一种纯化柜运行状态监控方法及系统与流程

1.本发明涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种纯化柜运行状态监控方法、系统、电子设备及计算机存储介质。


背景技术：

2.对纯化柜的工作状态进行实施监控，是半导体制造稳定性、安全性的重要保障。但是，现有方式多种采用常规的组态方式在传统的监控界面上展示纯化柜的运行状态，这种方式不够直观，严重影响对纯化柜的监控效率。


技术实现要素：

3.为了至少解决上述背景技术中存在的技术问题，本发明提供了一种纯化柜运行状态监控方法、系统、电子设备及计算机存储介质。
4.本发明的第一方面提供了一种纯化柜运行状态监控方法，所述方法包括如下步骤：
5.获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；
6.根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案。
7.在一些实施例中，所述对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件，包括：
8.对各所述第一运行数据进行分析以确定对应的优先值，将所述优先值高于优先阈值的所述第一功能部件确定为所述第二功能部件。
9.在一些实施例中，所述优先阈值根据初始优先阈值、所述组态监控界面中所述功能部件的数量、各所述功能部件的所述优先值及所述组态监控界面的展示层数确定。
10.在一些实施例中，所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，包括：
11.根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定第一目标展示位置，获取与所述第一目标展示位置对应的目标展示画面；
12.将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置。
13.在一些实施例中，所述将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置，包括：
14.确定所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置以及与所述第二目标展示位置关联的第三目标展示位置；
15.根据所述第二目标展示位置/所述第三目标展示位置融合展示所述目标展示画面。
16.在一些实施例中，所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能
部件在所述组态监控界面中的显示方案，还包括：
17.根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定设定数量关联的第三功能部件，并获取与所述第三功能部件对应的关联目标展示画面；
18.将所述关联目标展示画面融合至所述第三功能部件在所述组态监控界面中的第四目标展示位置/所述第三目标展示位置。
19.在一些实施例中，所述设定数量根据所述优先值确定。
20.本发明的第二方面提供了一种纯化柜运行状态监控系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；
21.所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；
22.所述获取模块，用于获取组态监控界面中纯化柜各功能部件的运行数据，并传输给所述处理模块；
23.其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。
24.本发明的第三方面还提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。
25.本发明的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前任一项所述的方法。
26.本发明的有益效果在于：
27.本发明采用现有的组态方式来构建基础的监控界面，但同时还实时获取分析纯化柜中各功能部件的运行数据，据此确定出存在异常或需要调控(例如到达调控时机)的目标功能部件，再根据目标功能部件的运行数据来针对性生成该目标功能部件在监控界面中的显示方案，使得监控人员可以从监控界面中更高效的获取目标功能部件的状态信息，提升监控效率。
附图说明
28.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
29.图1是本发明实施例公开的一种纯化柜运行状态监控方法的流程示意图；
30.图2是本发明实施例公开的一种纯化柜运行状态监控系统的结构示意图。
具体实施方式
31.以下结合附图对本公开的示范性实施例做出说明，其中包括本公开实施例的各种细节以助于理解，应当将它们认为仅仅是示范性的。因此，本领域普通技术人员应当认识到，可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改，而不会背离本公开的范围和精神。同样，为了清楚和简明，以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。
32.参阅图1所示，本发明实施例公开了一种纯化柜运行状态监控方法，所述方法包括
如下步骤：
33.获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；
34.根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案。
35.参照前述背景技术所记载的内容，现有的监控界面仅是以常规的组态模组来展示各被监控对象及其相互间的连接关系、运行状态，其虽然具有界面简洁、可容纳更多被监控对象的优点，但被监控对象的运行状态的展示受限于预先设置的展示功能，例如仅能以红灯、绿灯来展示异常与否。这导致监控人员难以从监控界面获取更多的有效信息，不利于对纯化柜更高效的监控。
36.有鉴于此，本发明采用现有的组态方式来构建基础的监控界面，但同时还实时获取分析纯化柜中各功能部件的运行数据，据此确定出存在异常或需要调控(例如到达调控时机)的目标功能部件，再根据目标功能部件的运行数据来针对性生成该目标功能部件在监控界面中的显示方案，使得监控人员可以从监控界面中更高效的获取目标功能部件的状态信息，提升监控效率。
37.其中，纯化柜中各功能部件包括纯化器、各阀门(如，待纯化气体阀、吹扫气体阀、纯化气体阀、废气阀)、电控部件、气泵等。
38.在一些实施例中，所述对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件，包括：
39.对各所述第一运行数据进行分析以确定对应的优先值，将所述优先值高于优先阈值的所述第一功能部件确定为所述第二功能部件。
40.纯化柜中各功能部件具有各自的异常等级，以及相互间也具有一定的监控优先级，综合分析以上因素可以确定出各第一运行数据的优先值，在优先值高于优先阈值时即可认定为目标功能部件，即在监控界面中采用更有利于高效获取信息的方式来展示其运行状态。
41.在一些实施例中，所述优先阈值根据初始优先阈值、所述组态监控界面中所述功能部件的数量、各所述功能部件的所述优先值及所述组态监控界面的展示层数确定。
42.在满足优先条件的目标功能部件较多时，如果全部进行显示方案的调整，则可能会导致监控界面过于繁冗，反而会导致监控人员信息获取效率的降低。
43.针对该问题，本发明实施例设置了初始优先阈值，在综合考虑展示界面中功能部件的数量、优先值及展示层数确定优先阈值，进而可以有效降低展示界面中需要详细展示的目标功能部件的数量，在确保针对性监控和高效监控之间达到平衡。
44.具体确定原理为：在功能部件的数量越多、展示层数越少时，功能部件间的相互重叠、遮挡情况就越严重，则将初始优先阈值调高以调低详细展示的目标功能部件的数量，反之则调低或不调整初始优先阈值以适当调高同时进行展示的目标功能部件的数量。在各功能部件的优先值的平均优先值越高时，说明各功能部件间的优先差异程度较低，此时将初始优先阈值调高，仅对更高等级的少量目标功能部件进行详细展示，反之则调低或不调整。当然，以上确定原理仅为针对各参数的举例说明，实际可以基于后者三个参数来单独或任意的组合调整初始优先阈值的大小，本发明不作限制。
45.需要说明的是，本发明实施例中所涉及的展示层数指的是卡片式展示界面，每层
卡片式展示界面包含对应的功能部件及其连接关系、运行状态等，通过一定的切换方式可以将处于不同层序的卡片切换至顶层进行显示。
46.在一些实施例中，所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，包括：
47.根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定第一目标展示位置，获取与所述第一目标展示位置对应的目标展示画面；
48.将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置。
49.通过分析各功能部件的第一运行数据可以确认其是否因存在异常、到达调控时机等因素导致需要详细展示，还能够分析其第二运行数据确定需要目标功能部件需要被详细展示的具体部位即第一目标展示位置，例如探测到纯化柜内发生气体泄露，但侦测传感器探测到柜体上部的气体浓度明显高于下部，则将纯化器的上部作为第一目标展示位置。另外，在纯化柜中还可以给各功能部件配置适宜数量的监控器件，例如气体探测器、压力传感器甚至摄像机等，使用这些监控器件的检测数据可以生成与第一目标展示位置对应的目标展示画面，并将其融合到监控界面中的对应位置。于是，本发明的方案可以使得监控人员以更为直观的方式查看目标功能部件的详细信息，从而提升监控效率。
50.其中，目标展示画面可以是实时拍摄的图像画面，也可以是将侦测传感器的探测数据与第二功能部件的精细组态模型进行融合后的组态模型画面。
51.需要说明的是，第二运行数据可以是和第一运行数据具有相同/相近的数据内容，第二运行数据可包含或等同第一运行数据。
52.在一些实施例中，所述将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置，包括：
53.确定所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置以及与所述第二目标展示位置关联的第三目标展示位置；
54.根据所述第二目标展示位置/所述第三目标展示位置融合展示所述目标展示画面。
55.第二功能部件在组态监控界面中分配有第二目标展示位置，其通常情况下在该位置是以常规组态方式进行布置的，例如以带指示灯的简易组态模型。在需要对第二功能部件进行详细展示时，本发明在第二目标展示位置处以覆盖小窗的方式进行展示，或在第二目标展示位置的周边以邻接小窗的方式进行展示。当然，还可以将目标展示画面在专门的第三目标展示位置进行展示，第三目标展示位置可以是位于监控页面的指定区位的用于详细展示的固定窗口，这尤其适用于第二目标功能部件所在的展示卡片层位于非顶层位置时。
56.在一些实施例中，所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，还包括：
57.根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定设定数量关联的第三功能部件，并获取与所述第三功能部件对应的关联目标展示画面；
58.将所述关联目标展示画面融合至所述第三功能部件在所述组态监控界面中的第四目标展示位置/所述第三目标展示位置。
59.功能部件在某些情况下是需要和其它功能部件进行协同监控及处置的，例如，纯化柜的纯化器发生泄漏时还需要查看、关闭上下游的阀门。于是，本发明的方案除了将目标功能部件本身在组态监控界面中详细展示之外，还将与目标功能部件相关的其它关联功能部件也进行详细展示，从而利于监控人员获得更多有效的信息及做出更为合理的处置策略。
60.其中，第三功能部件可以是其它第二功能部件，也可以是除第二功能部件以外的其它第一功能部件，本发明不做限定。第二功能部件和多个第三功能部件之间的关联关系可以是预先设置的，也可以是监控系统根据各部件之间的连接关系和部件属性自动确定得出的。
61.另外，对于第四目标展示位置、关联目标展示画面的确定方式与前述的第二目标展示位置、目标展示画面类似，具体不再赘述。
62.在一些实施例中，所述设定数量根据所述优先值确定。
63.由于各功能部件的优先值与异常等级、监控优先级等因素相关，所以在目标功能部件的优先值越高时设置设定数量更高，即对更多的关联功能部件进行详细展示，反之则设置设定数量更少。
64.参阅图2所示，本发明实施例还公开了一种纯化柜运行状态监控系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；
65.所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；
66.所述获取模块，用于获取组态监控界面中纯化柜各功能部件的运行数据，并传输给所述处理模块；
67.其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前述实施例所述的方法。
68.本发明实施例还公开了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前述实施例所述的方法。
69.本发明实施例还公开了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前述实施例所述的方法。
70.本发明实施例还公开了一种计算机程序产品，该计算机程序产品运行时执行如前述实施例所述的方法。
71.在此提供的算法和显示不与任何特定计算机、虚拟系统或者其它设备固有相关。各种通用系统也可以与基于在此的示教一起使用。根据上面的描述，构造这类系统所要求的结构是显而易见的。此外，本发明也不针对任何特定编程语言。应当明白，可以利用各种编程语言实现在此描述的本发明的内容，并且上面对特定语言所做的描述是为了披露本发明的最佳实施方式。
72.在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。
73.类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施
例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。
74.本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。
75.此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
76.本发明的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(dsp)来实现根据本发明实施例的近距离支付服务器和系统中的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本发明的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。
77.应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

技术特征：
1.一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案。2.根据权利要求1所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件，包括：对各所述第一运行数据进行分析以确定对应的优先值，将所述优先值高于优先阈值的所述第一功能部件确定为所述第二功能部件。3.根据权利要求2所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述优先阈值根据初始优先阈值、所述组态监控界面中所述功能部件的数量、各所述功能部件的所述优先值及所述组态监控界面的展示层数确定。4.根据权利要求2所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，包括：根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定第一目标展示位置，获取与所述第一目标展示位置对应的目标展示画面；将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置。5.根据权利要求4所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置，包括：确定所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置以及与所述第二目标展示位置关联的第三目标展示位置；根据所述第二目标展示位置/所述第三目标展示位置融合展示所述目标展示画面。6.根据权利要求5所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，还包括：根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定设定数量关联的第三功能部件，并获取与所述第三功能部件对应的关联目标展示画面；将所述关联目标展示画面融合至所述第三功能部件在所述组态监控界面中的第四目标展示位置/所述第三目标展示位置。7.根据权利要求6所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述设定数量根据所述优先值确定。8.一种纯化柜运行状态监控系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；所述获取模块，用于获取组态监控界面中纯化柜各功能部件的运行数据，并传输给所述处理模块；其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程
序代码，执行如权利要求1-7任一项所述的方法。9.一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如权利要求1-7任一项所述的方法。10.一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-7任一项所述的方法。

技术总结
本发明提供了一种纯化柜运行状态监控方法及系统。所述方法包括：获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；根据第二功能部件的第二运行数据调整第二功能部件在组态监控界面中的显示方案。本发明可使得监控人员从监控界面中更高效的获取目标功能部件的状态信息，从而提升监控效率。从而提升监控效率。从而提升监控效率。


技术研发人员：刘仁鑫
受保护的技术使用者：上海和宏电子科技有限公司
技术研发日：2023.05.25
技术公布日：2023/8/28