一种把手结构及晶圆盒的制作方法

1.本技术涉及晶圆盒把手技术领域，尤其涉及一种把手结构及晶圆盒。


背景技术：

2.当晶圆制造完成后会被装载于晶圆盒中，以达到防尘存放的效果，且便于整批搬运输送以进行后续的产程。在相关技术中，为了方便工作人员搬运晶圆盒，在晶圆盒外部设有晶圆盒把手，作为工作人员对晶圆盒的施力点，但是晶圆盒的质量较大，通过普通的把手来搬运晶圆盒容易引发工作人员手腕疼痛等不适感，从而使得工作人员在搬运时抓不住晶圆盒而导致晶圆盒滑落。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供了一种把手结构及晶圆盒，能够提高晶圆盒搬运的可作业性，减少晶圆盒在搬运时发生滑落的情况。
4.本技术实施例提供了一种把手结构，应用于晶圆盒，把手结构包括第一把手，第一把手包括第一握持部，第一握持部具有第一表面，第一表面用于在用户抓握第一握持部时与用户的手掌心和大拇指触接，第一表面设置有凹槽，凹槽用于在用户抓握第一握持部时供用户的大拇指放置。
5.在本技术一些实施例中，第一握持部还具有第二表面，第二表面与第一表面背向设置，第二表面包括朝向第一表面方向凹陷的弧面，可以使得用户的四指在施力时也可以聚拢在一处，使得晶圆盒的重量可以分散到手指的各个部分，从而起到防止力量损失的作用。
6.在本技术一些实施例中，第二表面上设置有多个沿第一握持部的长度方向排布的容纳凹槽，容纳凹槽用于容纳手指。防止用户在抓握搬运时手指滑动发生移位，从而减少用户在搬运晶圆盒时发生晶圆盒滑落的情况。
7.在本技术一些实施例中，把手结构还包括第二把手，第二把手与第一把手垂直设置，第二把手用于供用户抓握。通过设置相互垂直的第一把手与第二把手，晶圆盒的盒盖朝向改变后，把手结构也可以便于用户抓握。
8.在本技术一些实施例中，第一把手以及第二把手均一体成型，且第一把手的端部与第二把手的端部连接。第一把手以及第二把手均为一个整体制作，使得第一把手以及第二把手均具有一体性，结构更加紧密牢靠没有缝隙。
9.在本技术一些实施例中，第二把手包括第二握持部，第二握持部具有背向设置的第三表面和第四表面，第三表面包括朝向第四表面方向凹陷的弧面，第四表面包括朝向第三表面方向凹陷的弧面，使得用户的四指在圈握施力时也可以聚拢在一处，防止力量的流失。
10.在本技术一些实施例中，把手结构还包括：第一弯折部和第二弯折部，第一弯折部与第一握持部的第一端连接；第二弯折部与第一握持部的第二端连接。其中，第一弯折部上
设置有第一固定件，第一固定件用于将第一弯折部与晶圆盒连接；第二弯折部上设置有第二固定件，第二固定件用于将第二弯折部与晶圆盒连接。
11.在本技术一些实施例中，第一固定件包括与第一弯折部连接的插入扣，插入扣位于第一弯折部远离第一握持部的一侧，且向远离第一弯折部的方向延伸，插入扣用于插入晶圆盒。同时，第二固定件包括与第二弯折部连接的弹性卡扣，弹性卡扣位于第二弯折部靠近第一握持部的一侧，且向远离第二弯折部的方向延伸，弹性卡扣用于与晶圆盒卡接。
12.第二方面，本技术实施例还提供了一种晶圆盒，包括盒体以及如上述任一实施例中所述的把手结构，把手结构安装于盒体。
13.在本技术一些实施例中，盒体的第一侧面具有晶圆取放口；把手结构的数量为两个，两个把手结构分别位于盒体的第二侧面与第三侧面，第二侧面与第三侧面背向设置，且第二侧面以及第三侧面均与第一侧面相邻，第一握持部的第一表面垂直于第一侧面、第二侧面以及第三侧面。
14.本技术实施例的有益效果为：本技术实施例通过在第一把手上单独设置用于放置用户的大拇指的凹槽，使得晶圆盒的重量可以分散到用户手掌的各个地方，用户的大拇指也可以施力为晶圆盒的搬运提供支撑，从而使得在搬运晶圆盒时，能够通过大拇指施力来调整搬运重心，使用户手腕的负担最小化，且通过安装本技术实施例中的把手结构，能够便于用户施力搬运晶圆盒，提高晶圆盒搬运的可作业性，且减少用户在搬运晶圆盒时发生晶圆盒滑落的情况。
附图说明
15.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本技术一实施例中把手结构的结构示意图；
17.图2为本技术另一实施例中把手结构在第一视角的结构示意图；
18.图3为本技术另一实施例中把手结构在第二视角的结构示意图；
19.图4为本技术一实施例中晶圆盒的结构示意图。
20.附图标记：
21.100、把手结构；11、第一把手；111、第一握持部；1111、第一表面；1112、凹槽；1113、第二表面；1114、容纳凹槽；12、第二把手；121、第二握持部；1211、第三表面；1212、第四表面；13、第一弯折部；131、第一固定件；14、第二弯折部；141、第二固定件；15、第三弯折部；151、第三固定件；200、晶圆盒；21、盒体；211、第一侧面；212、第二侧面；213、第三侧面；22、盒盖。
具体实施方式
22.为了更清楚地说明本技术实施例或相关技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图来进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出
创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.在相关技术中，由于晶圆盒的质量较大，所以在晶圆盒外部设有用于搬运的晶圆盒把手，但是一般的把手未考虑到工作人员的抓握和作业角度，所以在搬运晶圆盒时容易引发工作人员手腕疼痛，从而增加晶圆盒滑落的可能性。另外，在搬运晶圆盒时，晶圆盒的朝向可变，但是晶圆盒把手的安装方向唯一，由此使得晶圆盒的搬运不便，当搬运时晶圆盒的朝向改变，还会使得工作人员在搬运时抓不住晶圆盒而导致晶圆盒滑落。
24.针对上述情况，第一方面，请参见图1，本技术提出了一种把手结构100，应用于晶圆盒200，把手结构100包括第一把手11，第一把手11包括第一握持部111，第一握持部111具有第一表面1111，第一表面1111用于在用户抓握第一握持部111时与用户的手掌心和大拇指触接，第一表面1111设置有凹槽1112，凹槽1112用于在用户抓握第一握持部111时供用户的大拇指放置。
25.具体地，把手结构100用于安装在晶圆盒200的侧壁上(如图4所示)，当第一把手11与晶圆盒200侧壁连接时，第一握持部111上的第一表面1111与晶圆盒200侧壁垂直，此时用户抓握第一握持部111时，用户的手掌心和大拇指会触接到第一表面1111。
26.需要说明的是，根据把手结构100在晶圆盒200上的位置，以及用户通过把手结构100将晶圆盒200举起后的施力角度，本技术实施例通过在第一把手11上单独设置用于放置用户的大拇指的凹槽1112，使得晶圆盒200的重量可以分散到用户手掌的各个地方，用户的大拇指也可以施力为晶圆盒200的搬运提供支撑，从而使得在搬运晶圆盒200时，能够通过大拇指施力来调整搬运重心，使用户手腕的负担最小化。本技术实施例根据人体工程学来设计把手结构100，以便于用户施力搬运晶圆盒200，能够提高晶圆盒200搬运的可作业性，且减少用户在搬运晶圆盒200时发生晶圆盒200滑落的情况。
27.请继续参见图1，在本技术一些实施例中，第一握持部111还具有第二表面1113，第二表面1113与第一表面1111背向设置，第二表面1113包括朝向第一表面1111方向凹陷的弧面。
28.需要说明的是，当用户的手抓握第一把手11时，用户的大拇指放置于第一表面1111，用户的四指绕第一握持部111放置，第一把手11上的第二表面1113触接用户的四指，而第二表面1113上包括朝向第一表面1111方向凹陷的弧面，可以使得用户的四指在施力时也可以聚拢在一处，使得晶圆盒200的重量可以分散到手指的各个部分，从而起到防止力量损失的作用。
29.进一步地，请继续参见图1，在本技术一些实施例中，第二表面1113上设置有多个沿第一握持部111的长度方向排布的容纳凹槽1114，容纳凹槽1114用于容纳手指。
30.可以理解的是，多个容纳凹槽1114可以配合用户的手指，每一容纳凹槽1114中至少容纳一根手指，防止用户在抓握搬运晶圆盒200时手指滑动发生移位，从而减少用户在搬运晶圆盒200时发生晶圆盒200滑落的情况。其中，容纳凹槽1114的数量优选为四个，以适合供用户的后四指摆放，此处设计符合人体工学，便于用户施力，且容纳凹槽1114的槽壁曲线可以更贴合用户手指，减轻用户的手指在搬运时承受的负担。
31.请参见图2，在本技术一些实施例中，把手结构100还包括第二把手12，第二把手12与第一把手11垂直设置，第二把手12用于供用户抓握。
32.可以理解的是，晶圆盒200一般包括盒盖22，以晶圆盒200的盒盖22朝向第一方向
为例，此时可以通过抓握第一把手11来搬运晶圆盒200；以晶圆盒200的盒盖22朝向第二方向为例，此时可以通过抓握第二把手12来搬运晶圆盒200，其中，第一方向与第二方向垂直。
33.需要说明的是，在相关技术中，晶圆盒200在搬运时盒盖22的朝向可变，但是晶圆盒200把手的安装方向唯一，由此会使得盒盖22的朝向变化后晶圆盒200的搬运不便，当晶圆盒200的盒盖22朝向改变，用户在搬运时还会使得用户抓不住晶圆盒200而导致晶圆盒200滑落。在本技术实施例中，通过设置相互垂直的第一把手11与第二把手12，晶圆盒200的盒盖22朝向改变后，把手结构100也可以便于用户抓握。
34.还需要说明的是，以用户将晶圆盒200抬举到外部设备上，晶圆盒200的盒盖22朝向背离用户身体的一侧为例，晶圆盒200靠近用户身体的一侧先触接外部设备的台面，此时用户的手腕会弯曲，大拇指可以在第一把手11的凹槽1112部位施力，以支撑晶圆盒200，使得晶圆盒200远离用户身体的一侧可以更顺利地放置在外部设备的台面上；以用户将晶圆盒200搬运到桌子上放置，晶圆盒200的盒盖22朝向上方为例，此时晶圆盒200可以通过第二把手12搬起，并贴着用户的身体移动，将晶圆盒200放下时伸开手臂，这时晶圆盒200稍微倾斜，晶圆盒200远离用户身体的一侧先触接桌面，之后整体放置于桌面上。
35.其中，第二把手12的抓握部结构可以与第一把手11的第一握持部111的结构相同，当然，第二把手12的抓握部结构也可以与第一把手11的第一握持部111的结构不同。
36.进一步地，请参见图2，在本技术一些实施例中，第一把手11以及第二把手12均一体成型，且第一把手11的端部与第二把手12的端部连接。
37.需要说明的是，第一把手11以及第二把手12均为一个整体制作，使得第一把手11以及第二把手12均具有一体性，结构更加紧密牢靠没有缝隙。第一把手11与第二把手12连接后，使得把手结构100的安装固定更方便简洁。
38.更进一步地，请继续参见图2，在本技术一些实施例中，第二把手12包括第二握持部121，第二握持部121具有背向设置的第三表面1211和第四表面1212，第三表面1211包括朝向第四表面1212方向凹陷的弧面，第四表面1212包括朝向第三表面1211方向凹陷的弧面。
39.需要说明的是，两个背向设置的第三表面1211和第四表面1212，且两个表面互相向相背的一侧凹陷，弧面的弯曲便于使得用户的四指在圈握施力时聚拢在一处，防止力量的流失，从而可以最大程度上防止因没有抓紧而导致晶圆盒200滑落。其中，背向设置的两个表面可以为第二握持部121上的任意两个相背的表面。
40.请参见图3，在本技术一些实施例中，把手结构100还包括：第一弯折部13和第二弯折部14，第一弯折部13与第一握持部111的第一端连接；第二弯折部14与第一握持部111的第二端连接。其中，第一弯折部13上设置有第一固定件131，第一固定件131用于将第一弯折部13与晶圆盒200连接；第二弯折部14上设置有第二固定件141，第二固定件141用于将第二弯折部14与晶圆盒200连接。
41.可以理解的是，第一握持部111的两端设置有第一弯折部13和第二弯折部14，使得把手结构100安装于晶圆盒200时，第一握持部111可以供用户的手掌插入呈现稳定圈握的状态。第一握持部111通过第一固定件131以及第二固定件141固定于晶圆盒200上，由此使得把手结构100可以牢固地安装于晶圆盒200。其中，第一弯折部13、第二弯折部14以及第一握持部111之间可以为一体成型，以便于第一把手11的生产加工。
42.需要说明的是，当把手结构100还包括第二把手12，以第二把手12的一端与第一把手11的一端连接为例，也就是说，第一把手11与第二把手12可以组成“l”型的把手结构100，此时，第二把手12远离第一把手11的一端设置有第三弯折部15，且第三弯折部15上设置有第三固定件151，把手结构100整体可以通过三个固定件固定于晶圆盒200；以第二把手12未与第一把手11连接为例，此时第二把手12的第二握持部121的两端也可以分别设置有第三弯折部15和第四弯折部，且第三弯折部15上设置有第三固定件151，第四弯折部上设置有第四固定件，把手结构100整体通过第一把手11以及第二把手12上的四个固定件固定于晶圆盒200。
43.请参见图3，在本技术一些实施例中，第一固定件131包括与第一弯折部13连接的插入扣，插入扣位于第一弯折部13远离第一握持部111的一侧，且向远离第一弯折部13的方向延伸，插入扣用于插入晶圆盒200。同时，第二固定件141包括与第二弯折部14连接的弹性卡扣，弹性卡扣位于第二弯折部14靠近第一握持部111的一侧，且向远离第二弯折部14的方向延伸，弹性卡扣用于与晶圆盒200卡接。
44.可以理解的是，如图3所示，第一固定件131包括插入扣，可以嵌入晶圆盒200的盒体21上，第二固定件141包括弹性卡扣，可以与晶圆盒200卡接。插入扣的延伸方向与弹性卡扣的延伸方向平行，插入扣便于把手结构100的安装与拆卸；而弹性卡扣便于把手结构100的固定，插入扣与弹性卡扣结合，从而使得把手结构100既可以稳定地固定于晶圆盒200，又便于安装和拆卸。
45.需要说明的是，以第二把手12的一端与第一把手11的一端连接为例，此时第二把手12的第三弯折部15上设置有第三固定件151，第三固定件151包括与第三弯折部15连接的卡扣，卡扣位于第三弯折部15靠近第二握持部121的一侧，且向远离第三弯折部15的方向延伸，卡扣用于与晶圆盒200卡接。其中，第三弯折部15上的卡扣可以与第二弯折部14上的弹性卡扣相同，以提高把手机构的稳定性。
46.第二方面，请参见图4，本技术实施例还提供了一种晶圆盒200，包括盒体21以及如上述任一实施例中所述的把手结构100，把手结构100安装于盒体21。
47.具体地，在搬运晶圆盒200时，可以通过把手结构100来使晶圆盒200的重量可以分散到用户手掌的各个地方，并且在第一把手11上单独开设用于放置用户的大拇指的凹槽1112，从而可以通过大拇指施力来调整搬运的重心，由此提高晶圆盒200搬运的可作业性，使用户手腕的负担最小化，且减少晶圆盒200在搬运时发生滑落的情况。
48.请参见图4，在本技术一些实施例中，盒体21的第一侧面211具有晶圆取放口(图中未示出)；把手结构100的数量为两个，两个把手结构100分别位于盒体21的第二侧面212与第三侧面213，第二侧面212与第三侧面213背向设置，且第二侧面212以及第三侧面213均与第一侧面211相邻，第一握持部111的第一表面1111垂直于第一侧面211、第二侧面212以及第三侧面213。
49.需要说明的是，晶圆盒200还可以包括盒盖22，盒盖22盖设于晶圆取放口，用于打开或关闭盒体21。把手结构100的数量为两个，也就是说，两个把手结构100位于盒体21的相背两侧，以便于用户的双手抓握把手结构100抬起晶圆盒200。根据晶圆盒200的实际使用情况，当晶圆盒200的盒盖22朝向上方时，也即盒体21的第一侧面211朝向上方，用户可以通过抓握盒体21两侧的把手结构100，以将晶圆盒200抬起，此时用户的手掌圈握第一握持部
111，且用户的大拇指放置于第一表面1111上的凹槽1112中，由此提高晶圆盒200搬运的可作业性，使用户手腕的负担最小化。
50.本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本技术的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
51.以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。

技术特征：
1.一种把手结构，其特征在于，应用于晶圆盒，所述把手结构包括：第一把手，包括第一握持部，所述第一握持部具有第一表面，所述第一表面用于在用户抓握所述第一握持部时与所述用户的手掌心和大拇指触接，所述第一表面设置有凹槽，所述凹槽用于在用户抓握所述第一握持部时供所述用户的大拇指放置。2.根据权利要求1所述的把手结构，其特征在于，所述第一握持部还具有第二表面，所述第二表面与所述第一表面背向设置，所述第二表面包括朝向所述第一表面方向凹陷的弧面。3.根据权利要求2所述的把手结构，其特征在于，所述第二表面上设置有多个沿所述第一握持部的长度方向排布的容纳凹槽，所述容纳凹槽用于容纳手指。4.根据权利要求1所述的把手结构，其特征在于，所述把手结构还包括：第二把手，与所述第一把手垂直设置，所述第二把手用于供用户抓握。5.根据权利要求4所述的把手结构，其特征在于，所述第一把手以及所述第二把手均一体成型，且所述第一把手的端部与所述第二把手的端部连接。6.根据权利要求4所述的把手结构，其特征在于，所述第二把手包括第二握持部，所述第二握持部具有背向设置的第三表面和第四表面，所述第三表面包括朝向所述第四表面方向凹陷的弧面，所述第四表面包括朝向所述第三表面方向凹陷的弧面。7.根据权利要求1所述的把手结构，其特征在于，所述把手结构还包括：第一弯折部，与所述第一握持部的第一端连接；第二弯折部，与所述第一握持部的第二端连接；其中，所述第一弯折部上设置有第一固定件，所述第一固定件用于将所述第一弯折部与所述晶圆盒连接；所述第二弯折部上设置有第二固定件，所述第二固定件用于将所述第二弯折部与所述晶圆盒连接。8.根据权利要求7所述的把手结构，其特征在于，所述第一固定件包括与所述第一弯折部连接的插入扣，所述插入扣位于所述第一弯折部远离所述第一握持部的一侧，且向远离所述第一弯折部的方向延伸，所述插入扣用于插入所述晶圆盒；所述第二固定件包括与所述第二弯折部连接的弹性卡扣，所述弹性卡扣位于所述第二弯折部靠近所述第一握持部的一侧，且向远离所述第二弯折部的方向延伸，所述弹性卡扣用于与所述晶圆盒卡接。9.一种晶圆盒，其特征在于，包括盒体及如权利要求1-8中任一项所述的把手结构，所述把手结构安装于所述盒体。10.根据权利要求9所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体的第一侧面具有晶圆取放口；所述把手结构的数量为两个，两个所述把手结构分别位于所述盒体的第二侧面与第三侧面，所述第二侧面与所述第三侧面背向设置，且所述第二侧面以及所述第三侧面均与所述第一侧面相邻，所述第一握持部的所述第一表面垂直于所述第一侧面、所述第二侧面以及所述第三侧面。

技术总结
本申请公开了一种把手结构及晶圆盒，把手结构应用于晶圆盒，把手结构包括第一把手，第一把手包括第一握持部，第一握持部具有第一表面，第一表面用于在用户抓握第一握持部时与用户的手掌心和大拇指触接，第一表面设置有凹槽，凹槽用于在用户抓握第一握持部时供用户的大拇指放置。本申请实施例通过单独设置用于放置用户的大拇指的凹槽，使得用户的大拇指可以施力为晶圆盒的搬运提供支撑，且能够通过大拇指施力来调整晶圆盒的搬运重心，从而使用户手腕的负担最小化，通过安装本申请实施例中的把手结构，能够便于用户施力搬运晶圆盒，提高了晶圆盒搬运的可作业性，且减少用户在搬运晶圆盒时发生晶圆盒滑落的情况。盒时发生晶圆盒滑落的情况。盒时发生晶圆盒滑落的情况。


技术研发人员：禹在昌 张亮
受保护的技术使用者：北京鑫跃微半导体技术有限公司
技术研发日：2023.05.04
技术公布日：2023/8/26