晶圆盒闩锁机构及晶圆盒的制作方法

1.本技术涉及晶圆盒技术领域，尤其涉及一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒。


背景技术：

2.半导体晶圆在制造过程中会有许多的程序或步骤，而晶圆则会因这些程序或步骤，需要置放于不同的位置以及不同的机器中，因此在工艺中晶圆必须从一处运送至另一处，甚至必须储存一段时间，以配合必要的工艺。晶圆盒在半导体生产中主要起到存储和搬运晶圆的作用，晶圆盒能够有效降低晶圆被污染的风险。
3.晶圆盒包括盒体、盖合于盒体的门体，及设置于门体的闩锁机构，闩锁机构用以将门体锁固于盒体上。相关技术中，通过旋转闩锁机构的凸轮，从而带动闩锁件滑动，然而，由于凸轮与闩锁件之间为滑动摩擦，从而使得闩锁机构在开关时产生较多的粉尘，因此，很容易造成盒体内所放置的晶圆受到污染。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒，可以改善上述相关技术中粉尘过多的技术问题。
5.第一方面，本技术实施例提供一种晶圆盒闩锁机构，设置于门体内用以将所述门体锁固于盒体，所述晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件，所述转动件铰接于所述门体，所述转动件的形状为圆形，所述转动件上设置有钥匙插孔，所述钥匙插孔与外部设备的弹簧钥匙相适配，所述外部设备的弹簧钥匙能够带动转动件转动；所述连接件的第一端铰接于所述转动件，所述转动件的铰接处与所述连接件的第一端的铰接处间隔设置；所述闩锁件滑动设置于所述门体，所述连接件的第二端铰接于所述闩锁件，所述连接件的第二端的铰接处与所述转动件的铰接处及所述连接件的第一端的铰接处均间隔设置；其中，所述晶圆盒闩锁机构具有锁定状态及释锁状态，所述晶圆盒闩锁机构处于所述锁定状态时，所述闩锁件插设于所述盒体以使所述门体锁固于所述盒体，所述晶圆盒闩锁机构处于所述释锁状态时，所述闩锁件缩回所述门体以使所述门体可与所述盒体分离；所述转动件转动以带动所述闩锁件滑动，以使所述晶圆盒闩锁机构在所述锁定状态及所述释锁状态之间切换。
6.在一些示例性的实施例中，所述转动件上设置有限位部，所述晶圆盒闩锁机构还包括限位件，所述限位件设置于所述门体，所述限位部与所述限位件锁定配合，以限制所述转动件转动。
7.在一些示例性的实施例中，所述限位部包括沿所述转动件的径向凸设于所述转动件的第一凸部，所述限位件包括围设于所述转动件的弹性臂，所述弹性臂上设置有与所述第一凸部相适配的凹部。
8.在一些示例性的实施例中，所述限位部还包括设置于所述转动件上的第一限位槽，所述限位件包括凸设于所述门体的第二凸部，所述限位件及所述限位槽均沿所述转动
件的转动轴线方向延伸，所述第二凸部能够与所述第一限位槽卡接，在限制所述转动件转动的同时，将所述转动件沿所述转动件的转动轴线方向抵紧于所述门体。
9.在一些示例性的实施例中，所述晶圆盒闩锁机构还包括设置于所述转动件上的引导块以及限位凸起，所述引导块以及所述限位凸起分别设置于所述第一限位槽相对的两端，所述引导块具有引导面，所述引导面用于与所述第二凸部抵接，以引导所述第二凸部滑动至所述第一限位槽。
10.在一些示例性的实施例中，所述转动件具有锁定位置及释锁位置，所述限位件的数量为多个，多个所述限位件分别对应所述锁定位置及所述释锁位置设置于所述门体；所述转动件位于所述锁定位置时，所述晶圆盒闩锁机构处于所述锁定状态，所述限位部与对应设置于所述锁定位置的限位件锁定配合，所述转动件位于所述释锁位置时，所述晶圆盒闩锁机构处于所述释锁状态，所述限位部与对应设置于所述释锁位置的限位件锁定配合。
11.在一些示例性的实施例中，所述盒体具有用于放置晶圆的容置空间以及与所述容置空间相连通的开口，所述门体可拆卸的设置于所述盒体的所述开口，所述晶圆盒闩锁机构还包括顶撑件，所述闩锁件远离所述连接件的一端设置有倾斜抵接面，所述闩锁件滑动伸出所述门体时，所述倾斜抵接面与所述顶撑件抵接，以使所述闩锁件远离所述连接件的一端朝背离所述开口的方向弯折。
12.在一些示例性的实施例中，所述门体上设置有滑槽，所述闩锁件与所述滑槽的槽壁抵接；所述门体上设置有限位柱，所述闩锁件上设置有第二限位槽，所述限位柱滑动设置于第二限位槽。
13.在一些示例性的实施例中，所述闩锁件沿预设直线滑动设置于所述门体，所述预设直线与所述转动件的转动轴线及所述连接件的第二端的转动轴线均具有交点。
14.第二方面，本技术实施例提供了一种晶圆盒，包括盒体、门体及晶圆盒闩锁机构，所述晶圆盒闩锁机构设置于所述门体。
15.有益效果：本实施例中的转动件通过连接件与闩锁件连接，连接件与转动件及闩锁件均铰接，而转动摩擦相比于滑动摩擦所产生的粉尘更少，从而尽可能的避免造成晶圆受到污染。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本技术一种实施例中的门体及晶圆盒闩锁机构的结构示意图；
18.图2为本技术一种实施例中的门体的分解结构示意图；
19.图3为本技术一种实施例中的晶圆盒闩锁机构的部分结构示意图；
20.图4为本技术一种实施例中的外壳的结构示意图；
21.图5为本技术一种实施例中的外壳及晶圆盒闩锁机构的结构示意图；
22.图6为本技术另一种实施例中的晶圆盒闩锁机构的部分结构示意图；
23.图7为本技术另一种实施例中的门体及晶圆盒闩锁机构的结构示意图；
24.图8为本技术图7的局部放大结构示意图。
25.附图标记说明：100、晶圆盒闩锁机构；110、转动件；110a、第一限位槽；110b、钥匙插孔；110c、手动插孔；111、第一凸部；120、连接件；130、闩锁件；130a、第二限位槽；130b、倾斜抵接面；131、加强筋；141、弹性臂；1411、凹部；142、第二凸部；150、引导块；160、顶撑件；170、限位凸起；200、门体；200a、滑槽；210、内壳、220、外壳；230、限位柱。
具体实施方式
26.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
27.如图1-3所示，本技术实施例第一方面提供一种晶圆盒闩锁机构100，设置于一门体200内用以将门体200锁固于一盒体(图中未示出)，晶圆盒闩锁机构100包括转动件110、连接件120及闩锁件130。
28.转动件110铰接于门体200，门体200包括内壳210和外壳220，转动件110设置于内壳210和外壳220之间。例如转动件110上设置有转孔，门体200上设置有销轴，销轴转动设置于转孔使得转动件110铰接于门体200，转动件110具有转动轴线。转动件110的具体形状可以为圆形转盘，圆形转盘为中心对称结构，从而尽量减少转动件110转动时的离心力，使转动件110转动更加平稳。当然，转动件110也可以为杆状或者其他形状。需要说明的是，转动件110上设置有钥匙插孔110b和手动插孔110c，钥匙插孔110b与外部设备的弹簧钥匙相对应，弹簧钥匙插入钥匙插孔110b后，通过转动弹簧钥匙可以锁定或者释锁晶圆盒。手动插孔110c用于手动转动转动件110，从而手动打开晶圆盒。
29.连接件120的第一端铰接于转动件110，转动件110的铰接处与连接件120的第一端的铰接处间隔设置。当转动件110转动时，连接件120的第一端的铰接处绕转动件110的铰接处转动。
30.闩锁件130滑动设置于门体200，连接件120的第二端铰接于闩锁件130，连接件120的第二端的铰接处与转动件110的铰接处及连接件120的第一端的铰接处均间隔设置。转动件110、连接件120及闩锁件130构成了曲柄滑块机构，从而将转动件110的转动运动转换成闩锁件130的直线运动。
31.晶圆盒闩锁机构100具有锁定状态及释锁状态，晶圆盒闩锁机构100处于锁定状态时，闩锁件130插设于盒体以使门体200锁固于盒体；晶圆盒闩锁机构100处于释锁状态时，闩锁件130缩回门体200以使门体200可与盒体分离；转动件110转动以带动闩锁件130滑动，以使晶圆盒闩锁机构100在锁定状态及释锁状态之间切换。可以理解的是，盒体上可以设置有卡槽，以便于闩锁件130插入盒体。
32.相比于转动件110与闩锁件130直接抵接发生滑动摩擦，本实施例中的转动件110通过连接件120与闩锁件130连接，连接件120与转动件110及闩锁件130均铰接，而转动摩擦相比于滑动摩擦所产生的粉尘更少，从而尽可能的避免造成晶圆受到污染。
33.在一些实施例中，转动件110上设置有限位部，闩锁机构还包括限位件，限位件设置于门体200，在锁定状态和释锁状态时，限位部与限位件锁定配合，以限制转动件110转动。晶圆盒闩锁机构100在锁定状态及释锁状态之间切换，设置限位件可以限制转动件110转动，从而使晶圆盒闩锁机构100处于锁定状态或者释锁状态时，可以维持当前状态不变。
34.如图3-5所示，在一些实施例中，限位部包括沿转动件110的径向凸设于转动件110的第一凸部111，限位件包括位于转动件110外围的弹性臂141，弹性臂141上设置有与第一凸部111相适配的凹部1411。弹性臂141大致为弧形，弹性臂141具有一定的弹性，转动件110的第一凸部111与弹性臂141抵接时，弹性臂141发生形变，当转动件110转动到解锁位置或者释锁位置时，弹性臂141与第一凸部111卡接，从而使得转动件110无法随意转动。
35.如图4及图6所示，在一些实施例中，限位部还包括设置于转动件110上的第一限位槽110a，限位件包括凸设于门体200的第二凸部142，限位件及限位槽均沿转动件110的转动轴线方向延伸，第二凸部142可与第一限位槽110a卡接，在限制转动件110转动的同时，将转动件110沿转动件110的转动轴线方向抵紧于门体200。
36.如图6所示，在一些实施例中，晶圆盒闩锁机构100还包括凸设于转动件110上的引导块150及限位凸起170，引导块150以及限位凸起170分别设置于第一限位槽110a相对的两端。引导块150具有引导面，引导面用于与第二凸部142抵接，以引导第二凸部142滑动至第一限位槽110a。引导面优选为弧面，以使得第二凸部142能够顺畅的在引导面上滑动。当第二凸部142滑动至与第一限位槽110a卡接时，引导块150以及限位凸起170可以对第二凸部142起到一定的限位作用，在一定程度上避免第二凸部142脱出限位槽110a。
37.如图4-6所示，在一些实施例中，转动件110具有锁定位置及释锁位置，限位件的数量为多个，多个限位件分别对应锁定位置及释锁位置设置于门体200。例如，如图5所示，弹性臂141的数量为2个，如图6所示，第一凸部111的数量为4个。又例如，如图4所示，第二凸部142的数量为2个，如图6所示，第一限位槽110a的数量为4个。
38.转动件110位于锁定位置时，晶圆盒闩锁机构100处于锁定状态，限位部与对应设置于锁定位置的限位件锁定配合，转动件110位于释锁位置时，晶圆盒闩锁机构100处于释锁状态，限位部与对应设置于释锁位置的限位件锁定配合。
39.如图6所示，闩锁件130上设置有加强筋131，加强筋131可以提升闩锁件130的结构强度。
40.如图7及图8所示，在一些实施例中，盒体具有用于放置晶圆的容置空间以及与容置空间相连通的开口，门体200可拆卸的设置于盒体的开口，晶圆盒闩锁机构100还包括顶撑件160，闩锁件130远离连接件120的一端设置有倾斜抵接面130b，闩锁件130滑动伸出门体200时，倾斜抵接面130b与顶撑件160抵接，以使闩锁件130远离连接件120的一端朝背离开口的方向弯折。闩锁件130插设于盒体时，会对盖体产生一垂直于开口方向的分力，从而将门体200压紧于盒体，使得门体200与盒体之间的密封性更好。可以理解的是，为了使得顶撑件160与倾斜抵接面130b滑动顺畅，顶撑件160上也可以设置与倾斜抵接面130b相抵接的斜面。
41.如图2及图3所示，在一些实施例中，门体200上设置有滑槽200a，闩锁件130与滑槽200a的槽壁抵接；门体200上设置有限位柱230，闩锁件130上设置有第二限位槽130a，限位柱230滑动设置于第二限位槽130a。通过滑槽200a以及限位柱230同时对闩锁件130的滑动方向进行限位，可以使得闩锁件130的滑动较为稳定。
42.在一些实施例中，闩锁件130沿预设直线滑动设置于门体200，预设直线与转动件110的转动轴线及连接件120的第二端的转动轴线均具有交点。也即转动件110、连接件120及闩锁件130构成了对心曲柄滑块机构，从而使得三者运转更加稳定，且可以减少布置体
积。
43.本技术实施例第二方面提供一种晶圆盒，包括盒体、门体200及闩锁机构，闩锁机构设置于门体200。
44.本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本技术的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
45.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。

技术特征：
1.一种晶圆盒闩锁机构，设置于门体内用以将所述门体锁固于盒体，其特征在于，所述晶圆盒闩锁机构包括：转动件，所述转动件铰接于所述门体，所述转动件的形状为圆形，所述转动件上设置有钥匙插孔，所述钥匙插孔与外部设备的弹簧钥匙相适配，所述外部设备的弹簧钥匙能够带动转动件转动；连接件，所述连接件的第一端铰接于所述转动件，所述转动件的铰接处与所述连接件的第一端的铰接处间隔设置；闩锁件，所述闩锁件滑动设置于所述门体，所述连接件的第二端铰接于所述闩锁件，所述连接件的第二端的铰接处与所述转动件的铰接处及所述连接件的第一端的铰接处均间隔设置；其中，所述晶圆盒闩锁机构具有锁定状态及释锁状态，所述晶圆盒闩锁机构处于所述锁定状态时，所述闩锁件插设于所述盒体以使所述门体锁固于所述盒体；所述晶圆盒闩锁机构处于所述释锁状态时，所述闩锁件缩回于所述门体以使所述门体能够与所述盒体分离；所述转动件转动以带动所述闩锁件滑动，以使所述晶圆盒闩锁机构在所述锁定状态及所述释锁状态之间切换。2.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述转动件上设置有限位部，所述晶圆盒闩锁机构还包括限位件，所述限位件设置于所述门体，所述限位部与所述限位件锁定配合，以限制所述转动件转动。3.根据权利要求2所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述限位部包括沿所述转动件的径向凸设于所述转动件的第一凸部，所述限位件包括围设于所述转动件的弹性臂，所述弹性臂上设置有与所述第一凸部相适配的凹部。4.根据权利要求3所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述限位部还包括设置于所述转动件上的第一限位槽，所述限位件包括凸设于所述门体的第二凸部，所述限位件及所述限位槽均沿所述转动件的转动轴线方向延伸，所述第二凸部能够与所述第一限位槽卡接，在限制所述转动件转动的同时，将所述转动件沿所述转动件的转动轴线方向抵紧于所述门体。5.根据权利要求4所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述晶圆盒闩锁机构还包括设置于所述转动件上的引导块以及限位凸起，所述引导块以及所述限位凸起分别设置于所述第一限位槽相对的两端，所述引导块具有引导面，所述引导面用于与所述第二凸部抵接，以引导所述第二凸部滑动至所述第一限位槽。6.根据权利要求2所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述转动件具有锁定位置及释锁位置，所述限位件的数量为多个，多个所述限位件分别对应所述锁定位置及所述释锁位置设置于所述门体；所述转动件位于所述锁定位置时，所述晶圆盒闩锁机构处于所述锁定状态，所述限位部与对应设置于所述锁定位置的限位件锁定配合；所述转动件位于所述释锁位置时，所述晶圆盒闩锁机构处于所述释锁状态，所述限位部与对应设置于所述释锁位置的限位件锁定配合。7.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述盒体具有用于放置晶圆的容置空间以及与所述容置空间相连通的开口，所述门体可拆卸的设置于所述盒体的所述开
口，所述晶圆盒闩锁机构还包括顶撑件，所述闩锁件远离所述连接件的一端设置有倾斜抵接面，所述闩锁件滑动伸出所述门体时，所述倾斜抵接面与所述顶撑件抵接，以使所述闩锁件远离所述连接件的一端朝背离所述开口的方向弯折。8.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述门体上设置有滑槽，所述闩锁件与所述滑槽的槽壁抵接；所述门体上设置有限位柱，所述闩锁件上设置有第二限位槽，所述限位柱滑动设置于第二限位槽。9.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述闩锁件沿预设直线滑动设置于所述门体，所述预设直线与所述转动件的转动轴线及所述连接件的第二端的转动轴线均具有交点。10.一种晶圆盒，其特征在于，包括：盒体；门体；及如权利要求1-9任一项所述的晶圆盒闩锁机构，所述晶圆盒闩锁机构设置于所述门体。

技术总结
本申请公开了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，晶圆盒闩锁机构设置于门体内用以将门体锁固于盒体，晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件，转动件铰接于门体；连接件的第一端铰接于转动件，转动件的铰接处与连接件的第一端的铰接处间隔设置；闩锁件滑动设置于门体，连接件的第二端铰接于闩锁件，连接件的第二端的铰接处与转动件的铰接处及连接件的第一端的铰接处均间隔设置。本实施例中的转动件通过连接件与闩锁件连接，连接件与转动件及闩锁件均铰接，而转动摩擦相比于滑动摩擦所产生的粉尘更少，从而尽可能的避免造成晶圆受到污染。造成晶圆受到污染。造成晶圆受到污染。


技术研发人员：禹在昌 张亮
受保护的技术使用者：芜湖鑫跃微半导体有限公司
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/8/28