷基醚醋酸酯类;如甲苯以及二甲苯等芳香烃类;如甲乙酮、环己酮以及4-羟基-4-甲基-2-戊酮等酮类;或如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸酯丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯以及3-丁氧基丙酸丁酯等酯类,可以根据需要混合使用一种以上,但是并不限定于所述例示。在所述溶剂例示中,尤其考虑到与其他成分的反应性且易于形成涂布膜,可以使用如丙二醇单乙基丙酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯以及丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚醋酸酯类的溶剂。
[0088]
为了提升分辨率,所述感光性树脂组合物还可以包含紫外线(ultraviolet rays,uv)吸收剂。作为所述紫外线(uv)吸收剂,可以使用例如二苯甲酮类、三嗪类、苯并三唑类以及草酰替苯胺类等,但是并不限定于所述例示。作为所述紫外线(uv)吸收剂的含量,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,使用0.5至50重量份可以有助于所述分辨率的提升。
[0089]
为了提升与下部基板的附着力,所述感光性树脂组合物还可以包含硅烷偶联剂。作为所述硅烷偶联剂,例如,可以将(3-缩水甘油醚氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-缩水甘油醚氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-缩水甘油醚氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-缩水甘油醚氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-缩水甘油醚氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧基丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧基丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、氨丙基三甲氧基硅烷、氨丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-n-(1,3-二甲基-亚丁基)丙胺、n-2(氨乙基)3-氨丙基三甲氧基硅烷、n-2
(氨乙基)3-氨丙基三乙氧基硅烷、n-2(氨乙基)3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、n-苯基-3-氨丙基三甲氧基硅烷或(3-异氰酸丙酯)三乙氧基硅烷等单独使用或混合使用两种以上,但是并不限定于所述例示。作为所述硅烷偶联剂的含量,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,使用0.1至10重量份可以有助于所述附着力的提升。
[0090]
为了提升耐热性、耐化学性以及附着力,所述感光性树脂组合物还可以包含交联剂,具体来讲为三聚氰胺交联剂。作为所述三聚氰胺交联剂,例如,可以使用尿素与甲醛的缩合生成物、三聚氰胺与甲醛的缩合生成物、或从醇制得的羟甲基脲烷基醚类或羟甲基三聚氰胺烷基醚类等,具体来讲,作为所述尿素与甲醛的缩合生成物,可以使用如单羟甲基脲以及二羟甲基脲等。作为所述三聚氰胺与甲醛的缩合生成物,可以使用六羟甲基三聚氰胺,除此之外也可以使用三聚氰胺与甲醛的部分缩合生成物。此外,所述羟甲基脲烷基醚类是通过使尿素与甲醛的缩合生成物的羟甲基的一部分或全部与醇类发生反应的方式获得,作为具体的实例,可以使用单甲基脲甲醚以及二甲基脲甲醚等。所述羟甲基三聚氰胺烷基醚类是通过使三聚氰胺与甲醛的缩合生成物的羟甲基的一部分或全部与醇类发生反应的方式获得,作为具体的实例,可以使用六羟甲基三聚氰胺六甲醚以及六羟甲基三聚氰胺六丁醚等。此外,也可以使用三聚氰胺的氨基中的氢原子被羟甲基以及甲氧基甲基取代的结构的化合物或三聚氰胺的氨基中的氢原子被丁氧基甲基以及甲氧基甲基取代的结构的化合物等,尤其是使用羟甲基三聚氰胺烷基醚类为宜。作为所述三聚氰胺交联剂的含量,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,使用0.1至10重量份可以有助于所述耐热性、耐化学性以及附着力的提升。
[0091]
为了提升涂布性以及显影性,所述感光性树脂组合物还可以包含表面活性剂,具体来讲,可以包含氟类表面活性剂以及硅表面活性剂中的一个以上。为了所述涂布性以及显影性的改善,相对于所述感光性树脂组合物中除溶剂之外的固态成分100重量份,使用0.0001至2重量份的所述表面活性剂为宜。
[0092]
在所述阴性感光性树脂组合物中,固态成分可以是10至50重量%,在超出所述范围的情况下,可能会在形成2至4μm厚度的薄膜时发生问题。
[0093]
本发明的一实施例的显示装置,是一种包含所述阴性感光性树脂组合物的固化物的显示装置,具体来讲,所述组合物的固化物可以包括于显示装置的光学部件中进行使用,如层间绝缘膜等。
[0094]
所述显示装置可以包括具有1.5以下的折射率的光学部件,所述光学部件可以包含所述固化物。
[0095]
利用所述阴性感光性树脂组合物形成绝缘膜的方法的一实例如下所述。首先,本发明通过如喷涂法、狭缝涂布法、辊涂法以及旋转涂布法等将低折射阴性感光性树脂组合物涂布到基板表面,并通过预焙去除溶剂而形成涂布膜。此时,所述热处理是在80至100℃的温度下执行1至5分钟为宜。接下来,按照事先准备的图案将如可见光线、紫外线、远紫外线、电子束以及x射线等照射到所述形成的涂布膜,并通过利用显影剂进行显影去除不必要的部分而形成特定的图案。所述显影剂使用碱水溶液为宜,具体来讲,可以使用如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠等无机碱类;如正丙胺等伯胺类;如二乙胺以及正丙胺等仲胺类;如三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺以及三乙胺等叔胺类;如二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺以及三乙醇胺等醇胺类;或如四甲基氢氧化铵以及四乙基氢氧化铵等季铵盐;的水溶液等。此
时,作为所述显影剂将碱性化合物溶解至0.01至10重量%的浓度使用,也可以添加适量的如甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂以及表面活性剂。此外,在利用如上所述的显影剂进行显影之后通过利用超纯水进行50至180秒的洗涤而去除不必要的部分,接下来通过进行干燥而形成图案,并在选择性地向所述形成的图案照射紫外线等光线之后,通过利用如烘箱等加热装置在80至150℃的温度下对图案进行30至180分钟的固化而最终获得层间绝缘膜。
[0096]
接下来,为了便于具有本发明所属技术领域的一般知识的人员易于实施本发明,将对本发明的实施例进行详细的说明。但是,本发明可以通过多种不同的形态实现,并不限定于在此进行说明的实施例。
[0097]
【制造例:阴性感光性树脂组合物的制造】
[0098]
实施例1
[0099]
(丙烯酸类共聚物的制造)
[0100]
在配备有冷却管以及搅拌器的烧杯中添加进行共聚的单体,即相对于以下述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,添加下述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份,并在追加添加2,2-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)8重量份以及四氢呋喃400重量份进行氮气置换之后缓慢搅拌。将所述反应溶液升温至55℃并维持所述温度48小时。在将完成反应的丙烯酸类共聚物冷却至常温(23℃)之后添加丙二醇单甲醚醋酸酯200重量份并进行减压蒸馏。通过气象色谱(gas chromatography,gc)分析,在四氢呋喃含量达到0.5重量%以下时结束减压蒸馏。追加添加丙二醇单甲醚醋酸酯,直至固态成分的浓度达到30重量%。制造出聚合物的重量平均分子量为5000的聚合物溶液。此时,重量平均分子量为利用凝胶渗透色谱法(gel permeation chromatography,gpc)测定出的聚苯乙烯换算平均分子量。
[0101]
(阴性感光性树脂组合物)
[0102]
对包含所述制造出的丙烯酸类共聚物的聚合物溶液100重量份、作为光引发剂的2-(o-苯甲酰基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮15重量份、作为氟类乙烯性不饱和氨酯低聚物的shin-a t&c公司的sfa-420 10重量份、作为乙烯性不饱和化合物的二季戊四醇六二丙烯酸酯10重量份、作为离子引发剂的4-甲基苯基(4-(2-甲基丙基苯基))六氟化碘鎓1重量份、作为紫外线(uv)吸收剂的2,4-双(2-羟基-4-丁氧基苯基)-6-(2,4-二丁氧基苯基)-1,3,5-三嗪1重量份、作为硅烷偶联剂的(3-异氰酸丙酯)三乙氧基硅烷1重量份、硅类表面活性剂1重量份以及三聚氰胺交联剂1重量份。在追加溶解丙二醇单乙酸乙酯直至所述混合物中的固态成分含量达到20至30重量份之后,利用0.2μm的微孔过滤器进行过滤而制造出阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0103]
【化学式1】
[0104][0105]
【化学式4】
[0106][0107]
在所述化学式4中,n为0至9的整数。
[0108]
实施例2
[0109]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物5重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0110]
实施例3
[0111]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物10重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0112]
实施例4
[0113]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,除了适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0114]
实施例5
[0115]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物30重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0116]
实施例6
[0117]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0118]
实施例7
[0119]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在下述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0120]
【化学式5】
[0121][0122]
在所述化学式5中,n为1至10的整数。
[0123]
实施例8
[0124]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物5重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0125]
实施例9
[0126]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物10重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0127]
实施例10
[0128]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0129]
实施例11
[0130]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物30重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0131]
实施例12
[0132]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0133]
实施例13
[0134]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在下述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0135]
【化学式6】
[0136][0137]
在所述化学式6中,n为0至9的整数。
[0138]
实施例14
[0139]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物5重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0140]
实施例15
[0141]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物10重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0142]
实施例16
[0143]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0144]
实施例17
[0145]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物30重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0146]
实施例18
[0147]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0148]
实施例19
[0149]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0150]
【化学式2】
[0151][0152]
在所述化学式2中,n为1至10的整数。
[0153]
实施例20
[0154]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0155]
实施例21
[0156]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0157]
实施例22
[0158]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0159]
实施例23
[0160]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0161]
实施例24
[0162]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0163]
实施例25
[0164]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0165]
实施例26
[0166]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照
与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0167]
实施例27
[0168]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0169]
实施例28
[0170]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0171]
实施例29
[0172]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0173]
实施例30
[0174]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0175]
实施例31
[0176]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0177]
实施例32
[0178]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0179]
实施例33
[0180]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0181]
实施例34
[0182]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量
份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0183]
实施例35
[0184]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0185]
实施例36
[0186]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0187]
实施例37
[0188]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0189]
实施例38
[0190]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0191]
实施例39
[0192]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0193]
实施例40
[0194]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0195]
实施例41
[0196]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0197]
实施例42
[0198]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不
饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0199]
实施例43
[0200]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0201]
实施例44
[0202]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0203]
【化学式3】
[0204][0205]
所述化学式r为c数量为0~10的整数的烷基、烯基以及烯丙基结构的有机基团化合物。
[0206]
实施例45
[0207]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0208]
实施例46
[0209]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0210]
实施例47
[0211]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0212]
实施例48
[0213]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量
份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0214]
实施例49
[0215]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0216]
实施例50
[0217]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0218]
实施例51
[0219]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0220]
实施例52
[0221]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0222]
实施例53
[0223]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0224]
实施例54
[0225]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0226]
实施例55
[0227]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0228]
实施例56
[0229]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不
饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0230]
实施例57
[0231]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0232]
实施例58
[0233]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0234]
实施例59
[0235]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0236]
实施例60
[0237]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0238]
实施例61
[0239]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0240]
实施例62
[0241]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0242]
实施例63
[0243]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0244]
实施例64
[0245]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0246]
实施例65
[0247]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0248]
实施例66
[0249]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0250]
实施例67
[0251]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0252]
实施例68
[0253]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0254]
实施例69
[0255]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数1表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0256]
实施例70
[0257]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数3表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0258]
实施例71
[0259]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数5表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0260]
实施例72
[0261]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数9表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0262]
实施例73
[0263]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数1表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0264]
实施例74
[0265]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数3表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0266]
实施例75
[0267]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数5表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0268]
实施例76
[0269]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数9表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0270]
实施例77
[0271]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数1表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0272]
实施例78
[0273]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数3表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0274]
实施例79
[0275]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数5表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相
同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0276]
实施例80
[0277]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数9表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0278]
实施例81
[0279]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0280]
实施例82
[0281]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0282]
实施例83
[0283]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物1重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯49重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0284]
实施例84
[0285]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物4重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯46重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0286]
实施例85
[0287]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物31重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0288]
实施例86
[0289]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物40重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0290]
实施例87
[0291]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物50重量份、甲基丙烯
酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0292]
实施例88
[0293]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0294]
实施例89
[0295]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0296]
实施例90
[0297]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0298]
实施例91
[0299]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0300]
实施例92
[0301]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0302]
实施例93
[0303]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物1重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯49重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0304]
实施例94
[0305]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物4重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯46重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0306]
实施例95
[0307]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物
20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物31重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0308]
实施例96
[0309]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物40重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0310]
实施例97
[0311]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物50重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0312]
实施例98
[0313]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0314]
实施例99
[0315]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0316]
实施例100
[0317]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0318]
实施例101
[0319]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0320]
实施例102
[0321]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0322]
实施例103
[0323]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物1重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯49重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0324]
实施例104
[0325]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物4重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯46重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0326]
实施例105
[0327]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物31重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0328]
实施例106
[0329]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物40重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0330]
实施例107
[0331]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物50重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0332]
实施例108
[0333]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0334]
实施例109
[0335]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0336]
实施例110
[0337]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0338]
实施例111
[0339]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0340]
实施例112
[0341]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0342]
实施例113
[0343]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0344]
实施例114
[0345]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0346]
实施例115
[0347]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0348]
实施例116
[0349]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0350]
实施例117
[0351]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0352]
实施例118
[0353]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照
与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0354]
实施例119
[0355]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0356]
实施例120
[0357]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0358]
实施例121
[0359]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0360]
实施例122
[0361]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0362]
实施例123
[0363]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0364]
实施例124
[0365]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0366]
实施例125
[0367]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0368]
实施例126
[0369]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量
份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0370]
实施例127
[0371]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0372]
实施例128
[0373]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0374]
实施例129
[0375]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0376]
实施例130
[0377]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0378]
实施例131
[0379]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0380]
实施例132
[0381]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0382]
实施例133
[0383]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0384]
实施例134
[0385]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不
饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0386]
实施例135
[0387]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0388]
实施例136
[0389]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0390]
实施例137
[0391]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0392]
实施例138
[0393]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0394]
实施例139
[0395]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0396]
实施例140
[0397]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0398]
实施例141
[0399]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0400]
实施例142
[0401]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0402]
实施例143
[0403]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0404]
实施例144
[0405]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0406]
实施例145
[0407]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0408]
实施例146
[0409]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0410]
实施例147
[0411]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0412]
实施例148
[0413]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0414]
实施例149
[0415]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0416]
实施例150
[0417]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0418]
实施例151
[0419]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0420]
实施例152
[0421]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0422]
实施例153
[0423]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0424]
实施例154
[0425]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0426]
实施例155
[0427]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0428]
实施例156
[0429]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物5重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯45重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0430]
实施例157
[0431]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物9重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯41重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照
与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0432]
实施例158
[0433]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物31重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯19重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0434]
实施例159
[0435]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0436]
实施例160
[0437]
在整体总单体中,除了相对于以下述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0438]
实施例161
[0439]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0440]
实施例162
[0441]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0442]
实施例163
[0443]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0444]
实施例164
[0445]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0446]
实施例165
[0447]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20
重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0448]
实施例166
[0449]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯40重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0450]
实施例167
[0451]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0452]
实施例168
[0453]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯10重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯40重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0454]
实施例169
[0455]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯20重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物徒步溶液。
[0456]
实施例170
[0457]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯20重量份,适用对在所述化学式5中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物徒步溶液。
[0458]
实施例171
[0459]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯20重量份,适用对在所述化学式6中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯30重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0460]
实施例172
[0461]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯30重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0462]
实施例173
[0463]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯40重量份,适用
对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯10重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0464]
实施例174
[0465]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯50重量份,适用对在所述化学式4中n以整数7表示的氟类不饱和化合物20重量份、甲基丙烯酸10重量份以及苯乙烯20重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0466]
实施例175
[0467]
制造出了在与实施例4相同的阴性感光性树脂组合物中排除氟类乙烯性不饱和氨酯低聚物的涂布溶液。
[0468]
实施例176
[0469]
制造出了在与实施例4相同的阴性感光性树脂组合物中排除离子引发剂的涂布溶液。
[0470]
实施例177
[0471]
制造出了在与实施例4相同的阴性感光性树脂组合物中排除紫外线(uv)吸收剂的涂布溶液。
[0472]
比较例1
[0473]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0474]
比较例2
[0475]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式2中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0476]
比较例3
[0477]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式2中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0478]
比较例4
[0479]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式2中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0480]
比较例5
[0481]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式2中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0482]
比较例6
[0483]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式2中n以整数9表示的含有环氧基的不
饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0484]
比较例7
[0485]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式3中n以整数1表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0486]
比较例8
[0487]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式3中n以整数3表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0488]
比较例9
[0489]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式3中n以整数5表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0490]
比较例10
[0491]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式3中n以整数7表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0492]
比较例11
[0493]
在整体总单体中,除了相对于以所述化学式3中n以整数9表示的含有环氧基的不饱和化合物20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0494]
比较例12
[0495]
在整体总单体中,除了相对于甲基丙烯酸缩水甘油酯20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0496]
比较例13
[0497]
在整体总单体中,除了相对于3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯20重量份,适用对甲基丙烯酸30重量份以及苯乙烯50重量份进行共聚的丙烯酸类共聚物之外,其他按照与实施例1相同的方式制造出了阴性感光性树脂组合物涂布溶液。
[0498]
【试验例:阴性感光性树脂组合物的物性评估】
[0499]
利用通过所述实施例1至177以及比较例1至13中共聚而成的丙烯酸共聚物以及利用所述丙烯酸共聚物制造出的阴性感光性树脂组合物涂布溶液,按照如下所述的方法对物性进行了评估,其结果如下述表1以及表10所示。
[0500]
一.折射率
[0501]
在硅晶圆(si wafer)基板上部使用旋涂机涂布通过所述实施例1至177以及比较例1至13制造出的阴性感光性树脂组合物之后,以85℃在热板上进行120秒的预焙,从而形成2μm的薄膜。在所述完成涂布的薄膜上,利用canon曝光机mpa-600按照200mw/cm2强度(intensity)条件以相当于各个样本的灵敏度(eop)的曝光量进行曝光。接下来,为了最终
固化而在烘箱中以85℃进行120分钟的加热,从而获得折射率测定用基板。利用折射率测定装置即椭偏仪对折射率进行测定。
[0502]
在折射率为1.46以下的情况下标记为
◎
,在超过1.46但不足1.50的情况下标记为
○
,在超过1.50但不足1.55的情况下标记为
△
,而在1.55以上的情况下标记为x。
[0503]
二.灵敏度
[0504]
在硅晶圆(si wafer)基板上部使用旋涂机涂布通过所述实施例1至177以及比较例1至13制造出的阴性感光性树脂组合物溶液之后,以85℃在热板上进行120秒的预焙,从而形成2μm的薄膜。在通过所述过程获得的薄膜上,使用特定的图案掩膜(pattern mask)利用canon曝光机mpa-600按照200mw/cm2强度(intensity)条件以5mj的间隔对曝光量进行分割(split)曝光。接下来,在利用四甲基氢氧化铵2.38重量%的水溶液在23℃下进行60秒的显影之后,利用纯净水(di water)进行60秒的洗涤。为了最终固化而在烘箱中以85℃进行120分钟的加热,从而图案薄膜。利用厚度测定装置(nanospec)对厚度进行测定,并以厚度饱和(saturation)的曝光两位基准对灵敏度进行测定。
[0505]
三.分辨率
[0506]
在硅晶圆(si wafer)基板上使用旋涂机涂布通过所述实施例1至177以及比较例1至13制造出的阴性感光性树脂组合物溶液之后,以85℃在热板上进行120秒的预焙,从而形成2.0μm的薄膜。在通过所述过程获得的薄膜上,使用特定的图案掩膜(pattern mask)利用canon曝光机mpa-600按照200mw/cm2强度(intensity)条件以相当于各个样本的灵敏度(eop)的曝光量进行曝光。接下来,在利用四甲基氢氧化铵2.38重量%的水溶液在23℃下进行60秒的显影之后,利用纯净水(di water)进行60秒的洗涤。为了最终固化而在烘箱中以85℃进行120分钟的加热,从而图案薄膜。利用扫描电子显微镜(sem)对10μm孔临界尺寸(hole cd)的图案廓线(profile)进行测定。
[0507]
在临界尺寸偏差(cd bias)为1μm以下的情况下标记为
◎
,在临界尺寸偏差(cd bias)为超过1μm但在2μm以下的情况下标记为
○
,在临界尺寸偏差(cd bias)为超过2μm但在4μm以下的情况下标记为
△
,而在超过4μm的情况下标记为x。
[0508]
四.附着力
[0509]
在sinx基板上使用旋涂机涂布通过所述实施例1至80以及比较例1至110制造出的阴性感光性树脂组合物溶液之后,以85℃在热板上进行120秒的预焙,从而形成2.0μm的薄膜。在所述完成涂布的薄膜上,利用canon曝光机mpa-600按照200mw/cm2强度(intensity)条件以相当于各个样本的灵敏度(eop)的曝光量进行曝光。接下来,为了最终固化而在烘箱中以85℃进行120分钟的加热,从而获得附着力测定用基板。通过横切附着力试验(cross cut adhesion test,astm d3359)对附着力进行评估。
[0510]
在astm d3359评估结果为5b的情况下标记为
◎
,在3b~4b的情况下标记为
○
,在1b~2b的情况下标记为
△
,而在0b的情况下标记为x。
[0511]
【表1】
[0512] 折射率灵敏度分辨率附着力实施例1
○
65
◎○
实施例2
○
60
◎◎
实施例3
○
55
◎◎
实施例4
◎
50
◎◎
实施例5
◎
40
○○
实施例6
◎
45
○◎
实施例7
○
55
◎○
实施例8
○
50
◎◎
实施例9
○
45
◎◎
实施例10
◎
40
◎◎
实施例11
◎
35
○○
实施例12
◎
40
○◎
实施例13
○
65
◎○
实施例14
○
60
◎◎
实施例15
○
55
◎◎
实施例16
◎
50
◎◎
实施例17
◎
40
○○
实施例18
◎
45
○◎
实施例19
○
65
◎○
实施例20
◎
50
◎◎
[0513]
【表2】
[0514][0515][0516]
【表3】
[0517] 折射率灵敏度分辨率附着力实施例41
◎
50
◎◎
实施例42
◎
50
◎◎
实施例43
◎
45
○◎
实施例44
○
65
◎○
实施例45
◎
50
◎◎
实施例46
◎
50
◎◎
实施例47
◎
50
◎◎
实施例48
◎
45
○◎
实施例49
○
65
◎○
实施例50
◎
50
◎◎
实施例51
◎
50
◎◎
实施例52
◎
50
◎◎
实施例53
◎
45
○◎
实施例54
○
65
◎○
实施例55
◎
50
◎◎
实施例56
◎
50
◎◎
实施例57
◎
50
◎◎
实施例58
◎
45
○◎
实施例59
○
65
◎○
实施例60
◎
50
◎◎
[0518]
【表4】
[0519][0520][0521]
【表5】
[0522] 折射率灵敏度分辨率粘接力实施例81
△
70
◎
x实施例82
△
65
◎△
实施例83
△
60
◎◎
实施例84
△
60
◎◎
实施例85
◎
40
△△
实施例86
◎
30xx实施例87
◎
20xx实施例88
◎
45
△◎
实施例89
◎
35x
◎
实施例90
◎
25x
◎
实施例91
△
60
◎
x实施例92
△
55
◎△
实施例93
△
50
◎◎
实施例94
△
50
◎◎
实施例95
◎
35
△△
实施例96
◎
25xx实施例97
◎
20xx实施例98
◎
40
△◎
实施例99
◎
30x
◎
实施例100
◎
20x
◎
[0523]
【表6】
[0524][0525]
[0526]
【表7】
[0527] 折射率灵敏度分辨率粘接力实施例121
△
70
◎
x实施例122
△
65
◎△
实施例123
◎
45
△◎
实施例124
◎
35x
◎
实施例125
◎
25x
◎
实施例126
△
70
◎
x实施例127
△
65
◎△
实施例128
◎
45
△◎
实施例129
◎
35x
◎
实施例130
◎
25x
◎
实施例131
△
70
◎
x实施例132
△
65
◎△
实施例133
◎
45
△◎
实施例134
◎
35x
◎
实施例135
◎
25x
◎
实施例136
△
70
◎
x实施例137
△
65
◎△
实施例138
◎
45
△◎
实施例139
◎
35x
◎
实施例140
◎
25x
◎
[0528]
【表8】
[0529]
[0530][0531]
【表9】
[0532] 折射率灵敏度分辨率粘接力实施例161
△
50
◎○
实施例162
△
45
◎◎
实施例163
△
40
◎◎
实施例164
△
45
◎◎
实施例165
△
35
◎◎
实施例166
△
30
○◎
实施例167
△
25
○◎
实施例168
△
50
◎○
实施例169
△
45
◎◎
实施例170
△
40
◎◎
实施例171
△
45
◎◎
实施例172
△
35
◎◎
实施例173
△
30
○◎
实施例174
△
25
○◎
实施例175
○
40
◎◎
实施例176
◎
60
◎△
实施例177
◎
40x
◎
[0533]
【表10】
[0534]
[0535][0536]
如所述表1至10中的结果所示,本发明的实施例1至177与比较例1至13相比,在折射率、分辨率以及附着力方面更加优秀,尤其是实施例1至80与实施例81至177相比呈现出更加优秀的折射率、分辨率以及附着力。
[0537]
在上述内容中对本发明的实施例进行了详细的说明,但是本发明的权利要求范围并不因此而受到限定,具有相关技术领域之一般知识的人员应该可以理解,可以在不脱离权利要求书中所记载的本发明的技术思想的范围内进行各种修改以及变形。
技术特征:
1.一种阴性感光性树脂组合物,其中,包含:丙烯酸类共聚物,包含源自于含有热固性官能团的第一不包含化合物的重复单元以及源自于含有氟的第二不饱和化合物的重复单元;光引发剂;以及,溶剂。2.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述丙烯酸类共聚物,包含各5至30重量%的源自于所述第一不包含化合物以及所述第二不饱和化合物的重复单元。3.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述丙烯酸类共聚物包含10至30重量%的源自于所述第一不饱和化合物的重复单元以及5至30重量%的源自于第二不饱和化合物的重复单元。4.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述丙烯酸类共聚物,包含:各5至30重量%的源自于所述第一不包含化合物以及所述第二不饱和化合物的重复单元;以及,1至50重量%的源自于不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物的重复单元。5.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述丙烯酸类共聚物,包含各5至30重量%的源自于所述第一不包含化合物以及所述第二不饱和化合物的重复单元以及1至50重量%的源自于烯烃不饱和化合物的重复单元。6.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述第一不饱和化合物,包含具有环氧基的直链或支链脂肪族结构或具有环氧基的脂环族结构。7.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述第一不饱和化合物,包含从由下述化学式1至化学式3构成的组中选择的一种以上:【化学式1】【化学式2】【化学式3】
所述化学式2中n为1至10的整数,所述化学式3中的r为具有碳原子数为0至10的烷基、烯基以及烯丙基结构中的一个以上的有机基团。8.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述第二不饱和化合物,包含从由下述化学式4至化学式6构成的组中选择的一种以上:【化学式4】【化学式5】【化学式6】所述化学式4中n为0至9的整数,所述化学式5中n为1至10的整数,所述化学式6中n为0至9的整数。9.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述丙烯酸类共聚物的重量平均分子量(mw)为1000至10000。10.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述光引发剂,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,包含0.1至30重量份。11.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述阴性感光性树脂组合物,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,还包含1至50重量份的乙烯性不饱和氨酯低聚物。12.根据权利要求11所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述乙烯性不饱和氨酯低聚物,包含一个以上的氟原子。
13.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述阴性感光性树脂组合物,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,还包含1至50重量份的乙烯性不饱和多官能单体。14.根据权利要求13所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述乙烯性不饱和多官能单体包含氟。15.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述溶剂,相对于所述丙烯酸类共聚物100重量份,包含10至500重量份。16.根据权利要求1所述的阴性感光性树脂组合物,其中,所述溶剂,包含从由二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚、二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚、二乙二醇丁甲醚、二乙二醇丁乙醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇丁甲醚、二乙二醇叔丁醚、四乙二醇二甲醚、二乙二醇乙己醚、二乙二醇甲己醚、二丙二醇丁甲醚、二丙二醇乙己醚以及二丙二醇甲己醚构成的组中选择的一种以上的溶剂。17.一种显示装置,其中,包括根据权利要求1至权利要求16中的任一项所述的阴性感光性树脂组合物的固化物。18.根据权利要求17所述的显示装置,其中,所述显示装置包括具有1.5以下的折射率的光学部件,所述光学部件包括所述固化物。
技术总结
本发明涉及一种可实现低温固化且折射率较低的阴性感光性树脂组合物,尤其涉及一种阴性感光性树脂组合物,包含:丙烯酸类共聚物,包含源自于含有热固性官能团的第一不包含化合物的重复单元以及源自于含有氟的第二不饱和化合物的重复单元;光引发剂;以及溶剂;从而可以在150℃以下实现固化,且具有1.5以下的折射率。率。
技术研发人员:郑钟镐 尹赫敏 金珍善 全胜韩 金义淳 柳荣俊 安昌焕
受保护的技术使用者:株式会社东进世美肯
技术研发日:2021.12.09
技术公布日:2023/8/28
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