一种单晶炉水冷导流罩的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉水冷导流罩。


背景技术：

2.单晶炉是用于在一种惰性气体下通过直拉法生产单晶硅棒的设备。单晶炉在进行煅烧的过程中需要在内部装配导流罩用于控制热场的温度梯度以及引导氩气流。现有的导流罩多为一体化设置，在使用的过程中通过向导流罩内通入冷却水降低导流罩的整体温度，从而更好的对热场的温度梯度进行控制，有利于单晶硅棒的生产。由于一体化的导流罩在其内部的冷却水管路发生堵塞后，会降低冷却水在导流罩内的循环效果，从而降低冷却水对导流罩的降温处理，导致对导流罩的温度控制不准确，对整体的导流罩进行维护更换又比较浪费资源。为此，我们提出一种单晶炉水冷导流罩。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉水冷导流罩，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉水冷导流罩，包括外罩体和内罩体，所述外罩体和内罩体之间装配有固定螺栓，所述固定螺栓的顶部螺接有螺母，所述内罩体与外罩体之间装配有冷却层，所述冷却层内装配有冷却管路，所述内罩体的顶部固定装配有进水管连接头和出水管连接头。
5.优选的，所述冷却管路包括螺旋管路，所述螺旋管路嵌入安装在冷却层的内腔，所述螺旋管路的一端固定连接有进水管，所述螺旋管路的另一端固定连接有出水管，所述进水管和出水管的顶端分别装配有连接块，所述内罩体的侧壁开设有与连接块位置相对应的连接块卡槽，两个所述的连接块卡槽分别通过连接槽与进水管连接头和出水管连接头相连通。
6.优选的，所述螺旋管路的横截面呈“矩形”。
7.优选的，所述外罩体的底部一体成型有封闭卡块，所述内罩体的底部一体成型有封闭卡槽，所述封闭卡块与封闭卡槽的尺寸相适配。
8.优选的，所述外罩体的外侧壁套接有保温盖，所述保温盖的内环顶部开设有开孔。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种单晶炉水冷导流罩，将导流罩分为外罩体、内罩体和冷却层进行组装装配，通过外罩体对其内部的冷却层和内罩体进行保护，在使用的过程中通过冷却层内所设置的冷却管路中冷却水的循环完成对内罩体和外罩体的整体降温，采用呈螺旋分布的冷却管路使其对内罩体和外罩体具有更好的冷却效果，当冷却管路内产生堵塞使其冷却水循环不畅时，可以单独对冷却层进行拆分更换，拆卸维护过程简单、方便，同时又节约了成本，避免了对导流罩的整体更换，避免了资源的浪费。
附图说明
10.图1为本实用新型的立体图。
11.图2为本实用新型的结构示意图。
12.图3为本实用新型的部分剖视图。
13.图4为图3中的a处细节图。
14.图5为图3中的b处细节图。
15.图6为本实用新型的冷却管路结构示意图。
16.图中：1、外罩体，2、内罩体，3、固定螺栓，4、螺母，5、冷却层，6、冷却管路，61、螺旋管路，62、进水管，63、出水管，64、连接块，65、连接块卡槽，7、进水管连接头，8、出水管连接头，9、连接槽，10、保温盖，11、开孔，12、封闭卡块，13、封闭卡槽。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
18.请参阅图1至图6，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉水冷导流罩，包括外罩体1和内罩体2，外罩体1和内罩体2之间通过固定螺栓3以及其相匹配的螺母4进行连接固定，通过外罩体1对内罩体2进行保护，外罩体1和内罩体2均采用环状的石墨碳生产制作，通过外罩体1和内罩体2组成的导流罩在单晶炉内起到控制热场的温度梯度以及引导氩气流的效果。
19.在外罩体1和内罩体2之间的空腔内设置有冷却层5，通过向冷却层5内通入冷却水，对内罩体2和外罩体1完成冷却降温，冷却层5可以定期进行维护更换，从而保持内部的冷却管路6畅通，使其对内罩体2与外罩体1保持较好的冷却效果，冷却层5同样采用石墨碳材料制作，具有较好的热交换性能。
20.如图3和图4中所示，冷却管路6包括螺旋管路61，螺旋管路61呈螺旋状环绕在冷却层5的内部，螺旋管路61的横截面呈“矩形”，通过设置横截面为“矩形”的螺旋管路61加大冷却水在冷却层5内的流通量，从而提高冷却层5的冷却效果。
21.螺旋管路61的一端固定连接有贯穿至冷却层5顶部的进水管62，螺旋管路61的另一端固定连接有贯穿至冷却层5顶部的出水管63，通过进水管62、螺旋管路61和出水管63组成的循环管路使冷却水在冷却层5内循环，对外罩体1和内罩体2进行降温操作。
22.在进水管62和出水管63的顶端侧壁均一体成型有连接块64，在内罩体2顶部环形部的下侧壁开设有与两个连接块64位置相对应的连接块卡槽65，便于冷却层5与内罩体2之间的连接装配。
23.内罩体2的顶部分别通过固定螺丝固定装配有进水管连接头7和出水管连接头8，进水管连接头7和出水管连接头8分别通过连接槽9与连接块卡槽65相连通，进水管连接头7和出水管连接头8用于与外部的冷却水循环设备相连接，从而通过连接块卡槽65和连接块64的配合向冷却管路6内通入冷却水。
24.如图1和图2中所示，外罩体1的外部套接有保温盖10，通过设置保温盖10便于外罩体1、内罩体2与单晶炉内的保温罩相连接，保温盖10的内环顶部开设有与固定螺栓3位置相对应的开孔11，通过设置开孔11便于外罩体1和内罩体2连接后的放置，保温盖10的内径与
外罩体1的外径相适配，确保外罩体1和内罩体2完成连接固定后与保温盖10之间的连接稳定。
25.如图5中所示，在外罩体1的底部一体成型有封闭卡块12，内罩体2的底部一体成型有封闭卡槽13，将外罩体1和内罩体2进行连接固定后，通过封闭卡块12与封闭卡槽13的配合，对外罩体1和内罩体2之间的空间进行封闭处理。
26.工作原理：在使用的过程中将内罩体2、冷却层5和外罩体1进行连接装配，外罩体1和内罩体2之间采用固定螺栓3与螺母4相互固定，将内罩体2、冷却层5和外罩体1完成组装后，冷却层5内的连接块64插接至内罩体2内的连接块插槽65内，使内罩体2顶部的进水管连接头7和出水管连接头8与冷却层5内部的冷却管路6相连通，通过外部冷却水循环设备向冷却管路6内通入冷却水，冷却水在冷却层5内完成循环后通过出水管连接头8排出，通过冷却层5内的冷却管路6在使用的过程中对外罩体1和内罩体2进行冷却降温，当冷却管路6内发生堵塞后可以单独对冷却层5进行更换，不再需要对整体的导流罩进行更换，节约成本。


技术特征：
1.一种单晶炉水冷导流罩，其特征在于：包括外罩体(1)和内罩体(2)，所述外罩体(1)和内罩体(2)之间装配有固定螺栓(3)，所述固定螺栓(3)的顶部螺接有螺母(4)，所述内罩体(2)与外罩体(1)之间装配有冷却层(5)，所述冷却层(5)内装配有冷却管路(6)，所述内罩体(2)的顶部固定装配有进水管连接头(7)和出水管连接头(8)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷导流罩，其特征在于：所述冷却管路(6)包括螺旋管路(61)，所述螺旋管路(61)嵌入安装在冷却层(5)的内腔，所述螺旋管路(61)的一端固定连接有进水管(62)，所述螺旋管路(61)的另一端固定连接有出水管(63)，所述进水管(62)和出水管(63)的顶端分别装配有连接块(64)，所述内罩体(2)的侧壁开设有与连接块(64)位置相对应的连接块卡槽(65)，两个所述的连接块卡槽(65)分别通过连接槽(9)与进水管连接头(7)和出水管连接头(8)相连通。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉水冷导流罩，其特征在于：所述螺旋管路(2)的横截面呈“矩形”。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷导流罩，其特征在于：所述外罩体(1)的底部一体成型有封闭卡块(12)，所述内罩体(2)的底部一体成型有封闭卡槽(13)，所述封闭卡块(12)与封闭卡槽(13)的尺寸相适配。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷导流罩，其特征在于：所述外罩体(1)的外侧壁套接有保温盖(10)，所述保温盖(10)的内环顶部开设有开孔(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种单晶炉水冷导流罩，包括外罩体和内罩体，外罩体和内罩体之间装配有固定螺栓，固定螺栓的顶部螺接有螺母，内罩体与外罩体之间装配有冷却层，冷却层内装配有冷却管路，内罩体的顶部固定装配有进水管连接头和出水管连接头。在使用的过程中通过冷却层内所设置的冷却管路中冷却水的循环完成对内罩体和外罩体的整体降温，采用呈螺旋分布的冷却管路使其对内罩体和外罩体具有更好的冷却效果，当冷却管路内产生堵塞使其冷却水循环不畅时，可以单独对冷却层进行拆分更换，拆卸维护过程简单、方便，同时又节约了成本，避免了对导流罩的整体更换，避免了资源的浪费。避免了资源的浪费。避免了资源的浪费。


技术研发人员：郭党 张国峰 冯鑫 高仁敬
受保护的技术使用者：辽宁博芯科半导体材料有限公司
技术研发日：2023.04.13
技术公布日：2023/8/26