环件平面度检测方法与流程

1.本发明涉及平面度检测技术领域，尤其涉及一种环件平面度检测方法。


背景技术：

2.在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射时各个产品都会用到环件(coil)，环件(coil)在其中也参与溅射。环件(coil)在溅射机台上安装后，通过电流通电作用，使周围产生磁场，让溅射靶材(target)上面的原子通过磁场能够均匀的附着在晶圆(wafer)上。
3.环件本体上设有多个凸起部，凸起部呈圆柱状。机台上设有与多个凸起部一一对应配合的多个通孔，通孔上设有用于凸起部穿过的绝缘环。当需要将环件本体安装于机台上时，每一个凸起部穿过一个通孔上的绝缘环，多个绝缘环对多个凸起部起到限位的作用，实现环件本体与机台的装配。
4.但是，需要保证环件本体上的各个凸起部处于同一水平位置，否则会有安装不良，导致无法正常安装的情况。
5.为此，亟需提供一种环件平面度检测方法以解决上述问题。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种环件平面度检测方法，操作简单，用于快速便捷的检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。
7.为实现上述目的，提供以下技术方案：
8.环件平面度检测方法，包括以下步骤：
9.工装夹具的标准平面度检测面朝上，将所述工装夹具放置于工作台面上；
10.将环件放置于所述工装夹具上，且所述环件四周的凸起部位于所述标准平面度检测面的上方；
11.采用塞尺插入每个所述凸起部与所述标准平面度检测面之间，得到所述凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距；
12.当每个所述凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定所述环件合格；当存在所述凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距超过所述误差值范围，则判定所述环件不合格。
13.作为环件平面度检测方法的可选方案，在环件平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具的所述标准平面度检测面。
14.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具设置有弧形避让腔，所述环件的环形主体的下端位于所述弧形避让腔内。
15.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述弧形避让腔的内壁面设置有标准圆弧度检测面，通过塞尺插入所述标准圆弧度检测面与所述环形主体的外壁面之间，用于检测所述环形主体的外壁面是否合格。
16.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具采用金属材质制成。
17.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具的下端面设置有防滑结构。
18.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述防滑结构为防滑凸起、防滑凹槽或防滑波纹。
19.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具的中心开设有减重腔。
20.作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具内部中空且设置有冷却液流道。
21.作为环件平面度检测方法的可选方案，在环件平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具的所述标准圆弧度检测面。
22.与现有技术相比，本发明的有益效果：
23.本发明所提供的环件平面度检测方法，工装夹具的标准平面度检测面朝上，将工装夹具放置于工作台面上；将环件放置于工装夹具上，且环件四周的凸起部位于标准平面度检测面的上方；采用塞尺插入每个凸起部与标准平面度检测面之间，得到凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距；当每个凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件合格；当存在凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件不合格。只需将待测的环件放到工装夹具上，采用塞尺插入间隙，即可快速检测出检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。
附图说明
24.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
25.图1为本发明实施例中环件平面度检测方法的流程图；
26.图2为本发明实施例中环件的结构示意图；
27.图3为本发明实施例中工装夹具的结构示意图；
28.图4为本发明实施例中环件放置于工装夹具的结构示意图；
29.图5为本发明实施例中环件放置于工装夹具的剖视图。
30.附图标记：
31.1、工装夹具；2、环件；3、工作台面；
32.11、标准平面度检测面；12、弧形避让腔；13、标准圆弧度检测面；14、减重腔；
33.21、凸起部；22、环形主体。
具体实施方式
34.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
35.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通
技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
36.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
37.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
38.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
39.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
40.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
41.为了能够快速便捷的检测环件的各个凸起部是否在同一水平面，本实施例提供一种环件平面度检测方法，以下结合图1至图5对本实施例的具体内容进行详细描述。
42.在本实施例中，环件平面度检测方法包括以下步骤：工装夹具1的标准平面度检测面11朝上，将工装夹具1放置于工作台面3上；将环件2放置于工装夹具1上，且环件2四周的凸起部21位于标准平面度检测面11的上方；采用塞尺插入每个凸起部21与标准平面度检测面11之间，得到凸起部21与标准平面度检测面11之间间隙的间距；当每个凸起部21与标准平面度检测面11之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件2合格；当存在凸起部21与标准平面度检测面11之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件2不合格。
43.具体地，误差值范围可以根据实际使用情况确定，在此不做过多限制。
44.简而言之，本发明所提供的环件平面度检测方法，工装夹具1的标准平面度检测面11朝上，将工装夹具1放置于工作台面3上；将环件2放置于工装夹具1上，且环件2四周的凸起部21位于标准平面度检测面11的上方；采用塞尺插入每个凸起部21与标准平面度检测面11之间，得到凸起部21与标准平面度检测面11之间间隙的间距；当每个凸起部21与标准平面度检测面11之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件2合格；当存在凸起部21与标准平面度检测面11之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件2不合格。只需将待测的
环件2放到工装夹具1上，采用塞尺插入间隙，即可快速检测出检测环件2的各个凸起部21是否在同一水平面。
45.进一步地，在环件2平面度检测前，采用清洁工具吹扫工装夹具1的标准平面度检测面11。通过清洁工具吹扫标准平面度检测面11，保证标准平面度检测面11的表面清洁无污物，避免灰尘影响检测精度。
46.进一步地，工装夹具1设置有弧形避让腔12，环件2的环形主体22的下端位于弧形避让腔12内。通过增设弧形避让腔12，避免环形主体22的下端与工装夹具1发生结构干涉。
47.进一步地，弧形避让腔12的内壁面设置有标准圆弧度检测面13，通过塞尺插入标准圆弧度检测面13与环形主体22的外壁面之间，用于检测环形主体22的外壁面是否合格。本实施例中的工装夹具1不仅可以检测各个凸起部21是否在同一水平面，还可以同时检测环件2的环形主体22是否合格。
48.进一步地，在环件2的圆弧度检测前，采用清洁工具吹扫工装夹具1的标准圆弧度检测面13。通过清洁工具吹扫标准圆弧度检测面13，保证标准圆弧度检测面13的表面清洁无污物，避免灰尘影响检测精度。
49.进一步地，工装夹具1采用金属材质制成。采用金属材质，便于高精度的加工制造出工装夹具1的标准平面度检测面11。
50.进一步地，工装夹具1的下端面设置有防滑结构。在检测过程中，避免工装夹具1与工作台面3发生位移，影响检测精度。
51.示例性地，防滑结构为防滑凸起、防滑凹槽或防滑波纹。防滑凸起、防滑凹槽或防滑波纹凸起或凹陷的高度相同，保证工装夹具1下端面的水平度。
52.进一步地，工装夹具1的中心开设有减重腔14。一方面用于减轻整个工装夹具1的重量，另一方面降低工装夹具1的生产成本。
53.进一步地，工装夹具1内部中空且设置有冷却液流道。为了提高检测的精度，工装夹具1内的冷却液流道能够调节工装夹具1以及环件2的温度，在设定的温度条件下进行检测环件2的平面度。
54.注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

技术特征：
1.环件平面度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：工装夹具(1)的标准平面度检测面(11)朝上，将所述工装夹具(1)放置于工作台面(3)上；将环件(2)放置于所述工装夹具(1)上，且所述环件(2)四周的凸起部(21)位于所述标准平面度检测面(11)的上方；采用塞尺插入每个所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间，得到所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间间隙的间距；当每个所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定所述环件(2)合格；当存在所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间间隙的间距超过所述误差值范围，则判定所述环件(2)不合格。2.根据权利要求1所述的环件平面度检测方法，其特征在于，在环件(2)平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具(1)的所述标准平面度检测面(11)。3.根据权利要求1所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述工装夹具(1)设置有弧形避让腔(12)，所述环件(2)的环形主体(22)的下端位于所述弧形避让腔(12)内。4.根据权利要求3所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述弧形避让腔(12)的内壁面设置有标准圆弧度检测面(13)，通过塞尺插入所述标准圆弧度检测面(13)与所述环形主体(22)的外壁面之间，用于检测所述环形主体(22)的外壁面是否合格。5.根据权利要求4所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述工装夹具(1)采用金属材质制成。6.根据权利要求4所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述工装夹具(1)的下端面设置有防滑结构。7.根据权利要求6所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述防滑结构为防滑凸起、防滑凹槽或防滑波纹。8.根据权利要求4所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述工装夹具(1)的中心开设有减重腔(14)。9.根据权利要求4所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述工装夹具(1)内部中空且设置有冷却液流道。10.根据权利要求4-9任一项所述的环件平面度检测方法，其特征在于，在环件(2)的平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具(1)的所述标准圆弧度检测面(13)。

技术总结
本发明公开了一种环件平面度检测方法，属于平面度检测技术领域。环件平面度检测方法包括以下步骤：工装夹具的标准平面度检测面朝上，将工装夹具放置于工作台面上；将环件放置于工装夹具上，且环件四周的凸起部位于标准平面度检测面的上方；采用塞尺插入每个凸起部与标准平面度检测面之间，得到凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距；当每个凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件合格；当存在凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件不合格。只需将待测的环件放到工装夹具上，采用塞尺插入间隙，即可快速检测出检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。环件的各个凸起部是否在同一水平面。环件的各个凸起部是否在同一水平面。


技术研发人员：姚力军 潘杰 王学泽 吴浩 厉达
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2023.05.24
技术公布日：2023/8/28