一种显示面板的激光刻蚀方法、显示面板及显示装置与流程

一种显示面板的激光刻蚀方法、显示面板及显示装置
【技术领域】
1.本技术涉及显示技术领域，其特别涉及一种显示面板的激光刻蚀方法、显示面板及显示装置。


背景技术：

2.随着科技的进步以及消费者需求的增加，屏下摄像技术被广泛应用于显示面板上。为了保证摄像区域的显示性能，现有的技术是在屏下摄像区域(camera under panel，即cup区域)内设置像素单元；同时为了满足摄像区域的透光率，需要在屏下摄像区域对电极进行刻蚀以形成镂空部用于透光。
3.镂空部一般通过激光刻蚀获取，然而在激光刻蚀的过程中，会导致显示面板内的部分膜层之间产生劈裂，从而影响显示面板的性能。
4.【申请内容】
5.有鉴于此，本技术实施例提供了一种显示面板的激光刻蚀方法、显示面板及显示装置。
6.第一方面，本技术实施例提供一种显示面板的激光刻蚀方法，显示面板包括第一区域，第一区域包括第一电极，激光刻蚀方法用于对第一电极进行刻蚀；激光刻蚀方法包括：
7.激光源按照设定路线移动以对第一电极进行刻蚀；设定路线包括若干个执行路段，激光源按执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为光斑轨迹；若干个执行路段中包括第一执行路段、第二执行路段及第三执行路段；
8.其中，激光源按第一执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为第一光斑轨迹；激光源按第二执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为第二光斑轨迹；激光源按第三执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为第三光斑轨迹；第一光斑轨迹与第二光斑轨迹无交叠，第一光斑轨迹与第三光斑轨迹交叠；
9.激光源依次在第一执行路段、第二执行路段及第三执行路段上移动。
10.在第一方面的一个实现方式中，若干个执行路段平行。
11.在第一方面的一个实现方式中，第三光斑轨迹分别与第一光斑轨迹及第二光斑轨迹交叠。
12.在第一方面的一个实现方式中，除第一光斑轨迹与第二光斑轨迹外，第三光斑轨迹与其他光斑轨迹无交叠。
13.在第一方面的一个实现方式中，若干个执行路段中包括多个第一执行路段、多个第二执行路段及多个第三执行路段，相邻第一执行路段之间包括第二执行路段。
14.在第一方面的一个实现方式中，激光源在沿至少部分第一执行路段移动后，再沿至少部分第二执行路段移动。
15.在第一方面的一个实现方式中，激光源在沿多个第一执行路段移动之后，再沿多个第二执行路段移动。
16.在第一方面的一个实现方式中，激光源在沿一个第一执行路段移动后，再沿一个第二执行路段移动。
17.在第一方面的一个实现方式中，激光源在第一执行路段移动的方向与激光源在第二执行路段移动的方向相反。
18.第二方面，本技术实施例提供一种显示面板，显示面板包括第一区域，第一区域包括第一电极；第一区域内的第一电极包括镂空部；第一电极的镂空部通过第一方面的方法制得。
19.在第二方面的一种实现方式中，镂空部内包括第一斑痕组及第二斑痕组，第一斑痕组包括多个沿第一方向排布的第一斑痕，第二斑痕组包括多个沿第一方向排布的第二斑痕；第一斑痕的面积小于第二斑痕的面积；
20.第二斑痕组位于沿第二方向相邻设置的两个第一斑痕组之间，第二方向与第一方向交叉。
21.在第二方面的一种实现方式中，第一斑痕组与第二斑痕组沿第二方向交替排布。
22.在第二方面的一种实现方式中，至少两个第一斑痕组沿第二方向依次排布。
23.在第二方面的一种实现方式中，第一斑痕的形状为鱼鳞状，第二斑痕的形状为月牙状。
24.第三方面，本技术的实施例提供一种显示装置，显示装置包括第二方面的的显示面板。
25.在本技术实施例中，激光源按第一执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为第一光斑轨迹；激光源按第二执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为第二光斑轨迹；激光源按第三执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为第三光斑轨迹；第一光斑轨迹与第二光斑轨迹无交叠，第一光斑轨迹与第三光斑轨迹交叠；激光源依次在第一执行路段、第二执行路段及第三执行路段上移动。可以理解为，激光源在相邻的时间段内执行的执行路段并不相邻。因此，本技术实施例提供的技术方案能够有效避免激光刻蚀过程中造成的热量聚集，从而使得显示面板内的部分膜层之间不会受热膨胀，并最终避免显示面板内的部分膜层之间发生劈裂。
【附图说明】
26.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
27.图1为本技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图；
28.图2为本技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图；
29.图3为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
30.图4为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
31.图5为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
32.图6为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
33.图7为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
34.图8为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
35.图9为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；
36.图10为本技术图1及图2中cc区域的一种结构示意图；
37.图11为本技术图1及图2中cc区域的一种结构示意图；
38.图12为本技术图11中nn’方向的剖视图；
39.图13为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；
40.图14为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；
41.图15为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；
42.图16为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；
43.图17为本技术实施例提供的一种显示装置。
44.标号说明
45.100、显示面板；101、衬底、102像素定义层；103、公共有机层；104、第二电极；110、第一电极；111、镂空部；120、第一斑痕组；121、第一斑痕；130、第二斑痕组；131、第二斑痕；132、第三斑痕；200、设定路线；201、第一执行路段；202、第二执行路段；203、第三执行路段；204、边缘路径；301、第一光斑轨迹；302、第二光斑轨迹；303、第三光斑轨迹；400、显示装置。
【具体实施方式】
46.为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
47.应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
48.在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
49.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
50.本说明书的描述中，需要理解的是，本技术权利要求及实施例所描述的“基本上”、“近似”、“大约”、“约”、“大致”“大体上”等词语，是指在合理的工艺操作范围内或者公差范围内，可以大体上认同的，而不是一个精确值。
51.应当理解，尽管在本技术实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述区域等，但这些区域等不应限于这些术语。这些术语仅用来将区域等彼此区分开。例如，在不脱离本技术实施例范围的情况下，第一执行路段也可以被称为第二执行路段，类似地，第二执行路段也可以被称为第一执行路段。
52.本案申请人通过细致深入研究，对于现有技术中所存在的问题，而提供了一种解决方案。
53.图1为本技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图；图2为本技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图。
54.请参阅图1及图2，一种显示面板100，包括：显示区aa及非显示区na；显示区aa为显
示面板100中主要进行发光显示的区域；非显示区na围绕显示区aa且为显示面板100中主要设置外围电路及封装的区域。显示区域aa包括第一区域a1及第二区域a2，第二区域a2至少部分环绕第一区域a1。例如，图1中所示的显示面板，第二区域a2环绕第一区域a1；图2所示的显示面板，第二区域a2部分环绕第一区域a1。为了保证第一区域a1具有较高的透光率，需要对第一区域a1内的特定膜层进行激光刻蚀，从而使第一区域a1内的该特定膜层形成具有较高透光性的镂空部。
55.经发明人研究发现，在对显示面板中的特定膜层(例如阴极层)进行激光刻蚀过程中，显示面板内的其他部分膜层之间发生劈裂的原因在于：激光源在移动的过程中会逐渐在显示面板内聚集大量的能量，从而使得显示面板内的部分膜层受热膨胀，而由于受热膨胀的各膜层之间的膨胀系数不同，则该部分膜层的形变量不同，从而造成了该部分膜层之间产生空隙发生劈裂。
56.图3为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图。
57.请参阅图3，本技术实施例提供一种显示面板100的激光刻蚀方法，显示面板100包括第一区域a1，第一区域a1包括第一电极110，激光刻蚀方法用于对第一区域a1内的第一电极110进行刻蚀。激光刻蚀方法包括：
58.激光源按照设定路线200移动以对第一电极110进行刻蚀。其中，附图中带箭头的虚线表示激光源移动的路线。需要说明的是，箭头只是代表了激光源的一种可能移动方向，并不是对激光源移动方向的唯一限定。
59.设定路线200包括若干个执行路段，激光源按执行路段移动时，激光源产生的激光的轨迹为光斑轨迹。其中，附图中的一系列沿行方向排列的圆形叠加而成的图案代表激光源在对应执行路段上移动时产生的光斑轨迹。
60.若干个执行路段中包括第一执行路段201、第二执行路段202及第三执行路段203。其中，激光源按第一执行路段201移动时，激光源产生的激光的轨迹为第一光斑轨迹301；激光源按第二执行路段202移动时，激光源产生的激光的轨迹为第二光斑轨迹302；激光源按第三执行路段203移动时，激光源产生的激光的轨迹为第三光斑轨迹303；第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302无交叠，第一光斑轨迹301与第三光斑轨迹303交叠。
61.激光源依次在第一执行路段201、第二执行路段202及第三执行路段203上移动。即，激光源在第一时刻位于第一执行路段201，激光源在第二时刻位于第二执行路段202，激光源在第三时刻位于第三执行路段203，第二时刻位于第一时刻与第三时刻之间。需要说明的是，本步骤中的“依次”仅是针对于第一执行路段201、第二执行路段202及第三执行路段203三者的执行顺序而言，并不是指三者在时间点上连续执行。即“依次”并不等同于第一执行路段201执行完毕后立马执行第二执行路段202且并不等同于第二执行路段202执行完毕后立马执行第三执行路段203。例如，激光源在执行第一执行路段201与第二执行路段202之间可以包括其他执行路径，且激光源在执行第二执行路段202与第三执行路段203之间也可以包括其他执行路径。其中，其他执行路径包括若干个执行路段中的至少一个。
62.在本技术实施例中，激光源按第一执行路段201移动时，激光源产生的激光的轨迹为第一光斑轨迹301；激光源按第二执行路段202移动时，激光源产生的激光的轨迹为第二光斑轨迹302；激光源按第三执行路段203移动时，激光源产生的激光的轨迹为第三光斑轨迹303；第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302无交叠，第一光斑轨迹301与第三光斑轨迹303
交叠；激光源依次在第一执行路段201、第二执行路段202及第三执行路段203上移动。可以理解为，激光源至少在部分前后两个执行时间段内执行的执行路段并不相邻，执行时间段是指执行某一执行路段所用的时间段。即该前后两个执行时间段内激光源在执行路段上的轨迹不交叠，前后两个时间段内产生的激光能量的聚集区域亦不交叠，从而有效避免了该前后两个时间段内激光源产生的激光能量的聚集。因此，本技术实施例提供的技术方案能够有效避免激光刻蚀过程中造成的热量聚集，从而使得显示面板100内的部分膜层之间不会受热膨胀，并最终避免显示面板100内的部分膜层之间发生劈裂。
63.请参阅图3，在本发明的一个实施例中，其他执行路径还包括至少一个边缘路径204，边缘路径204能够将两个执行路段连接起来。也就是说，激光源在执行完前一执行路段后且在执行后一执行路段前，沿着边缘路径204移动。此时，，在执行完前一执行路段后、后一执行路段前的时间段内，激光源可以无需关闭，降低了激光源的控制难度，节省了生产成本。
64.其中，如图3所示，边缘路径204的延伸方向与执行路段的延伸方向可以相垂直，此外，边缘路径204的延伸方向也可以与执行路段的延伸方向交叉。边缘路径204的延伸方向不做限定。需要说明的是，附图中带箭头的实线只是代表了激光源在边缘路径204上的一种可能移动方向，并不是对激光源移动方向的唯一限定。
65.请参阅图3，在本发明的一个实施例中，若干个执行路段平行。若干个执行路段平行使得激光源按照设定路线200移动易于实现，降低了激光源的控制难度，降低了生产成本。
66.请参阅图3，本发明的一个实施例中，第三光斑轨迹303与第一光斑轨迹301相交叠，且第三光斑轨迹303与第二光斑轨迹302不交叠。第二光斑轨迹302与第三光斑轨迹303不交叠意味着激光源在执行第二执行路段202所产生的能量区域与激光源在执行第三执行路段203所产生的能量区域不交叠，因此，激光源在第二光斑轨迹302所在区域产生的能量与激光源在第三光斑轨迹303产生的能量不会发生聚集。同时，第一光斑轨迹301与第三光斑轨迹303交叠，且第一光斑轨301与第二光斑轨迹302不交叠，意味着，激光源在第一光斑轨迹301所在区域产生的能量在激光源位于第二执行路段202上时至少部分被散去。当第三光斑轨迹303交叠至第一光斑轨迹301上时，第一光斑轨迹301所在区域内存有较少的激光能量，从而使得激光源在第三光斑轨迹303上产生的能量在第一光斑轨迹301与第三光斑轨迹303交叠的区域超出合理范围。因此能够有效防止激光能量聚集，从而避免显示面板内部的部分膜层发生劈裂。
67.图4为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图。
68.请参阅图4，在本发明的一个实施例中，第三光斑轨迹303分别与第一光斑轨迹301及第二光斑轨迹302交叠。第三光斑轨迹303与第一光斑轨迹301交叠，且第三光斑轨迹303与第二光斑轨迹302交叠，使得第三光斑轨迹303能够覆盖第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302之间的空隙，因此能够便于将第一执行路段201与第二执行路段202之间的第一电极110刻蚀干净以保证该区域的透光率。
69.请参阅图4，在本发明的一个实施例中，除第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302外，第三光斑轨迹303与其他光斑轨迹无交叠。第三光斑轨迹303与其他光斑轨迹无交叠，能够有效避免激光对同一区域的重复刻蚀，一方面能够节省激光资源，另一方面能够有效避
免由于激光过度刻蚀对显示面板100造成的负面影响。
70.图5为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图。
71.请参阅图5，在本发明的一个实施例中，若干个执行路段中包括多个第一执行路段201、多个第二执行路段202及多个第三执行路段203，相邻第一执行路段201之间包括第二执行路段202。相邻两个第一执行路段201之间包括第二执行路段202，且第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302不交叠，因此在执行相邻两个第一执行路段201时能有效避免激光能量的聚集，从而避免显示面板100内的部分膜层由于受热发生劈裂。
72.请参阅图5，在本实施例一种技术方案中，激光源在沿至少部分第一执行路段201移动后，再沿至少部分第二执行路段202移动。可以理解为，激光源在沿多个第一执行路段201中的至少部分第一执行路段201移动后，再沿多个第二执行路段202中的至少部分第二执行路段202移动。激光源先沿着部分第一执行路段201移动，再沿着部分第二执行路段202移动，相邻的两个第一执行路段201之间设置有第二执行路段202，即前一第一执行路段201与后一执行路段之间至少间隔有一个第二执行路段202，因此，激光源在前一第一执行路段201与后一第一执行路段201上移动，能够使得前一第一光斑轨迹301与后一第一光斑轨迹301之间存在至少一个第二光斑轨迹302的间距，从而有效避免激光能量的聚集。
73.例如，请参阅图5，激光源在沿一个第一执行路段201移动后，再沿一个第二执行路段202移动。激光源的这种移动方式易于实现，便于控制，利于降低生产难度及成本。
74.图6为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图。
75.例如，请参阅图6，激光源在沿多个第一执行路段201移动之后，再沿多个第二执行路段202移动。例如，在多个第一执行路段201及多个第二执行路段202中，激光源先逐一沿第一执行路段201移动，待多个第一执行路段201全部被激光源执行(即被该路段被激光源经过)完毕后，再逐一沿第二执行路段202移动。激光源在多个第一执行路段201上移动时，由于相邻两个第一执行路段201之间设置有第二执行路段202，且第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302不交叠，因此，激光源在相邻的两个第一执行路段201上移动时，不会造成激光热量过度集中。从而有效避免显示面板100内的部分膜层之间产生劈裂。图7为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图。
76.请参阅图3、图4及图7，在本发明的一个实施例中，激光源在第一执行路段201移动的方向与激光源在第二执行路段202移动的方向相反。激光源的这种移动方式能够使得激光源在第二执行路段202上移动时中无需拐回第一执行路段201的起始侧，直接自第一执行路段201的末侧开始执行，因此，降低了激光源的移动控制难度，且节约时间。
77.图8为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图；图9为本技术实施例提供的一种显示面板的激光刻蚀方法的流程示意图。
78.请参阅图8及图9，在本发明的一个实施例中，激光源至少在部分相邻两个时间段执行的执行路段产生的光斑轨迹之间的最小距离大于激光源产生的激光光斑的最大直径。所述时间段是指激光源位于同一执行路段上的时间长度。例如，在图8中，任意相邻两个时间段执行的执行路段产生的光斑轨迹之间的最小距离大于激光源产生的激光光斑的最大直径。在图9中，部分相邻两个时间段执行的执行路段产生的光斑轨迹之间的最小距离大于激光源产生的激光光斑的最大直径。
79.可以理解为，存在相邻的两个时间段：在前时间段及在后时间段。激光源在前时间
段执行的执行路段产生的光斑轨迹为在前光斑轨迹，激光源在后时间段执行的执行路段产生的光斑轨迹为在后光斑轨迹。沿第二方向，在前光斑轨迹与在后光斑轨迹的最小距离大于激光源产生的激光光斑的最大直径。激光源的这种执行方法能够有效降低激光能量的聚集。
80.图10为本技术图1及图2中cc区域的一种结构示意图。
81.请参阅图1、图2及图10，本技术实施例还提供一种显示面板100，显示面板100包括第一区域，第一区域包括第一电极110；第一区域内的第一电极110包括镂空部111；第一电极110的镂空部111通过前述实施例的方法制得。显示面板100的镂空部111是通过前述实施例制得的，因此，显示面板100内的部分膜层之间在激光刻蚀的过程中不会因为激光能量聚集而发生受热膨胀，从而能够有效避免该部分膜层之间发生劈裂，并最终保证了显示面板100的显示效果及性能。
82.请参阅图10，在本发明的一个实施例中，镂空部111内包括第一斑痕组120及第二斑痕组130，第一斑痕组120包括多个沿第一方向排布的第一斑痕121，第二斑痕组130包括多个沿第一方向排布的第二斑痕131；第一斑痕121的面积小于第二斑痕131的面积；第二斑痕组130位于沿第二方向相邻设置的两个第一斑痕组120之间，第二方向与第一方向交叉。
83.为了保证透光率，激光刻蚀的光斑印迹需要遍布镂空部111，而由于激光源并不是逐行交叠移动的，而是第一光斑轨迹301与第二光斑轨迹302不交叠，因此镂空部111会留有第一斑痕121与第二斑痕131，且第一斑痕121与第二斑痕131并不相同，第二斑痕131的面积大于第一斑痕，第二斑痕131的产生时间晚于至少部分第一斑痕121的产生时间。
84.图11为本技术图1及图2中cc区域的一种结构示意图，图12为本技术图11中nn’方向的剖视图。
85.请参阅图11至图12，在本技术的一个实施例中，显示面板100包括：衬底101、像素定义层102、公共有机层103、第一电极110及第二电极104，其中，第二电极104位于衬底101的一侧，像素定义层102位于第二电极104背离衬底101的一侧，公共有机层103位于像素定义层102背离衬底101的一侧，第一电极110位于公共有机层103背离衬底101的一侧。
86.激光刻蚀的过程中，斑痕处于镂空部111所在区域且位于第一电极110与衬底101之间的膜层上。例如，理想情况下，激光刻蚀去除部分第一电极110，斑痕位于公共有机层103上；但由于工艺精度及误差的问题，激光刻蚀的过程中，除部分第一电极110之外，部分公共有机层103会被去除，此时斑痕位于像素定义层102上。显示面板100还包括发光层，发光层位于像素定义层102内，且位于第一电极110及第二电极104之间。其中，公共有机层103可以为空穴传输层、电子传输层、空穴注入层、电子注入层中的至少一者。
87.图13为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；图14为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；图15为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图；图16为本技术实施例提供的一种镂空部内的斑痕示意图。
88.请参阅图13至图16，在本技术的一个实施例中，第一斑痕121的形状为鱼鳞状，第二斑痕131的形状为月牙状。例如，第一斑痕121的边缘由至少三个圆弧围合而成。第二斑痕131的边缘由两个圆弧围合而成。第二斑痕组130还包括第三斑痕132，第三斑痕132的形状为满月形状，第三斑痕132位于第二斑痕组130的端部。一般而言，激光源为点光源，激光刻蚀过程中，在同一执行路段上，在后的激光光斑会覆盖部分前一个激光光斑，沿第二方向，
在后执行的一行激光光斑会覆盖部分在前执行的一行激光光斑，因此，当刻蚀完毕后，该在前执行的一行激光光斑所留的斑痕组中的斑痕至少由三个圆弧围合而成。而执行完毕后不被其余行覆盖的某行激光光斑所留的斑痕组中的斑痕包括两个圆弧围合而成的月牙斑痕以及圆形斑痕。
89.请参阅图13，在本发明的一个实施例中，第一斑痕组120与第二斑痕组130沿第二方向交替排布。形成这种斑痕组的过程例如为：先形成初始斑痕组，且相邻两个初始斑痕组之间沿第二方向的最大距离小于等于激光光斑的直径且大于零，然后再在相邻的两个初始斑痕组之间形成第二斑痕组130，由于第二斑痕组130的覆盖，使得初始斑痕组变为第一斑痕组120。具体的实现过程可以为图5或者图9所示的方法流程。因此这种斑痕的形成过程中，能够有效避免激光能量的聚集。
90.请参阅图14至图16，在本发明的一个实施例中，至少两个第一斑痕组120沿第二方向依次排布。形成这种斑痕组的过程例如为：先形成一个初始斑痕组，再在初始斑痕组上形成另一初始斑痕组后再形成一个初始斑痕组，从而形成了至少两个第一斑痕组沿第二方向依次排列的斑痕态。例如，形成图14所示斑痕的过程可以如图6所示的方法，形成图15所示斑痕的过程可以如图7所示的方法，形成图16所示斑痕的过程可以如图8所示的方法。
91.图17为本技术实施例提供的一种显示装置。
92.请参阅图17，本技术的实施例还提供一种显示装置400，显示装置400包括前述实施例提供的显示面板100。显示装置可以是手机、平板、电脑、智能手表等电子显示设备。显示面板100的镂空部111是通过前述实施例制得的，因此，显示面板100内的部分膜层之间在激光刻蚀的过程中不会因为激光能量聚集而发生受热膨胀，从而能够有效避免该部分膜层之间发生劈裂，并最终保证了显示面板100的显示效果及性能。
93.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。

技术特征：
1.一种显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述显示面板包括第一区域，所述第一区域包括第一电极，所述激光刻蚀方法用于对所述第一电极进行刻蚀；所述激光刻蚀方法包括：激光源按照设定路线移动以对所述第一电极进行刻蚀；所述设定路线包括若干个执行路段，所述激光源按所述执行路段移动时，所述激光源产生的激光的轨迹为光斑轨迹；若干个所述执行路段中包括第一执行路段、第二执行路段及第三执行路段；其中，所述激光源按所述第一执行路段移动时，所述激光源产生的激光的轨迹为第一光斑轨迹；所述激光源按所述第二执行路段移动时，所述激光源产生的激光的轨迹为第二光斑轨迹；所述激光源按所述第三执行路段移动时，所述激光源产生的激光的轨迹为第三光斑轨迹；所述第一光斑轨迹与所述第二光斑轨迹无交叠，所述第一光斑轨迹与所述第三光斑轨迹交叠；所述激光源依次在所述第一执行路段、所述第二执行路段及所述第三执行路段上移动。2.根据权利要求1所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述若干个执行路段平行。3.根据权利要求1所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述第三光斑轨迹分别与所述第一光斑轨迹及所述第二光斑轨迹交叠。4.根据权利要求3所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，除所述第一光斑轨迹与所述第二光斑轨迹外，所述第三光斑轨迹与其他所述光斑轨迹无交叠。5.根据权利要求1所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，若干个所述执行路段中包括多个所述第一执行路段、多个所述第二执行路段及多个所述第三执行路段，相邻所述第一执行路段之间包括所述第二执行路段。6.根据权利要求5所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述激光源在沿至少部分所述第一执行路段移动后，再沿至少部分所述第二执行路段移动。7.根据权利要求6所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述激光源在沿所述多个所述第一执行路段移动之后，再沿所述多个所述第二执行路段移动。8.根据权利要求6所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述激光源在沿一个所述第一执行路段移动后，再沿一个所述第二执行路段移动。9.根据权利要求8所述的显示面板的激光刻蚀方法，其特征在于，所述激光源在所述第一执行路段移动的方向与所述激光源在所述第二执行路段移动的方向相反。10.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括第一区域，所述第一区域包括第一电极；所述第一区域内的所述第一电极包括镂空部；所述第一电极的所述镂空部通过权利要求1-9任一项所述的方法制得。11.根据权利要求10所述的显示面板，其特征在于，所述镂空部内包括第一斑痕组及第二斑痕组，所述第一斑痕组包括多个沿第一方向排布的第一斑痕，所述第二斑痕组包括多个沿所述第一方向排布的第二斑痕；所述第一斑痕的面积小于第二斑痕的面积；所述第二斑痕组位于沿第二方向相邻设置的两个所述第一斑痕组之间，所述第二方向与所述第一方向交叉。
12.根据权利要求11所述的显示面板，其特征在于，所述第一斑痕组与所述第二斑痕组沿所述第二方向交替排布。13.根据权利要求11所述的显示面板，其特征在于，至少两个所述第一斑痕组沿所述第二方向依次排布。14.根据权利要求11所述的显示面板，其特征在于，所述第一斑痕的形状为鱼鳞状，所述第二斑痕的形状为月牙状。15.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括权利要求10-14任一项所述的显示面板。

技术总结
本申请实施例提供一种显示面板的激光刻蚀方法、显示面板及显示装置，激光刻蚀方法包括：激光源按照设定路线移动以对第一电极进行刻蚀；设定路线包括若干个执行路段，激光源按执行路段移动时，产生的轨迹为光斑轨迹；若干个执行路段中包括第一执行路段、第二执行路段及第三执行路段；激光源按第一执行路段移动时，产生第一光斑轨迹；按第二执行路段移动时，产生第二光斑轨迹，按第三执行路段移动时，产生第三光斑轨迹；第一光斑轨迹与第二光斑轨迹无交叠，第一光斑轨迹与第三光斑轨迹交叠；激光源依次在第一执行路段、第二执行路段及第三执行路段上移动。本申请能够有效避免激光刻蚀过程中造成的热量聚集，避免显示面板内的部分膜层之间发生劈裂。膜层之间发生劈裂。膜层之间发生劈裂。


技术研发人员：于泉鹏
受保护的技术使用者：上海天马微电子有限公司
技术研发日：2023.05.31
技术公布日：2023/8/28